JP5465952B2 - 太陽熱集熱板、その製造方法及び太陽熱発電システム - Google Patents
太陽熱集熱板、その製造方法及び太陽熱発電システム Download PDFInfo
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Description
RFパワー:100-1000W
圧力:133-13300Pa (1-100Torr)
水素流量:5-500sccm
エッチング時間:1-100分
1401:金メッシュ
1501:太陽熱集熱板
1502:溶媒流路
1503:タービン
Claims (20)
- グラファイト基板を具備し、
該グラファイト基板の表面が規則的周期の第1の凹凸構造及び該第1の凹凸構造のサイズより小さいサイズの第2の凹凸構造をなし、
前記第1の凹凸構造のサイズがミクロンメートルのオーダであり、前記第2の凹凸構造のサイズがナノメートルのオーダである太陽熱集熱板。 - 前記第1の凹凸構造が前記グラファイト基板の表面の複数の凹みである請求項1に記載の太陽熱集熱板。
- 前記第1の凹凸構造が前記グラファイト基板の表面の剣山構造である請求項1に記載の太陽熱集熱板。
- 前記剣山構造の針の先端に金層を形成した請求項3に記載の太陽熱集熱板。
- 前記剣山構造の針の上に金メッシュを載置した請求項3に記載の太陽熱集熱板。
- 前記グラファイト基板の表面がさらに前記第1の凹凸構造のサイズより小さくかつ前記第2の凹凸構造のサイズより大きいサイズの第3の凹凸構造をなした請求項1に記載の太陽熱集熱板。
- 前記第3の凹凸構造のサイズがサブミクロンメートルのオーダである請求項6に記載の太陽熱集熱板。
- グラファイト基板の表面を規則的周期の第1の凹凸構造に加工する第1の凹凸構造加工工程と、
該第1の凹凸構造加工工程の後に前記グラファイト基板の表面をさらに前記第1の凹凸構造のサイズより小さいサイズの第2の凹凸構造に加工する第2の凹凸構造加工工程と
を具備し、
前記第1の凹凸構造のサイズがミクロンメートルのオーダであり、前記第2の凹凸構造のサイズがナノメートルのオーダである太陽熱集熱板の製造方法。 - 前記第2の凹凸構造加工工程がプラズマエッチング工程である請求項8に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造が前記グラファイト基板の表面の複数の凹みである請求項8に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造加工工程が、
フォトレジスト層のパターンを形成するフォトリソグラフィ工程と、
該フォトレジスト層のパターンを用いて前記グラファイト基板の表面に前記凹みを形成するエッチング工程と、
該凹みの形成後に前記フォトレジスト層のパターンを除去する工程と
を具備する請求項10に記載の太陽熱集熱板の製造方法。 - 前記第1の凹凸構造が前記グラファイト基板の表面の剣山構造である請求項8に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造加工工程が、機械的ルーリングエンジン切削工程を具備する請求項12に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- さらに、前記剣山構造の針の先端に金層を形成する工程を具備する請求項12に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- さらに、前記剣山構造の針の上に金メッシュを載置する工程を具備する請求項12に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第1の凹凸構造加工工程と前記第2の凹凸構造加工工程との間に、さらに、前記グラファイト基板の表面を前記第1の凹凸構造のサイズより小さくかつ前記第2の凹凸構造のサイズより大きいサイズの第3の凹凸構造に加工する第3の凹凸構造加工工程を具備する請求項8に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第3の凹凸構造のサイズがサブミクロンメートルのオーダである請求項16に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第3の凹凸構造加工工程が機械的表面研磨工程を具備する請求項17に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 前記第3の凹凸構造加工工程がレーザ照射工程を具備する請求項17に記載の太陽熱集熱板の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の太陽熱集熱板と、
タービンと、
前記太陽熱集熱板及び前記タービンを連結する溶媒流路と
を具備する太陽熱発生システム。
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