DE102005053415A1

DE102005053415A1 - Optisches Bauelement mit verbessertem thermischen Verhalten

Info

Publication number: DE102005053415A1
Application number: DE102005053415A
Authority: DE
Inventors: Willi Anderl; Ulrich Bingel; Bernhard Weigl; Udo Dinger; Jochen Kuhn; Piotr Marczuk; Wolfgang Hafner; Axel Matthes
Original assignee: Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Current assignee: Carl Zeiss Laser Optics GmbH
Priority date: 2005-11-04
Filing date: 2005-11-04
Publication date: 2007-05-10
Also published as: WO2007051638A1

Abstract

Ein optisches Bauelement weist zumindest ein optisch wirksames Element, das sich bei Bestrahlung mit Licht erwärmt, und zumindest ein Fassungselement zum Befestigen des zumindest einen optisch wirksamen Elements an einer Halterung, wobei das zumindest eine optisch wirksame Element einen Körper aufweist, sowie eine aktive Kühlung auf, die zumindest eine mit einem Kühlmedium beaufschlagbare Kühlleitung aufweist, die in oder an dem Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements unmittelbar angeordnet ist. Die zumindest eine Kühlleitung ist in einem separaten Kühlkörper ausgebildet, der mit dem Körper des optisch wirksamen Elements fest verbunden oder in diesen integriert ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein optisches Bauelement, mit zumindest einem optisch wirksamen Element, das sich bei Bestrahlung mit Licht erwärmt, und mit zumindest einem Fassungselement zum Befestigen des zumindest einen optisch wirksamen Elements an einer Haltestruktur, wobei das zumindest eine optisch wirksame eine Element einen Körper aufweist, und mit einer aktiven Kühlung, die zumindest eine mit einem Kühlmedium beaufschlagbare Kühlleitung aufweist, die in oder an dem Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements unmittelbar angeordnet ist.

Ein derartiges optisches Bauelement ist aus dem Dokument WO 2005/054547 A2 bekannt.

Die Erfindung betrifft ohne Beschränkung der Allgemeinheit insbesondere die Minimierung von Thermalgradienten in einem Kollektor für die EUV-Lithographie. Diese Art der Lithographie verwendet Licht im extremen ultravioletten Spektralbereich, insbesondere Licht einer Wellenlänge von 13 nm zur Abbildung eines Retikels auf einen Wafer.

Die Simulationsergebnisse für den Kollektor des EUV-Beleuchtungssystems zeigen auf, dass sich der Kollektor im Betrieb stark erwärmt und dadurch deformiert wird. Diese Deformation verändert sich während des Betriebs zunehmend und verändert das optische Verhalten des Systems. Dieses sich während des Betriebs verändernde optische Verhalten wird auch als so genannter "transienter Effekt" bezeichnet.

Obwohl die vorliegende Erfindung insbesondere mit Bezug auf einen Kollektor zur Verwendung in der EUV-Lithographie beschrieben wird, ist die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränkt. Es versteht sich, dass die Erfindung auch auf andere optische Bauelemente allgemein anwendbar ist.

Mit Bezug auf 1 der beigefügten Zeichnungen wird das Erwärmen eines allgemeinen optischen Bauelements kurz erläutert. 1 zeigt einen einfallenden Lichtstrahl 1, der auf ein optisches Bauelement trifft. Das optische Bauelement ist beispielsweise ein Spiegel, der ein optisch wirksames Element aufweist, das ein Substrat 4, beispielsweise einen Substratkörper, und eine optisch wirksame Schicht 3, beispielsweise eine reflektierende Schicht, aufweist, an der der Lichtstrahl abgelenkt oder reflektiert wird, wie durch das Bezugszeichen 2 angedeutet ist. Substrat 4 und Schicht 3 bilden den Körper des optisch wirksamen Elements. Andere optische Bauelemente, wie Linsen, Prismen, Gitter, Strahlteiler usw., sind als weitere Anwendungsfälle denkbar.

Ein Teil der eintreffenden Energie 1 wird auf der optischen Schicht 3 oder im Substrat 4 des optisch wirksamen Elements absorbiert. Dadurch entsteht Wärme 5, die sich im Substrat 4 ausbreitet. Diese Wärme wird in den meisten Fällen schlecht abgeführt, da die Fassungselemente 6 zur Haltestruktur 7 hin und auch das Material des Substrats 4 des optisch wirksamen Elements eine schlechte Wärmeleitung besitzen. Der Körper dehnt sich aus. Diese Ausdehnung wird durch die Fassungselemente 6 und die Haltestruktur 7 behindert, was zu lokalen Verformungen des optisch wirksamen Elements und somit zu Verschlechterungen des optischen Leistungsvermögens des Geräts führt, in dem das optische Bauelement verwendet wird.

Zusammenfassend treten folgende Probleme auf. Zum einen wird das optische Bauelement zu heiß. Dadurch könnte das Substratmaterial des optisch wirksamen Elements und die optischen Schichten, wie die Schicht 3, zerstört werden. Zum anderen wird das optische Bauelement, insbesondere das optisch wirksame Element, so stark deformiert, dass das optische Leistungsvermögen des Systems außerhalb der geforderten Spezifikation ist. Des Weiteren kann sich die Deformation des optisch wirksamen Elements während des Betriebs ("transiente Effekte") verändern. Eine einmalige (statische) Korrektur des sich ergebenden Fehlers im optischen System, beispielsweise mit Hilfe anderer optischer Bauelemente, ist somit nicht ausreichend.

Das Dokument WO 2005/054547 A2 offenbart ein Verfahren zur Herstellung metallischer Bauelemente, worunter nach diesem Dokument auch optische Bauelemente, bspw. Spiegel, die in EUV-Systemen eingesetzt werden, zu verstehen sind. Bei den dort beschriebenen Verfahren wird auf ein Substrat eine erste Schicht galvanisiert, auf die wiederum eine Maskenschicht aus einem schmelzbaren Material aufgetragen wird. In die Maskenschicht werden Kanäle eingebracht, und anschließend wird die Maskenschicht einschließlich der zuvor herausgearbeiteten Kanäle mit einer weiteren Schicht übergalvanisiert. Nach Ausschmelzen der Maskenschicht entstehen dann Kanäle, die als Kühlleitungen dienen.

Der Nachteil dieses Verfahrens besteht darin, dass die Herstellung des Kühlsystems mit der Herstellung der optisch wirksamen Schicht einhergeht, was zum einen die optisch wirksame Schicht beeinträchtigen kann, andererseits aber auch das Herstellungsverfahren des Kühlsystems aufwändig werden lässt. Außerdem ist die Dichtigkeit der Kühlleitungen bei diesem Herstellungsprozess nicht leicht kontrollierbar.

Das Dokument EP 1 387 054 A2 offenbart eine Kühlvorrichtung und ein Kühlverfahren zum Kühlen eines optischen Bauelements, das in einer Vakuumatmosphäre betrieben wird. Die Kühlvorrichtung umfasst einen Kühlteil, der durch Strahlung Wärme vom optischen Bauelement aufnimmt und abführt. Das Kühlteil ist von dem optischen Bauelement beabstandet angeordnet. Eine Steuereinrichtung zum Steuern der Temperatur des Strahlungs-Kühlteils ist vorgesehen.

Diese Kühlvorrichtung ist kostenaufwendig, da sie eine beträchtliche Zahl an zusätzlichen Teilen erfordert, wodurch außerdem der Bauraum des optischen Bauelements nachteiligerweise erhöht wird. Außerdem ist eine auf Strahlung basierende Kühlung wenig effektiv.

Das Dokument US 2004/0051984 A1 offenbart Vorrichtungen und Verfahren zum Kühlen optischer Bauelemente, die in Vakuum-Umgebungen verwendet werden. Die Kühlvorrichtung weist eine wärmeaufnehmende Platte auf, die in der Nähe eines optischen Bauelements entlang dessen Oberfläche angeordnet ist, die der mit Licht beaufschlagten Oberfläche des optischen Bauelements abgewandt ist. Auch bei dieser Kühlvorrichtung wird die Wärme vom optischen Bauelement durch Strahlung auf die Kühlvorrichtung abgeführt. Zusätzlich wird dort ein Verfahren beschrieben, das optische Bauelement mittels eines Kühlmediums durch Konvektion zu kühlen.

Bei einem thermisch hoch belasteten optischen Bauelement, wie beispielsweise dem Kollektor eines mit einer Hochleistungsquelle betriebenen EUV-Lithographiesystems, ist eine derartige Kühlung in den meisten Fällen nicht ausreichend, weil sich zu hohe Temperaturen auf dem optischen Bauelement einstellen, die zu einer starken Deformation führen oder die optischen Schichten und die optischen Materialien, insbesondere unter thermomechanischer Beanspruchung, beschädigen.

Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein anderes Kühlkonzept für ein optisches Bauelement bereitzustellen, das einerseits weniger kostenaufwendig und andererseits nichtsdestoweniger darin wirksam ist, Verschlechterungen des Leistungsverhaltens des optischen Bauelements und damit des optischen Systems, in dem das optische Bauelement verwendet wird, zu vermeiden oder zumindest zu vermindern.

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein optisches Bauelement bereitzustellen, an dem ein derartiges Kühlkonzept verwirklicht ist.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe hinsichtlich des eingangs genannten Bauelements dadurch gelöst, dass die zumindest eine Kühlleitung an einem separaten Kühlkörper ausgebildet ist, der mit dem Körper des optischen wirksamen Elements fest verbunden oder in diesen integriert ist.

Das erfindungsgemäße Kühlkonzept beruht darauf, das optisch wirksame Element des optischen Bauelements selbst zu kühlen, und zwar mittels einer aktiven Kühlung, die zumindest eine mit einem Kühlmedium beaufschlagbare Kühlleitung aufweist, die am optisch wirksamen Element unmittelbar angeordnet ist oder in dieses integriert ist. Eine direkte Kühlung des optisch wirksamen Elements des optischen Bauelements selbst stellt eine effektivere Kühlung dar, um eine möglichst niedrige, konstante Temperatur des optischen Bauelements zu erreichen, da die Kühlung nun direkt an demjenigen Element angreift, das sich als erstes und am stärksten erwärmt, nämlich das optisch wirksame Element selbst.

Die Ausbildung der zumindest einen Kühlleitung an einem separaten Kühlkörper, der auf diese Weise vorzugsweise als solches vorgefertigt werden kann, hat den Vorteil, dass die Herstellung des Kühlkörpers bis zur Fertigstellung des Kühlkörpers zunächst unabhängig von der Herstellung des optisch wirksamen Bauelements erfolgen kann, und erst in einem späteren Arbeitsgang dann der Kühlkörper mit dem Körper des optisch wirksamen Elements verbunden wird. Beeinträchtigungen des optisch wirksamen Bereichs des optisch wirksamen Elements können so vermieden bzw. zumindest verringert werden, und es ist ebenso möglich, wenn der Kühlkörper bereits kühlmediumdicht hergestellt wird, die Dichtigkeit des Kühlsystems leichter zu kontrollieren. Das Herstellungsverfahren des optischen Bauelements wird somit vereinfacht.

Vorzugsweise weist der Kühlkörper die zumindest eine Kühlleitung bereits kühlmediumdicht auf, oder der Kühlkörper ist erst durch die Verbindung mit dem Körper des optisch wirksamen Elements kühlmediumdicht.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung weist der Körper eine Grundschicht, die den optisch wirksamen Bereich des zumindest einen optisch wirksamen Elements bildet oder zumindest aufweist, und zumindest eine mit der Grundschicht verbundene Deckschicht auf, wobei der Kühlkörper zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht angeordnet ist.

Ein solch mehrschichtiger Aufbau des optisch wirksamen Elements stellt eine Maßnahme dar, die auf vorteilhaft kostengünstige Weise die Integration des Kühlkörpers in den Körper des optisch wirksamen Elements ermöglicht.

Wie in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen ist, werden die Grundschicht und die zumindest eine Deckschicht mittels Galvanoformung oder Elektroformung gefertigt, d.h. die Grundschicht und die zumindest eine Deckschicht werden sukzessive gefertigt, und beispielsweise nach Herstellung der Grundschicht können dann zunächst die für die Kühlung vorgesehenen Teile auf der Grundschicht angebracht werden, bevor die Deckschicht angalvanisiert oder auf andere Weise angebracht wird.

Alternativ zu der zuvor genannten Ausgestaltung weist der Körper eine Grundschicht auf, die den optisch wirksamen Bereich des zumindest einen optischen wirksamen Elements bildet, und zumindest eine Deckschicht, wobei der Kühlkörper durch die zumindest eine Deckschicht gebildet ist, die so vorgeformt ist, dass die zumindest eine Kühlleitung als Hohlraum durch eine lokale Beabstandung der zumindest einen Deckschicht von der Grundschicht zwischen der Grundschicht und Deckschicht ausgebildet ist.

Hierbei bildet die Deckschicht selbst den Kühlkörper, und die Verbindung mit dem Körper dient im Wesentlichen der Abdichtung der die zumindest eine Kühlleitung aufweisenden Kühleinrichtung. Die Deckschicht ist zur Ausbildung der Hohlräume entsprechend vorgeformt. Diese Ausgestaltung des optischen Bauelements hat den Vorteil einer noch weiter vereinfachten und somit kostengünstigeren Herstellung des optischen Bauelements, da die zumindest eine Kühlleitung nicht als separate Kühlleitung ausgebildet werden muss, sondern das Kühlmedium direkt durch den Hohlraum zwischen der zumindest einen Deckschicht und der Grundschicht durchgeleitet werden kann. Außerdem kann hier durch eine besonders großflächige Wärmeabsorption erreicht werden.

Der Hohlraum kann sich in Umfangs- und/oder axialer Richtung erstrecken.

Alternativ hierzu kann die zumindest eine Kühlleitung des Kühlkörpers auch als separate Kühlleitung ausgebildet und auf einer Rückseite des Körpers angeordnet und mit diesem wärmeleitend verbunden sein.

Der Vorteil dieser Maßnahme besteht darin, dass insbesondere im Falle des Vorsehens einer Mehrzahl von Kühlleitungen diese bereits zu dem Kühlkörper vorgefertigt werden können, der dann anschließend mit dem Körper des optisch wirksamen Elements nur noch zu verbinden ist.

Im Falle der Ausgestaltung des Körpers des optisch wirksamen Elements mit Grundschicht und zumindest einer Deckschicht ist es ebenso bevorzugt, wenn die zumindest eine Kühlleitung des Kühlkörpers als separate Kühlleitung ausgebildet ist, die zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht angeordnet ist.

Dabei kann die zumindest eine separate Kühlleitung als Röhrchen mit vollumfänglich geschlossener Wand ausgebildet sein, oder die zumindest eine separate Kühlleitung kann als teilumfänglich offenes Kanalelement ausgebildet sein, das mit seiner Offenseite an der Grundschicht oder der zumindest einen Deckschicht dicht anliegt.

Bei letzterer Ausgestaltung wird somit die Abdichtung der zumindest einen separaten Kühlleitung durch die Grundschicht oder die zumindest eine Deckschicht bewerkstelligt.

Als weitere Alternative kann die zumindest eine separate Kühlleitung als teilumfänglich offenes Kanalelement ausgebildet sein, dessen Offenseite von dem Körper oder Grundschicht abgewandt angeordnet ist, und wobei die Offenseite durch ein Deckelement geschlossen ist.

Des Weiteren ist es bevorzugt, wenn ein Füllstoff zur Ausfüllung von Spalten zwischen der zumindest einen Kühlleitung und dem Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements vorhanden ist.

Der Vorteil des Vorsehens eines Füllstoffs besteht darin, dass der Füllstoff Luftbrücken zwischen dem Körper und der Kühlleitung auf Grund von Formungenauigkeiten des Körpers des optisch wirksamen Elements und/oder der Kühlleitung schließt, so dass das erfindungsgemäße optische Bauelement für Vakuumanwendungen besonders geeignet ist, da Hohlräume vermieden werden, die zu Ausgasungen Anlass geben.

Eine weitere Minimierung von Luftbrücken zwischen der Kühlleitung und dem Körper des optisch wirksamen Elements ist die Kühlleitung vorzugsweise an die Form des Körpers des optisch wirksamen Elements so exakt wie möglich angepasst.

Hierzu kann bspw. die zumindest eine Kühlleitung, bspw. wenn diese als Röhrchen ausgebildet ist, vorgebogen werden, um sich an eine Biegung des Körpers des optisch wirksamen Elements anzupassen. Alternativ oder zusätzlich kann auch der Körper des optisch wirksamen Elements zunächst etwas dicker hergestellt werden, und anschließend auf das gewünschte Maß formgetreu abgedreht werden. Auch hierdurch wird die Formgenauigkeit und somit die formgetreue Anpassung der Kühlleitung an den Körper des optisch wirksamen Elements verbessert.

Hierbei ist von Vorteil, dass zunächst das Kühlsystem, insbesondere mit mehreren Kühlleitungen, in einem separaten Arbeitsschritt vorgefertigt werden kann, und der fertige Kühlkörper mit der zumindest einen Kühlleitung dann nur noch mit dem Körper des optisch wirksamen Elements fest verbunden oder in diesen integriert werden muss.

Auch hier kann es wieder im Fall, dass der Körper des optisch wirksamen Elements eine Grundschicht und zumindest eine Deckschicht aufweist, vorgesehen sein, den Kühlkörper zwischen der Grundschicht und zumindest einen Deckschicht anzuordnen.

Wie bereits erwähnt, kann der Kühlkörper die zumindest eine Kühlleitung bereits kühlmediumdicht aufweisen.

Bei dieser Ausgestaltung wird somit der Kühlkörper bereits als in sich kühlmediumdichtes System vorgefertigt und dann mit dem Körper des optisch wirksamen Elements verbunden, wodurch weitere Abdichtungsmaßnahmen bei der Fertigung des optischen Bauelements nicht mehr erforderlich sind.

Wie ebenfalls bereits oben erwähnt, ist es bevorzugt, wenn die aktive Kühlung eine Mehrzahl von Kühlleitungen aufweist, die in oder an dem Körper des optisch wirksamen Elements angeordnet sind.

Dabei können die Kühlleitungen vorzugsweise über einen gemeinsamen Verteilerkanal und/oder einen gemeinsamen Sammelkanal parallel geschaltet sein.

Das Vorsehen eines gemeinsamen Verteilerkanals und/oder eines gemeinsamen Sammelkanals hat den Vorteil, dass für die Zuleitung und/oder Ableitung des Kühlmediums insgesamt nur eine Zuleitung oder eine Ableitung vorgesehen werden muss, wie dies in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Fall ist. Ein weiterer Vorteil dieser Maßnahme besteht darin, dass der Druckabfall in den Kühlleitungen gering gehalten wird, bzw. bei gleichem Druckabfall ein höherer Volumenstrom des Kühlmediums und damit eine bessere Kühlwirkung erreicht werden kann.

Um eine möglichst große Fläche des Körpers des optisch wirksamen Elements wirksam zu kühlen, und somit innerhalb des Körpers des optisch wirksamen Elements Deformationen aufgrund von Thermalgradienten zu vermeiden oder zumindest zu vermindern, ist die zumindest eine Kühlleitung vorzugsweise mäanderförmig, spiralförmig oder geradlinig ausgebildet, wobei im letzteren Fall eine Mehrzahl von Kühlleitungen nebeneinander am oder im Körper des optisch wirksamen Elements angeordnet sind, um eine große Fläche des optisch wirksamen Elements zu kühlen.

Der Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements ist vorzugsweise durch Galvanoformung gefertigt, d.h. durch Abscheiden oder Wachsen einer galvanischen Schicht auf einem Kern, der nach Fertigstellung des Körpers von diesem abgetrennt wird.

Insbesondere im Fall, dass der Körper des optisch wirksamen Elements eine Grundschicht und zumindest eine Deckschicht aufweist, sind auch diese beiden Schichten vorzugsweise durch Galvanoformung gefertigt.

Bei der Galvanoformung besteht ein wesentlicher Vorteil darin, dass das Kühlsystem ohne Verwendung von Klebstoffen oder dergleichen abgedichtet werden kann, da die Verwendung von Klebstoffen den Nachteil hat, dass diese insbesondere aufgrund der wiederholten Wärmeeinwirkung altern und sich die Klebung während des Betriebs lösen kann. Bei der Galvanoformung kann auf jegliche Klebung verzichtet werden.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung ist am oder im Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements zumindest ein Temperatursensor angeordnet.

Mittels des Temperatursensors kann die Temperatur des optisch wirksamen Elements des optischen Bauelements während des Betriebs überwacht und gegebenenfalls durch ein Regelsystem, das auf die Kühlung einwirkt, geregelt werden.

Im Fall, dass der Körper des optisch wirksamen Elements eine Grundschicht und zumindest eine Deckschicht aufweist, ist der Temperatursensor zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht eingebettet.

Insbesondere im Zusammenhang mit einer der zuvor genannten Ausgestaltungen, wonach die Grundschicht und die zumindest eine Deckschicht als galvanische Schichten gefertigt sind, kann somit der Temperatursensor ohne die Verwendung von Klebstoffen in den Körper des optisch wirksamen Elements integriert werden.

In vergleichbarer Weise ist auch das zumindest eine Fassungselement, mit dem das optisch wirksame Element mit der Haltestruktur verbunden ist, mit dem Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements fest verbunden, indem ein Abschnitt des Fassungselements zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht eingebettet ist, wenn der Körper einen Aufbau mit Grundschicht und zumindest einer Deckschicht aufweist.

Auch in diesem Fall besteht ein besonderer Vorteil darin, wenn die Grundschicht und die zumindest eine Deckschicht galvanisch hergestellt sind, dass das zumindest eine Fassungselement ohne Verwendung von Klebstoffen mit dem Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements fest verbunden werden kann.

Des Weiteren kann vorzugsweise am oder im Körper des zumindest einen optisch wirksamen Elements noch zumindest ein Heizelement angeordnet sein.

Dieses kann beispielsweise ein auf elektrischer Widerstandsheizung basierendes Heizelement sein, wie in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen ist.

Das Vorsehen zumindest eines Heizelements für das optisch wirksame Element hat den Vorteil, dass das optisch wirksame Element mittels des Heizelements schnell auf Betriebstemperatur gebracht werden kann, und in Verbindung mit der aktiven Kühlung kann dann die Betriebstemperatur während des Betriebs des optischen Bauelements möglichst konstant gehalten werden, um transiente Effekte im optisch wirksamen Element und damit im optischen Bauelement zu vermeiden oder zumindest zu verringern.

Anstelle der Verwendung eines auf elektrischer Widerstandsheizung basierenden Heizelements kann auch vorzugsweise die zumindest eine Kühlleitung anstatt mit dem Kühlmedium oder zusätzlich dazu mit einem Heizmedium beaufschlagt werden, beispielsweise kann zu Beginn des Betriebs des optischen Bauelements durch die zumindest eine Kühlleitung ein warmes Medium geleitet werden, bis das optische Bauelement auf Betriebstemperatur ist, und anschließend wird die Temperatur des wärmenden Mediums im Sinne einer Kühlung verringert.

Bevorzugtes Anwendungsbeispiel des erfindungsgemäßen Kühlkonzepts ist ein Spiegel als das zumindest eine optisch wirksame Element, insbesondere eine Spiegelschale eines Kollektors, insbesondere für die EUV-Lithographie, als das optische Bauelement.

Dabei kann der Kollektor eine Mehrzahl von ineinander genesteten Spiegelschalen aufweisen.

Im Falle des Vorsehens einer aktiven Kühlung gemäß einer oder mehrerer der oben genannten Ausgestaltungen kann dies, insbesondere im Falle eines Kollektors der Spiegelschalen, zu einer Dickenerhöhung der einzelnen Spiegelschalen führen. Um jedoch bei streifendem Lichteinfall eine Ausblendung eines Teils des Lichts zu vermeiden, ist es in einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung vorgesehen, dass ein im Betrieb des Bauelements einer Lichtquelle zugewandtes Ende des Körpers der Spiegelschale verjüngt bzw. dünner ausgebildet ist als der übrige Körper der Spiegelschale.

Somit wird auf der Strahleintrittsseite der jeweiligen Spiegelschale durch die Verjüngung oder Dickenverringerung eine Ausblendung eines Teils des Lichts vermieden oder zumindest verringert, wodurch die optischen Eigenschaften des Kollektors trotz Vorsehens einer aktiven Kühlung der Spiegelschalen nicht beeinträchtigt werden.

Das Ende des Körpers der Spiegelschale kann dabei vorzugsweise spitz zulaufend abgedreht oder separat als Keil gefertigt sein. Des Weiteren ist es bevorzugt, wenn das Ende des Körpers der Spiegelschale verspiegelt oder poliert ist, um den Wärmeeintrag in die Spiegelschale am Ende des Körpers zu verringern.

Weitere Vorteile und Merkmale gehen aus der nachfolgenden Beschreibung und den beigefügten Zeichnungen hervor.

Es versteht sich, dass die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der jeweils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden mit Bezug auf diese hiernach näher beschrieben. Es zeigen:
1 eine Prinzipdarstellung eines optischen Bauelements, an dem die technische Problemstellung erläutert wurde;
2 einen EUV-Kollektor in einer perspektivischen Darstellung;
3 ein allgemeines Ausführungsbeispiel zur Erläuterung eines Prinzips einer Kühlung eines optischen Bauelements;
4a) bis c) drei Hauptverfahrensschritte der Fertigung einer Spiegelschale mittels Galvanoformung in schematischer Halbdarstellung;
5a) und b) zwei weitere Verfahrensschritte, die die Implementierung einer aktiven Kühlung in eine Spiegelschale in einer schematischen Halbdarstellung veranschaulichen;
6a) und b) einen weiteren Verfahrensschritt der Implementierung einer aktiven Kühlung in eine Spiegelschale in einer schematischen Halbdarstellung, wobei 6a) eine geschnittene Seitenansicht und 6b) eine Draufsicht auf die Spiegelschale ist;
7 eine alternative Implementierung einer aktiven Kühlung in Abwandlung der Darstellung in 6;
8a) bis e) schematische Darstellungen einer Spiegelschale in Seitenansicht, wobei verschiedene Verläufe einer oder mehrerer Kühlleitungen der aktiven Kühlung veranschaulicht sind;
9 eine weitere Alternative einer Implementierung einer aktiven Kühlung in eine nur ausschnittsweise dargestellte Spiegelschale;
10a) und b) eine noch weitere Alternative einer Implementierung einer aktiven Kühlung in eine in 10a) ausschnittsweise dargestellte Spiegelschale, wobei 10b) die Spiegelschale in Seitenansicht zeigt;
11 eine noch weitere Variante einer Implementierung einer aktiven Kühlung in eine ausschnittsweise dargestellte Spiegelschale;
12 eine noch weitere Variante einer Implementierung einer aktiven Kühlung in eine ausschnittsweise dargestellte Spiegelschale;
13 eine Implementierung eines Temperatursensors in eine ausschnittsweise dargestellte Spiegelschale in einer Prinzipdarstellung;
14 eine weitere Prinzipdarstellung, die veranschaulicht, wie ein Fassungselement in eine Spiegelschale integriert werden kann;
15 eine Halbdarstellung eines Fassungselements zur Befestigung einer Spiegelschale an einer Haltestruktur in Alleinstellung;
16 eine Prinzipdarstellung eines weiteren Aspekts der vorliegenden Erfindung zur Implementierung einer aktiven Kühlung in ein optisches Bauelement;
17 die Übertragung des Prinzips gemäß 16 auf eine Spiegelschale;
18a) und b) eine Variante der Implementierung einer aktiven Kühlung in eine Spiegelschale, wobei 18a) die Spiegelschale in Seitenansicht im Längsschnitt in Halbdarstellung und 18b) die Spiegelschale in einer Volldarstellung und im Querschnitt darstellt;
19 eine Alternative der Implementierung einer aktiven Kühlung in eine Spiegelschale in einer Darstellung analog zu 18b);
20a) bis d) einen weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung am Beispiel ausschnittsweise dargestellter Spiegelschalen.
Mit Bezug auf 3 wird zunächst ein prinzipieller Aspekt der vorliegenden Erfindung erläutert. In 3 ist ein mit dem allgemeinen Bezugszeichen 10 versehenes optisches Bauelement dargestellt, das beispielsweise ein Spiegel ist.
Das optische Bauelement 10 weist ein optisch wirksames Element 12 auf, das einen Körper 14 aufweist, der eine optisch wirksame Schicht 16, beispielsweise eine reflektierende Schicht, und im Übrigen ein Substrat aufweist. Der Körper 14 ist über Fassungselemente 18 mit einer Haltestruktur 20 verbunden.
Das optische Bauelement 10 weist eine aktive Kühlung 22 auf, die zumindest eine Kühlleitung 24 aufweist, die mit einem Kühlmedium beaufschlagt werden kann. Das Kühlmedium kann beispielsweise Wasser sein. Die zumindest eine Kühlleitung 24 ist bei dem erfindungsgemäßen Kühlkonzept unmittelbar im oder am Körper 14, im gezeigten Ausführungsbeispiel im Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12, angeordnet. Die Kühlung des optischen Bauelements 10 setzt somit unmittelbar am Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 an.
Das Kühlmedium kann gemäß einem Pfeil 26 durch eine Eintrittsöffnung in die Kühlleitung 24 eingeleitet und gemäß einem Pfeil 28 durch eine Austrittsöffnung wieder abgeführt werden. Das Kühlmedium strömt somit durch den Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12.
Trifft nun im Betrieb des optischen Bauelements 10 Licht 30 auf die optisch wirksame Schicht 16 des optisch wirksamen Elements 12 und wird an dieser gemäß 32 reflektiert, wird Wärme 34 im Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 absorbiert, und diese Wärme wird sofort an das Kühlmedium, das durch die Kühlleitung 24 strömt, abgeführt. Dadurch heizt sich das optisch wirksame Element 12 nur geringfügig auf, und es kommt nur zu geringen Deformationen des optisch wirksamen Elements 12. Durch die direkte aktive Kühlung des optisch wirksamen Elements 12 erfahren die Fassungselemente 18 zudem keine oder keine wesentlichen Temperaturänderungen, die des Weiteren zu Deformationen des optisch wirksamen Elements 12 und damit zur Verschlechterung des optischen Leistungsverhaltens führen könnten.
Mit Bezug auf 2 wird nun ein optisches Bauelement beschrieben, bei dem das mit Bezug auf 3 beschriebene Kühlkonzept verwirklicht werden kann. In 2 und den folgenden noch zu beschreibenden Figuren werden für gleiche oder vergleichbare Teile die gleichen Bezugszeichen verwendet.
Das in 2 dargestellte optische Bauelement 10 ist ein EUV-Kollektor, der im Rahmen der EUV-Lithographie verwendet wird. Als optisch wirksame Elemente 12 weist der Kollektor eine Mehrzahl von Spiegelschalen 36 auf, die jeweils für sich rotationssymmetrisch bezüglich einer Symmetrieachse 38 ausgebildet und konzentrisch zueinander ineinander genestet sind. Die einzelnen Spiegelschalen 36 haben eine Ausdehnung in Richtung der Symmetrieachse 38, wobei ihre optisch wirksame Schicht jeweils durch die Oberfläche gebildet wird, die der Symmetrieachse 38 zugewandt ist, also jeweils ihre innere Oberfläche. Im Betrieb des Kollektors 10 tritt Licht von einer Lichtquelle 40, die auf der Symmetrieachse 38, jedoch außerhalb der Spiegelschalen 36 angeordnet ist, in den Kollektor 10 ein und wird an den der Symmetrieachse 38 zugewandten Oberflächen der einzelnen Spiegelschalen 36 reflektiert. Der Einfall des Lichts der Lichtquelle 40 auf die einzelnen Spiegelschalen 36 ist dabei mehr oder weniger streifend.
Als Fassungselemente 18 weist der Kollektor 10 beispielhaft eine Mehrzahl von Speichen 42 auf, im gezeigten Ausführungsbeispiel insgesamt sechs Speichen. Die sechs Speichen gehen in ein gemeinsames Speichenrad 44 über.
Jede einzelne der Spiegelschalen 36 weist eine im Wesentlichen topfförmige Struktur auf, die an beiden Längsenden offen ist.
Mit Bezug auf 4a) bis 4c) wird zunächst allgemein und prinzipiell die Herstellung eines einzelnen optisch wirksamen Elements 12 in Form einer Spiegelschale 36 beschrieben.
Die optisch wirksamen Elemente 12 in Form der Spiegelschalen 36 werden durch Galvanoformung, was auch als Elektroformung bezeichnet wird, hergestellt.
Dazu wird ein Kern oder Mandrel 46 verwendet, dessen Außenumfangskontur der gewünschten Kontur des optisch wirksamen Bereichs bzw. der optisch wirksamen Schicht 16 entspricht.
Zunächst wird die optisch wirksame Schicht 16 auf den Kern 46 galvanisch aufgebracht, wie in 4a) dargestellt ist. Zur weiteren Ausbildung des Körpers 14 des optisch wirksamen Elements 12 wird gemäß 4b) eine Substratschicht 48 auf die optisch wirksame Schicht 16 galvanisch aufgebracht. Die Substratschicht 48 ist üblicherweise ein metallisches Substrat, beispielsweise Nickel, das galvanisch auf die optisch wirksame Schicht 16 abgeschieden wird. Neben Nickel sind auch andere Metalle, wie Kupfer, Silber, Wolfram usw. verwendbar. Sobald die gewünschte Dicke der Substratschicht 48 erreicht ist, wird die Gesamtschicht aus optisch wirksamer Schicht 16 und Substratschicht 48 von dem Kern 46 getrennt, wie in 4c) dargestellt ist. Die optisch wirksame Schicht 16 ist nun auf die Substratschicht 48 übertragen worden.
Ausgehend von 4b) wird nachfolgend mit Bezug auf 5 und 6 beschrieben, wie eine aktive Kühlung, die bereits prinzipiell mit Bezug auf 3 beschrieben wurde, in das optisch wirksame Element 12 in Form der Spiegelschale 36 implementiert werden kann.
Gemäß 5a) wird in die gemäß 4b) hergestellte Substratschicht 48 zumindest ein Kanal 50 eingearbeitet, beispielsweise durch Fräsen, Erodieren, Schleifen oder andere geeignete Verfahren, wobei der Kanal 50 mit einem elektrisch leitfähigen Material 52 ausgefüllt wird. Es versteht sich, dass mehrere solcher Kanäle 50 in die Substratschicht 48 eingearbeitet werden können, die dann entsprechend mit dem leitfähigen Material 52 ausgefüllt werden.
Im Anschluss wird gemäß 5a) optional eine weitere Schicht 54 aufgebracht.
Anschließend werden die Bereiche der Substratschicht 48 an den Enden des Kanals 50, also dessen Stirnseiten, entfernt, so dass die Stirnseiten des Kanals 50 offenliegen und das leitfähige Material, d.h. der Füllstoff 52, wieder entfernt werden kann. Dies geschieht beispielsweise mit Lösungsmitteln oder durch Erhitzen, so dass der Füllstoff 52 flüssig wird und auslaufen kann. Als Füllstoffe kommen elektrisch leitfähiges Wachs, Metalle bzw. Metalllegierungen mit niedrigem Schmelzpunkt in Frage. Alternativ kann man auch gummiartige Werkstoffe verwenden, die mit einer Trennschicht versehen werden und nach dem Übergalvanisieren und Öffnen der Kanäle mechanisch herausgezogen werden.
Alternativ zur Verwendung eines Füllstoffs 52 kann der Kanal 50 mit einer dünnen Metallfolie, die beispielsweise selbstklebend ist oder andersartig befestigt wird, abgedeckt werden, bevor die weitere Schicht 54 auf galvanisiert wird.
Nach dem Entfernen des Füllstoffs 52 ist der in 5b) dargestellte Zustand erreicht. Der Kanal 50 bildet nunmehr die zumindest eine Kühlleitung 24, die bereits prinzipiell mit Bezug auf 3 beschrieben wurde, nunmehr in der Spiegelschale 36. Im nächsten Schritt gemäß 6a) und 6b) werden Zu- und Ableitungen für die zumindest eine Kühlleitung 24 angebracht. Hierzu werden in die gemäß 5b) offengelegten Enden des Kanals 50 bzw. der daraus entstandenen Kühlleitung 24 ringförmige Teile 56 und 58 angeordnet, die einen Verteilerkanal 60 und einen Sammelkanal 62 ausbilden, die das Kühlmedium in die in Längsrichtung verlaufenden Kühlleitungen 24 verteilen bzw. aus diesen wieder sammeln. In die ringförmigen Teile 56 und 58 werden beispielsweise Rohrstutzen 64 für den Verteilerkanal 60 und 66 für den Sammelkanal 62 eingebracht, beispielsweise eingeschweißt oder eingelötet, die als Zuleitung bzw. Ableitung für das Kühlmedium dienen.
Auf diese Weise weist die so hergestellte Spiegelschale 36 umfänglich verteilt eine Mehrzahl von Kühlleitungen 24 auf, die in Längsrichtung der Spiegelschale 36 verlaufen, und die an ihrem einen Ende über den Verteilerkanal 60 und am anderen Ende über den Sammelkanal 62 parallel geschaltet sind, wie aus 6b) hervorgeht.
Zum Schluss wird eine weitere Galvanikschicht 68 über alle Teile aufgebracht, die alle Spalte zwischen den Teilen abdeckt und somit für die Dichtheit des Kühlsystems sorgt.
Bei dem bisher beschriebenen Ausführungsbeispiel bilden die optisch wirksame Schicht 16 und die Substratschicht 48 eine Grundschicht des Körpers 14 des optisch wirksamen Elements 12 in Form der Spiegelschale 36, und die Schichten 54, 68 bilden zumindest eine Deckschicht, so dass die zumindest eine Kühlleitung 24 zwischen der Grundschicht und der Deckschicht als Hohlraum angeordnet ist.
In 7 ist eine Alternative zur Vorgehensweise in 6 dargestellt, bei der die zumindest eine Kühlleitung 24 an ihren Enden wiederum mit Rohrstutzen 64 und 66 versehen ist, wobei die Rohrstutzen 64 und 66 jedoch hier einen Flansch 70 bzw. 72 aufweisen, der zur besseren Abdichtung der Kühlleitung 24 dient. Vollständig abgedichtet wird die Variante gemäß 7 wieder vorzugsweise durch Übergalvanisieren mit einer Galvanikschicht 68 wie in 6a), alternativ durch Löten oder andere Verfahren.
Mit Bezug auf 8a) bis 8e) werden verschiedene mögliche, jedoch nicht abschließende Beispiele für die Führung einer oder mehrerer Kühlleitungen 24 bei der Spiegelschale 36 näher beschrieben.
Mit Bezug auf 6 wurde eine Parallelführung des Kühlmediums in einer Mehrzahl von Kühlleitungen 24 beschrieben, bei der das Kühlmedium durch einen Verteilerkanal 60 in die verschiedenen Kühlleitungen 24 verteilt und über einen Sammelkanal 62 wieder gesammelt wird. Diese Variante ist in 8a) schematisch dargestellt. Pfeil 26 zeigt die Richtung der Zufuhr und der Pfeil 28 die Richtung der Abfuhr des Kühlmediums aus den Kühlleitungen 24 an.
8b) zeigt eine mäanderförmige Führung der zumindest einen Kühlleitung 24 vollumfänglich um die Spiegelschale 36 herum, wobei die eine Kühlleitung 24 keine Verzweigungen aufweist.
8c) zeigt eine Variante mit einer Mehrzahl mäanderförmiger Kühlleitungen 24, die über Verzweigungen oder T-Stücke parallel geschaltet sind, wie bei 74 angedeutet ist.
8d) zeigt eine Variante, bei der die eine Kühlleitung 24 spiralförmig und ohne Verzweigung am bzw. im Körper 14 der Spiegelschale 36 angeordnet ist, während 8e) mehrere spiralförmige Kühlleitungen 24 zeigt, die wieder über einen Ver teilerkanal 60 und einen Sammelkanal 62 parallel geschaltet sind.
Die Wahl des geeigneten Layouts der zumindest einen Kühlleitung 24 fällt z.B. nach bauraummäßigen Gesichtspunkten. Während eine Parallelschaltung besonders bei engem Bauraum günstig ist, bietet sich eine Reihenschaltung dann an, wenn die zumindest eine Kühlleitung einen großen Querschnitt haben kann.
Die Wahl des geeigneten Layouts der zumindest einen Kühlleitung 24 fällt aber auch unter Berücksichtigung des Druckabfalls und der damit zusammenhängenden Kühlungsleistung.
Bei allen zuvor beschriebenen Varianten des Verlaufs der Kühlleitungen ist es bevorzugt, wenn die Kühlleitungen an einem Kühlkörper ausgebildet sind, der unabhängig von dem Körper bzw. der Grundschicht des Körpers des optischen Bauelements vorgefertigt werden kann und dann mit dem Körper verbunden wird., wie später näher beschrieben wird.
Mit Bezug auf 9 ff. werden Ausgestaltungsvarianten eines Kühlsystems ebenfalls am Beispiel einer Spiegelschale 36 beschrieben, bei denen die zumindest eine Kühlleitung als separate Kühlleitung am oder im Körper der Spiegelschale ausgebildet ist, insbesondere durch Herstellung eines separaten Kühlkörpers.
Ausgangspunkt für die folgende Beschreibung kann wieder insbesondere 4b) sein, wonach die optisch wirksame Schicht 16 und die Substratschicht 48 galvanisch auf dem Kern 46 gebildet worden sind.
Die optisch wirksame Schicht 16 und die Substratschicht 48 bilden hier wiederum die Grundschicht des Körpers 14 des optisch wirksamen Elements 12 in Form der Spiegelschale 36.
Gemäß 9 werden auf die Grundschicht 16, 48 vollumfänglich geschlossene Röhrchen 76 aufgebracht, die eine entsprechende Anzahl an Kühlleitungen 24 darstellen. Die Röhrchen 76 können vorgebogen sein, um sich besser großflächig an die Grundschicht 16, 48 anzulegen, was für einen guten Wärmeübergang von der Grundschicht 16, 48 in das durch die Röhrchen 76 strömende Kühlmedium wichtig ist. Anstelle eines Vorbiegens der Röhrchen 76 können diese in Längsrichtung auch mehrteilig aufgebaut sein, d.h. aus mehreren Teilröhrchen bestehen, die miteinander verschweißt oder verlötet werden. Insbesondere kann das gesamte System aus den Röhrchen 76 als ein Kühlkörper vorgefertigt werden, wobei dann der so hergestellte Kühlkörper einfach über die Grundschicht 16, 48 gestülpt wird. Dies wird später noch näher beschrieben.
Die Röhrchen 76 werden gemäß 9 anschließend mit einer Füllmasse 78 mit der Grundschicht 16, 48 verbunden. Die Füllmasse 78 muss elektrisch leitfähig sein, oder, wenn sie dies nicht ist, kann sie anschließend mit einer elektrisch leitfähigen Schicht, beispielsweise, Silberleitlack, versehen werden.
Die Füllmasse 78 soll Spalte zwischen den Röhrchen 76 und der Grundschicht 16, 48 ausgleichen und thermischen und elektrischen Kontakt herstellen. Die Füllmasse 78 sorgt außerdem für die Haftung einer nachfolgend noch aufzubringenden galvanischen Deckschicht 80. Durch die Füllmasse 78 werden die Schatten bereiche aufgefüllt, in die üblicherweise nur wenig Material durch Galvanoformung gelangen kann.
Anstelle des Aufbringens der Deckschicht 80 können die Röhrchen 76 auch mit der Grundschicht 16, 48 verlötet werden, wobei in diesem Fall dann die Kühlleitungen 24 nicht im Körper 14, sondern am Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 angeordnet sind.
10 zeigt eine weitere Alternative der Implementierung einer aktiven Kühlung in Form separater Kühlleitungen, die bei diesem Ausführungsbeispiel nicht als umfänglich geschlossene Rohre ausgebildet sind, sondern als teilumfänglich offene Kanalelemente.
Die einzelnen, die Kühlleitungen 24 bildenden Kanalelemente 76 sind zunächst an einer dem Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 in Form der Spiegelschale 36 zugewandten Umfangsseite offen, wie in 10a) dargestellt ist. Die Kanalelemente 76 sind bereits an einem Kühlkörper 82 vormontiert, auf dessen Innenseite die Kanalelemente 76 angeordnet sind. Nach dem Überstülpen des Kühlkörpers 82 gemäß 10b) wird wieder eine Galvanik-Deckschicht 80 gemäß 10a) aufgebracht. Die Deckschicht 80 dient vor allem der Abdichtung des Kühlsystems. Alternativ zum Übergalvanisieren des Kühlkörpers 82 mit der Deckschicht 80 kann der Kühlkörper 82 auch mit der Grundschicht 16, 48 verlötet werden.
Der Vorteil der Ausgestaltung des Kühlsystems für das optisch wirksame Element 12 in Form eines separaten Kühlkörpers 82 besteht darin, dass der Kühlkörper 82 sehr formgenau herge stellt werden kann. Als Herstellverfahren für den Kühlkörper 82 kommen alle klassischen zerspanenden Verfahren, beispielsweise Drehen, Fräsen sowie Erodieren, in Frage. Um gleiche Materialien bei dem Kühlkörper 82 wie die Grundschicht 16, 48 realisieren zu können, kommt auch Elektroformung als Herstellverfahren des Kühlkörpers 82 in Frage. Aufgrund des selben Ausdehnungskoeffizienten von Kühlkörper 82, Grundschicht 16, 48 und Deckschicht 80 kommt es bei Erwärmung des Systems dadurch zu keinen Thermalspannungen und daraus resultierenden Deformationen. Die formgenaue Herstellung des Kühlkörpers 82 kann dadurch ergänzt werden, dass die Galvanik-Grundschicht 16, 48 passgenau überarbeitet wird, vorzugsweise durch Drehen oder ein anderes Fertigungsverfahren, wie beispielsweise Fräsen oder Schleifen.
Um einen guten thermischen Kontakt zwischen der Grundschicht 16, 48 und dem Kühlkörper 82 herzustellen, kann der Kühlkörper 82 mit einem thermisch leitenden Füllmaterial bestrichen werden, beispielsweise einem Klebstoff, Wachs oder ähnlichem. Gut eignen sich mit Metallpulver gefüllte Keramikkleber, die, falls sie an die Oberfläche gelangen, nicht ausgasen und für Vakuumanwendungen daher nicht nachteilig sind.
11 zeigt eine weitere Variante einer Implementierung eines Kühlsystems im Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 eines optischen Bauelements in Abwandlung des Ausführungsbeispiels in 10. Während bei dem Ausführungsbeispiel in 10 die einzelnen Kanalelemente 76 auf einer der Grundschicht 16, 48 zugewandten Umfangsseite offen sind und durch Anlage an die Grundschicht 16, 48 abgedichtet sind, sind die Kanalelemente 76 bei dem Ausführungsbeispiel in 11 auf der der Grundschicht 16, 48 zugewandten Seite geschlossen und auf ihrer der Grundschicht 16, 48 abgewandten Umfangsseite zunächst offen, dort aber durch Deckelemente 84 jeweils verschlossen. Hierdurch wird das Risiko einer Leckage des Kühlsystems verringert. Die Kanalelemente 76 mit den Deckelementen 84 können wie bei dem Ausführungsbeispiel in 10 als einheitlicher Kühlkörper 82 ausgebildet sein, der dann ähnlich wie mit Bezug auf 10 beschrieben auf die Grundschicht 16, 48 aufgestülpt und mittels einer Galvanik-Deckschicht 80 befestigt wird. Die Verbindung der Deckelemente 84 mit den Kanalelementen 76 kann beispielsweise mittels Vakuumlöten, Weichlöten oder einem Schweißverfahren, beispielsweise Laser- oder Elektronenstrahlschweißen, hergestellt werden. Ebenso kann die Verbindung des so hergestellten Kühlkörpers 82 mit der Grundschicht 16, 48 anstelle durch Übergalvanisieren, d.h. durch die Deckschicht 80, durch beispielsweise Löten verbunden werden.
Eine weitere Alternative ist in 12 dargestellt. Hier sind die Röhrchen 76, die wiederum vollumfänglich geschlossen sind, in einer Trägerstruktur 86 eingebracht und mit dieser bspw. verlötet, verklebt oder verschweißt. Die Verbindungsstellen befinden sich seitlich an den Röhrchen 76 in Nuten 88 der Trägerstruktur. Somit können Fertigungstoleranzen beispielsweise durch das Biegen der Röhrchen 76 radial ausgeglichen werden, und die Röhrchen 76 sind weniger verspannt. Somit wird das Risiko einer Deformation des optisch wirksamen Elements 12 (Spiegelschale 36) verringert. Auch hier bilden die Röhrchen 76 und die Basisstruktur 86 zusammen wieder einen Kühlkörper 82, der auf die Grundschicht 16, 48 gestülpt und mittels galvanischer Deckschicht 80 übergalvanisiert wird. Die Galvanik-Deckschicht 80 muss, wie aus 12 hervorgeht, nur an den Flanken der Trägerstruktur 86 vorhanden sein und kann an den Röhrchen 76 ausgespart werden.
Sowohl bei dem Ausführungsbeispiel in 12 als auch bei den vorhergehenden Ausführungsbeispielen kann der Kühlkörper 82 einteilig sein oder aus mehreren Segmenten bestehen.
Mit Bezug auf 13 wird nun ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung beschrieben. Üblicherweise werden Temperatursensoren auf Optikteile aufgeklebt oder mechanisch geklemmt. Sowohl die Klebung als auch die mechanische Klemmung haben Nachteile. Die Klebung kann sich lösen, und eine mechanische Klemmung kann das optische Bauelement lokal deformieren.
Demgemäß ist in der vorliegenden Erfindung vorgesehen, einen Temperatursensor in das optisch wirksame Element 12 einzugalvanisieren, beispielsweise zwischen die Grundschicht 16, 48 und die Deckschicht 54 bei dem Ausführungsbeispiel in 5 oder die Deckschicht 80 in 9 bis 12. Vor dem Aufbringen der Deckschicht 54 oder 80 wird der Temperatursensor 90 vorzugsweise mittels eines Füllstoffes 92 fixiert. Anschließend wird dann die Galvanik-Deckschicht 54 bzw. 80 aufgebracht.
Vorzugsweise kann der Temperatursensor 90 in einem dünnen Metallröhrchen untergebracht sein, das elektrisch leitfähig ist und somit für das Galvanoformungsverfahren geeignet ist.
In gleicher Weise können im Rahmen der Elektro- oder Galvanoformung Heizelemente in den Körper des optisch wirksamen Elements integriert werden. Hierbei sind Heizelemente zu bevorzugen, die eine metallische Oberfläche besitzen, die elektrisch leitend ist. Das Heizelement kann dann ähnlich wie der Temperatursensor 90 in den Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 eingebettet werden. Durch gezielte Kühlung und/oder Heizung, in Verbindung mit der entsprechenden Temperatursensorik und -regelung, kann ein optisches Bauelement auf seine optimale Betriebstemperatur eingestellt werden, ohne dass sich schädliche Thermalgradienten auf dem optischen Bauelement, insbesondere dem optisch wirksamen Element, einstellen.
Um das optische Bauelement auf seine Betriebstemperatur zu bringen, kann durch die zuvor beschriebenen Kühlleitungen 24 auch zu Beginn der Inbetriebnahme des optischen Bauelements 10 ein Wärmemedium geleitet werden, bis die Betriebstemperatur erreicht ist. Bei Erreichen der Betriebstemperatur kann dann anstelle eines Wärmemediums ein Kühlmedium durch die Kühlleitung geleitet werden, um die Temperatur konstant zu halten.
In 14 ist dargestellt, dass auch die Fassungselemente 18, die den Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 an einer Haltestruktur 20 befestigen, vorteilhafterweise in den Körper 14 zwischen der Grundschicht 16, 48 und einer Deckschicht 54, 80 eingalvanisiert werden können. Die Fassungselemente 18 werden dazu auf die galvanisch hergestellte Grundschicht 16, 48 aufgebracht, ähnlich wie zuvor in Bezug auf den Temperatursensor 90 beschrieben wurde. Anschließend wird die Galvanik-Deckschicht 54, 80 aufgebracht, wodurch das oder die Fassungselemente 18 dann fest mit dem Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 verbunden ist/sind. Die Fassungselemente 18 können dann anschließend mit der Haltestruktur 20 beispielsweise verschraubt werden.
Statt einzelner Haltewinkel, wie in 14 dargestellt, können die Fassungselemente 18 auch einen geschlossenen Ring 94 bilden, der gemäß 14 in den Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 eingalvanisiert wird. Die Fassungselemente 18 werden somit durch den Ring 94 und vorzugsweise durch eine Mehrzahl von Federbeinchen 96 gebildet, die zur Spannungsentkopplung beitragen. Die Spiegelschale 36 kann dann zusammen mit den Fassungselementen 18 mit einem Aufnahmering (nicht dargestellt) verschraubt oder anderweitig verbunden werden.
Die Fassungselemente 18 gemäß 14 und 15 können jedoch auch auf den Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 direkt aufgelötet werden, oder in Verbindung mit den Ausführungsbeispielen in 9 bis 12 auch mit dem jeweiligen Kühlkörper 82 verlötet werden.
In 16 ist entsprechend zu 3 ein optisches Bauelement 10 in einer Prinzipdarstellung gezeigt, wobei hier für das optisch wirksame Element 12 folgendes Kühlkonzept vorgesehen ist.
Der Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 weist eine Grundschicht auf, die die optisch wirksame Schicht 16 und eine Substratschicht 48 umfasst. Des Weiteren weist der Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 eine Deckschicht 54 auf, wobei zwischen der Grundschicht 16, 48 und der Deckschicht 54 ein Hohlraum 53 ausgebildet ist, der die zumindest eine Kühlleitung der aktiven Kühlung 22 des optisch wirksamen Elements 12 bildet. Der Körper 14 des optisch wirksamen Elements 12 wird somit durch zwei Hälften gebildet, nämlich die Grundschicht 16, 48 und die Deckschicht 54. Die Deckschicht 54 bildet hier den Kühlkörper aufgrund der Vorformung der Deckschicht 54 mit bspw. Bergen und Tälern. Das Kühlmedium wird in den Hohlraum 53 an einer oder mehreren Stellen zugeführt und an einer oder mehreren Stellen abgeführt, wobei in 16 durch einen Einlassstutzen 64 das Kühlmedium gemäß einem Pfeil 26 zugeführt und durch den Auslassstutzen 66 gemäß einem Pfeil 28 abgeführt wird.
Durch die Ausbildung des Hohlraums 53 wird die absorbierte Wärmemenge 34 großflächig und sehr direkt an das Kühlmedium abgeführt.
Da das Kühlmedium einen gewissen Druck benötigt, um durch die Zu- und Abführungsleitungen strömen zu können, könnte sich die Grundschicht 16, 48 deformieren, besonders bei großen optischen Bauelementen. Daher ist die hier beschriebene Ausgestaltung besonders gut für rotationssymmetrische optische Bauelemente geeignet, die in sich ziemlich steif ausgebildet sind.
In 17 ist nun ein konkretes Anwendungsbeispiel des prinzipiellen Aufbaus gemäß 16 am Beispiel einer Spiegelschale 36 für einen EUV-Kollektor gezeigt. Die Spiegelschale 36 ist, wie bereits oben beschrieben, rotationssymmetrisch bezüglich der Symmetrieachse 38.
Die Spiegelschale 36 wird bevorzugt mittels Elektroformung bzw. Galvanoformung gefertigt. Die Fertigung der Spiegelschale 36 durch Galvanoformung umfasst die Fertigung der optisch wirksamen Schicht 16 und der Substratschicht 48 als Grundschicht. Des Weiteren wird eine weitere Schale in Form einer galvanischen Schicht 54 gefertigt, die nicht nur durch Galvanoformung, son dern auch durch andere Fertigungsverfahren hergestellt werden, beispielsweise durch Drehen, Biegen usw.
Mögliche Hinterschnitte können bei der Herstellung durch Galvanoformung durch Verwendung so genannter verlorener Kerne erzeugt werden.
Beide Schalen, also die Grundschicht 16, 48 und die Schicht 54, werden zusammengefügt und übergalvanisiert, wobei letztere Galvanik-Deckschicht 68 als Abdichtung der Schicht 54 gegen die Grundschicht 16, 48 und der Zufluss- und Abflussstutzen 64 bzw. 66 dient.
Das Kühlmedium strömt durch den Hohlraum 53, beispielsweise in der 17 von oben nach unten, und kann am Umfang auch über mehrere Zufluss- und Abflussstutzen 64, 66 zugeführt bzw. abgeführt werden.
Die Schicht 54 kann mit der Grundschicht 16, 48 anstelle durch Übergalvanisierung auch verlötet, verschweißt oder verklebt werden.
Während sich bei dem in 17 gezeigten Ausführungsbeispiel der Hohlraum 53 im Wesentlichen über die gesamte Länge in Richtung der Symmetrieachse 38 der Spiegelschale 36 erstreckt, kann, wie in 18 dargestellt ist, der Hohlraum 53 auch als axial begrenzter Ringraum ausgebildet sein. Die Schicht 54 des Körpers 14 der Spiegelschale 36 ist entsprechend lediglich ein axial begrenzter Ring, der über die Grundschicht 16, 48 übergestülpt und mittels der Deckschicht 68 übergalvanisiert wird.
Der Hohlraum 53 ist entsprechend als Ringraum ausgebildet, wie aus 18a) und 18b) hervorgeht.
In 18b) ist dargestellt, dass die Strömung des Kühlmediums nach dem Eintritt des Kühlmediums durch den Einlassstutzen 64 gemäß Pfeilen 98 verzweigt und am Ende gemäß Pfeilen 100 wieder gesammelt wird, um aus dem Auslassstutzen 66 abgeführt zu werden. Im Unterschied zu 17 strömt das Kühlmedium bei dieser Ausgestaltung somit in Umfangsrichtung der Spiegelschale 36, während sie in 17 in dessen Längsrichtung (bezogen auf die Symmetrieachse 38) erfolgt.
Eine gegenüber 18b) abgewandelte Ausführungsform ist in 19 dargestellt. Bei dieser Ausgestaltung tritt das Kühlmedium durch den Einlassstutzen 64 in den die Kühlleitung 24 bildenden Hohlraum 53 ein und durchströmt den Hohlraum 53 gemäß Pfeilen 98 in stets gleicher Richtung, und tritt durch den Auslassstutzen 66 wieder aus. Ein Sperrteil 102 zwischen der Grundschicht 16, 48 und der Schicht 54 dient dazu, den Strom des Kühlmediums nach Eintritt in den Hohlraum 53 in der vorgesehenen Richtung gemäß den Pfeilen 98 zu leiten.
Mit Bezug auf 20a) bis 20d) wird nachfolgend ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung beschrieben.
In 20a) sind zwei ineinander genestete Spiegelschalen 36 und 36' eines EUV-Kollektors ausschnittsweise und beispielhaft dargestellt. Sowohl die Spiegelschale 36 als auch die Spiegelschale 36' weisen jeweils zumindest eine Kühlleitung 24 bzw. 24' nach einer oder mehreren der zuvor beschriebenen Ausgestaltungen auf.
Wie bereits oben erwähnt, werden die Spiegelschalen 36, 36' eines EUV-Kollektors (vgl. 2) unter streifendem Lichteinfall betrieben, wobei in 20a) das einfallende Licht mit dem Bezugszeichen 30 versehen ist. Das von den optisch wirksamen Bereichen der Spiegelschalen 36 bzw. 36' reflektierte Licht ist mit dem Bezugszeichen 32 versehen.
Bei ineinander genesteten Spiegelschalen 36, 36' besteht das Problem, dass ein Teil des einfallenden Lichts 30 auf optisch unwirksame Flächen der Spiegelschalen trifft, wie in 20a) für einen Lichtstrahl 30a dargestellt ist, der auf eine optisch unwirksame Stirnseite der Spiegelschale 36 trifft. Der Lichtstrahl 30a wird somit von dem einfallenden Licht 30 ausgeblendet und erzeugt darüber hinaus Wärme in der Spiegelschale 36.
Dieser Blendeneffekt ist umso stärker, je dicker die Spiegelschale 36 ist. Insbesondere wenn Kühlleitungen 24, 24' in den Spiegelschalen 36, 36' vorgesehen sind, um die Spiegelschalen 36, 36' im Betrieb zu kühlen, führen derartige Kühlleitungen 24, 24' zu einer Dickenzunahme der Spiegelschalen 36, 36'.
Um den Blendeneffekt zu vermeiden, ist in 20b) die Spiegelschale 36 in einer modifizierten Ausgestaltung dargestellt, bei der das dem einfallenden Licht 30 zugewandte Ende 37 der Spiegelschale 36 dünner ausgebildet ist als der übrige Körper 14 der Spiegelschale 36. Durch die Verdünnung des Endes 37 der Spiegelschale 36 wird nunmehr der Teilstrahl 30a im Unterschied zu 20a) nicht mehr ausgeblendet.
Eine Folge der Verdünnung des Endes 37 der Spiegelschale 36 ist jedoch, dass an diesem Ende keine direkte Kühlung mittels einer Kühlleitung 24 mehr möglich ist.
Um aber dennoch die thermischen Eigenschaften der Spiegelschale 36 bei gleichzeitiger Eliminierung des Blendeneffekts wieder zu verbessern, ist in 20c) eine weitere Modifikation der Spiegelschale 36 dargestellt, bei der das Ende 37 sich verjüngt bzw. spitz zulaufend ist. Auf diese Weise wird erreicht, dass genauso wenig Strahlen ausgeblendet werden wie bei der Ausgestaltung gemäß 20b), jedoch wird die Wärmeleitung der durch die Teilstrahlen 30b absorbierten Wärme 34 zu der nächsten Kühlleitung 24 aufgrund des größeren mittleren Querschnitts des Endes 37 verbessert.
Die zuvor mit Bezug auf 20a) bis 20c) beschriebenen Ausgestaltungen sind nicht auf die Anwendung bei Spiegelschalen eines EUV-Kollektors beschränkt, sondern können auf alle optischen Bauelemente angewandt werden, bei denen aufgrund beispielsweise schrägen Lichteinfalls im Betrieb ein Abschattungs- bzw. Blendeneffekt auftritt.
20d) zeigt nun ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Anwendung der Prinzipien aus 20b) und c) bei einer Spiegelschale 36 eines EUV-Kollektors. Bei einem EUV-Kollektor wird das einfallende Licht 30 auf den innenliegenden Oberflächen der Spiegelschalen 36 reflektiert, wie bereits oben mit Bezug auf 2 beschrieben wurde. Der zuvor beschriebene Blenden- oder Abschattungseffekt tritt an den Schalenanfangsseiten, also im Bereich der Enden 37 der Spiegelschalen 36, auf.
In einer der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele werden die Schalen 36 vorzugsweise durch Galvanoformung hergestellt, wobei auf eine Grundschicht 16, 48 zumindest eine, vorzugsweise mehrere Kühlleitungen 24 ausgebildet werden, vorzugsweise einen Kühlkörper, wie oben beschrieben.
Die Fertigung von sich verjüngenden bzw. spitz zulaufenden Enden 37 könnte beispielsweise durch Abdrehen einer dicken Schicht erfolgen oder durch andere zerspanende Fertigungsmethoden. Galvanotechnisch könnten durch Abblenden des elektrischen Feldes beliebige Formen wie eine spitz zulaufende Kontur hergestellt werden, oder durch spezielle Formgebung der Anoden.
Schließlich könnten noch gemäß 20d) spitz zulaufende Füllkörper 104 eingebracht werden, die aus einem gut wärmeleitenden Material, wie Kupfer, bestehen oder aus dem selben Material sind, wie die Grundschicht 16, 48.
Füllkörper 104, Kühlleitungen 24 und Grundschicht 16, 48 werden in einem darauffolgenden Arbeitsgang mit einer Deckschicht 68 übergalvanisiert.
Des Weiteren kann die Wärmeabsorption im Bereich des Endes der Spiegelschalen 36 bzw. der Stirnseiten der Enden 37 weiterhin dadurch minimiert werden, dass die Enden 37 so spitz zulaufen, dass die Stirnseiten keine nennenswerte Dicke mehr besitzen. Dies ist jedoch meistens fertigungstechnisch nicht möglich.
Eine andere Möglichkeit besteht darin, die restliche plane Stirnfläche eben zu fertigen und eine gute Rauhigkeit zu erreichen, beispielsweise durch Plandrehen, Polieren, Schleifen, Läppen oder andere Fertigungsverfahren. Dadurch kann ein höherer Reflexionsgrad auftreffender optischer Strahlen erreicht werden. Dieser Reflexionsgrad kann zudem dadurch gesteigert werden, dass die Stirnseiten der Enden 37 der Spiegelschalen 36 mit einer Spiegelschicht versehen werden, die die dort auftreffenden Strahlen zurück reflektieren. Hierdurch wird eine Wärmeabsorption an den Stirnseiten verringert.
Als weitere Option könnte die optisch nicht wirksame Rückseite der Spiegelschalen 36 bearbeitet bzw. beschichtet werden, um Wärmeabsorption durch Streustrahlung zu minimieren.

Claims

Optisches Bauelement, mit zumindest einem optisch wirksamen Element (12), das sich bei Bestrahlung mit Licht erwärmt, und mit zumindest einem Fassungselement (18) zum Befestigen des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) an einer Haltestruktur (20), wobei das zumindest eine optisch wirksame Element (12) einen Körper (14) aufweist, und mit einer aktiven Kühlung (22), die zumindest eine mit einem Kühlmedium beaufschlagbare Kühlleitung (24) aufweist, die in oder an dem Körper (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) unmittelbar angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) an einem separaten Kühlkörper (82) ausgebildet ist, der mit dem Körper (14) des optisch wirksamen Elements (12) fest verbunden oder in diesen integriert ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkörper (82) die zumindest eine Kühlleitung (24) bereits kühlmediumdicht aufweist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkörper (82) durch die Verbindung mit dem Körper (14) des optisch wirksamen Elements (12) die zumindest eine Kühlleitung (24) kühlmediumdicht bildet.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Körper (14) eine Grundschicht, die den optisch wirksamen Bereich des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) bildet oder zumindest aufweist, und zumindest eine mit der Grundschicht verbundene Deckschicht aufweist, und dass der Kühlkörper (82) zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht angeordnet ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Körper (14) eine Grundschicht, die den optisch wirksamen Bereich des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) bildet, und zumindest eine Deckschicht aufweist, und dass der Kühlkörper (82) durch die zumindest eine Deckschicht gebildet ist, die so vorgeformt ist, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) als Hohlraum (53) durch eine lokale Beabstandung der zumindest einen Deckschicht von der Grundschicht zwischen der Grundschicht und Deckschicht ausgebildet ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich der Hohlraum (53) in Umfangs- und/oder axialer Richtung des optisch wirksamen Elements erstreckt.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) des Kühlkörpers (82) als separate Kühlleitung (24) ausgebildet und auf einer Rückseite des Körpers (14) angeordnet und mit diesem wärmeleitend verbunden ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) des Kühlkörpers (14) als separate Kühlleitung (24) ausgebildet ist, die zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht angeordnet ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine separate Kühlleitung (24) als Röhrchen (76) mit vollumfänglich geschlossener Wand ausgebildet ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei ein Füllstoff (78) zur Ausfüllung von Spalten zwischen der zumindest einen separaten Kühlleitung (24) und dem Körper (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) vorhanden ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 7 bis 10, wobei die zumindest eine Kühlleitung (24) an die Form des Körpers (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) so exakt wie möglich angepasst ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 8, wobei die zumindest eine separate Kühlleitung (24) als teilumfänglich offenes Kanalelement (76) ausgebildet ist, das mit seiner Offenseite an der Grundschicht oder der zumindest einen Deckschicht dicht anliegt.
Optisches Bauelement nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine separate Kühlleitung (24) als teilumfänglich offenes Kanalelement (76) ausgebildet ist, dessen Offenseite von dem Körper oder der Grundschicht abgewandt angeordnet ist, wobei die Offenseite durch ein Deckelement geschlossen ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkörper (82) an dem Körper (14) angalvanisiert ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkörper (82) zumindest näherungsweise den gleichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten wie der Körper (14) des optisch wirksamen Elements (12) aufweist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass der Kühlkörper (82) eine Mehrzahl von Kühlleitungen (24) aufweist, die in oder an dem Körper (14) des optisch wirksamen Elements (12) angeordnet sind.
Optisches Bauelement nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Kühlleitungen (24) über einen gemeinsamen Verteilerkanal und/oder einen gemeinsamen Sammelkanal parallel geschaltet sind.
Optisches Bauelement nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass der Verteilerkanal eine Zuleitung und/oder der Sammelkanal eine Ableitung für das Kühlmedium aufweist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) mäanderförmig, spiralförmig oder geradlinig ausgebildet ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass der Körper (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) durch Galvanoformung gefertigt ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 4 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundschicht und die zumindest eine Deckschicht durch Galvanoformung gefertigt sind.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, dass am oder im Körper (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) zumindest ein Temperatursensor (90) angeordnet ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 4 oder 5 und 22, dadurch gekennzeichnet, dass der Temperatursensor (90) zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht eingebettet ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine Fassungselement (18) mit dem Körper (14) des zumindest einen optischen Elements (12) fest verbunden ist, indem ein Abschnitt des Fassungselements (18) zwischen der Grundschicht und der zumindest einen Deckschicht eingebettet ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 24, dadurch gekennzeichnet, dass am oder im Körper (14) des zumindest einen optisch wirksamen Elements (12) zumindest ein Heizelement angeordnet ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass das Heizelement ein auf elektrischer Widerstandsheizung basierendes Heizelement ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine Kühlleitung (24) anstatt mit dem Kühlmedium oder zusätzlich dazu mit einem Heizmedium beaufschlagbar ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 27, dadurch gekennzeichnet, dass das zumindest eine optisch wirksame Element (12) ein Spiegel ist.
Optisches Bauelement nach einem der Ansprüche 1 bis 28, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Kollektor, insbesondere für die EUV-Lithographie, und das zumindest eine optisch wirksame Element (12) eine Spiegelschale (36) ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass es eine Mehrzahl von ineinander genesteter Spiegelschalen (36) aufweist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 29 oder 30, dadurch gekennzeichnet, dass ein im Betrieb des Bauelements einer Lichtquelle zugewandtes Ende des Körpers (14) der Spiegelschale (36) verjüngt bzw. dünner ausgebildet ist als der übrige Körper (14) der Spiegelschale.
Optisches Bauelement nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass ein Ende des Körpers (14) der Spiegelschale (36) spitz zulaufend abgedreht oder separat als Keil gefertigt ist.
Optisches Bauelement nach Anspruch 31 oder 32, dadurch gekennzeichnet, dass das Ende des Körpers (14) der Spiegelschale (36) verspiegelt oder poliert ist.