JP2012053033A - 産業機械 - Google Patents
産業機械 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012053033A JP2012053033A JP2011160700A JP2011160700A JP2012053033A JP 2012053033 A JP2012053033 A JP 2012053033A JP 2011160700 A JP2011160700 A JP 2011160700A JP 2011160700 A JP2011160700 A JP 2011160700A JP 2012053033 A JP2012053033 A JP 2012053033A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ram
- temperature
- column
- supporter
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Abstract
【解決手段】三次元測定機1(産業機械)は、Z軸に沿うコラム221およびサポータ225と、これらの間に設けられたビーム222上で移動可能なスライダ223と、スライダ223にZ軸方向に移動可能に保持されたラム224と、コラム221、サポータ225、及びラム224のそれぞれの温度を検出する温度検出センサー226および温度検出部32と、これらのコラム221、サポータ225、及びラム224の各温度、基準温度におけるこれらの位置関係を示す基準位置データ、及びこれらの熱膨張係数に基づいて、前記Z軸シフト量を算出するシフト量算出部33と、を備えた。
【選択図】図1
Description
この特許文献1に記載の産業機械は、三次元測定機である。この三次元測定機は、ベース面に対して直交し、Y軸方向に移動可能なコラムおよびサポータと、これらのコラムおよびサポータの端部間に設けられるビームと、ビーム上でX軸方向に移動可能なスライダと、スライダにZ軸方向に移動可能に設けられ、先端にプローブが設けられるラムとを備えている。
この三次元測定機は、XYZ軸の各軸に沿ってスケールが配置され、このスケールの読み取り値を基準とした測定座標系を設定している。そして、この三次元測定機では、温度環境を監視し、温度変化が観測されたときに、測定座標系を再構築する。
このような構成では、コラム、サポータ、及びラムが、それぞれ異なる温度に変動し、それに伴う熱膨張によりそれぞれ異なる寸法だけ変動した場合であっても、これらのコラム、サポータ、及びラムに対応した補正係数と、それぞれの温度とを用いて、それぞれの寸法変動量を算出することができる。したがって、この寸法変動量と基準位置データに基づいてZ軸シフト量を正確に算出することができる。
コラムやサポータ、ラムにおけるZ軸方向の位置により温度が異なることがある。例えば、コラムをY軸方向に沿って移動させるための駆動モーターが、コラムの下部に設けられている場合、この駆動モーターからの距離によりコラムの各位置での温度が異なり、コラムの駆動モーターに近い領域では、熱膨張による寸法変動も大きくなり、駆動モーターから遠い位置では、熱膨張による寸法変動が小さくなる。ここで、コラムに伝達される熱は、駆動モーターからの距離に対して略比例するため、本発明のように、コラム全体の平均温度を求めることで、コラムの熱膨張による寸法変動量を容易に、かつ正確に算出することができる。サポータやラムに対しても同様であり、サポータの平均温度や、ラムの平均温度を算出することで、これらの寸法変動量を容易に算出でき、シフト量算出手段は、ラムのZ軸シフト量を精度良く、かつ容易に算出することができる。
(Z軸シフト量)=(X0+x)3×(△S−△C)/(X0+X1+X2)3+△C−△Z …(1)
ただし、 △C=(Tc−T0)×L1×αc
△S=(Ts−T0)×L1×αs
△Z=(Tr−T0)×L2×αr
T0:基準温度
〔三次元測定機の概略構成〕
図1は、本発明に係る一実施形態の産業機械である三次元測定機の概略構成を示す図である。
図1において、三次元測定機1(産業機械)は、本体2と、本体2の駆動制御を実行する制御部3とを備えている。
ベース21は、被測定物(図示略)を載置させるベース面211を有する矩形板状に形成されている。また、ベース21の−X軸方向側には、+Z軸方向側に向かって突出するとともに、Y軸方向に沿って直線状に形成され、スライド機構22をY軸方向に沿ってガイドするガイド部212が形成されている。さらに、ベース面211には、半径既知の真球に加工されたマスターボール213が固定されている。
なお、本実施形態においては、「Z軸方向」を「Z方向」、「Z軸」(例えば、「Z軸側」)、または「Z」(例えば、「Z側」)等と略して記載することがある。同様に「X軸方向」および「Y軸方向」をそれぞれ「X」、「Y」(例えば、「X側」、「Y側」)等と略して記載することがある。
そして、スライド機構22は、コラム221、スライダ223、及びラム224を駆動する駆動モーター228を備え、制御部3による制御の下で測定子227をX,Y,Z軸方向に沿って移動させる。なお、図1において、コラム221をY軸方向に沿って移動させる駆動モーター228のみを図示する。
温度検出センサー226Aは、コラム221の−Z側端部に設けられ、温度検出センサー226Bは、コラム221の+Z軸側端部に設けられ、それぞれZ方向に沿って互いに離間している。このとき、これらの温度検出センサー226A,226Bは、コラム221のZ軸方向における中心点からの距離が略等しくなるように設けられることが好ましい。
また、温度検出センサー226Cは、サポータ225のZ方向における中心点に設けられている。
さらに、温度検出センサー226Dは、ラム224の−Z側端部に設けられ、温度検出センサー226Eは、ラム224の+Z側端部に設けられ、それぞれZ軸方向に沿って互いに離間している。このとき、これらの温度検出センサー226D,226Eは、ラム224のZ軸方向における中心点からの距離が略等しくなるように設けられることが好ましい。
ここで、基準位置データとしては、基準温度におけるベース面211からZ軸スケールセンサー223Aまでの距離L1(図2参照)、基準温度におけるラム224の測定子227が固定される端部から、Z軸スケール224Aの固定位置までの距離L2(図2参照)、スライダ223を最もコラム221側に移動させた(x=0に設定した)際のコラム221の中心軸とスライダ223の中心軸との距離X0(図2参照)、スライダ223を最もサポータ225側に移動させた(x=xmaxに設定した)際のスライダ223の中心軸とサポータ225の中心軸との距離X1、スライダ223の移動可能距離X2(=xmax)が記録されている。
また、記憶部31には、制御部3にてラム224の熱膨張によるZ軸方向のシフトを補正するためのZシフト補正プログラムが記憶されている。
Tc=(T1+T2)/2 …(2)
Tr=(T4+T5)/2 …(3)
Ts=T3 …(4)
図2は、シフト量算出部33によるZシフト量の算出方法を説明するための図である。
図2に示すように、基準温度におけるベース面211からZ軸スケールセンサー223Aまでの距離がL1、基準温度におけるラム224の測定子227が固定される端部から、Z軸スケール224Aの固定位置までの距離がL2に設定されたコラム221、ラム224、及びサポータ225が熱膨張により、それぞれ△C、△Z、△Sだけ寸法が変動する。このとき、これらのパラメータ△C、△Z、△Sは、基準温度T0を20度、コラム221、ラム224、及びサポータ225の熱膨張係数をそれぞれ、αc、αr、αsとすると、上述した式(1)の条件式から、以下のように算出することができる。
△C=(Tc−20)×L1×αc …(5)
△S=(Ts−20)×L1×αs …(6)
△Z=(Tr−20)×L2×αr …(7)
このため、シフト量算出部33は、上記式(1)に基づいて、ラム224(測定子227)のZシフト量を算出することで、正確な値を算出することが可能となる。
図4に示すように、Zシフト量による補正を行わない場合、稼動初期時間の範囲でマスターボール213のZ位置はシフトする。これに対して、図3に示すように、シフト量算出部33により算出されたZシフト量で補正を行った場合、稼動開始からマスターボール213のZ位置は殆どシフトしておらず、その効果が確認できる。
次に、Z測定値補正の方法について説明する。
図5は、Z測定値補正の方法を示すフローチャートである。
制御部3は、記憶部31に記憶されたZシフト補正プログラムが実行されると、図5に示すように、以下のステップS1〜S3を実行する。
次に、シフト量算出部33は、記憶部31から、基準位置データ(L1、L2、X0、X1、X2)を取得し、ステップS1の温度検出ステップにより算出された各平均温度、およびスライダ223の位置であるx座標を用い、上述した式(5)〜(7)に基づいて、Zシフト量を算出する(S2:Zシフト量算出ステップ)。
Zシフト量算出ステップS2でZシフト量が算出されると、補正部34は、Z軸スケール224AおよびZ軸スケールセンサー223Aにより測定されたZ測定値を、Zシフト量で補正する(S3:補正ステップ)。
以上のステップS1〜S3を実行することによって、制御部3は、Z測定値から、Zシフト量を加減算することで、正確なZ測定値を測定することができる。
上述したように、上記実施形態の三次元測定機1では、コラム221、ラム224、及びサポータ225にそれぞれ温度検出センサー226が設けられ、温度検出部32は、これらの温度検出センサー226から、コラム221、ラム224、及びサポータ225のそれぞれの平均温度を検出する。そして、シフト量算出部33は、検出された各平均温度(Tc,Tr,Ts)、基準温度における基準位置データ(L1,L2,X0,X1,X2)、及び補正係数である熱膨張係数(αc,αr,αs)に基づいて、ラム224(測定子227)のZ軸に沿うZシフト量を算出する。
このため、Z軸に沿うコラム221、ラム224、およびサポータ225が、例えば駆動モーター228の熱によりそれぞれ異なる温度に変動し、それに伴う熱膨張による寸法変動が生じた場合であっても、これらのコラム221、ラム224、およびサポータ225の熱膨張係数からそれぞれの寸法変動量を算出することができ、この寸法変動量に基づいてZシフト量を容易に算出することができる。また、このようなZシフト量に基づいて、補正部34でZ測定値を補正することで、適切に測定値を補正することができ、精度の高い測定を実施することができる。
このような構成では、コラム221やラム224において、熱源である駆動モーター228からの距離により、温度差が生じる場合がある。ここで、熱源から伝達される熱量は、距離に略比例するため、コラム221やラム224の平均温度に基づいて、コラム221やラム224の熱膨張による寸法変動量を算出することができる。
また、サポータ225は、駆動源の駆動力が伝達されない部材であり、コラム221やラム224よりも駆動モーター228から遠い位置に設けられているので、サポータ225の−Z側端部と+Z軸側端部において温度差がほとんどない。このため、本実施形態では、サポータ225には1つの温度検出センサー226Cを、Z軸方向の中心点に設ける構成とした。これに対して、サポータ225の近傍に他の駆動源などの熱源がある場合、この熱源の影響によりサポータ225の各位置における温度に差が生じる場合がある。この場合では、コラム221やラム224と同様に、サポータ225にも複数の温度検出センサー226を設け、温度検出部32は、サポータ225に設置されたこれらの温度検出センサー226からサポータ225の平均温度を算出してもよい。
なお、本発明は、上述した一実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
(Zシフト量)=(X0+x)2×(△S−△C)/(X0+X1+X2)2+△C−△Z …(8)
(Zシフト量)=(X0+x)×(△S−△C)/(X0+X1+X2)+△C−△Z …(9)
Claims (4)
- ベース面に対して直交するZ軸に沿って立設されたコラムおよびサポータと、
これらのコラムおよびサポータの間に設けられたビーム上を移動可能なスライダと、
前記スライダに、Z軸方向に移動可能に保持されたラムと、
前記コラム、前記サポータ、および前記ラムのそれぞれの温度を検出する温度検出手段と、
前記コラム、前記サポータ、および前記ラムの温度変化による前記ラムのZ軸方向に沿ったZ軸シフト量を算出するシフト量算出手段と、を具備し、
前記シフト量算出手段は、前記温度検出手段により検出された前記コラム、前記サポータ、および前記ラムのそれぞれの温度と、前記コラム、前記サポータ、および前記ラムの温度を所定の基準温度に設定した状態での前記コラム、前記サポータ、及び前記ラムの位置関係を示す基準位置データと、温度変化による前記コラム、前記サポータ、及び前記ラムのZ軸方向への寸法変動量を算出するための補正係数と、に基づいて、前記Z軸シフト量を算出する
ことを特徴とする産業機械。 - 請求項1に記載の産業機械において、
前記温度検出手段は、前記コラムの平均温度、前記サポータの平均温度、および前記ラムの平均温度をそれぞれ検出する
ことを特徴とする産業機械。 - 請求項1または請求項2に記載の産業機械において、
前記ラムに設けられ、前記ラムのZ軸方向への移動量を測定するための目盛が設けられたZ軸スケール、および前記スライダに設けられ、前記Z軸スケールの目盛を検出するZ検出部を備え、
前記基準位置データは、前記基準温度における前記ベース面から前記Z検出部までの距離L1、前記基準温度における前記ラムの前記ベース面に対向する先端部から前記ラムのZ軸スケールの固定位置まで距離L2、前記スライダを前記コラムに最も近接させた際の前記コラムの中心軸から前記スライダの中心軸までの距離X0、前記スライダを前記サポータに最も近接させた状態の前記サポータの中心軸から前記スライダの中心軸までの距離X1、および前記スライダがX軸方向への移動可能な距離X2を含み、
前記補正係数は、前記コラムの熱膨張係数αc、前記サポータの熱膨張係数αs、および前記ラムの熱膨張係数αrを含み、
前記シフト量算出手段は、前記温度検出手段により検出された前記コラムの温度Tc、前記温度検出手段により検出された前記サポータの温度Ts、前記温度検出手段により検出された前記ラムの温度Tr、及び前記スライダの位置座標xに基づいて、次式により前記Z軸シフト量を算出する
[数1]
(Z軸シフト量)=(X0+x)3×(△S−△C)/(X0+X1+X2)3+△C−△Z
(ただし、△C=(Tc−T0)×L1×αc
△S=(Ts−T0)×L1×αs
△Z=(Tr−T0)×L2×αr
T0:基準温度)
ことを特徴とする産業機械。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の産業機械において、
当該産業機械は、前記ラムの先端に設けられた測定子を用いて、前記ベース面に載置された被測定対象を測定する測定機であり、
前記シフト量算出手段により算出された前記Z軸シフト量に基づいて、前記測定子で測定された前記被測定対象のZ軸測定値を補正する補正手段を備えた
ことを特徴とする産業機械。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011160700A JP5816475B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-07-22 | 産業機械 |
US13/191,104 US8676527B2 (en) | 2010-08-02 | 2011-07-26 | Industrial machine |
CN201110218335.7A CN102346026B (zh) | 2010-08-02 | 2011-08-01 | 工业用机械 |
DE102011080242.8A DE102011080242B4 (de) | 2010-08-02 | 2011-08-02 | Industrielle Maschine |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173599 | 2010-08-02 | ||
JP2010173599 | 2010-08-02 | ||
JP2011160700A JP5816475B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-07-22 | 産業機械 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012053033A true JP2012053033A (ja) | 2012-03-15 |
JP5816475B2 JP5816475B2 (ja) | 2015-11-18 |
Family
ID=45495150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011160700A Active JP5816475B2 (ja) | 2010-08-02 | 2011-07-22 | 産業機械 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8676527B2 (ja) |
JP (1) | JP5816475B2 (ja) |
CN (1) | CN102346026B (ja) |
DE (1) | DE102011080242B4 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015055517A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械及びシフト量算出方法 |
DE102014016646A1 (de) | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Mitutoyo Corporation | Industriemaschine und Verfahren zum Messen eines Ausmaßes einer Expansion/Kontraktion einer Industriemaschine |
WO2021220595A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社東京精密 | 測定装置 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013001457A1 (de) * | 2013-01-28 | 2014-07-31 | Blum-Novotest Gmbh | In einer Werkstückbearbeitungsmaschine aufzunehmender temperaturkompensierter Messtaster und Verfahren zur Temperaturkompensation eines Messtasters |
WO2015200691A1 (en) * | 2014-06-25 | 2015-12-30 | Emd Millipore Corporation | Compact spiral-wound filter elements, modules and systems |
US10352678B2 (en) * | 2015-09-25 | 2019-07-16 | Mitutoyo Corporation | Coefficient-of-thermal-expansion measurement method of dimension reference gauge, measuring device for coefficient of thermal expansion and reference gauge |
JP6738661B2 (ja) * | 2016-06-16 | 2020-08-12 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械 |
CN106949800B (zh) * | 2017-03-14 | 2019-09-17 | 周口师范学院 | 一种计算机主机箱生产用具有除尘功能的尺寸检测装置 |
JP2018155533A (ja) * | 2017-03-16 | 2018-10-04 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
JP2019158706A (ja) * | 2018-03-15 | 2019-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置のベース |
CN109048875B (zh) * | 2018-09-20 | 2023-05-23 | 金石机器人常州股份有限公司 | 桁架机器人z轴机械手碰撞式补偿装置及其补偿方法 |
CN111571695B (zh) * | 2020-04-08 | 2021-01-12 | 维嘉数控科技(苏州)有限公司 | 钻孔机及钻孔机销钉位置检测方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02223801A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-09-06 | Carl Zeiss:Fa | アルミニウムから成る1つ又は複数の案内部材を備えた座標測定装置並びに該装置のゲージを製作する方法 |
JPH0775937A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-20 | Sodick Co Ltd | 工作機械及びその制御方法 |
JPH11207615A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Toshiba Corp | 研削装置 |
JPH11333670A (ja) * | 1998-03-28 | 1999-12-07 | Snu Precision Co Ltd | 工作機械の熱変形誤差測定及び補正システム |
JP2000046659A (ja) * | 1998-05-06 | 2000-02-18 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 面状センサ、面状センサの配置および熱変形の補償方法 |
JP2001021303A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Mitsutoyo Corp | 変位測定方法及びシステム |
JP2004154907A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Toshiba Mach Co Ltd | 多軸工作機械の熱変位補正方法および装置 |
JP2006272539A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
JP2006281420A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Okuma Corp | Nc工作機械の熱変位補正方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2853501B2 (ja) | 1993-02-01 | 1999-02-03 | 株式会社東京精密 | 座標測定機の温度補正装置 |
JP2853500B2 (ja) | 1993-02-01 | 1999-02-03 | 株式会社東京精密 | 座標測定機の温度補正装置 |
US5611147A (en) * | 1993-02-23 | 1997-03-18 | Faro Technologies, Inc. | Three dimensional coordinate measuring apparatus |
JP3151655B2 (ja) * | 1996-02-19 | 2001-04-03 | オークマ株式会社 | 工作機械の熱変位推定方法 |
JP3633788B2 (ja) * | 1998-07-13 | 2005-03-30 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
JP3822384B2 (ja) | 1999-06-04 | 2006-09-20 | 株式会社共立 | 携帯型動力作業機 |
US6941669B2 (en) * | 2000-06-30 | 2005-09-13 | Magus Gmbh | Method for determining effective coefficient of thermal expansion |
JP2002086329A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-26 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械の熱変位補正量算出方法及び熱変位補正量算出装置 |
JP2008064577A (ja) * | 2006-09-06 | 2008-03-21 | Mitsutoyo Corp | ノギス |
JP5297818B2 (ja) * | 2009-01-06 | 2013-09-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
US20100299094A1 (en) * | 2009-05-23 | 2010-11-25 | Carmar Technology Co., Ltd. | Thermal deformation error compensation method for coordinate measuring machine |
-
2011
- 2011-07-22 JP JP2011160700A patent/JP5816475B2/ja active Active
- 2011-07-26 US US13/191,104 patent/US8676527B2/en active Active
- 2011-08-01 CN CN201110218335.7A patent/CN102346026B/zh active Active
- 2011-08-02 DE DE102011080242.8A patent/DE102011080242B4/de active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02223801A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-09-06 | Carl Zeiss:Fa | アルミニウムから成る1つ又は複数の案内部材を備えた座標測定装置並びに該装置のゲージを製作する方法 |
JPH0775937A (ja) * | 1993-09-07 | 1995-03-20 | Sodick Co Ltd | 工作機械及びその制御方法 |
JPH11207615A (ja) * | 1998-01-23 | 1999-08-03 | Toshiba Corp | 研削装置 |
JPH11333670A (ja) * | 1998-03-28 | 1999-12-07 | Snu Precision Co Ltd | 工作機械の熱変形誤差測定及び補正システム |
JP2000046659A (ja) * | 1998-05-06 | 2000-02-18 | Dr Johannes Heidenhain Gmbh | 面状センサ、面状センサの配置および熱変形の補償方法 |
JP2001021303A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Mitsutoyo Corp | 変位測定方法及びシステム |
JP2004154907A (ja) * | 2002-11-07 | 2004-06-03 | Toshiba Mach Co Ltd | 多軸工作機械の熱変位補正方法および装置 |
JP2006272539A (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Brother Ind Ltd | 工作機械及び工作機械の変位補正方法 |
JP2006281420A (ja) * | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Okuma Corp | Nc工作機械の熱変位補正方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015055517A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-03-23 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械及びシフト量算出方法 |
DE102014016646A1 (de) | 2013-11-11 | 2015-05-13 | Mitutoyo Corporation | Industriemaschine und Verfahren zum Messen eines Ausmaßes einer Expansion/Kontraktion einer Industriemaschine |
JP2015094610A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 株式会社ミツトヨ | 産業機械及びその伸縮量測定方法 |
US9664629B2 (en) | 2013-11-11 | 2017-05-30 | Mitutoyo Corporation | Industrial machine and method for measuring amount of expansion/contraction of industrial machine |
WO2021220595A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社東京精密 | 測定装置 |
JPWO2021220595A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | ||
US11859969B2 (en) | 2020-04-30 | 2024-01-02 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Measurement device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5816475B2 (ja) | 2015-11-18 |
CN102346026B (zh) | 2015-09-30 |
CN102346026A (zh) | 2012-02-08 |
US8676527B2 (en) | 2014-03-18 |
DE102011080242B4 (de) | 2023-08-03 |
US20120029857A1 (en) | 2012-02-02 |
DE102011080242A1 (de) | 2012-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5816475B2 (ja) | 産業機械 | |
JP6366926B2 (ja) | 産業機械及びその伸縮量測定方法 | |
JP6030339B2 (ja) | 形状測定装置 | |
JP5418272B2 (ja) | 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置 | |
JP2006212765A (ja) | 工作機械の熱変位補正方法 | |
JP5486416B2 (ja) | 産業機械 | |
JP2011503628A (ja) | 座標測定機を校正するための方法 | |
JP2008064577A (ja) | ノギス | |
JP5201871B2 (ja) | 形状測定方法及び装置 | |
JP4931867B2 (ja) | 可変端度器 | |
JP2017037068A (ja) | 温度補正方法、温度補正プログラム、温度補正装置、及び座標測定機 | |
US20150012126A1 (en) | Thermal displacement correction method and thermal displacement correction unit | |
JP6738661B2 (ja) | 産業機械 | |
JP6254397B2 (ja) | 産業機械及びシフト量算出方法 | |
JP2020009191A (ja) | 工作機械の数値制御装置 | |
JP6474587B2 (ja) | 測定値補正方法、測定値補正プログラム及び測定装置 | |
JP5557620B2 (ja) | 形状測定装置 | |
KR101679339B1 (ko) | 선형 위치 결정 장치 및 이의 오차 보상 방법 | |
US20190277615A1 (en) | Measurement apparatus | |
JP2007333442A (ja) | 形状測定方法 | |
JP2010107438A (ja) | 産業機械 | |
JP2015059897A (ja) | 測定装置、加工装置、測定方法、および加工方法 | |
CN116460660A (zh) | 机床误差检测方法及其检测装置 | |
JP2023084538A (ja) | 工作機械における誤差推定方法、工作機械の制御装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140602 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150915 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150928 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5816475 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |