JP2012074697A - Euvコレクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】EUV放射源からの放射を集光して伝達するためのEUVコレクタ(15)が、中心軸(24)に対して回転対称に構成された、EUV放射源の放射を反射するための少なくとも1つのコレクタミラー(23)と、この少なくとも1つのコレクタミラー(23)を冷却するための冷却装置(26)とを備え、冷却装置(26)が、コレクタミラー(23)に対する進路を有する少なくとも1つの冷却要素(27)を有し、この進路を中心軸(24)に垂直な平面内に投影したものに、予め定めた好ましい方向(29)との間の最大20°の角度bがいずれの場合にも含まれるようにする。
【選択図】図2
Description
式中、SEmax及びSEminは、物体フィールド5のフィールド高さにわたる最大又は最小走査集積エネルギーを示す。均一性Uの値が小さいほど、物体フィールド5の照明はより均一となり、従ってより良好となる。コレクタ15、33、37の冷却装置26の冷却要素27の進路が物体フィールド5の照明の均一性Uに及ぼす影響を図11に一例として示す。ここでは、破曲線により、冷却要素を中心軸24に対して回転対称に構成した冷却装置の場合の物体平面6内の強度分布の均一性Uを、放射状に距離を置いたフィールドの乱れの局所的波長λの関数として示している。連続線は、本発明による冷却装置26の影響を対応して示している。本発明による冷却要素27を配置することにより、物体平面6内の強度分布の均一性Uが大幅に改善されることが明確に理解できる。
23 コレクタミラー
24 中心軸
25 楕円ミラー面
26 冷却装置
27 冷却要素
28 基材
29 好ましい方向
b 角度
Claims (13)
- EUV放射源(3)からの放射(14)を集光して伝達するためのEUVコレクタ(15、33、37)であって、
− 中心軸(24)に対して回転対称に構成された、前記EUV放射源(3)の放射を反射するための少なくとも1つのコレクタミラー(23、40)と、
− 前記少なくとも1つのコレクタミラー(23、40)を冷却するための冷却装置(26)と、
を備え、前記冷却装置(26)が、前記コレクタミラー(23、40)に対する進路を有する少なくとも1つの冷却要素(27)を有し、前記進路を前記中心軸(24)に垂直な平面内に投影したものに、予め定めた好ましい方向(29)との間の最大20°の角度bがいずれの場合にも含まれるようにした、
ことを特徴とするコレクタ。 - 前記角度bが最大7°である、
ことを特徴とする請求項1に記載のコレクタ。 - 前記少なくとも1つの冷却要素(27)の前記進路を投影したものが、前記予め定めた好ましい方向(29)に平行である、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のコレクタ。 - 前記冷却装置(26)が、少なくとも2つの空間的に分離された冷却要素(27)を有する、
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のコレクタ。 - 前記冷却要素(27)の前記進路を前記中心軸(24)に垂直な平面内に投影したものが、少なくともほぼ、具体的には少なくとも部分的に互いに平行である、
ことを特徴とする請求項4に記載のコレクタ。 - 前記冷却要素(27)を互いに独立して制御することができる、
ことを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のコレクタ。 - 前記冷却要素(27)が、冷媒を装填できる冷却水路として構成される、
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載のコレクタ。 - − 請求項1から請求項7のいずれかに記載のコレクタ(15、33、37)と、
− 前記コレクタ(15、33、37)が集光した放射(14)を用いて、結像光学系(9)により結像することができる物体フィールド(5)を照明するための照明光学系(4)と、
を備えることを特徴とする照明系(2)。 - 前記照明光学系(4)が、前記物体フィールド(5)を照明して照らすための明確な照明設定を実現するための数多くの細長いファセット(30、35)を含む少なくとも1つのファセットミラー(17、34)を有し、前記好ましい方向(29)が、少なくとも1つのファセット(30、35)の長手方向の配向により予め定められる、
ことを特徴とする請求項8に記載の照明系(2)。 - 少なくとも1つのEUV放射源(3)を含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の照明系(2)。 - − 請求項9又は請求項10のいずれかに記載の照明系(2)と、
− 前記物体フィールド(5)を画像フィールド(10)内に結像するための結像光学系(9)と、
を備えることを特徴とする投影露光系(1)。 - マイクロ構造又はナノ構造の部品を製造する方法であって、
− レチクル(7)を提供するステップと、
− 感光性コーティングを施したウェハ(12)を提供するステップと、
− 請求項11に記載の投影露光系(1)を用いて、前記レチクル(7)の少なくとも一部を前記ウェハ(12)上に投影するステップと、
− 前記ウェハ(12)上の前記露光された感光性コーティングを現像するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 請求項12に記載の方法により製造される、
ことを特徴とする部品。
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