JP2012055863A - 多結晶シリコンの破砕装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】多結晶シリコンを所望の大きさの塊に破砕するとともに、破砕時に微粉の発生を抑えることができる、多結晶シリコンの破砕に適した装置を提供する。
【解決手段】平行な軸11回りに互いに逆回転する一対のロール1a,1b間に多結晶シリコンの破砕物3を挟み込んで破砕する多結晶シリコンの破砕装置であって、ロール1a,1bの外周面12上に、回転方向に複数の破砕歯2が等間隔に設けられており、各ロール1a,1bに設けられる各破砕歯2は、回転方向に隣接する両破砕歯2の対向部21,22が、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられるとともに、各破砕歯2の外周端がロール1a,1bの軸心から一定の半径距離の円弧状に形成される。
【選択図】 図1
【解決手段】平行な軸11回りに互いに逆回転する一対のロール1a,1b間に多結晶シリコンの破砕物3を挟み込んで破砕する多結晶シリコンの破砕装置であって、ロール1a,1bの外周面12上に、回転方向に複数の破砕歯2が等間隔に設けられており、各ロール1a,1bに設けられる各破砕歯2は、回転方向に隣接する両破砕歯2の対向部21,22が、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられるとともに、各破砕歯2の外周端がロール1a,1bの軸心から一定の半径距離の円弧状に形成される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体用シリコンの原料である多結晶シリコンを塊状に破砕する装置に関する。
半導体チップに使用されるシリコンウエハは、チョクラルスキー(CZ)法により製造された単結晶シリコンから作製される。そして、CZ法による単結晶シリコンの製造には、例えば、シーメンス法によって棒状に形成された多結晶シリコンを塊状に破砕したものが用いられる。
この多結晶シリコンの破砕には、ダイヤモンドカッターによる切断や、ハンマーで直接叩き割る方法等が知られている。
ダイヤモンドカッターによる切断や、ハンマーで直接叩き割る場合においては、多段階にわたり作業を繰り返すことによる作業者の負担が大きく、棒状の多結晶シリコンから所望の大きさの塊を得るには非効率である。
ダイヤモンドカッターによる切断や、ハンマーで直接叩き割る場合においては、多段階にわたり作業を繰り返すことによる作業者の負担が大きく、棒状の多結晶シリコンから所望の大きさの塊を得るには非効率である。
また、特許文献1には、棒状の多結晶シリコンをロールクラッシャーで粉砕して塊状のシリコンを得る方法が開示されている。このロールクラッシャーのロール表面には複数の歯が形成されており、これら歯と内壁面との隙間に多結晶シリコンを挟むことによって連続的に衝撃を与えて棒状の多結晶シリコンを破砕する。
しかしながら、この装置においては、ロールに形成された各歯の歯元と内壁面との隙間に、破砕された塊状のシリコンが押し込まれ、すり潰されるために、多結晶シリコンの微粉が生成される割合が多い。したがって、所望の大きさの塊状のシリコンにする破砕効率が低いだけでなく、生じた微粉は粒径が小さいためにCZ法では用いることができず、損失が大きいものとなっている。
しかしながら、この装置においては、ロールに形成された各歯の歯元と内壁面との隙間に、破砕された塊状のシリコンが押し込まれ、すり潰されるために、多結晶シリコンの微粉が生成される割合が多い。したがって、所望の大きさの塊状のシリコンにする破砕効率が低いだけでなく、生じた微粉は粒径が小さいためにCZ法では用いることができず、損失が大きいものとなっている。
特許文献2及び特許文献3には、粗く破砕された塊状の多結晶シリコンを破砕する破砕装置が提案されている。この装置は、二つのロールを備え、各ロールの隙間に塊状の多結晶シリコンを挟んで破砕するダブルロールクラッシャーである。
この場合、ロール間で多結晶シリコンの塊がすり潰されながら破砕されるため、多結晶シリコンの微粉が生成される割合が多く、効率的でない。
この場合、ロール間で多結晶シリコンの塊がすり潰されながら破砕されるため、多結晶シリコンの微粉が生成される割合が多く、効率的でない。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、多結晶シリコンを所望の大きさの塊に破砕するとともに、破砕時に微粉の発生を抑えることができる、多結晶シリコンの破砕に適した装置を提供する。
本発明は、平行な軸心回りに互いに逆回転する一対のロール間に塊状の多結晶シリコンを挟み込んで破砕する多結晶シリコンの破砕装置であって、前記ロールの外周面上に、回転方向に複数の破砕歯が等間隔に設けられており、各ロールに設けられる各破砕歯は、回転方向に隣接する両破砕歯の対向部が、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられるとともに、各破砕歯の外周端が前記ロールの軸心から一定の半径距離の円弧状に形成されていることを特徴とする。
この破砕装置によれば、一方のロールの破砕歯と他方のロールの破砕歯とによって多結晶シリコンの破砕物を挟み込むことで、確実に破砕物を把持して、ロールの回転に伴って把持部から破砕することができる。
また、各破砕歯の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊のサイズに応じた間隔を備えるとともに、各破砕歯の間隔を、平行もしくは歯先よりも歯元の方を大きくして設けていることから、破砕歯の先端で破砕された多結晶シリコンの塊が、各破砕歯の間に押し込まれた場合も、押し込まれた先の空間が少なくとも破砕後の塊以上の大きさとなっていることにより、塊が押しつぶされて過度に微細化されることを回避できる。破砕歯の間隔を、歯先よりも歯元の方を大きくした場合には、破砕後の多結晶シリコンの塊よりも広がった逃げ形状となっていることにより、さらに効果的である。
また、各破砕歯の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊のサイズに応じた間隔を備えるとともに、各破砕歯の間隔を、平行もしくは歯先よりも歯元の方を大きくして設けていることから、破砕歯の先端で破砕された多結晶シリコンの塊が、各破砕歯の間に押し込まれた場合も、押し込まれた先の空間が少なくとも破砕後の塊以上の大きさとなっていることにより、塊が押しつぶされて過度に微細化されることを回避できる。破砕歯の間隔を、歯先よりも歯元の方を大きくした場合には、破砕後の多結晶シリコンの塊よりも広がった逃げ形状となっていることにより、さらに効果的である。
また、本発明の多結晶シリコンの破砕装置において、前記破砕歯は、前記ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられ、これら列をなす破砕歯の間には固定状態に掻き出し板が設けられており、前記掻き出し板は、その側方を前記破砕歯が通過するように配置されているとよい。
仮に、破砕後の多結晶シリコンの塊が破砕歯の間に挟まった状態に保持された場合においても、ロールの回転に伴って列をなす破砕歯が掻き出し板を通過する際に、塊が掻き出し板に当接して、落下する。これにより、破砕歯が一回転して、破砕物を再び破砕する前に、間に挟まれた塊を確実に取り除くことができる。
仮に、破砕後の多結晶シリコンの塊が破砕歯の間に挟まった状態に保持された場合においても、ロールの回転に伴って列をなす破砕歯が掻き出し板を通過する際に、塊が掻き出し板に当接して、落下する。これにより、破砕歯が一回転して、破砕物を再び破砕する前に、間に挟まれた塊を確実に取り除くことができる。
また、本発明の多結晶シリコンの破砕装置において、前記ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられた破砕歯の列同士の対向面は、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられているとよい。
破砕された多結晶シリコンの塊が、ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられた破砕歯同士の間に押し込まれた場合も、押し込まれた先の空間が少なくとも破砕後の塊以上の大きさとなっていることにより、塊が押しつぶされて過度に微細化されることを回避できる。
破砕された多結晶シリコンの塊が、ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられた破砕歯同士の間に押し込まれた場合も、押し込まれた先の空間が少なくとも破砕後の塊以上の大きさとなっていることにより、塊が押しつぶされて過度に微細化されることを回避できる。
また、本発明の多結晶シリコンの破砕装置において、前記一対のロールは同調して回転し、各ロールの前記破砕歯が最も近接する位置において、前記破砕歯の外周端同士が対向するように設けられるとよい。
この場合、各ロールの破砕歯は同じ角度及びタイミングで多結晶シリコンの破砕物に当接するため、破砕後の多結晶シリコンの塊のサイズを、確実に各ロールの各破砕歯の間隔で形成される空間サイズ以下とすることができ、塊が押しつぶされて過度に微細化されることを回避することができる。
本発明の多結晶シリコンの破砕装置によれば、多結晶シリコンを所望の大きさの塊に破砕するとともに、破砕時において、微粉の発生を抑えることができる。
以下、本発明に係る多結晶シリコンの破砕装置の一実施形態について説明する。
本実施形態の破砕装置100は、図1に示すように、平行な軸11回りに互いに同調して逆回転する一対のロール1a,1bを備えるダブルロールクラッシャーである。そして、これらロール1a,1bの外周面12上に、複数の破砕歯2が設けられており、各ロール1a,1bに設けられた破砕歯2で多結晶シリコンの破砕物3を挟み込むことにより、この破砕物3を所望の大きさに破砕する。
本実施形態の破砕装置100は、図1に示すように、平行な軸11回りに互いに同調して逆回転する一対のロール1a,1bを備えるダブルロールクラッシャーである。そして、これらロール1a,1bの外周面12上に、複数の破砕歯2が設けられており、各ロール1a,1bに設けられた破砕歯2で多結晶シリコンの破砕物3を挟み込むことにより、この破砕物3を所望の大きさに破砕する。
ロール1a,1bは離間して設けられ、この離間距離を調整可能に軸11に支持されている。これにより、破砕後に得られる多結晶シリコンの塊30を所望のサイズに調整することが可能である。これらロール1a,1bは、例えば、SUS材で形成される。
各ロール1a,1bに設けられる破砕歯2は、ロール1a,1bの幅方向両端部に周方向に等間隔で一列ずつ設けられており、各列の破砕歯2は、その周方向位置が同じ配置とされることにより、軸方向に間隔を開けて対をなすように配置され、二つの破砕歯2がロール1a,1bの軸方向に並んで同じタイミングで回転させられる。そして、ロール1a,1bの幅方向中央部には、対をなす破砕歯2の相互間隔で深く切り込まれた溝部が形成されている。これらの破砕歯2の先端部には、例えば、超硬合金が用いられる。
また、破砕歯2の外周端20は、図1(a)に示すように、ロール1a,1bの軸心から一定の半径の円弧状に形成されている。これらの各破砕歯2のロール1a,1bの周方向に対向する各対向面21は、ロール1a,1bの外周面12に直立した平面Saに相互に平行となるように設けられている。また、ロール1a,1bの軸方向に対をなすように設けられる破砕歯2同士の対向する対向面22も、ロール1a,1bの軸方向と直交する平面Sbに沿って平行に設けられている。
また、これら対向面21及び対向面22の間隔L1,L2、破砕歯2のロール1a,1bの外周面12からの最大突出量L3は、得ようとする多結晶シリコンの塊30の最大許容寸法値に応じて決定される。
なお、破砕歯2の対向面22と反対面は、円弧状の外周端20から傾斜する傾斜面23が形成されており、破砕歯2のロール1a,1bの半径方向の断面は、三角形となっている。
また、破砕歯2の外周端20は、図1(a)に示すように、ロール1a,1bの軸心から一定の半径の円弧状に形成されている。これらの各破砕歯2のロール1a,1bの周方向に対向する各対向面21は、ロール1a,1bの外周面12に直立した平面Saに相互に平行となるように設けられている。また、ロール1a,1bの軸方向に対をなすように設けられる破砕歯2同士の対向する対向面22も、ロール1a,1bの軸方向と直交する平面Sbに沿って平行に設けられている。
また、これら対向面21及び対向面22の間隔L1,L2、破砕歯2のロール1a,1bの外周面12からの最大突出量L3は、得ようとする多結晶シリコンの塊30の最大許容寸法値に応じて決定される。
なお、破砕歯2の対向面22と反対面は、円弧状の外周端20から傾斜する傾斜面23が形成されており、破砕歯2のロール1a,1bの半径方向の断面は、三角形となっている。
また、各ロール1a,1bに設けられる各破砕歯2は、図1(a)に示すように、同調するロール1a,1bの回転に伴って最も近接する配置となった際に、破砕歯2の外周端20同士が、それぞれ対向するように設けられている。これにより、各ロール1a,1bの破砕歯2を同じ角度及びタイミングで破砕物3に当接させることができる。
一方、対をなす破砕歯2に挟まれる空間には、破砕装置100に固定された掻き出し板4が設けられている。ロール1a,1bの回転に伴って破砕歯2が掻き出し板4の側方を通過する構成となっており、仮に、破砕後の多結晶シリコンの塊が破砕歯2の間に押し込まれて保持状態となった場合にも、破砕歯2が掻き出し板4の側方を通過する際に掻き出し板4の当接面41に塊が当接して落下する。これにより、破砕歯2が一回転して、破砕物3を再び破砕する前に、対をなす破砕歯2の間に挟まれた多結晶シリコンの塊を確実に取り除くことができる。
そして、ロール1a,1b間の上方には、多結晶シリコンの破砕物3を投下する投下手段が設けられている。投下手段は、例えば、不図示のベルトコンベア等で破砕物3をロール1a,1b上に搬送し、シュータ5によってロール1a,1b間の投下位置に破砕物3を投下するものである。シュータ5の開口部は、破砕物3の大きさに合わせて、破砕物3が1個ずつ連続して投入される大きさに形成されている。
破砕物3が投下されるロール1a,1b間の投下位置には、破砕された多結晶シリコンの塊が飛散するのを防止する衝立6が設けられている。この衝立6の壁面61は、破砕歯2の傾斜面23に沿って平行に設けられている。
掻き出し板4の当接面41及びシュータ5の内面51、ならびに衝立6の壁面61のように多結晶シリコンの破砕物3及び破砕後の塊30が接触する部分には、多結晶シリコンの共材が用いられる。
破砕物3が投下されるロール1a,1b間の投下位置には、破砕された多結晶シリコンの塊が飛散するのを防止する衝立6が設けられている。この衝立6の壁面61は、破砕歯2の傾斜面23に沿って平行に設けられている。
掻き出し板4の当接面41及びシュータ5の内面51、ならびに衝立6の壁面61のように多結晶シリコンの破砕物3及び破砕後の塊30が接触する部分には、多結晶シリコンの共材が用いられる。
次に、このように構成した破砕装置100によって、多結晶シリコンの破砕物3を破砕する方法について説明する。
破砕物3には、φ120mm×L2000mmの多結晶シリコンのロッドを切断や熱衝撃破砕等によって、ある程度の大きさまで破砕したものを用いる。
破砕物3には、φ120mm×L2000mmの多結晶シリコンのロッドを切断や熱衝撃破砕等によって、ある程度の大きさまで破砕したものを用いる。
まず、破砕物3は、投下手段によりロール1a,1b間の上方に運ばれてシュータ5から投下される。そして、破砕物3は、ロール1a,1b間に挟まれて、ロール1a,1bの回転にともなって破砕される。
各破砕歯2の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊30のサイズ以上の間隔を備えていることから、破砕歯2の先端で破砕された塊30が、各破砕歯2の間の空間に押し込まれた場合にも、押しつぶされることなく、破砕歯2の間を通過して、破砕装置100の下方に落下して取り出される。
各破砕歯2の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊30のサイズ以上の間隔を備えていることから、破砕歯2の先端で破砕された塊30が、各破砕歯2の間の空間に押し込まれた場合にも、押しつぶされることなく、破砕歯2の間を通過して、破砕装置100の下方に落下して取り出される。
このように、この多結晶シリコンの破砕装置100によれば、ロール1a,1bの外周面12上に設けられた破砕歯2によって多結晶シリコンの破砕物3を確実に把持して挟み込むことで、ロール1a,1bの回転に伴って効率的に破砕することができる。
さらに、各破砕歯2の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊30のサイズに応じた隙間を備え平行に設けられていることから、各破砕歯2で形成される空間が少なくとも破砕後の塊30以上の大きさとなっており、破砕歯2の先端で破砕された塊30が、各破砕歯2の間に押し込まれた場合も、塊30が押しつぶされることがなく、過度に微細化されることを回避できる。
なお、破砕歯2の間隔を、歯先よりも歯元の方を大きくした場合には、破砕後の多結晶シリコンの塊30よりも広がった逃げ形状とすることができ、さらに効果的である。
さらに、各破砕歯2の間隔は、得ようとする多結晶シリコンの塊30のサイズに応じた隙間を備え平行に設けられていることから、各破砕歯2で形成される空間が少なくとも破砕後の塊30以上の大きさとなっており、破砕歯2の先端で破砕された塊30が、各破砕歯2の間に押し込まれた場合も、塊30が押しつぶされることがなく、過度に微細化されることを回避できる。
なお、破砕歯2の間隔を、歯先よりも歯元の方を大きくした場合には、破砕後の多結晶シリコンの塊30よりも広がった逃げ形状とすることができ、さらに効果的である。
また、一対のロール1a,1bは同調して回転し、各ロール1a,1bの破砕歯2が最も近接する位置において、破砕歯2の外周端20同士が対向するように設けられているので、各ロール1a,1bの破砕歯2は同じ角度及びタイミングで破砕物3に当接するため、破砕後の多結晶シリコンの塊30のサイズを、確実に各ロール1a,1bの各破砕歯2の間隔で形成される空間サイズ以下とすることができる。
そして、各ロール1a,1bの対をなす破砕歯2に挟まれる空間には、破砕装置100に固定された掻き出し板4が設けられているので、仮に、破砕後の多結晶シリコンの塊が破砕歯2の間に押し込まれて保持状態となった場合にも、破砕歯2が掻き出し板4の側方を通過する際に、掻き出し板4の当接面41に塊が当接して落下させることができる。これにより、破砕歯2が一回転して、破砕物3を再び破砕する前に、対をなす破砕歯2の間に挟まれた多結晶シリコンの塊を確実に取り除くことができ、多結晶シリコンの塊同士が接触することによって過度に微細化されることを回避することができる。
さらに、本発明の多結晶シリコンの破砕装置100においては、破砕する多結晶シリコンの破砕物3の大きさに対応させて一対のロール1a,1bの間隔を調整することにより、確実に破砕物3を把持して破砕できるとともに、得ようとする破砕後の多結晶シリコンの塊30を所望のサイズに調整することができる。
そして、各ロール1a,1bの対をなす破砕歯2に挟まれる空間には、破砕装置100に固定された掻き出し板4が設けられているので、仮に、破砕後の多結晶シリコンの塊が破砕歯2の間に押し込まれて保持状態となった場合にも、破砕歯2が掻き出し板4の側方を通過する際に、掻き出し板4の当接面41に塊が当接して落下させることができる。これにより、破砕歯2が一回転して、破砕物3を再び破砕する前に、対をなす破砕歯2の間に挟まれた多結晶シリコンの塊を確実に取り除くことができ、多結晶シリコンの塊同士が接触することによって過度に微細化されることを回避することができる。
さらに、本発明の多結晶シリコンの破砕装置100においては、破砕する多結晶シリコンの破砕物3の大きさに対応させて一対のロール1a,1bの間隔を調整することにより、確実に破砕物3を把持して破砕できるとともに、得ようとする破砕後の多結晶シリコンの塊30を所望のサイズに調整することができる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上述の実施形態においては、各ロール1a,1bの外周面上に、対をなす破砕歯2が等間隔に配置される構成として説明したが、ロール1a,1bのいずれか一方のロールを、上述のロール1a,1bと同様にして二列の破砕歯として構成し、対向する他方のロールにおいては、一列の破砕歯として構成してもよい。この場合、一対の破砕歯のそれぞれの外周端から、一列の破砕歯の外周端が等距離となるように形成するとよい。
例えば、上述の実施形態においては、各ロール1a,1bの外周面上に、対をなす破砕歯2が等間隔に配置される構成として説明したが、ロール1a,1bのいずれか一方のロールを、上述のロール1a,1bと同様にして二列の破砕歯として構成し、対向する他方のロールにおいては、一列の破砕歯として構成してもよい。この場合、一対の破砕歯のそれぞれの外周端から、一列の破砕歯の外周端が等距離となるように形成するとよい。
1a,1b ロール
2 破砕歯
3 破砕物
4 掻き出し板
5 シュータ
6 衝立
11 軸
12 外周面
20 外周端
21,22 対向面
23 傾斜面
30 多結晶シリコン塊
41 当接面
51 内面
61 壁面
100 多結晶シリコン破砕装置
2 破砕歯
3 破砕物
4 掻き出し板
5 シュータ
6 衝立
11 軸
12 外周面
20 外周端
21,22 対向面
23 傾斜面
30 多結晶シリコン塊
41 当接面
51 内面
61 壁面
100 多結晶シリコン破砕装置
Claims (4)
- 平行な軸心回りに互いに逆回転する一対のロール間に塊状の多結晶シリコンを挟み込んで破砕する多結晶シリコンの破砕装置であって、前記ロールの外周面上に、回転方向に複数の破砕歯が等間隔に設けられており、各ロールに設けられる各破砕歯は、回転方向に隣接する両破砕歯の対向部が、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられるとともに、各破砕歯の外周端が前記ロールの軸心から一定の半径距離の円弧状に形成されることを特徴とする多結晶シリコンの破砕装置。
- 前記破砕歯は、前記ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられ、これら列をなす破砕歯の間には固定状態に掻き出し板が設けられており、前記掻き出し板は、その側方を前記破砕歯が通過するように配置されることを特徴とする請求項1記載の多結晶シリコンの破砕装置。
- 前記ロールの幅方向両端部に一列ずつ設けられた前記破砕歯の列同士の対向面は、平行もしくは歯先よりも歯元が離間して設けられていることを特徴とする請求項2記載の多結晶シリコンの破砕装置。
- 前記一対のロールは同調して回転し、各ロールの前記破砕歯が最も近接する位置において、前記破砕歯の外周端同士が対向するように設けられることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の多結晶シリコンの破砕装置。
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Legal Events
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