JP2012054421A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012054421A JP2012054421A JP2010196075A JP2010196075A JP2012054421A JP 2012054421 A JP2012054421 A JP 2012054421A JP 2010196075 A JP2010196075 A JP 2010196075A JP 2010196075 A JP2010196075 A JP 2010196075A JP 2012054421 A JP2012054421 A JP 2012054421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor region
- type semiconductor
- semiconductor
- region
- impurity concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】N型半導体基板10と、P型半導体領域22と、P型半導体領域22内に設けられたP型半導体領域22よりも高不純物濃度のP型半導体領域20と、を備え、N型半導体基板10とP型半導体領域20との間に逆バイアスを印加して動作させる際にN型半導体基板10とP型半導体領域22との間に広がる空乏層40が、P型半導体領域20に到達しないような、N型半導体基板10とP型半導体領域22の不純物濃度およびP型半導体領域22内のP型半導体領域20の配置としている。
【選択図】図2
Description
一導電型の半導体層と、
前記半導体層に設けられた前記一導電型とは反対導電型の他の導電型の第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域内に設けられた前記他の導電型であって、前記の第1の半導体領域よりも高不純物濃度の第2の半導体領域と、を備え、
前記半導体層と前記第2の半導体領域との間に逆バイアスを印加して動作させる際に前記半導体層と前記第1の半導体領域との間に広がる空乏層が、前記第2の半導体領域に到達しないような、前記半導体層と前記第1の半導体領域の不純物濃度および前記第1の半導体領域内の前記第2の半導体領域の配置とした半導体装置が提供される。
10 N型半導体基板
12 主面
20、22 P型半導体領域
30 結晶欠陥
40 空乏層
50 PNジャンクション
62、64 コンタクト
Claims (8)
- 一導電型の半導体層と、
前記半導体層に設けられた前記一導電型とは反対導電型の他の導電型の第1の半導体領域と、
前記第1の半導体領域内に設けられた前記他の導電型であって、前記の第1の半導体領域よりも高不純物濃度の第2の半導体領域と、を備え、
前記半導体層と前記第2の半導体領域との間に逆バイアスを印加して動作させる際に前記半導体層と前記第1の半導体領域との間に広がる空乏層が、前記第2の半導体領域に到達しないような、前記半導体層と前記第1の半導体領域の不純物濃度および前記第1の半導体領域内の前記第2の半導体領域の配置とした半導体装置。 - 前記第2の半導体領域は、前記半導体層の一主面側から前記他の導電型の不純物を注入して設けられ、前記第1の半導体領域は、前記半導体層の一主面側から前記他の導電型の不純物を、前記第2の半導体領域を形成する場合よりも低いドーズ量かつ高い加速エネルギーで注入して設けられる請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体領域の不純物濃度は、結晶欠陥を発生させない不純物濃度である請求項2記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体領域は、前記半導体層の一主面に設けられ、前記第2の半導体領域は前記第1の半導体領域の前記一主面側に設けられている請求項1記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体領域の不純物濃度は1×1013〜1×1018/cm3、前記第2の半導体領域の不純物濃度は1×1019〜1×1021/cm3、前記半導体層の不純物濃度は1×1011〜1×1014/cm3である請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記第2の半導体領域の深さは0.1〜1μm、前記第1の半導体領域の深さは0.5〜2μmである請求項5記載の半導体装置。
- 前記半導体装置は放射線検出用ダイオードである請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体層、前記第1の半導体領域、第2の半導体領域はSiから構成されている請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196075A JP5697926B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196075A JP5697926B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012054421A true JP2012054421A (ja) | 2012-03-15 |
JP5697926B2 JP5697926B2 (ja) | 2015-04-08 |
Family
ID=45907441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010196075A Active JP5697926B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5697926B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7428023B2 (ja) | 2020-03-10 | 2024-02-06 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57201085A (en) * | 1981-06-03 | 1982-12-09 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Semiconductor radiation detector |
JPS62293680A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-21 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体放射線検出素子 |
JPH07162025A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体紫外線センサ |
JPH08236799A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-13 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体放射線検出素子および整流素子 |
JPH114012A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | S I I R D Center:Kk | Pinフォトダイオード |
JPH11118934A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Aloka Co Ltd | 放射線検出器 |
US6683360B1 (en) * | 2002-01-24 | 2004-01-27 | Fillfactory | Multiple or graded epitaxial wafers for particle or radiation detection |
JP2006196582A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 放射線センサ |
WO2007138745A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Shimadzu Corporation | 半導体x線検出素子 |
JP2008072136A (ja) * | 2007-10-24 | 2008-03-27 | Nagoya Industrial Science Research Inst | 半導体放射線検出器の製造方法 |
JP2009111112A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Seiko Npc Corp | 可変容量ダイオード |
-
2010
- 2010-09-01 JP JP2010196075A patent/JP5697926B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57201085A (en) * | 1981-06-03 | 1982-12-09 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | Semiconductor radiation detector |
JPS62293680A (ja) * | 1986-06-12 | 1987-12-21 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体放射線検出素子 |
JPH07162025A (ja) * | 1993-12-09 | 1995-06-23 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体紫外線センサ |
JPH08236799A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-13 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体放射線検出素子および整流素子 |
JPH114012A (ja) * | 1997-06-12 | 1999-01-06 | S I I R D Center:Kk | Pinフォトダイオード |
JPH11118934A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Aloka Co Ltd | 放射線検出器 |
US6683360B1 (en) * | 2002-01-24 | 2004-01-27 | Fillfactory | Multiple or graded epitaxial wafers for particle or radiation detection |
JP2006196582A (ja) * | 2005-01-12 | 2006-07-27 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 放射線センサ |
WO2007138745A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Shimadzu Corporation | 半導体x線検出素子 |
JP2008072136A (ja) * | 2007-10-24 | 2008-03-27 | Nagoya Industrial Science Research Inst | 半導体放射線検出器の製造方法 |
JP2009111112A (ja) * | 2007-10-30 | 2009-05-21 | Seiko Npc Corp | 可変容量ダイオード |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7428023B2 (ja) | 2020-03-10 | 2024-02-06 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5697926B2 (ja) | 2015-04-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107408581B (zh) | 半导体装置及半导体装置的制造方法 | |
US8564083B2 (en) | Vertical hall sensor and method for producing a vertical hall sensor | |
JP2019015639A (ja) | 放射線検出素子、放射線検出器及び放射線検出装置 | |
WO2010006269A1 (en) | Complementary barrier infrared detector | |
CN109417093A (zh) | 半导体装置 | |
JP6097019B2 (ja) | 絶縁層を介して導電経路を形成するための装置及び方法 | |
KR100984542B1 (ko) | 반도체장치 및 이의 제조방법 | |
US20150008478A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of the same | |
EP3748698A1 (en) | Semiconductor body, avalanche photodiode and method for fabricating a semiconductor body | |
Reddy et al. | Study on avalanche breakdown and Poole–Frenkel emission in Al-rich AlGaN grown on single crystal AlN | |
Cha et al. | Temperature dependent characteristics of nonreach-through 4H-SiC separate absorption and multiplication APDs for UV detection | |
JP5697926B2 (ja) | 半導体装置 | |
Duboz et al. | Anomalous photoresponse of GaN X-ray Schottky detectors | |
JP2018190793A (ja) | 半導体装置 | |
Fernandez-Martinez et al. | Low Gain Avalanche Detectors for high energy physics | |
US10388723B2 (en) | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
US20090250706A1 (en) | Light activated silicon controlled switch | |
US9252292B2 (en) | Semiconductor device and a method for forming a semiconductor device | |
US11676995B2 (en) | Semiconductor device | |
JP2008193037A (ja) | フォトディテクタおよびその作製方法 | |
JP2019021885A (ja) | 半導体装置 | |
US7605010B1 (en) | Integrated silicon optical isolator | |
JP3206839U (ja) | 光起電装置 | |
Candelori | Semiconductor materials and detectors for future very high luminosity colliders | |
JP2018017685A (ja) | 放射線検出器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140909 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141016 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150127 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150212 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5697926 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |