JP2012052222A - ナノ粒子の組成物 - Google Patents
ナノ粒子の組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012052222A JP2012052222A JP2011157678A JP2011157678A JP2012052222A JP 2012052222 A JP2012052222 A JP 2012052222A JP 2011157678 A JP2011157678 A JP 2011157678A JP 2011157678 A JP2011157678 A JP 2011157678A JP 2012052222 A JP2012052222 A JP 2012052222A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- composition
- metal
- alkyl
- nanoparticles
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 64
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 51
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 51
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims abstract description 44
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims abstract description 39
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims abstract description 16
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 8
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052701 rubidium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 37
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 17
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 15
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 claims description 9
- 125000004169 (C1-C6) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 7
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 claims description 7
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 claims description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000006273 (C1-C3) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 claims description 2
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N rubidium atom Chemical compound [Rb] IGLNJRXAVVLDKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000570 Cupronickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 12
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 54
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 38
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 31
- -1 palladium ions Chemical class 0.000 description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 17
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 229910001854 alkali hydroxide Inorganic materials 0.000 description 14
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 14
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 10
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 10
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 9
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 8
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 8
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 8
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 8
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical group [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 8
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002280 amphoteric surfactant Substances 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N Acetaminophen Chemical compound CC(=O)NC1=CC=C(O)C=C1 RZVAJINKPMORJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 6
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N dodecyldimethylamine N-oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] SYELZBGXAIXKHU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 6
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 6
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 4
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 4
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N borane Chemical compound B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021538 borax Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
- ONHFWHCMZAJCFB-UHFFFAOYSA-N myristamine oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] ONHFWHCMZAJCFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IBOBFGGLRNWLIL-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylhexadecan-1-amine oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] IBOBFGGLRNWLIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 4
- 229920001955 polyphenylene ether Polymers 0.000 description 4
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 4
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 4
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 4
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 235000010339 sodium tetraborate Nutrition 0.000 description 4
- 239000004328 sodium tetraborate Substances 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 3
- XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N acrylonitrile butadiene styrene Chemical compound C=CC=C.C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 XECAHXYUAAWDEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004676 acrylonitrile butadiene styrene Substances 0.000 description 3
- 229920000122 acrylonitrile butadiene styrene Polymers 0.000 description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 3
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 3
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate pentahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.[Cu+2].[O-]S([O-])(=O)=O JZCCFEFSEZPSOG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N disodium;3,7-dioxido-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3,5,7-tetraborabicyclo[3.3.1]nonane Chemical compound [Na+].[Na+].O1B([O-])OB2OB([O-])OB1O2 UQGFMSUEHSUPRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- 125000001421 myristyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 3
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 125000000913 palmityl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 229910000033 sodium borohydride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012279 sodium borohydride Substances 0.000 description 3
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 3
- KRAHLZAGPKKBSW-UHFFFAOYSA-N tetrasodium;dioxidophosphanyl phosphite Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])OP([O-])[O-] KRAHLZAGPKKBSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 3
- TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N (1,10,13-trimethyl-3-oxo-4,5,6,7,8,9,11,12,14,15,16,17-dodecahydrocyclopenta[a]phenanthren-17-yl) heptanoate Chemical compound C1CC2CC(=O)C=C(C)C2(C)C2C1C1CCC(OC(=O)CCCCCC)C1(C)CC2 TXUICONDJPYNPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 2
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 2
- PLZVEHJLHYMBBY-UHFFFAOYSA-N Tetradecylamine Chemical group CCCCCCCCCCCCCCN PLZVEHJLHYMBBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004699 Ultra-high molecular weight polyethylene Substances 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 229920001893 acrylonitrile styrene Polymers 0.000 description 2
- 238000007605 air drying Methods 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 2
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 2
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 2
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 2
- LEQAOMBKQFMDFZ-UHFFFAOYSA-N glyoxal Chemical compound O=CC=O LEQAOMBKQFMDFZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 239000011118 polyvinyl acetate Substances 0.000 description 2
- 229920002689 polyvinyl acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 2
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 2
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 2
- SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N prop-2-enenitrile;styrene Chemical compound C=CC#N.C=CC1=CC=CC=C1 SCUZVMOVTVSBLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 238000010561 standard procedure Methods 0.000 description 2
- 239000001119 stannous chloride Substances 0.000 description 2
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 2
- 125000004079 stearyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000785 ultra high molecular weight polyethylene Polymers 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4-difluorophenoxy)pyridin-3-amine Chemical compound NC1=CC=CN=C1OC1=CC=C(F)C=C1F LCPVQAHEFVXVKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 3-amino-2-(4-chlorophenyl)-1-propanesulfonic acid Chemical compound OS(=O)(=O)CC(CN)C1=CC=C(Cl)C=C1 JYLNVJYYQQXNEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIROYDNZEPTFOL-UHFFFAOYSA-N 5,5-Dimethylhydantoin Chemical compound CC1(C)NC(=O)NC1=O YIROYDNZEPTFOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- CIWBSHSKHKDKBQ-DUZGATOHSA-N D-isoascorbic acid Chemical compound OC[C@@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-DUZGATOHSA-N 0.000 description 1
- 239000004641 Diallyl-phthalate Substances 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019482 Palm oil Nutrition 0.000 description 1
- 229930040373 Paraformaldehyde Natural products 0.000 description 1
- 229930182556 Polyacetal Natural products 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M Sodium laurylsulphate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O DBMJMQXJHONAFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YZCKVEUIGOORGS-NJFSPNSNSA-N Tritium Chemical compound [3H] YZCKVEUIGOORGS-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005263 alkylenediamine group Chemical group 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N ammonium lauryl sulfate Chemical compound [NH4+].CCCCCCCCCCCCOS([O-])(=O)=O BTBJBAZGXNKLQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940063953 ammonium lauryl sulfate Drugs 0.000 description 1
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 239000011260 aqueous acid Substances 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- OCSIXPGPUXCISD-UHFFFAOYSA-N azane;2-[dodecanoyl(methyl)amino]acetic acid Chemical compound N.CCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC(O)=O OCSIXPGPUXCISD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N bis(prop-2-enyl) benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound C=CCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC=C QUDWYFHPNIMBFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJROYUJAFGZMJA-UHFFFAOYSA-N boron;morpholine Chemical compound [B].C1COCCN1 YJROYUJAFGZMJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N boron;propan-2-amine Chemical compound [B].CC(C)N ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 239000006172 buffering agent Substances 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004359 castor oil Substances 0.000 description 1
- 235000019438 castor oil Nutrition 0.000 description 1
- 229920006317 cationic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003240 coconut oil Substances 0.000 description 1
- 235000019864 coconut oil Nutrition 0.000 description 1
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000002059 diagnostic imaging Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 1
- YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoboron Chemical compound [B]N(C)C YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000002651 drug therapy Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 1
- 235000010350 erythorbic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000011094 fiberboard Substances 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960004279 formaldehyde Drugs 0.000 description 1
- 235000019256 formaldehyde Nutrition 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229940013688 formic acid Drugs 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 125000005456 glyceride group Chemical group 0.000 description 1
- ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N glycerol triricinoleate Natural products CCCCCC[C@@H](O)CC=CCCCCCCCC(=O)OC[C@@H](COC(=O)CCCCCCCC=CC[C@@H](O)CCCCCC)OC(=O)CCCCCCCC=CC[C@H](O)CCCCCC ZEMPKEQAKRGZGQ-XOQCFJPHSA-N 0.000 description 1
- 229940015043 glyoxal Drugs 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940026239 isoascorbic acid Drugs 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 125000002960 margaryl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- UTTVXKGNTWZECK-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethyloctadecan-1-amine oxide Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)[O-] UTTVXKGNTWZECK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BORTXUKGEOWSPS-UHFFFAOYSA-N n-dimethylboranylmethanamine Chemical compound CNB(C)C BORTXUKGEOWSPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RRIWRJBSCGCBID-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O RRIWRJBSCGCBID-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229940116202 nickel sulfate hexahydrate Drugs 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001196 nonadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003002 pH adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 239000002540 palm oil Substances 0.000 description 1
- 229920002866 paraformaldehyde Polymers 0.000 description 1
- 125000002958 pentadecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 159000000001 potassium salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 150000003141 primary amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 229940071089 sarcosinate Drugs 0.000 description 1
- 108700004121 sarkosyl Proteins 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000344 soap Substances 0.000 description 1
- KSAVQLQVUXSOCR-UHFFFAOYSA-M sodium lauroyl sarcosinate Chemical compound [Na+].CCCCCCCCCCCC(=O)N(C)CC([O-])=O KSAVQLQVUXSOCR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940045885 sodium lauroyl sarcosinate Drugs 0.000 description 1
- 235000019333 sodium laurylsulphate Nutrition 0.000 description 1
- CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L sodium persulfate Substances [Na+].[Na+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O CHQMHPLRPQMAMX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- ZUFONQSOSYEWCN-UHFFFAOYSA-M sodium;2-(methylamino)acetate Chemical compound [Na+].CNCC([O-])=O ZUFONQSOSYEWCN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003549 soybean oil Substances 0.000 description 1
- 235000012424 soybean oil Nutrition 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N tin(ii) oxide Chemical group [Sn]=O QHGNHLZPVBIIPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- KQBSGRWMSNFIPG-UHFFFAOYSA-N trioxane Chemical compound C1COOOC1 KQBSGRWMSNFIPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006305 unsaturated polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
- 238000004078 waterproofing Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
- B01J31/02—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
- B01J31/0201—Oxygen-containing compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/40—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals of the platinum group metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/38—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of noble metals
- B01J23/48—Silver or gold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J23/00—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00
- B01J23/70—Catalysts comprising metals or metal oxides or hydroxides, not provided for in group B01J21/00 of the iron group metals or copper
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
- B01J31/02—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
- B01J31/0234—Nitrogen-, phosphorus-, arsenic- or antimony-containing compounds
- B01J31/0235—Nitrogen containing compounds
- B01J31/0237—Amines
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J31/00—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds
- B01J31/02—Catalysts comprising hydrides, coordination complexes or organic compounds containing organic compounds or metal hydrides
- B01J31/0234—Nitrogen-, phosphorus-, arsenic- or antimony-containing compounds
- B01J31/0271—Nitrogen-, phosphorus-, arsenic- or antimony-containing compounds also containing elements or functional groups covered by B01J31/0201 - B01J31/0231
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/20—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their non-solid state
- B01J35/23—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their non-solid state in a colloidal state
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/30—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by their physical properties
- B01J35/391—Physical properties of the active metal ingredient
- B01J35/393—Metal or metal oxide crystallite size
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J35/00—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties
- B01J35/40—Catalysts, in general, characterised by their form or physical properties characterised by dimensions, e.g. grain size
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1603—Process or apparatus coating on selected surface areas
- C23C18/1607—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning
- C23C18/1608—Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning from pretreatment step, i.e. selective pre-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/18—Pretreatment of the material to be coated
- C23C18/1803—Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces
- C23C18/1824—Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces by chemical pretreatment
- C23C18/1827—Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces by chemical pretreatment only one step pretreatment
- C23C18/1831—Use of metal, e.g. activation, sensitisation with noble metals
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
本出願は2010年7月20日に出願された米国仮特許出願第61/365,911号に対する35U.S.C.119(e)の下での優先権の利益を主張し、その仮出願の全内容は参照によって本明細書に組み込まれる。
本発明は両性界面活性剤の層でコーティングされたナノ粒子の組成物に関する。より具体的には、本発明は、ナノ粒子の組成物が無電解金属めっきのための触媒として機能する両性界面活性剤の層でコーティングされたナノ粒子の組成物に関する。
本発明は両性界面活性剤の層でコーティングされたナノ粒子の組成物に関する。より具体的には、本発明は、ナノ粒子の組成物が無電解金属めっきのための触媒として機能する両性界面活性剤の層でコーティングされたナノ粒子の組成物に関する。
ナノ粒子は、生物学、化学、材料科学および医学など様々な用途に価値のある特性を有する。ナノ粒子の有用性はその安定性もしくは毒性によって制限される。ナノ粒子上のコーティングの特性はその物理的および化学的挙動に影響を与える。ナノ粒子上のコーティングはコーティングされたナノ粒子の表面特性を決定する。例えば、米国特許出願公開第2008/0089836号は表面結合性分子および両親媒性分子から形成される二層の分子でコーティングされている金属ナノ粒子を開示する。表面結合性分子はナノ粒子と直接接触しており、疎水性部分とナノ粒子に対する親和性を有する部分とを含む。両親媒性層は疎水性部分と親水性部分との双方を含む。この表面結合性層と両親媒性層は疎水性相互作用によって一緒に保持される。両親媒性層の親水性部分は、ナノ粒子の水溶性の増大などの外部環境に対する所望の特性を与える。ナノ粒子の直径は1nm〜200nm(ナノメートル)のサイズの範囲であり得る。米国特許出願公開第2008/0089836号に開示されたナノ粒子は実質的に生物学的用途、例えば、イムノラベリング、医療用造影および薬物療法に関する。
典型的には、ナノ粒子はコーティングに使用される。コーティングは多くの産業、例えば、塗料、磁気ディスク、蛍光スクリーン、非粘着性表面、反射体、研磨剤、防錆剤、防水剤、接着剤、触媒表面、並びに多くの他の分野において重要な役割を果たす。
さまざまな産業において、ナノ粒子を使用して基体上に金属を無電解めっきするための触媒表面を形成する。無電解めっきの特性はそのプロセスが自己触媒的であり堆積が触媒表面上で起こることである。無電解めっきはめっき浴に添加される化学的還元剤の存在に基づく。電解めっき浴中で電流が金属イオンを金属に還元するのと類似の方法で、還元剤はめっき浴中で正に帯電した金属イオンに電子を供給して、このイオンを金属に還元する。
無電解めっきはいくつかの望ましい結果を生じさせる。作業者は多くの場合、電解めっき方法を用いて、均一な厚みの金属層を隙間もしくは穴を有する基体上に堆積させるのに困難を有している。この特性は、プリント回路もしくはプリント配線板が高アスペクト比のスルーホール内にめっきされた均一な金属堆積物を要求するエレクトロニクス産業などの多くの産業において重要である。無電解めっきの他の特性および用途は非導電体上に直接生じさせられうる堆積物、電解めっきよりも多くの場合多孔度が低い堆積物、並びに多くの場合従来のものではない化学的、機械的もしくは磁気的特性、例えば、より高い硬度および耐摩耗性を有する堆積物である。触媒を使用する無電解めっきは様々な装飾物品の製造、および多くの他のエレクトロニクス用途、例えば、電磁波妨害(EMI)および無線周波妨害(RFI)シールドの形成にも使用される。
プリント回路板の金属化において、最も一般的な触媒は塩酸溶液中でのモル過剰の第1スズとパラジウムイオンとの反応生成物である。この反応生成物はスズ−パラジウムコロイドであると考えられている。酸化スズはパラジウムのための保護コロイドを形成し、過剰の第1スズは酸化防止剤として機能すると考えられている。しかし、パラジウムを還元させるために使用される塩化第1スズはコスト高であり、かつ酸化されたスズは別のアクセレレーションの工程を必要とする。触媒のコスト低減を助けるために塩化第1スズを排除するパラジウム触媒の開発の試みがなされてきた。このような触媒には、約50nmの小ささのパラジウム粒子が挙げられうるが、この粒子サイズ分布は幅広く変動する場合があり、約200nmの平均粒子サイズを有する場合があり、これは一般的にはその不安定性および全体的に劣った性能のせいでプリント回路板産業における商業化の目的に適さないことが見いだされてきた。さらに、パラジウム自体は非常にコスト高であり、かつこの触媒の劣った性能および不安定性はプリント回路板製造者並びに顧客に対してコストを増大させる。
コロイド銅触媒のようなスズ−パラジウム触媒に代わるものを見いだす試みがなされてきたが、しかし、このような触媒は酸化的攻撃を受けやすく結果的に安定性および機能の喪失をもたらす。それらは高濃度の銅を必要とし、かつ限定された安定性の高活性銅めっき液を必要とする。
よって、金属の無電解めっきに使用される金属ナノ粒子の触媒が存在するが、安定で、コスト効果的であり、商業化目的に好適な金属堆積物を提供する金属ナノ粒子の触媒についての必要性が依然として存在する。
組成物は、一般式:
(式中、R1は非置換(C14〜C30)アルキルであり、R2およびR3は同じかまたは異なっており、非置換(C1〜C6)アルキルである)
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む。
方法は、a)基体を提供し;b)一般式:
(式中、R1は非置換(C14〜C30)アルキルであり、R2およびR3は同じかまたは異なっており、非置換(C1〜C6)アルキルである)
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む触媒組成物を基体に適用し;並びにb)基体上に金属を無電解めっきすることを含む。
方法は、a)スルーホールを有する基体を提供し;b)スルーホールをデスメアし;c)カチオンを含む組成物を基体のスルーホールに適用し;d)一般式:
(式中、R1は非置換(C14〜C30)アルキルであり、R2およびR3は同じかまたは異なっており、非置換(C1〜C6)アルキルである)
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む触媒組成物を基体のスルーホールに適用し;並びにe)スルーホールの壁上に金属を無電解めっきすることを含む。
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む。
方法は、a)基体を提供し;b)一般式:
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む触媒組成物を基体に適用し;並びにb)基体上に金属を無電解めっきすることを含む。
方法は、a)スルーホールを有する基体を提供し;b)スルーホールをデスメアし;c)カチオンを含む組成物を基体のスルーホールに適用し;d)一般式:
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む触媒組成物を基体のスルーホールに適用し;並びにe)スルーホールの壁上に金属を無電解めっきすることを含む。
上記一般式を有するアミンオキシドはナノ粒子の表面に隣接してその周りに層を形成し、よってナノ粒子を封入する。このことは、基体の表面上に金属が無電解めっきされうるように、触媒金属ナノ粒子が基体の表面に付着することを可能にする。金属堆積物は低い多孔度を有し、かつ基体に充分に付着する。この触媒は標準のプリント回路板アセンブリプロセスに適合性であり、この触媒ナノ粒子の組成物はそれらが商業的に使用されうるように無電解めっき中で安定であり、かつこの組成物は長期間の貯蔵中でも安定である。さらに、この触媒ナノ粒子の組成物はスズを排除し、かつ触媒金属としてのパラジウムを排除することができ、よって製造者および顧客の双方に対して無電解めっきのコストを低減させる。
本明細書を通じて使用される場合、文脈が明らかに他のことを示さない限りは以下に示される略語は以下の意味を有する:g=グラム;mg=ミリグラム;ppm=百万あたりの部;ml=ミリリットル;L=リットル;cm=センチメートル;m=メートル;mm=ミリメートル;μm=ミクロン;℃=摂氏度;g/L=リットルあたりのグラム;重量%=重量パーセント;mΩ=ミリオーム;並びにTg=ガラス転移温度。
用語「プリント回路板」および「プリント配線板」は本明細書を通じて交換可能に使用される。用語「めっき」および「堆積」は本明細書を通じて交換可能に使用される。用語「アルキル」基とは脂肪族炭化水素基をいう。他に示されない限りは、全ての量は重量パーセントである。全ての数値範囲は包括的であり、かつ合計で100%になることにこのような数値範囲が制約されることが論理的である場合を除いて任意に組み合わせ可能である。
組成物は、下記一般式:
(式中、R1は非置換(C14〜C30)アルキル基であり、R2およびR3は同じかまたは異なっており、非置換(C1〜C6)アルキル基である)
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む。典型的には、R1は(C14〜C20)アルキルであり、より典型的にはR1は(C14〜C18)アルキルである。R1には、これに限定されないが、アルキル基、テトラデシル、ペンタデシル、ヘキサデシル、ヘプタデシル、オクタデシル、およびノナデシルが挙げられる。好ましくはR1はテトラデシル、ヘキサデシルもしくはオクタデシルである。より好ましくはR1はテトラデシルおよびヘキサデシルである。典型的には、R2およびR3は同じである。好ましくはR2およびR3は同じであり、(C1〜C3)アルキルである。より好ましくはR2およびR3は同じであり、C1アルキルである。R2およびR3のアルキル基には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ターシャリーブチル、ペンチルおよびヘキシルが挙げられる。R1、R2およびR3は非環式炭化水素鎖である。
を有する1種以上のアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子を含む。典型的には、R1は(C14〜C20)アルキルであり、より典型的にはR1は(C14〜C18)アルキルである。R1には、これに限定されないが、アルキル基、テトラデシル、ペンタデシル、ヘキサデシル、ヘプタデシル、オクタデシル、およびノナデシルが挙げられる。好ましくはR1はテトラデシル、ヘキサデシルもしくはオクタデシルである。より好ましくはR1はテトラデシルおよびヘキサデシルである。典型的には、R2およびR3は同じである。好ましくはR2およびR3は同じであり、(C1〜C3)アルキルである。より好ましくはR2およびR3は同じであり、C1アルキルである。R2およびR3のアルキル基には、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、ターシャリーブチル、ペンチルおよびヘキシルが挙げられる。R1、R2およびR3は非環式炭化水素鎖である。
アミンオキシドはアルキルジアルキルアミンオキシド両性界面活性剤であり、7より高いpHでアミンオキシドは正味負電荷を有する。アルキルジアルキルアミンオキシドは当該技術分野において周知であり、多くは市販されており、または文献に知られた方法に従って製造されうる。
触媒組成物中に含まれるアミンオキシドの量は組成物中のナノ粒子を基準にする。触媒組成物のナノ粒子:アミンオキシド重量範囲の比率は重量比で1:5以上、または例えば重量比で1:5〜1:30、または例えば重量比で1:10〜1:15の範囲であり得る。
金属ナノ粒子は50nm以下の平均直径を有する。典型的には、金属ナノ粒子は1nm〜30nm、または例えば5nm〜20nmの平均直径を有する。触媒金属には、これに限定されないが、銀、金、白金、インジウム、ルビジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、銅、コバルト、ニッケルおよび鉄が挙げられる。典型的な触媒金属には、銀、金および白金が挙げられる。より典型的には、銀および金が触媒金属の選択肢である。好ましくは、銀が触媒金属の選択肢である、というのは、それは熱力学的により安定な金属、すなわち腐蝕耐性なものの1つであり、かつパラジウムよりもかなり安価、すなわち、パラジウムよりも27倍安価だからである。パラジウムは触媒金属として使用されうるが、銀はパラジウムよりも好ましい、というのは、このコロイドは、パラジウムの使用を回避してパラジウム触媒に関連するコストを低減させ、同時に安定かつ商業的に有用な触媒を提供する触媒に関するからである。この組成物は好ましくはパラジウムを除く。ナノ粒子は75ppm以上、または例えば150ppm〜250ppm、または例えば180ppm〜210ppmの量で触媒組成物中に含まれる。
金属塩もしくは金属酸化物が使用される場合には、1種以上の還元剤を用いてそれらはその金属状態に還元される。様々な還元剤が当該技術分野において知られている。このような還元剤には、これに限定されないが、水素化ホウ素アルカリ金属、例えば、水素化ホウ素ナトリウムおよび水素化ホウ素カリウム、置換水素化ホウ素、例えば、トリメトキシ水素化ホウ素、ボラン、例えば、アミンボラン、ジメチルアミノボラン、トリメチルアミノボラン、イソプロピルアミンボラン、およびモルホリンボラン、アスコルビン酸、イソ−アスコルビン酸、ギ酸、ホルムアルデヒド、およびホルムアルデヒド前駆体もしくは誘導体、例えば、パラホルムアルデヒド、トリオキサン、ジメチルヒダントインおよびグリオキサール、およびヒドラジン、並びにこれらの誘導体が挙げられる。還元剤は金属塩もしくは金属酸化物の50%モル過剰、または例えば50%〜70%モル過剰、または例えば50%〜60%モル過剰の量で触媒組成物中に含まれうる。
組成物はアミンオキシドで封入された金属ナノ粒子の水性コロイド溶液である。この組成物はナノ粒子コロイド溶液を製造する当該技術分野で知られたあらゆる好適な方法によって製造されうる。一方法においては、還元された金属、金属塩もしくは金属酸化物は50nm以下のナノ粒子までボールミルされる。金属ナノ粒子が金属塩もしくは金属酸化物から製造される場合には、それらは水中に溶解され、攪拌下でアミンオキシドと混合される。次いで、還元剤が添加されて、金属イオンをその金属状態に還元する。その水溶液のpHは酸性、中性もしくはアルカリ性であり得る。典型的には、この溶液のpHは7より高く、または例えば7.5〜14、または例えば8〜12に維持され、アミンオキシドをそのアニオン性状態に維持する。典型的には、水酸化ナトリウムもしくは水酸化カリウムが水溶液に添加されて、pHを所望のアルカリ性範囲に調節する。酸性溶液が望まれる場合には、典型的には、塩酸もしくは硫酸が使用されてpHを調節する。酸性溶液においては、アミンオキシドは正味正電荷を有する。酸性溶液は7未満、または例えば1〜6、または例えば2〜4のpHを有する。pH7の中性溶液においては、アミンオキシドは実質的にその両性もしくは両性イオン状態にある。pHの安定性を維持するために緩衝性化合物が使用されうる。このような化合物には、これに限定されないが、アミン、例えば、モノエタノールアミン、ジエタノールアミンおよびトリエタノールアミン、ホウ砂およびホスファートが挙げられる。
組成物は、基体の無電解金属化のための様々な種類の基体のための触媒として使用されうる。このような基体には、これに限定されないが、EMIおよびRFIシールディングの形成のための誘電体表面の金属化におけるような、誘電体材料の金属化において、並びにスルーホールおよびバイアの金属化におけるようなプリント回路板が挙げられる。
アミンオキシド封入ナノ粒子触媒組成物は様々な基体に適用されうる。このような基体には、これに限定されないが、熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂であり得るプラスチックのような非導電体が挙げられる。典型的な熱可塑性樹脂には、これに限定されないが、汎用プラスチック、例えば、PE(ポリエチレン)、PVC(ポリ塩化ビニル)、PS(ポリスチレン)、PP(ポリプロピレン)、ABS(アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン)、AS(アクリロニトリル−スチレン)、PMMA(ポリメタクリル酸メチル)、PVA(ポリ酢酸ビニル)、PVDC(ポリ塩化ビニリデン)、PPO(ポリフェニレンオキシド)、およびPET(ポリエチレンテレフタラート);汎用エンジニアリングプラスチック、例えば、PA(ポリアミド)、POM(ポリアセタール)、PC(ポリカルボナート);PPE(改変ポリフェニレンエーテル)、PBT(ポリブチレンテレフタラート)、GE−PET(ガラス繊維強化ポリエチレンテレフタラート)、およびUHPE(超高分子量ポリエチレン);およびスーパーエンジニアリングプラスチック、例えば、PSF(ポリスルホン)、PES(ポリエーテルスルホン)、PPS(ポリフェニレンスルフィド)、PAR(ポリアリーラート)、PAI(ポリアミドイミド)、PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)、PI(ポリイミド)およびフルオロカーボン樹脂が挙げられる。典型的な熱硬化性樹脂には、これに限定されないが、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、アルキド樹脂、不飽和ポリエステル、エポキシ樹脂、フタル酸ジアリルポリマー、ポリウレタンおよびシリコーン樹脂が挙げられる。
高および低Tgポリマー樹脂含有基体の双方は金属ナノ粒子触媒を使用して金属化されうる。低Tgポリマー樹脂は典型的に160℃未満のTgを有する樹脂である。高Tgポリマー樹脂は一般に160℃以上のTg値を有する。典型的には、高Tgポリマー樹脂は、160℃〜280℃、または例えば170℃〜240℃の範囲のTgを有する。
ポリマー樹脂の例には、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)およびポリテトラフルオロエチレンブレンドの高Tg樹脂が挙げられる。このようなブレンドには、例えば、ポリフェニレンオキシドおよびシアナートエステルを含むPTFEが挙げられる。高Tgの樹脂を含むポリマー樹脂の別の種類には、これに限定されないが、エポキシ樹脂、例えば、二官能性および多官能性エポキシ樹脂、ビマレイミド/トリアジンおよびエポキシ樹脂(BTエポキシ)、エポキシ/ポリフェニレンオキシド樹脂、アクリロニトリルブタジエンスチレン、ポリカルボナート(PC)、ポリフェニレンオキシド(PPO)、ポリフェニレンエーテル(PPE)、ポリフェニレンスルフィド(PPS)、ポリスルホン(PS)、ポリアミド、ポリエステル、例えば、ポリエチレンテレフタラート(PET)、およびポリブチレンテレフタラート(PBT)、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)、液晶ポリマー、ポリウレタン、ポリエーテルイミド、エポキシおよびこれらのコンポジットが挙げられる。
プリント回路板の製造においては、ドリルもしくはパンチもしくは当該技術分野で知られている何らかの他の方法によってスルーホールが板に形成される。小さなスルーホールは典型的には直径0.2mm〜0.5mmの範囲である。これに対して、大きなスルーホールは典型的には直径0.5mm〜1mmの範囲である。スルーホールのアスペクト比は1:1〜20:1の範囲であり得る。スルーホールの代わりにマイクロバイアが形成される場合には、典型的にはマイクロバイアは50μm〜300μmの直径を有する。
スルーホールの形成後、板は水ですすがれ板を清浄化しグリース除去するために従来の有機溶液が使用され、次いで、スルーホール壁をデスメアする。スルーホールの典型的なデスメアは溶媒膨潤剤(solvent swell)の適用で始まる。
スルーホールをデスメアするために何らかの従来の溶媒膨潤剤が使用されうる。溶媒膨潤剤の例としては、グリコールエーテルおよびその関連する酢酸エーテルが挙げられる。従来の量のグリコールエーテルおよびその関連する酢酸エーテルが使用されうる。このような溶媒膨潤剤は当該技術分野において周知である。市販の溶媒膨潤剤の例はサーキュポジットコンディショナー(CIRCUPOSIT CONDITIONER商標)3302溶媒膨潤剤、サーキュポジットホールプレプ商標3303溶媒膨潤剤、およびサーキュポジットホールプレプ商標4120溶媒膨潤剤(マサチューセッツ州、マルボロのザダウケミカルカンパニーから入手可能)が挙げられる。
場合によっては、スルーホールは水ですすがれる。次いで、プロモーターがスルーホールに適用される。従来のプロモーターが使用されうる。このようなプロモーターには、硫酸、クロム酸、過マンガン酸アルカリもしくはプラズマエッチングが挙げられる。典型的には、過マンガン酸アルカリがプロモーターとして使用される。市販のプロモーターの例は、サーキュポジットプロモーター(CIRCUPOSIT PROMOTER商標)4130プロモーター(マサチューセッツ州、マルボロのザダウケミカルカンパニーから入手可能)が挙げられる。
場合によっては、スルーホールは水で再びすすがれる。次いでスルーホールに中和剤が適用されて、プロモーターにより残される何らかの酸残留物もしくは塩基残留物を中和する。従来の中和剤が使用されうる。典型的には、中和剤は1種以上のアミンを含むアルカリ水溶液であるか、または3重量%のペルオキシドおよび3重量%の硫酸の溶液である。場合によって、スルーホールは水ですすがれ、プリント回路板は乾燥させられる。
場合によっては、スルーホールおよびマイクロバイアは水酸化アルカリ水溶液で処理される。より典型的には、基体が高Tgポリマー樹脂を含む場合に、このような水酸化アルカリ水溶液が使用される。水酸化アルカリ溶液は水酸化ナトリウム、水酸化カリウムもしくはこれらの混合物を含む。典型的には、水酸化ナトリウムの溶液が使用される。水酸化物は溶液中に0.1gm/L〜100gm/L、または例えば5gm/L〜25gm/Lの量で含まれる。より典型的には、水酸化物は、15gm/L〜20gm/Lの量で溶液中に含まれる。水酸化アルカリ溶液が水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとの混合物である場合には、水酸化ナトリウムと水酸化カリウムとは4:1〜1:1、または例えば3:1〜2:1の重量比である。
水酸化アルカリ水溶液はスルーホールおよびマイクロバイアと30秒〜120秒間、または例えば60秒〜90秒間接触しうる。スルーホールまたはマイクロバイアをデスメアした後でめっきする前に水酸化アルカリ溶液を適用することは封入ナノ粒子触媒を用いたスルーホール壁の良好なカバレッジを提供するのを助け、それによりその壁の良好な金属カバレッジを提供することができる。
場合によっては、水酸化アルカリ溶液に界面活性剤が添加されうる。典型的には、界面活性剤は非イオン性界面活性剤である。界面活性剤は表面張力を低減させて、スルーホールの適切な濡れを可能にする。界面活性剤は水酸化アルカリ溶液中に0.05重量%〜5重量%、または例えば0.25重量%〜1重量%の量で含まれうる。好適な非イオン性界面活性剤には、これに限定されないが、脂肪族アルコール、例えば、アルコールアルコキシラートが挙げられる。典型的には、このようなアルコールアルコキシラートは、7〜15炭素の炭素鎖を有する、線状もしくは分岐の、4〜20モルのエトキシラート、典型的には5〜40モルのエトキシラート、より典型的には5〜15モルのエトキシラートのアルコールエトキシラートである。市販のアルコールアルコキシラートの例は、ネオドール(NEODOL)91−6、ネオドール91−8、およびネオドール91−9(テキサス州、ヒューストンのシェルオイルカンパニーから入手可能)である。
場合によっては酸もしくはアルカリコンディショナーがスルーホールもしくはマイクロバイアに適用されうる。従来のコンディショナーが使用されうる。このようなコンディショナーにはカチオン性界面活性剤、非イオン性界面活性剤、錯化剤およびpH調節剤もしくは緩衝剤の1種以上が挙げられうる。市販の酸コンディショナーの例はサーキュポジットコンディショナー商標3320およびサーキュポジットコンディショナー商標3327(マサチューセッツ州、マルボロのザダウケミカルカンパニーから入手可能)である。好適なアルカリコンディショナーには、これに限定されないが、1種以上の第四級アミンおよびポリアミンを含む水性アルカリ界面活性剤溶液が挙げられる。市販のアルカリ界面活性剤の例はサーキュポジットコンディショナー商標231、3325、813および860(マサチューセッツ州、マルボロのザダウケミカルカンパニーから入手可能)である。場合によっては、スルーホールはコンディショニング後に水ですすがれる。
スルーホールもしくはマイクロバイアは次いでマイクロエッチングされる。従来のマイクロエッチング組成物が使用されうる。マイクロエッチングはマイクロ粗化表面を提供し、後の堆積金属の接着性を向上させるようにデザインされる。マイクロエッチング剤には、これに限定されないが、60g/L〜120g/Lの過硫酸ナトリウム、またはオキシモノ過硫酸ナトリウムもしくはカリウム、並びに硫酸(2%)混合物、またはジェネリック硫酸/過酸化水素が挙げられる。市販のマイクロエッチング剤の例はサーキュポジットマイクロエッチ(CIRCUPOSIT MICROETCH商標)3330マイクロエッチ(マサチューセッツ州、マルボロのザダウケミカルカンパニーから入手可能)である。場合によっては、スルーホールは水ですすがれる。
封入ナノ粒子触媒の適用の前に、スルーホールもしくはマイクロバイア壁が処理されて、正味正電荷もしくは正味負電荷を提供する。アミンオキシド封入ナノ粒子が正味負電荷を有する場合には、この壁はカチオンで処理されて壁上に正味正電荷を形成する。あるいは、アミンオキシド封入ナノ粒子が正味正電荷を有する場合には、この壁はアニオンで処理されて壁上に正味負電荷を形成する。壁を正にもしくは負に帯電させる組成物および方法は限定されない。典型的には、この壁は無機酸、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、もしくはカチオン性ポリアミン、例えば、水凝集剤処理で使用されるもので処理されて、正味正電荷を提供する。酸溶液は10重量%〜70重量%の範囲であり得る。カチオン性ポリアミンには、これに限定されないが、エピクロロヒドリンとアンモニアとの重縮合物、アルキレンジアミンとエピクロロヒドリンとの、例えば、ジメチルアミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物、ポリアルキレンポリアミンとエピハロヒドリンとの重縮合物、第1級アミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物、第2級アミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物が挙げられる。このようなカチオン性ポリアミンは当該技術分野における並びに文献における既知の方法によって製造されうる。このような合成方法の例は文献「Synthesis of polyamine flocculants and their potential use in treating dye wastewater(ポリアミン凝集剤の合成および染料廃水処理におけるその潜在的用途)」Yueら、School of Environmental Science and Engineering, Shandong University, Jinan250100,中国に開示されている。また、エピクロロヒドリンとメチルアミンからの水溶性カチオン性ポリマーの製造方法を開示する米国特許第3,567,659号も参照。市販のカチオン性ポリアミンの例はナルコ(NALCO)カチオン性ポリアミン(イリノイ州オークブルックのナルコケミカルカンパニーから入手可能)、マイクロフロック(MICRO FLOCK)−90カチオン性ポリアミン(インド、グジャラト、アーメダバードのMalli Polymers PVT,Ltd.から入手可能)およびコンディショナー860および231(ザダウケミカルカンパニーから入手可能)である。このようなカチオン性界面活性剤は5重量%〜80重量%、または例えば20重量%〜60重量%の水溶液中で使用される。
典型的には、壁はアルカリ塩基、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムもしくはアニオン性界面活性剤で処理されて、正味負電荷を提供する。アルカリ塩基の水溶液は10重量%〜70重量%の範囲である。アニオン性界面活性剤は10重量%〜80重量%、または例えば20重量%〜60重量%の水溶液で使用される。このようなアニオン性界面活性剤には、これに限定されないが、一般式:
R4−SO3−M
(式中、R4は直鎖もしくは分岐鎖の、8〜24個の炭素、または例えば10〜16炭素原子の飽和脂肪族炭化水素基から選択され、Mはカチオン、例えば、ナトリウム、カリウムもしくはアンモニウムである)
の有機硫酸反応生成物の水溶性塩が挙げられる。このようなアニオン性界面活性剤の例はラウリル硫酸ナトリウムおよびラウリル硫酸アンモニウムである。
R4−SO3−M
(式中、R4は直鎖もしくは分岐鎖の、8〜24個の炭素、または例えば10〜16炭素原子の飽和脂肪族炭化水素基から選択され、Mはカチオン、例えば、ナトリウム、カリウムもしくはアンモニウムである)
の有機硫酸反応生成物の水溶性塩が挙げられる。このようなアニオン性界面活性剤の例はラウリル硫酸ナトリウムおよびラウリル硫酸アンモニウムである。
他のアニオン性界面活性剤には、サルコシナート、例えば、ラウロイルサルコシン酸ナトリウム、コシルサルコシン酸ナトリウムおよびラウロイルサルコシン酸アンモニウムが挙げられる。さらに、他のアニオン性界面活性剤には、8〜24個の、または例えば10〜20個の炭素原子を有する脂肪酸のアルカリ金属塩、例えば、ナトリウム塩およびカリウム塩が挙げられる。このような脂肪酸は石けんを製造するのに使用され、植物もしくは動物由来のグリセリド、例えばパーム油、ココナツ油、大豆油、ひまし油、獣脂およびラードから得られうる。
アミンオキシドで封入されたナノ粒子の触媒は、次いで、帯電したスルーホールもしくはマイクロバイアに適用される。スルーホールもしくはマイクロバイアを有する基体は、攪拌しつつコロイド懸濁物の溶液中に沈められて、スルーホールもしくはマイクロバイアの壁をコーティングする。浸漬は100秒〜400秒のもしくは例えば150秒〜250秒の範囲である。温度は室温〜60℃の範囲である。スルーホールもしくはマイクロバイアは、封入ナノ粒子触媒の適用の後で、場合によっては水ですすがれうる。
次いで、スルーホールもしくはマイクロバイアの壁が金属で無電解めっきされる。従来の無電解浴および従来のめっきパラメータが使用されうる。典型的には、スルーホールの壁上に堆積されるべき所望の金属の金属イオンを含む無電解浴中にプリント回路板が配置される。スルーホールの壁上に堆積されうる金属には、これに限定されないが、銅、ニッケル、金、銀、および銅/ニッケル合金が挙げられる。好ましくは、銅が壁上に堆積される。浸漬金もしくは銀を使用する金もしくは銀仕上げの層が、銅、銅/ニッケル、もしくはニッケル堆積物上に堆積されてもよい。
スルーホールの壁上に金属が堆積された後で、スルーホールは場合によっては水ですすがれる。場合によっては、スルーホールの壁上に堆積された金属にさび止め組成物が適用されうる。従来のさび止め組成物が使用されうる。市販のさび止め組成物の例はアンチターニッシュ(ANTI TARNISH商標)7130およびキュプラテック(CUPRATEC商標)3(ザダウケミカルカンパニーから入手可能)である。スルーホールは場合によっては30℃を超える温度で温水すすぎによってすすがれることができ、次いで板は乾燥させられうる。
別の実施形態においては、アミンオキシド封入ナノ粒子はEMIおよびRFIシールディングのための基体の無電解金属めっきに使用されうる。このような基体には典型的には、上述のポリマー樹脂の1種以上が挙げられる。このようなポリマー樹脂は高もしくは低Tg樹脂であり得る。無電解めっきされるべき基体の表面は、従来のエッチング配合物を用いてまず粗化もしくはエッチングされる。従来のエッチング配合物の種類は、基体に含まれるポリマー樹脂の種類に応じて変化する。このようなエッチング配合物は当該技術分野において周知である。エッチング配合物の例はアルカリ過マンガン酸カリウム、400g/Lクロム酸および6g/Lのクロム酸を含む80重量%硫酸である。
アミンオキシド封入ナノ粒子のコロイド溶液は基体をその溶液中に浸漬することにより適用されることができ、またはその溶液はエアガンのような好適な噴霧装置を用いて基体上に噴霧されうる。ブラシがけはコロイド溶液を適用する別の方法である。場合によっては、コロイド溶液が選択的に基体上に堆積され、それにより金属膜が基体上に選択的に堆積されうるように、コロイド溶液を適用する前に、所望のパターンを有するマスクもしくはツールが基体に適用されることができる。
コロイド溶液の0.5〜30μmの湿潤膜が基体表面上に形成されうる。コロイド溶液はすすがれ、反対に帯電した基体に静電的に結合している帯電したナノ粒子を残す。乾燥は空気乾燥によるものであり得る。空気乾燥は20分〜2時間行われることができるが、しかし乾燥時間は乾燥室の周囲条件に応じてより短くてもまたはより長くても良い。
乾燥後、基体は次いで従来の無電解めっき金属浴を用いて所望の金属で無電解めっきされる。連続金属膜は10nm〜10μm、または例えば0.1μm〜5μm、または例えば0.5μm〜2μmの厚みで変化することができる。
金属膜の表面抵抗率は変化することができる。表面抵抗率は50mΩ/m2以下、または例えば0.05mΩ/m2〜30Ω/m2、または例えば1mΩ/m2〜15Ω/m2でありうる。
上記一般式を有するアミンオキシドはナノ粒子の表面に隣接してその周りに層を形成し、よってナノ粒子を封入する。このことは、基体の表面上に金属が無電解めっきされうるように、触媒金属ナノ粒子が基体の表面に付着することを可能にする。金属堆積物は密であり、かつ基体に充分に付着する。この触媒は標準のプリント回路板アセンブリプロセスに適合性であり、この触媒ナノ粒子の組成物はそれらが商業的に使用されうるように無電解めっき中で安定であり、かつこの組成物は長期間の貯蔵中でも安定である。さらに、この触媒ナノ粒子の組成物はスズを排除し、かつ触媒金属としてのパラジウムを排除することができ、よって製造者および顧客の双方に対して無電解めっきのコストを低減させる。
以下の実施例は本発明の範囲を限定することを意図しておらず、本発明をさらに例示することを意図している。
実施例1
4枚の低TgFR4エポキシ/ガラス板(150℃)および4枚の高TgFR4エポキシ/ガラス板(170℃)がウィスコンシン州ラクロセのイソラ(Isola)ラミネートシステムスコーポレーションから得られる。複数のスルーホールがそれぞれの板にドリルで穴開けされる。各板のスルーホールは、次いで、次のような水平デスメアラインプロセスでデスメアされる:
1.各板は240リットルの溶媒膨潤剤で100秒間80℃で処理される。溶媒膨潤剤は10%ジエチレングリコールモノブチルエーテル、界面活性剤、および35g/Lの水酸化ナトリウムの水溶液である。
2.次いで、板は冷水ですすがれる。
3.次いで、各板のスルーホールは、水性過マンガン酸アルカリのアルカリプロモーター500リットルで、pH12で、150秒間、80℃で処理される。
4.板は冷水ですすがれる。
5.次いで、板のスルーホールは、3重量%の過酸化水素および3重量%の硫酸からなる水性中和剤180リットルで、室温で75秒間処理される。
6.次いで、板は冷水ですすがれる。
7.2枚の低Tg板および2枚の高Tg板が、18g/Lの水酸化ナトリウムおよび1g/Lのネオドール91−8を含む150リットルの水酸化アルカリ水溶液で60秒間、50℃で処理される。
8.残りの4枚の板は水酸化アルカリ組成物で処理されない。しかし、1枚の低Tg板および1枚の高Tg板は190リットルの水性酸コンディショナーであるサーキュポジットコンディショナー商標3320で60秒間50℃で処理される。
9.次いで、各板は冷水ですすがれる。
10.次いで、各板のスルーホールは、20重量%の過マンガン酸ナトリウムおよび10重量%の水酸化ナトリウムのアルカリ水溶液100リットルで60分間50℃でマイクロエッチングされる。
11.次いで、板は冷水ですすがれる。
12.次いで、スルーホールはジメチルアミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物5重量%で室温で40秒間処理されて、スルーホール内に正味正電荷を提供する。
13.次いで、各板のスルーホールは、平均サイズ50nmを有する銀ナノ粒子を封入している、40重量%対60重量%のテトラデシル−ジメチルアミンオキシドおよびヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドからなるアミンオキシド両性界面活性剤のブレンドを含む水性コロイド触媒配合物125リットルで215秒間40℃で前処理される。ナノ粒子:アミンオキシドのブレンドの重量比は1:12である。pHは8である。銀のソースは硝酸銀であり、水素化ホウ素ナトリウムを用いてその金属に還元される。
14.次いで、板は冷水ですすがれる。
15.次いで、板のスルーホールの壁は無電解銅浴を用いて300秒間50℃で無電解銅でめっきされる。無電解銅浴は以下の成分を含む:0.02モル/Lの硫酸銅五水和物、0.15モル/Lのクエン酸、0.3モル/Lのジ亜リン酸ナトリウム、0.003モル/Lの四ホウ酸ナトリウム、およびpH10を維持するのに充分な水酸化ナトリウム。
16.無電解銅堆積後、板は冷水ですすがれる。
17.各板は横方向に切断され、スルーホールの銅めっき壁を露出させる。1mm厚の複数の横方向切片が各板の切断されたスルーホールの壁から取り出され、標準のヨーロピアンバックライト評価スケールを用いてその板についてスルーホール壁カバレッジを決定する。
4枚の低TgFR4エポキシ/ガラス板(150℃)および4枚の高TgFR4エポキシ/ガラス板(170℃)がウィスコンシン州ラクロセのイソラ(Isola)ラミネートシステムスコーポレーションから得られる。複数のスルーホールがそれぞれの板にドリルで穴開けされる。各板のスルーホールは、次いで、次のような水平デスメアラインプロセスでデスメアされる:
1.各板は240リットルの溶媒膨潤剤で100秒間80℃で処理される。溶媒膨潤剤は10%ジエチレングリコールモノブチルエーテル、界面活性剤、および35g/Lの水酸化ナトリウムの水溶液である。
2.次いで、板は冷水ですすがれる。
3.次いで、各板のスルーホールは、水性過マンガン酸アルカリのアルカリプロモーター500リットルで、pH12で、150秒間、80℃で処理される。
4.板は冷水ですすがれる。
5.次いで、板のスルーホールは、3重量%の過酸化水素および3重量%の硫酸からなる水性中和剤180リットルで、室温で75秒間処理される。
6.次いで、板は冷水ですすがれる。
7.2枚の低Tg板および2枚の高Tg板が、18g/Lの水酸化ナトリウムおよび1g/Lのネオドール91−8を含む150リットルの水酸化アルカリ水溶液で60秒間、50℃で処理される。
8.残りの4枚の板は水酸化アルカリ組成物で処理されない。しかし、1枚の低Tg板および1枚の高Tg板は190リットルの水性酸コンディショナーであるサーキュポジットコンディショナー商標3320で60秒間50℃で処理される。
9.次いで、各板は冷水ですすがれる。
10.次いで、各板のスルーホールは、20重量%の過マンガン酸ナトリウムおよび10重量%の水酸化ナトリウムのアルカリ水溶液100リットルで60分間50℃でマイクロエッチングされる。
11.次いで、板は冷水ですすがれる。
12.次いで、スルーホールはジメチルアミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物5重量%で室温で40秒間処理されて、スルーホール内に正味正電荷を提供する。
13.次いで、各板のスルーホールは、平均サイズ50nmを有する銀ナノ粒子を封入している、40重量%対60重量%のテトラデシル−ジメチルアミンオキシドおよびヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドからなるアミンオキシド両性界面活性剤のブレンドを含む水性コロイド触媒配合物125リットルで215秒間40℃で前処理される。ナノ粒子:アミンオキシドのブレンドの重量比は1:12である。pHは8である。銀のソースは硝酸銀であり、水素化ホウ素ナトリウムを用いてその金属に還元される。
14.次いで、板は冷水ですすがれる。
15.次いで、板のスルーホールの壁は無電解銅浴を用いて300秒間50℃で無電解銅でめっきされる。無電解銅浴は以下の成分を含む:0.02モル/Lの硫酸銅五水和物、0.15モル/Lのクエン酸、0.3モル/Lのジ亜リン酸ナトリウム、0.003モル/Lの四ホウ酸ナトリウム、およびpH10を維持するのに充分な水酸化ナトリウム。
16.無電解銅堆積後、板は冷水ですすがれる。
17.各板は横方向に切断され、スルーホールの銅めっき壁を露出させる。1mm厚の複数の横方向切片が各板の切断されたスルーホールの壁から取り出され、標準のヨーロピアンバックライト評価スケールを用いてその板についてスルーホール壁カバレッジを決定する。
各板からの1mm切片は50倍拡大の従来の光学顕微鏡下に配置される。顕微鏡下で観察される光の量によって銅堆積物の品質が決定される。光が観察されない場合には、その切片は完全に黒色であり、バックライトスケールで5の評定がなされる。暗い領域なしに切片全体で光が透過する場合には、これは壁上に銅金属堆積物が非常にわずかしかまたは全く存在しないことを示し、この切片は0と評定される。切片がいくぶんかの暗い領域および明るい領域を有する場合には、その切片は0〜5の間の評定がなされる。
穴および隙間が各切片について手作業で計数され、集計され、各板について平均化される。結果は、低および高Tg板双方のスルーホールが4〜5と評定され、またはスルーホールの壁は実質的に完全に銅で覆われていることを示すと考えられる。
実施例2
2枚の低Tg(150℃)FR4エポキシ/ガラス板および2枚の高Tg(170℃)FR4エポキシ/ガラス板、並びに8枚の高Tg(180℃)NELCO4000−6板が提供される。複数のスルーホールがこの板にドリルで穴開けされ、その穴は実施例1に開示されるのと同じ手順でデスメアされる。
2枚の低Tg(150℃)FR4エポキシ/ガラス板および2枚の高Tg(170℃)FR4エポキシ/ガラス板、並びに8枚の高Tg(180℃)NELCO4000−6板が提供される。複数のスルーホールがこの板にドリルで穴開けされ、その穴は実施例1に開示されるのと同じ手順でデスメアされる。
1枚の低TgFR4板が、7g/Lの水酸化ナトリウムを含む水酸化アルカリ組成物で、60秒間50℃で処理される。一枚の高TgFR4板も水酸化アルカリ水溶液で60秒間50℃で処理されるが、この水酸化アルカリ組成物は18g/Lの水酸化ナトリウムと1g/LのNEODOL91−8界面活性剤を含んでいる。
一枚のNELCO4000−6板のスルーホールは、7g/Lの水酸化ナトリウムを含む水性アルカリ組成物で処理され、別のNELCO4000−6板のスルーホールは18g/Lの水酸化ナトリウムを含む水性アルカリ組成物で処理される。それぞれの板は60秒間50℃で処理される。3枚のNELCO板のスルーホールは、18g/Lの水酸化ナトリウムおよび1g/LのNEODOL91−8を含む水酸化アルカリ水性組成物で50℃で60秒間処理される。
全ての板のスルーホールは次いで実施例1におけるように酸性コンディショナーで処理され、次いでスルーホールをマイクロエッチングし、そしてジメチルアミンとエピクロロヒドリンとの重縮合物10重量%をスルーホールに適用して、スルーホールの壁に正味正電荷を提供する。
次いで、各板のスルーホールは、平均サイズ40nmを有する銀金属粒子を封入している、40重量%対60重量%のテトラデシル−ジメチルアミンオキシド、ヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドおよびオクタデシルれジメチルアミンオキシドからなるアミンオキシド両性界面活性剤のブレンドを含む125リットルの水性コロイド触媒配合物で210秒間40℃で前処理される。ナノ粒子:アミンオキシドのブレンドの重量比は1:13である。pHは10である。銀のソースは硝酸銀であり、アスコルビン酸を使用してその金属に還元される。
この板は、次いで、無電解銅/ニッケル合金浴に300秒間50℃で浸漬される。この無電解銅/ニッケル浴は以下の組成を有する:0.02モル/Lの硫酸銅五水和物、0.02モル/Lの硫酸ニッケル六水和物、0.15モル/Lのクエン酸、0.3モル/Lのジ亜リン酸ナトリウム、0.003モル/Lの四ホウ酸ナトリウム、およびpH10を維持するのに充分な量の水酸化ナトリウム。
スルーホールの金属化が完了した後で、標準手順IPC−TM650 2.4.8rev.Dに従って、板は6時間125℃でベークされ、次いで、熱サイクリングにかけられて、その後板を水平に切断して、スルーホールの壁を露出させる。熱サイクリングは288℃で10秒間60%スズおよび40%鉛からなるはんだ(アルファメタルズ(Alpha Metals)から入手可能)に板を浮かべ、次いでその板を110秒間空気冷却することを伴う。このサイクルは5回繰り返される。
各板の複数のスルーホールから1mmの横方向切片が採られる。この切片は最初に光学顕微鏡下で、スルーホール壁に沿った銅/ニッケル堆積物を透過する光の量について分析され、そしてバックライトスケールと比較されて、各切片に値を付与する。このバックライト値は各板について平均化され、4〜5であると予想される。
バックライト値を決定することに加えて、ニッケル/銅堆積物のスルーホール壁剥ぎ取りが決定される。ホール壁剥ぎ取り(HWPA)は、標準の手順を用いて光学顕微鏡下で観察される、ベーキングおよび熱サイクリングによって引き起こされるスルーホール壁からの銅/ニッケル堆積物剥ぎ取りの程度を測定する。評定は0〜3の範囲である。この数値がより小さいと、より少ない金属剥離が観察される。各スルーホール側壁が評定され、評価されるスルーホールの数について、各評定の総数が決定される。次いで、これは、以下の式から平均スルーホール剥ぎ取り(HWPA)を計算するために使用される。
板の全てについての平均HWPAは0〜1であると予想される。
実施例3(比較)
封入銀ナノ粒子を含む2セットのコロイド溶液が製造された。1つのセットは、ドデシルジメチルアミンオキシドで封入された50nmの平均粒子サイズを有する銀ナノ粒子0.3g/Lを含む複数のコロイド溶液を含んでいた。ナノ粒子:アミンオキシドの重量比は1:30であった。第2のセットは、テトラデシル−ジメチルアミンオキシドとヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドの40重量%対60重量%混合物で封入された50nmの平均粒子サイズを有する銀ナノ粒子を含む複数のコロイド溶液を含んでいた。銀ナノ粒子:アミンオキシドの重量比は1:10であった。それぞれのセットについての銀のソースは0.3g/Lの濃度の硝酸銀であった。0.06g/Lの水素化ホウ素ナトリウムを用いて、銀イオンはその金属に還元された。アミンオキシドおよび硝酸銀は一緒にブレンドされて、最後に、30℃で高速フィッシャーサイエンティフィックホモジナイザーによって提供される攪拌下で還元剤が添加された。水酸化ナトリウムで、コロイド混合物のpHは8.5〜11に維持され、アミンオキシド封入銀ナノ粒子上に正味負電荷を形成した。
封入銀ナノ粒子を含む2セットのコロイド溶液が製造された。1つのセットは、ドデシルジメチルアミンオキシドで封入された50nmの平均粒子サイズを有する銀ナノ粒子0.3g/Lを含む複数のコロイド溶液を含んでいた。ナノ粒子:アミンオキシドの重量比は1:30であった。第2のセットは、テトラデシル−ジメチルアミンオキシドとヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドの40重量%対60重量%混合物で封入された50nmの平均粒子サイズを有する銀ナノ粒子を含む複数のコロイド溶液を含んでいた。銀ナノ粒子:アミンオキシドの重量比は1:10であった。それぞれのセットについての銀のソースは0.3g/Lの濃度の硝酸銀であった。0.06g/Lの水素化ホウ素ナトリウムを用いて、銀イオンはその金属に還元された。アミンオキシドおよび硝酸銀は一緒にブレンドされて、最後に、30℃で高速フィッシャーサイエンティフィックホモジナイザーによって提供される攪拌下で還元剤が添加された。水酸化ナトリウムで、コロイド混合物のpHは8.5〜11に維持され、アミンオキシド封入銀ナノ粒子上に正味負電荷を形成した。
複数のエポキシ/ガラス繊維回路板が提供された。この板はサーキュポジットコンディショナー商標860でカチオン処理された。次いで、各板は、板をコロイド懸濁物の浴に200秒間50℃で浸漬することによって、2つのタイプのコロイドの一方で処理された。次いで、処理された板は水ですすがれ;そして、0.02モル/Lの硫酸銅五水和物、0.15モル/Lのクエン酸、0.3モル/Lのジ亜リン酸ナトリウム、0.003モル/Lの四ホウ酸ナトリウム、およびpH10を維持するのに充分な量の水酸化ナトリウムを含む銅無電解めっき浴中に浸漬された。無電解銅浴の温度は35℃であった。板の表面上に1μm〜1.5μm厚の銅膜が形成されるまでめっきがなされた。
それぞれの銅膜堆積物のシート抵抗率がJandel HM20四点プローブを使用して測定された。結果は図に示されるような「抵抗率(mΩ)/スクエア」対「日数」のデカルト平面上にプロットされた。結果は、テトラデシル−ジメチルアミンオキシドとヘキサデシル−ジメチルアミンオキシドとの混合物を含んでいたコロイドを使用してめっきされた銅堆積物の1日目のシート抵抗率が90mΩ/スクエア〜100mΩ/スクエアのシート抵抗率を有していたことを示す。一方、ドデシル−ジメチルアミンオキシドでめっきされた銅堆積物は、150mΩ/スクエア〜160mΩ/スクエアの範囲のさらに高いシート抵抗率を有していた。ドデシル−ジメチルアミンオキシドコロイドを使用してめっきされた銅堆積物のさらに高いシート抵抗率は、これらの板がより少ない銅厚みを有していたことを示し、これはドデシル−ジメチルアミンオキシド安定化銀がより少ない触媒活性銀コロイドしか生じさせなかったことを暗示する。
40℃で4日間貯蔵し、開放雰囲気に曝した後で、コロイド溶液は別の複数のカチオン処理されたエポキシ/ガラス繊維板に適用された。この板は同じ条件下でコロイド溶液で処理され、同じ種類の無電解銅めっき浴で、上述のと同じ条件下でめっきされた。銅膜のシート抵抗率は四点プローブで測定され、デカルト平面上の4日目のところにプロットされた。図から、テトラデシル−およびヘキサデシルアミンオキシドで触媒化された銅膜のシート抵抗率はドデシル−ジメチルアミンオキシドで触媒化された銅膜よりもかなり低く、かつより緊密にまとまっていることが認められうる。さらに、この図は、テトラデシル−およびヘキサデシルアミンオキシドから製造されたコロイドがドデシル−ジメチルアミンオキシドコロイドよりも長期間にわたってその活性を維持していたことを示す。
Claims (10)
- R1が非置換(C14〜C20)アルキルである請求項1に記載の組成物。
- R2およびR3が同じであって、非置換(C1〜C3)アルキルである請求項1に記載の組成物。
- 組成物が7を超えるpHを有する請求項1に記載の組成物。
- ナノ粒子が50nm以下の平均直径を有する請求項1に記載の組成物。
- 金属ナノ粒子が、銀、金、白金、インジウム、ルビジウム、ルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリジウム、銅、コバルト、ニッケルおよび鉄から選択される、請求項1に記載の組成物。
- 金属層が銅、銅合金、ニッケルもしくはニッケル合金から選択される、請求項7に記載の方法。
- カチオンのソースがカチオン性ポリアミンである請求項9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US36591110P | 2010-07-20 | 2010-07-20 | |
US61/365911 | 2010-07-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012052222A true JP2012052222A (ja) | 2012-03-15 |
Family
ID=44834967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011157678A Withdrawn JP2012052222A (ja) | 2010-07-20 | 2011-07-19 | ナノ粒子の組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120177821A1 (ja) |
EP (1) | EP2409762A1 (ja) |
JP (1) | JP2012052222A (ja) |
KR (1) | KR20120011801A (ja) |
CN (1) | CN102423719A (ja) |
TW (1) | TW201223639A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015523464A (ja) * | 2012-05-07 | 2015-08-13 | キュプトロニック テクノロジー リミテッド | 金属を塗布するための方法 |
JP2019529710A (ja) * | 2016-09-16 | 2019-10-17 | アトテック ドイチェランド ゲーエムベーハー | 基板の表面に多層コーティングを提供するための方法 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2514258C1 (ru) * | 2012-12-28 | 2014-04-27 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет" (СПбГУ) | Способ получения суперпарамагнитных частиц никеля и суперпарамагнитная порошковая композиция |
CN104583455B (zh) * | 2013-03-12 | 2018-05-25 | Dic株式会社 | 高精细金属图案的形成方法、高精细金属图案及电子构件 |
US9551074B2 (en) * | 2014-06-05 | 2017-01-24 | Lam Research Corporation | Electroless plating solution with at least two borane containing reducing agents |
JP6359444B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2018-07-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 配線層形成方法、配線層形成システムおよび記憶媒体 |
CN106546720B (zh) * | 2016-10-31 | 2020-05-05 | 山东师范大学 | 一种三维石墨烯/银纳米花可拉伸生物传感器材料的制备方法 |
CN113210600B (zh) * | 2021-04-02 | 2022-07-08 | 南京航空航天大学 | 一种银纳米结构上金原子沉积的控制方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3567659A (en) | 1968-11-26 | 1971-03-02 | American Cyanamid Co | Water-soluble cationic polymers from epichlorohydrin and methylamine |
JPS61276906A (ja) * | 1985-05-31 | 1986-12-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 銀微粒子の製造方法 |
DE19533331A1 (de) * | 1995-09-11 | 1997-03-13 | Basf Ag | Peroxogruppenhaltige Metallkomplexe mit Aminoxid- oder Phosphanoxid-Liganden als Epoxidierungskatalysatoren |
US6660058B1 (en) * | 2000-08-22 | 2003-12-09 | Nanopros, Inc. | Preparation of silver and silver alloyed nanoparticles in surfactant solutions |
JP4932094B2 (ja) * | 2001-07-02 | 2012-05-16 | 日本リーロナール有限会社 | 無電解金めっき液および無電解金めっき方法 |
CN1805788A (zh) * | 2003-04-18 | 2006-07-19 | 住友化学株式会社 | 金属催化剂及其用途 |
JP5095909B2 (ja) * | 2003-06-24 | 2012-12-12 | ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー. | 触媒組成物および析出方法 |
JP4272951B2 (ja) * | 2003-08-06 | 2009-06-03 | 田中貴金属工業株式会社 | 金属コロイド及び該金属コロイドにより製造される機能材料 |
TWI347982B (en) * | 2006-07-07 | 2011-09-01 | Rohm & Haas Elect Mat | Improved electroless copper compositions |
US7906147B2 (en) | 2006-10-12 | 2011-03-15 | Nanoprobes, Inc. | Functional associative coatings for nanoparticles |
-
2011
- 2011-07-18 US US13/184,640 patent/US20120177821A1/en not_active Abandoned
- 2011-07-19 EP EP20110174450 patent/EP2409762A1/en not_active Withdrawn
- 2011-07-19 JP JP2011157678A patent/JP2012052222A/ja not_active Withdrawn
- 2011-07-20 KR KR1020110071887A patent/KR20120011801A/ko not_active Application Discontinuation
- 2011-07-20 CN CN2011102759319A patent/CN102423719A/zh active Pending
- 2011-07-20 TW TW100125567A patent/TW201223639A/zh unknown
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015523464A (ja) * | 2012-05-07 | 2015-08-13 | キュプトロニック テクノロジー リミテッド | 金属を塗布するための方法 |
JP2019529710A (ja) * | 2016-09-16 | 2019-10-17 | アトテック ドイチェランド ゲーエムベーハー | 基板の表面に多層コーティングを提供するための方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20120177821A1 (en) | 2012-07-12 |
EP2409762A1 (en) | 2012-01-25 |
TW201223639A (en) | 2012-06-16 |
KR20120011801A (ko) | 2012-02-08 |
CN102423719A (zh) | 2012-04-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012052222A (ja) | ナノ粒子の組成物 | |
CN108342718B (zh) | 无电极铜电镀组合物 | |
JP6124955B2 (ja) | 無電解銅めっき組成物 | |
KR101389287B1 (ko) | 포름알데히드가 없는 무전해 구리 조성물 | |
KR101410676B1 (ko) | 무전해 구리 및 레독스 커플 | |
JP6322691B2 (ja) | プリント回路基板及びスルーホールの無電解金属化のための環境に優しい安定触媒 | |
JP6444663B2 (ja) | アルカリに安定なピリミジン誘導体含有触媒による誘電体の無電解メタライゼーション | |
TW200813254A (en) | Improved electroless copper compositions | |
KR20050001338A (ko) | 촉매 조성물 및 침착 방법 | |
JP6444664B2 (ja) | アルカリに安定なピラジン誘導体含有触媒による誘電体の無電解メタライゼーション | |
CN105821397A (zh) | 用于无电镀的稳定的纳米粒子 | |
JP2017160541A (ja) | 安定化された銀触媒および方法 | |
JP2014129598A (ja) | ホルムアルデヒドを含まない無電解銅めっき組成物および方法 | |
KR20070058986A (ko) | 유전체의 금속화 | |
JP6322692B2 (ja) | プリント回路基板及びスルーホールの無電解金属化のための環境に優しい安定触媒 | |
JP6322690B2 (ja) | プリント回路基板及びスルーホールの無電解金属化のための環境に優しい安定触媒 | |
Rytlewski et al. | Metallization of Polymers and Textiles | |
Sharma et al. | Electroless Coating Technique, Properties, and Applications | |
JP2005248220A (ja) | 無電解めっき用前処理剤およびそれを用いためっき方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20141007 |