JP2013182984A - 発熱素子放熱構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】 発熱素子の熱伝導性材料として樹脂を用いた場合、熱伝導率が小さいために、放熱効率が低く、また、カーボンナノチューブ構造体を用いた場合には、熱抵抗が大きいために、やはり、放熱効率が低かった。
【解決手段】 発熱素子1及び発熱素子1に対応する表面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの突起部の幅、高さ及びピッチ(間隔)のナノ凹凸構造2aを有する炭素系基板2が設けられている。発熱素子1を炭素系基板2のナノ凹凸構造2aに接着させる。ナノ凹凸構造2aは大きい熱伝導率を有する。ナノ凹凸構造2aはナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチを有するので、被着体としての発熱素子1の凹凸構造面に追従し、ファンデルワールス力によって接着力を発揮する。
【選択図】 図1
【解決手段】 発熱素子1及び発熱素子1に対応する表面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの突起部の幅、高さ及びピッチ(間隔)のナノ凹凸構造2aを有する炭素系基板2が設けられている。発熱素子1を炭素系基板2のナノ凹凸構造2aに接着させる。ナノ凹凸構造2aは大きい熱伝導率を有する。ナノ凹凸構造2aはナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチを有するので、被着体としての発熱素子1の凹凸構造面に追従し、ファンデルワールス力によって接着力を発揮する。
【選択図】 図1
Description
本発明は発光ダイオード(LED)素子、レーザダイオード(LD)素子、マイクロプロセッサ等の発熱素子を含む発熱素子放熱構造に関する。
近年、LED素子、LD素子、マイクロプロセッサ等の発熱素子の高性能化に伴い、発熱素子の発熱量は増大してきている。一方、発熱素子の小型化、薄型化の要求が高まり、発熱素子の発熱密度は非常に高くなり熱的に厳しい状況を強いられている。
特に、LED素子、LD素子は自身が発する熱により寿命及び性能が低下するという性質がある。
図9は第1の従来の発熱素子放熱構造を示す断面図である。
図9においては、発熱素子(たとえば、LED素子)101を放熱性基板(たとえば、アルミニウム基板)102上に熱伝導性材料層103を挟んで実装する。熱伝導性材料層103はペースト状、シート状であって、ある程度接着能力を有し、発熱素子101と放熱性基板102との間の接着剤を兼ねている。熱伝導性材料層103は、たとえば、シリコーン樹脂等の樹脂よりなる。
第2の従来の発熱素子放熱構造においては、発熱素子と発熱基板との間に熱伝導率が大きいカーボンナノチューブ凹凸構造体を設ける(参照:特許文献1、2)。
しかしながら、上述の第1の従来の発熱素子放熱構造においては、樹脂よりなる熱伝導性材料層103の熱伝導率は1〜40K/mW程度と小さく、この結果、十分な熱伝導が行えず放熱効率が低いという課題がある。また、樹脂の耐熱温度が低いので、高温になると樹脂の劣化を招き、かつ熱伝導性の低下を招くという課題もある。たとえば、シリコーン樹脂の場合、温度サイクル、経過時間と共に、染み出すいわゆるオイルブリード現象を招き、熱伝導性の低下と共にオイルの汚染を招く。さらに、ペースト状、シート状の熱伝導性材料層を塗布する工程あるいは狭む工程を必要とするので、製造開始から製造終了までのリードタイムが長くなるという課題もある。
また、上述の第2の従来の発熱素子放熱構造においては、熱抵抗が大きく、放熱効率が低いという課題がある。すなわち、カーボンナノチューブ凹凸構造体は空気層が多いので、接触面の接触熱抵抗が大きくなると共に、カーボンナノチューブ凹凸構造体を成長させるために熱抵抗が大きい触媒を含む中間層を必要とするからである。また、カーボンナノチューブ凹凸構造体は接着剤としても作用するものの、放熱基板に用いることのできる材料に、カーボンナノチューブ構造体との接着に適切な材料がないという課題がある。すなわち、放熱基板上にカーボンナノチューブ構造体を垂直配向させる場合、放熱基板上に触媒を含む中間層をスパッタリング法で形成し、次いで、カーボンナノチューブ構造体を化学気相成長(CVD)法による400〜800℃程度の高温下で成長させる。従って、放熱基板は、耐熱性と共に、カーボンナノチューブ凹凸構造体との密着性を必要とするので、一般的には、放熱基板としてはシリコン基板を用いる。しかし、シリコン基板は熱伝導性が小さく、他方、シリコン基板以外の基板は密着性が劣る。つまり、放熱基板としての適切な材料がないという課題がある。
上述の課題を解決するために本発明に係る発熱素子放熱構造は、発熱素子と、表面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチ(間隔)の第1の凹凸構造を有する炭素系基板とを具備し、炭素系基板の表面の第1の凹凸構造上に発熱素子を接着したものである。炭素系基板の第1の凹凸構造は耐熱性と共に接着性を有する。また、第1の凹凸構造は炭素系基板と一体であるので、熱抵抗が小さく、従って、放熱性もよい。
また、炭素系基板はその裏面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチの第2の凹凸構造を有する。
第2の凹凸構造の幅及びピッチは第1の凹凸構造の幅及びピッチより大きく、かつ第2の凹凸構造の高さは第1の凹凸構造の高さより小さくした。すなわち、第1の凹凸構造は密構造となり、放熱性と共に接着性を有し、他方、第2の凹凸構造は疎構造となり、接着性を有せず、放熱性のみを有する。
炭素系基板の裏面の第2の凹凸構造上に放熱部材を接着した。これにより、さらに放熱性が向上する。
本発明によれば、炭素系基板の凹凸構造の熱伝導率が大きく、かつ熱抵抗が小さいので、放熱効率を向上せしめることができる。
図1は本発明に係る発熱素子放熱構造の第1の実施の形態を示す断面図である。図1においては、発熱素子1及び発熱素子1に対応する表面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの突起部の幅、高さ及びピッチ(間隔)のナノ凹凸構造2aを有する炭素系基板2が設けられている。発熱素子1を炭素系基板2のナノ凹凸構造2aに接着させる。尚、ナノ凹凸構造2aの高さはサブミクロメートルオーダ以上である。
ナノ凹凸構造2aは大きい熱伝導率を有する。ナノ凹凸構造2aの熱伝導率は平面方向で70W/mK程度、厚さ方向で10W/mK程度である。また、ナノ凹凸構造2aはナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチを有するので、被着体としての発熱素子1の凹凸構造面に追従し、ファンデルワールス力によって接着力を発揮する。さらに、ナノ凹凸構造2aが炭素材料であるので、ナノ凹凸構造2aは耐熱性及び耐薬品性をも有する。
図2は図1の発熱素子放熱構造の製造方法を説明するためのフローチャートである。
始めに、レジストパターン形成工程201を参照すると、炭素系基板2たとえばグラファイト基板の表面の発熱素子1の接着箇所を除く部分にフォトリソグラフィ法を用いてレジストパターンを形成する。
次に、プラズマエッチング工程202を参照すると、プラズマエッチング法により炭素系基板2たとえばグラファイト基板にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチのナノ凹凸構造2aを形成する。ナノ凹凸構造2aの例を、図3に示すように、ピッチは幅の数倍程度であり、オーダとしては同程度である。尚、ナノ凹凸構造2aの高さはサブミクロメートルオーダ以上である。すなわち、グラファイト基板をプラズマエッチング装置に投入し、グラファイト基板を酸素(O2)ガスを用いたプラズマエッチング法によってエッチングを行う(参照:特許文献3)。
プラズマエッチング条件は、たとえば、次のごとくである。
RFパワー:500W
圧力:6.65Pa(50mTorr)
O2流量:150sccm
エッチング時間:60分
である。
RFパワー:500W
圧力:6.65Pa(50mTorr)
O2流量:150sccm
エッチング時間:60分
である。
尚、プラズマエッチング工程202でのプラズマエッチング法は、電子サイクロトロン共鳴(ECR)エッチング法、反応性イオンエッチング(RIE)法、大気圧プラズマエッチング法等のいずれでもよく、また、処理ガスは、O2ガス以外のArガス、CO2ガス、H2ガス、CF4ガス等、及びこれらの混合ガスのいずれでもよい。
また、図2のプラズマエッチング工程202の前に、サンドブラスト等の機械的表面研磨及び/またはCO2レーザ、YAGレーザ、エキシマレーザ等のハイパワーレーザ照射による表面研磨によるさらなる前処理、つまり、ミクロメートルオーダからサブミクロメートルオーダの不規則周期凹凸構造を予め形成しておくこともできる。尚、この不規則周期凹凸構造の高さもミクロメートルオーダ以上である。従って、ナノ凹凸構造2aだけの場合よりも、不規則周期凹凸構造により炭素系基板の表面積が一層増大して放熱効率が高くなる。尚、プラズマエッチング工程202でのプラズマエッチングの前に、不規則周期凹凸構造が形成される場合、この不規則周期凹凸構造の幅、高さ及びピッチはプラズマエッチング工程202でのプラズマエッチングで形成されるナノ凹凸構造2aの幅、高さ及びピッチよりも必ず大きいものである。
次に、レジストパターン除去工程203を参照すると、炭素系基板2に形成されたレジストパターンを除去する。
最後に、発熱素子接着工程204を参照すると、炭素系基板2のナノ凹凸構造2a上に発熱素子1を接着する。この場合、上述したように、ナノ凹凸構造2aは炭素系基板2に対する接着剤としても作用する。
図4は本発明に係る発熱素子放熱構造の第2の実施の形態を示す断面図である。図4においては、図1の発熱素子放熱構造に対して、炭素系基板2の裏面にもナノ凹凸構造2bを設けたものである。
図4のナノ凹凸構造2bは空気中もしくは真空中に露出しており、従って、ナノ凹凸構造2aと異なり、接着剤としての作用は不要であり、伝熱導性材料としてつまり放熱作用のみを果たせばよい。従って、ナノ凹凸構造2bはナノ凹凸構造2aより疎構造である。つまり、ナノ凹凸構造2bの幅及びピッチはナノ凹凸構造2aの幅及びピッチより大きく、かつナノ凹凸構造2bの高さはナノ凹凸構造2aの高さより小さくする。
図5は図4の発熱素子放熱構造の製造方法を説明するためのフローチャートである。
図5においては、図2の発熱素子接着工程204の後にさらなるプラズマエッチング工程501を付加して炭素系基板2の裏面に疎構造のナノ凹凸構造2bを形成する。プラズマエッチング工程501におけるプラズマエッチング条件は、たとえば、次のごとくである。
RFパワー:500W
圧力:13.3Pa(100mTorr)
O2流量:150sccm
エッチング時間:20分
である。
RFパワー:500W
圧力:13.3Pa(100mTorr)
O2流量:150sccm
エッチング時間:20分
である。
尚、プラズマエッチング工程501でのプラズマエッチング法も、電子サイクロトロン共鳴(ECR)エッチング法、反応性イオンエッチング(RIE)法、大気圧プラズマエッチング法等のいずれでもよく、また、処理ガスは、O2ガス以外のArガス、CO2ガス、H2ガス、CF4ガス等、及びこれらの混合ガスのいずれでもよい。
また、図5のプラズマエッチング工程501の前に、サンドブラスト等の機械的表面研磨及び/またはCO2レーザ、YAGレーザ、エキシマレーザ等のハイパワーレーザ照射による表面研磨によるさらなる前処理、つまり、ミクロメートルオーダからサブミクロメートルオーダの不規則周期凹凸構造を予め形成しておく。尚、この不規則周期凹凸構造の高さもミクロメートルオーダ以上である。従って、ナノ凹凸構造2bだけの場合よりも、不規則周期凹凸構造により炭素系基板の表面積が一層増大して放熱効率が高くなる。尚、プラズマエッチング工程501でのプラズマエッチングの前に、不規則周期凹凸構造が形成される場合、この不規則周期凹凸構造の幅、高さ及びピッチはプラズマエッチング工程501でのプラズマエッチング法で形成されるナノ凹凸構造2bの幅、高さ及びピッチよりも必ず大きいものである。
図6は本発明に係る発熱素子放熱構造の第3の実施の形態を示す断面図である。図6においては、図1の発熱素子放熱構造に対して、炭素系基板2の裏面にもナノ凹凸構造2b’を設けると共に、放熱部材3たとえばヒートシンクを炭素系基板2の裏面のナノ凹凸構造2b’に接着し、これにより、放熱効率を一層高めたものである。
図6のナノ凹凸構造2b’も接着剤としての作用をすると共に、伝熱導性材料としてつまり放熱作用をも果たす。従って、ナノ凹凸構造2b’はナノ凹凸構造2aと同程度の密構造である。つまり、ナノ凹凸構造2b’の幅、高さ及びピッチはナノ凹凸構造2aの幅、高さ及びピッチと同程度、かつナノ凹凸構造2b’の高さもナノ凹凸構造2aの高さと同程度である。
図7は図6の発熱素子放熱構造の製造方法を説明するためのフローチャートである。
図7においては、図2の発熱素子接着工程204の後にさらなるプラズマエッチング工程701を付加して炭素系基板2の裏面に密構造のナノ凹凸構造2b’を形成する。プラズマエッチング工程701におけるプラズマエッチング条件は、プラズマエッチング工程202におけるプラズマエッチング条件と同一である。
尚、プラズマエッチング工程701でのプラズマエッチング法も、電子サイクロトロン共鳴(ECR)エッチング法、反応性イオンエッチング(RIE)法、大気圧プラズマエッチング法等のいずれでもよく、また、処理ガスは、O2ガス以外のArガス、CO2ガス、H2ガス、CF4ガス等、及びこれらの混合ガスのいずれでもよい。
また、図7のプラズマエッチング工程701の前に、サンドブラスト等の機械的表面研磨及び/またはCO2レーザ、YAGレーザ、エキシマレーザ等のハイパワーレーザ照射による表面研磨によるさらなる前処理、つまり、ミクロメートルオーダからサブミクロメートルオーダの不規則周期凹凸構造を予め形成しておく。尚、この不規則周期凹凸構造の高さもミクロメートルオーダ以上である。従って、ナノ凹凸構造2bだけの場合よりも、不規則周期凹凸構造により炭素系基板の表面積が一層増大して放熱効率が高くなる。尚、プラズマエッチング工程701でのプラズマエッチングの前に、不規則周期凹凸構造が形成される場合、この不規則周期凹凸構造のサイズ及びピッチはプラズマエッチング工程701でのプラズマエッチングで形成されるナノ凹凸構造2b’のサイズ及びピッチよりも必ず大きいものである。
図8は図1の発熱素子放熱構造と図9の発熱素子放熱構造とを比較した表である。すなわち、図1、図9の発熱素子としてサイズ5 mm×5 mm×1 mmの熱抵抗20K/WのLED素子を用い、図1の放熱基板としてサイズ30 mm×30 mm×1 mmのグラファイト基板、図9の放熱基板としてサイズ30 mm×30 mm×1 mmのアルミニウム基板を用い、図1の熱伝導材料としてサイズ5 mm×5 mm×0.5 mm、熱伝導率104W/mKのナノ凹凸構造、図9の熱伝導材料としてサイズ30 mm×30 mm×0.5 mm、熱伝導率3W/mKのシリコーン樹脂を用いた場合、装置底面の温度を25℃とし、LED素子に1Wの電力を投入したときのLED素子の接合温度のシミュレーション結果は、図1の場合、45.5℃、図9の場合、46.7℃であった。従って、接合温度を1.2℃低下させることができた。
尚、上述の炭素系基板は、グラファイト基板の外に、金属を混ぜた稠密グラファイト基板、その他ダイヤモンド基板、ガラス状炭素系基板であってもよい。
また、上述の第1、第2、第3の実施の形態では、炭素系基板2の表面においては発熱素子1の接着箇所の部分のみナノ凹凸構造2aを形成したが、炭素系基板2の表面全体にナノ凹凸構造2aを形成してもよい。その場合には、前述したレジストパターン形成工程201およびレジストパターン除去工程203を省略すればよい。
さらに、上述のナノメートルオーダとは約10〜500nmの範囲を示し、サブミクロメートルオーダとは約0.5〜10μmの範囲を示し、ミクロメートルオーダとは約10〜500μmの範囲を示す。
1:発熱素子
2:炭素系基板
2a、2b、2b’:ナノ凹凸構造
3:放熱部材
101:発熱素子
102:放熱性基板
103:熱伝導性材料層
2:炭素系基板
2a、2b、2b’:ナノ凹凸構造
3:放熱部材
101:発熱素子
102:放熱性基板
103:熱伝導性材料層
Claims (4)
- 発熱素子と、
表面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチの第1の凹凸構造を有する炭素系基板と
を具備し、
前記炭素系基板の表面の前記第1の凹凸構造上に前記発熱素子を接着した発熱素子放熱構造。 - 前記炭素系基板はその裏面にナノメートルオーダからサブミクロメートルオーダの幅、高さ及びピッチの第2の凹凸構造を有する請求項1に記載の発熱素子放熱構造。
- 前記第2の凹凸構造の幅及びピッチは前記第1の凹凸構造の幅及びピッチより大きく、かつ前記第2の凹凸構造の高さは前記第1の凹凸構造の高さより小さくした請求項2に記載の発熱素子放熱構造。
- 前記炭素系基板の裏面に前記第1の凹凸構造を有しており、該第1の凹凸構造上に放熱部材を接着した請求項1に記載の発熱素子放熱構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012045223A JP2013182984A (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | 発熱素子放熱構造 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2012045223A JP2013182984A (ja) | 2012-03-01 | 2012-03-01 | 発熱素子放熱構造 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150139134A (ko) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | 주식회사 티앤머티리얼스 | 탄소계 금속기지 복합체를 이용한 핀 타입 방열 기판 제조방법 |
-
2012
- 2012-03-01 JP JP2012045223A patent/JP2013182984A/ja active Pending
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KR20150139134A (ko) * | 2014-06-02 | 2015-12-11 | 주식회사 티앤머티리얼스 | 탄소계 금속기지 복합체를 이용한 핀 타입 방열 기판 제조방법 |
KR101648437B1 (ko) * | 2014-06-02 | 2016-08-17 | 주식회사 티앤머티리얼스 | 탄소계 금속기지 복합체를 이용한 핀 타입 방열 기판 제조방법 |
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