JP2012059795A - 放熱材料及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アルミニウム含浸グラファイト基板の表面に析出したアルミニウムを塩酸によるウェットエッチング法によって除去する(ステップ101)。次に、アルミニウム含浸グラファイト基板の表面にナノメートルのオーダの凹凸構造を加工する(ステップ102)。
【選択図】 図1
Description
エッチング液:塩酸:純水 = 1:4
エッチング温度:25℃
エッチング時間:30分
RFパワー:500W
圧力:6.65Pa (50mTorr)
水素流量:150sccm
エッチング時間:30分
102:ナノ凹凸構造加工ステップ
501:不規則的周期のミクロン(サブミクロン)凹凸加工ステップ
Claims (11)
- 表面にナノメートルのオーダの第1の凹凸構造を形成した金属含浸炭素系基板を具備する放熱材料。
- さらに、前記第1の凹凸構造のサイズより大きい不規則的周期の第2の凹凸構造を前記金属含浸炭素系基板に形成した請求項1に記載の放熱材料。
- 前記第2の凹凸構造のサイズがサブミクロメートルのオーダ以上である請求項2に記載の放熱材料。
- 前記金属含浸炭素系基板が金属含浸グラファイト基板である請求項1に記載の放熱材料。
- 金属含浸炭素系基板の表面に析出した金属を除去する表面析出金属除去工程と、
該金属が除去された金属含浸炭素系基板の表面をナノメートルのオーダの第1の凹凸構造に加工する第1の凹凸構造加工工程と
を具備する放熱材料の製造方法。 - 前記表面析出金属除去工程が該金属に反応する酸を用いたウェットエッチング工程である請求項5に記載の放熱材料の製造方法。
- 前記表面析出金属除去工程が該金属に反応するガスを用いたドライエッチング工程である請求項5に記載の放熱材料の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造加工工程がプラズマエッチング工程である請求項5に記載の放熱材料の製造方法。
- さらに、前記表面析出金属除去工程の後かつ前記第1の凹凸構造加工工程の前に、前記第1の凹凸構造のサイズより大きい不規則的周期の第2の凹凸構造を前記炭金属含浸炭素系基板の表面に加工する工程を具備する請求項5に記載の放熱材料の製造方法。
- 前記第2の凹凸構造のサイズがサブミクロメートルのオーダ以上である請求項9に記載の放熱材料の製造方法。
- 前記金属含浸炭素系基板が金属含浸グラファイト基板である請求項5に記載の放熱材料の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105668561A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-06-15 | 东南大学 | 一种制备高取向性石墨烯纳米结构的方法 |
US20170060200A1 (en) * | 2013-07-30 | 2017-03-02 | Fu Tai Hua Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Method for manufacturing housing |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6345385A (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 大表面積基板とその製造方法 |
JPH10312778A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 炭素材料からなる熱放射体、その製造方法およびその放射体を備えた熱放射光源 |
JP2003066203A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Hitachi Maxell Ltd | 微細凹凸構造の形成方法及び当該凹凸を有する部材 |
JP2004356436A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | 熱交換部品及びこれを用いた表示装置、放熱フィン及びこれを用いた表示装置 |
JP2010029919A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Denki Kagaku Kogyo Kk | アルミニウム−黒鉛質複合体、それを用いた回路基板及びその製造方法 |
WO2010084824A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 電気化学工業株式会社 | アルミニウム-黒鉛複合体、それを用いた放熱部品及びled発光部材 |
JP2011049281A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Stanley Electric Co Ltd | 放熱材料及びその製造方法 |
-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6345385A (ja) * | 1986-08-11 | 1988-02-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 大表面積基板とその製造方法 |
JPH10312778A (ja) * | 1997-05-14 | 1998-11-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 炭素材料からなる熱放射体、その製造方法およびその放射体を備えた熱放射光源 |
JP2003066203A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-05 | Hitachi Maxell Ltd | 微細凹凸構造の形成方法及び当該凹凸を有する部材 |
JP2004356436A (ja) * | 2003-05-29 | 2004-12-16 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | 熱交換部品及びこれを用いた表示装置、放熱フィン及びこれを用いた表示装置 |
JP2010029919A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Denki Kagaku Kogyo Kk | アルミニウム−黒鉛質複合体、それを用いた回路基板及びその製造方法 |
WO2010084824A1 (ja) * | 2009-01-22 | 2010-07-29 | 電気化学工業株式会社 | アルミニウム-黒鉛複合体、それを用いた放熱部品及びled発光部材 |
JP2011049281A (ja) * | 2009-08-26 | 2011-03-10 | Stanley Electric Co Ltd | 放熱材料及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20170060200A1 (en) * | 2013-07-30 | 2017-03-02 | Fu Tai Hua Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Method for manufacturing housing |
US9921620B2 (en) * | 2013-07-30 | 2018-03-20 | Fu Tai Hua Industry (Shenzhen) Co., Ltd. | Method for manufacturing housing |
CN105668561A (zh) * | 2016-04-01 | 2016-06-15 | 东南大学 | 一种制备高取向性石墨烯纳米结构的方法 |
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