JP6124955B2 - 無電解銅めっき組成物 - Google Patents
無電解銅めっき組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6124955B2 JP6124955B2 JP2015139224A JP2015139224A JP6124955B2 JP 6124955 B2 JP6124955 B2 JP 6124955B2 JP 2015139224 A JP2015139224 A JP 2015139224A JP 2015139224 A JP2015139224 A JP 2015139224A JP 6124955 B2 JP6124955 B2 JP 6124955B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- copper
- copper plating
- electroless copper
- plating
- composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/38—Coating with copper
- C23C18/40—Coating with copper using reducing agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/1601—Process or apparatus
- C23C18/1633—Process of electroless plating
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/54—Contact plating, i.e. electroless electrochemical plating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/0094—Filling or covering plated through-holes or blind plated vias, e.g. for masking or for mechanical reinforcement
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
- H05K3/181—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
- H05K3/181—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
- H05K3/187—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating means therefor, e.g. baths, apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
- H05K3/422—Plated through-holes or plated via connections characterised by electroless plating method; pretreatment therefor
Description
析出速度測定及び被膜確認のためのめっき試験では、Sheng Yi(S1141)によって提供される寸法が5cm×5cmの非被膜エポキシ/ガラス積層が使用された。各積層は以下のように処理された。
1.各積層の表面は、3%CIRCUPOSIT(商標)CONDITIONER3323A製剤を含有する水性浴に、40℃で5分間浸漬した。
2.各積層は次いで、22℃で4分間、冷水で洗い流した。
3.次いで、各積層に、室温で1分間、CATAPOSIT(商標)404予備浸漬剤を適用した。
4.積層は次いで、無電解銅金属化のために、2%CATAPOSIT(商標)44及びCATAPOSIT(商標)404パラジウム/スズ触媒触媒浴によって40℃で5分間、活性化した。
5.積層は次いで、2分間、冷水で洗い流した。
6.各積層は次いで、製剤1(2g/Lの銅イオン(塩化銅二水和物(5.8g/L)から)、4等量の酒石酸二カリウム(32g/L)、0.1M2,2−ジメトキシアセトアルデヒド(60wt%含水)(10.4g/L)及びpH=13に維持するための水酸化カリウム)の水性無電解銅めっき組成物、または製剤2(2g/Lの銅イオン(塩化銅二水和物(5.8g/L)から)、4等量のロッシェル塩(35g/L)、0.1Mの2,2−ジメトキシアセトアルデヒド(60wt%含水)(10.4g/L)、pH=13を維持するための水酸化カリウム)の組成物に浸漬した。
7.各積層は、空気を攪拌しながら、40℃、45℃、または50℃で5分間、銅めっきされた。銅析出中、いずれの溶液中でも、銅酸化の赤色沈殿物は観察されなかった。浴は安定しているように見えた。
8.各銅めっき積層は次いで、2分間、冷水で洗い流した。
9.各銅めっき積層は次いで、1分間、脱イオン水で洗い流した。
10.各銅めっき積層は次いで、従来の実験室用対流式炉に入れ、100℃で15分間乾燥させた。
11.乾燥後、各銅めっき積層は、25分間、または室温に冷却するまで、従来の実験室用デシケーターに入れた。
12.乾燥後、各銅めっき積層は、銅析出の品質について観察した。各積層は、サーモンピンク色の銅析出を有した。
13.銅析出は次いで、pHが10の塩化アンモニア緩衝液及び3%過酸化水素液に浸漬することによって、各積層からエッチングされた。得られた透明な青色銅(II)溶液を回収した。
14.数滴の5%の1−(2−ピリジラゾ)−2−ナフトール(PAN)指示薬を銅(II)溶液に添加し、次いで、これを0.05Mのエチレンジアミン四酢酸溶液で滴定した。添加した0.05Mのエチレンジアミン四酢酸溶液のmLの容量を記録した。
15.銅析出速度は、以下の式を用いて計算した:
[(0.05M)(VmL)(10−3)(63.546g/モル)](104)(1/8.94g/cm3)(1/2Scm2)(単位μm)/(めっき時間)、式中、V=0.05Mのエチレンジアミン四酢酸の量、銅の分子量は63.546g/モル、8.94g/cm3は銅の密度であり、Sは積層の表面面積(cm2)であり(5cm×5cmであった)、10−3はLからmLへの換算率であり、104はcmからμmへの換算率である。
Shengyi−1141型の12のドリル済み多層銅被膜エポキシ/ガラス積層が提供された。積層の寸法は2cm×3.2cmだった。基板は、以下に記載する作業の流れを通じて処理された。
1.各スルーホール積層の表面は、75℃で5分間、11.5%CUPOSIT(商標)Z膨潤剤及び12.5%CIRCUPOSIT(商標)HOLE PREP211製剤の水性浴に浸漬した。
2.各積層は次いで、22℃で3分間、水で洗い流した。
3.次いで、15%CUPOSIT(商標)Z及び10%CIRCUPOSIT(商標)213A−1酸化剤を、80℃で10分間、スルーホール積層に適用した。
4.各酸化積層は次いで、22℃で3分間、水で洗い流した。
5.酸化スルーホール積層は次いで、40℃で5分間、5%CIRCUPOSIT(商標)NEUTRALIZER216−5水性中和剤で洗い流した。
6.積層は次いで、22℃で3分間、水で洗い流した。
7.積層は次いで、40℃で5分間、3%CIRCUPOSIT(商標)CONDITIONER3323A水性浴に浸漬した。
8.処理された積層は次いで、22℃で4分間、水で洗い流した。
9.各積層は次いで、2%硫酸及び濃度が100g/Lの過硫酸ナトリウムを含有する酸性マイクロエッチング浴に1分間浸漬してから、22℃で3分間、水で洗い流した。
10.次いで、各積層に、室温で1分間、CATAPOSIT(商標)404予備浸漬剤を適用した。
11.積層は次いで、2% CATAPOSIT(商標)及びCATAPOSIT(商標)404スズ/パラジウムコロイド触媒を用いて、40℃で5分間、準備した。
12.積層は次いで、22℃で2分間、冷水ですすいだ。
13.各積層は次いで、製剤A(2g/Lの銅イオン(塩化銅二水和物(5.8g/L)から)、4等量の酒石酸二カリウム(32g/L)、0.1Mの2,2−ジメトキシアセトアルデヒド(60wt%含水)(10.4g/L)、及びpH=13を維持するための水酸化カリウム)の組成物、または製剤B(2g/Lの銅イオン(塩化銅二水和物(5.8g/L)から)、4等量のロッシェル塩(35g/L)、0.2Mの2,2−ジメトキシアセトアルデヒド(60wt%含水)(20.8g/L)、pH=13を維持するための水酸化カリウム)の組成物のいずれかを用いて、以下の表2に示されるように、温度を変えて、5分間または10分間、無電解めっきした。銅めっき中、銅酸化物の赤い沈殿物は全く観察されず、めっき浴が安定していることを示した。
15.銅めっき積層は次いで、2分間、冷水で洗い流した。
16.各銅めっき積層は次いで、1分間、脱イオン水で洗い流した。
17.積層は次いで、従来の実験室用対流式炉に入れ、100℃で15分間乾燥させた。
18.乾燥後、各銅めっき積層は、25分間、または室温に冷却するまで、従来の実験室用デシケーターに入れた。
19.次いで、銅析出の外観を検査し、すべてがサーモンピンク色の外観を有した。
めっき試験では、ホルムアルデヒドの代替の還元剤の酒石酸二カリウムを含むグリオキシル酸の安定性に対して、還元剤として2,2−ジメトキシアセトアルデヒドを含有し、銅キレート剤として酒石酸二カリウムまたはロッシェル塩のいずれかを含む無電解銅めっき浴の安定性を比較するために、複数の非被膜エポキシ/ガラスS1141積層(寸法5cm×5cm)を使用した。
複数のS1141銅被膜エポキシ/ガラス積層2cm×3.2cm(スルーホールを有する)を上記の例2の記載と同様に銅めっきのために準備した。各積層のスルーホールは、表4に示される4つの製剤のうちの1つを使用してめっきした。
以下の表に示されるように、無電解銅めっき製剤を調整した。
めっきの析出速度測定及び被膜率確認の試験において、Sheng Yi(S1141)によって提供された1cm×5.7cmの寸法の非被膜エポキシ/ガラス積層が使用された。各積層は以下のように処理された。
1.各積層の表面は、3%CIRCUPOSIT(商標)CONDITIONER231製剤を含有する水性浴に、40℃で5分間浸した。
2.各積層は次いで、22℃で2分間、冷水で洗い流した。
3.次いで、各積層に、室温で1分間、CATAPOSIT(商標)404予備浸漬剤を適用した。
4.積層は次いで、無電解銅金属化のために、2%CATAPOSIT(商標)44及びCATAPOSIT(商標)404パラジウム/スズ触媒触媒浴によって40℃で5分間、活性化した。
5.積層は次いで、2分間、冷水で洗い流した。
6.各積層は次いで、製剤H(1.9g/Lの銅イオン(塩化銅二水和物(5.6g/L)から)、3.33等量のエチレンジアミン四酢酸四ナトリウム塩二水和物(32g/L)、0.1Mの2,2−ジメトキシアセトアルデヒド(60wt%含水)(10.8g/L)、及びpH=13を維持するための水酸化ナトリウム)の水性無電解銅めっき組成物に浸漬した。
7.各積層は、ゆっくり攪拌しながら、35℃または55℃のいずれかで15分間、銅めっきした。銅析出中、いずれの温度でも銅酸化物形成は観察されず、浴は安定しているように見えた。
8.各銅めっき積層は次いで、2分間、冷水で洗い流した。
9.各銅めっき積層は次いで、1分間、脱イオン水で洗い流した。
10.各銅めっき積層は次いで、従来の実験室用対流式炉に入れ、70℃で15分間乾燥させた。
11.乾燥後、各銅めっき積層は、冷却され、銅析出の品質を観察した。各積層は、サーモンピンク色の銅析出を有した。
12.析出された銅の質量は、以下のようにICP分析によって決定した:切り取り試片の一部の重さを測定し、銅は、濃縮硝酸及び塩酸(1:1v/v)の混合物に浸漬することによって、各積層からエッチングされた。60℃で30分間加熱後、積層を取り出し、得られた透明な青色の銅(II)溶液を10mLに希釈した。調整した溶液は、Perkin Elmer7300DV ICP発光分光計を使用するICP発光分光計を使用して分析した。
13.銅析出速度は、以下の式を用いて計算した:
(X μg Cu/g(積層))(0.1493g(積層)/cm2)(10−6)](104)(1/8.94g/cm3)(単位μm)/(めっき時間)、式中、X=ICPによって決定された質量切り取り試片あたりの銅の質量。Sheng Yi(S1141)の所与の質量の表面面積は、0.1493g/cm2であると実験的に決定され、8.94g/cm3は銅密度、10−6はμgからgへの換算率、104はcmからμmへの換算率。
Claims (12)
- 1つ以上の銅イオン源と、1つ以上のキレート剤と、以下の化学式を有する1つ以上の化合物とを含む無電解銅めっき組成物であって、
- 前記1つ以上の化合物が、2,2−ジメトキシアセトアルデヒド、2,2−ジエトキシアセトアルデヒド、2,2−ジプロプロキシアセトアルデヒド(dipropoxyacetaldehyde)、及び2,2−ジブトキシアセトアルデヒドから選択される、請求項1に記載の無電解銅めっき組成物。
- 前記化合物が、2,2−ジメトキシアセトアルデヒドから選択される、請求項2に記載の無電解銅めっき組成物。
- 前記1つ以上のキレート剤が、有機酸、有機酸塩、ヒダントイン、及びヒダントイン派生物から選択される、請求項1に記載の無電解銅めっき組成物。
- 前記有機酸塩が、ロッシェル塩、酒石酸二カリウム、及びエチレンジアミン四酢酸四ナトリウムから選択される、請求項4に記載の無電解銅めっき組成物。
- 界面活性剤、安定剤、表面改質剤、アルカリ化合物、抗酸化物質、またはその混合物をさらに含む、請求項1に記載の無電解銅めっき組成物。
- アルカリ性金属次亜リン酸塩、ホルムアルデヒド、グリオキシル酸、ジメチルアミンボラン、及び水酸化ホウ素塩のうちの1つ以上をさらに含む、請求項1に記載の無電解銅めっき組成物。
- 前記組成物が、環境に配慮しない還元剤を全く含まない、請求項1に記載の無電解銅めっき組成物。
- a)基板を提供することと、
b)前記基板に無電解銅めっき組成物を適用することと、を含み、前記組成物が、1つ以上の銅イオン源と、1つ以上のキレート剤と、以下の化学式を有する1つ以上の化合物とを含み、
c)前記基板上に無電解銅めっきをすることと、を含む、方法。 - 前記基板が、複数のスルーホールを含み、
d)前記スルーホールをデスミア処理することと、
e)前記スルーホールの壁上に銅めっきをすることと、をさらに含む、請求項9に記載の方法。 - 前記基板が、プリント回路基板である、請求項10に記載の方法。
- 前記無電解銅めっき組成物が、環境に配慮しない還元剤を全く含まない、請求項9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/332,326 US9869026B2 (en) | 2014-07-15 | 2014-07-15 | Electroless copper plating compositions |
US14/332,326 | 2014-07-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016029211A JP2016029211A (ja) | 2016-03-03 |
JP6124955B2 true JP6124955B2 (ja) | 2017-05-10 |
Family
ID=53510705
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015139224A Active JP6124955B2 (ja) | 2014-07-15 | 2015-07-10 | 無電解銅めっき組成物 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9869026B2 (ja) |
EP (1) | EP2975159B1 (ja) |
JP (1) | JP6124955B2 (ja) |
KR (1) | KR101686828B1 (ja) |
CN (1) | CN105274591B (ja) |
TW (1) | TWI579407B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7095099B2 (ja) | 2019-05-07 | 2022-07-04 | 国网江蘇省電力有限公司電力科学研究院 | 新規なリチウムイオン電池モジュール |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3061601B1 (fr) | 2016-12-29 | 2022-12-30 | Aveni | Solution d'electrodeposition de cuivre et procede pour des motifs de facteur de forme eleve |
US10060034B2 (en) * | 2017-01-23 | 2018-08-28 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Electroless copper plating compositions |
US10294569B2 (en) * | 2017-10-06 | 2019-05-21 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Stable electroless copper plating compositions and methods for electroless plating copper on substrates |
CN107675209A (zh) * | 2017-10-18 | 2018-02-09 | 江西理工大学 | 一种绿色环保锡电解精炼电解液 |
WO2019098011A1 (ja) * | 2017-11-16 | 2019-05-23 | 株式会社村田製作所 | 樹脂多層基板、電子部品およびその実装構造 |
JP6950747B2 (ja) * | 2017-11-16 | 2021-10-13 | 株式会社村田製作所 | 樹脂多層基板、電子部品およびその実装構造 |
US20190382900A1 (en) * | 2018-06-15 | 2019-12-19 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Electroless copper plating compositions and methods for electroless plating copper on substrates |
US10590541B2 (en) * | 2018-06-15 | 2020-03-17 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Electroless copper plating compositions and methods for electroless plating copper on substrates |
CN109457238B (zh) * | 2018-08-30 | 2021-01-15 | 上海昕沐化学科技有限公司 | 高速稳定的化学镀铜液及其制备方法 |
KR102124324B1 (ko) * | 2018-11-14 | 2020-06-18 | 와이엠티 주식회사 | 도금 적층체 및 인쇄회로기판 |
CN110284162B (zh) * | 2019-07-22 | 2020-06-30 | 广州三孚新材料科技股份有限公司 | 一种光伏汇流焊带无氰碱性镀铜液及其制备方法 |
CN110424030B (zh) * | 2019-08-30 | 2020-06-30 | 广州三孚新材料科技股份有限公司 | 无氰碱性电镀铜液及其制备和在挠性印刷线路板中的应用 |
CN110512199A (zh) * | 2019-09-26 | 2019-11-29 | 苏州天承化工有限公司 | 一种化学镀铜液及其制备方法 |
FR3119172A1 (fr) * | 2021-01-28 | 2022-07-29 | Swissto12 Sa | Composition stable pour dépôt catalytique d’argent |
US20230096301A1 (en) * | 2021-09-29 | 2023-03-30 | Catlam, Llc. | Circuit Board Traces in Channels using Electroless and Electroplated Depositions |
CN114134530A (zh) * | 2022-01-19 | 2022-03-04 | 辽宁大学 | Cu-P-100催化剂的制备方法及其在二氧化碳电催化还原中的应用 |
CN114990533B (zh) * | 2022-04-13 | 2023-06-16 | 江苏富乐华半导体科技股份有限公司 | 一种改善陶瓷基板表面电镀铜结合力的方法 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3075856A (en) | 1958-03-31 | 1963-01-29 | Gen Electric | Copper plating process and solution |
US3853589A (en) * | 1970-11-09 | 1974-12-10 | Ici Ltd | Metal deposition process |
US4325990A (en) | 1980-05-12 | 1982-04-20 | Macdermid Incorporated | Electroless copper deposition solutions with hypophosphite reducing agent |
US4617205A (en) | 1984-12-21 | 1986-10-14 | Omi International Corporation | Formaldehyde-free autocatalytic electroless copper plating |
US4944985A (en) * | 1988-04-11 | 1990-07-31 | Leach & Garner | Method for electroless plating of ultrafine or colloidal particles and products produced thereby |
US4877450A (en) | 1989-02-23 | 1989-10-31 | Learonal, Inc. | Formaldehyde-free electroless copper plating solutions |
JPH09152507A (ja) * | 1995-03-29 | 1997-06-10 | Seiko Instr Inc | 多色液晶表示装置の製造方法 |
US5897692A (en) | 1996-09-10 | 1999-04-27 | Denso Corporation | Electroless plating solution |
US20020064592A1 (en) * | 2000-11-29 | 2002-05-30 | Madhav Datta | Electroless method of seed layer depostion, repair, and fabrication of Cu interconnects |
JP3678195B2 (ja) * | 2001-12-18 | 2005-08-03 | 株式会社村田製作所 | 電子部品の製造方法、及び電子部品 |
US6897152B2 (en) | 2003-02-05 | 2005-05-24 | Enthone Inc. | Copper bath composition for electroless and/or electrolytic filling of vias and trenches for integrated circuit fabrication |
KR100767943B1 (ko) | 2003-10-17 | 2007-10-17 | 닛코킨조쿠 가부시키가이샤 | 무전해 구리도금액 및 무전해 구리도금방법 |
US20060130700A1 (en) * | 2004-12-16 | 2006-06-22 | Reinartz Nicole M | Silver-containing inkjet ink |
KR101278342B1 (ko) | 2005-04-28 | 2013-06-25 | 가부시키가이샤 가네카 | 도금용 재료 및 그의 이용 |
US20070099422A1 (en) | 2005-10-28 | 2007-05-03 | Kapila Wijekoon | Process for electroless copper deposition |
TWI348499B (en) * | 2006-07-07 | 2011-09-11 | Rohm & Haas Elect Mat | Electroless copper and redox couples |
TW200813255A (en) * | 2006-07-07 | 2008-03-16 | Rohm & Haas Elect Mat | Environmentally friendly electroless copper compositions |
TWI347373B (en) * | 2006-07-07 | 2011-08-21 | Rohm & Haas Elect Mat | Formaldehyde free electroless copper compositions |
DE102010062184B3 (de) | 2010-11-30 | 2012-04-19 | Technische Universität Dresden | Verfahren zur Metallbeschichtung von Nanopartikeln mittels stromloser Abscheidetechniken |
AU2011343272B2 (en) * | 2010-12-17 | 2015-08-06 | Akzo Nobel Chemicals International B.V. | Fluid suitable for treatment of carbonate formations containing a chelating agent |
GB201118838D0 (en) | 2011-10-31 | 2011-12-14 | Cleansorb Ltd | Process for treating an underground formation |
EP2604722B1 (en) | 2011-12-12 | 2018-11-28 | Dow Global Technologies LLC | Stabilized silver catalysts and methods |
US9611550B2 (en) * | 2012-12-26 | 2017-04-04 | Rohm And Haas Electronic Materials Llc | Formaldehyde free electroless copper plating compositions and methods |
-
2014
- 2014-07-15 US US14/332,326 patent/US9869026B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-07-01 EP EP15174833.2A patent/EP2975159B1/en not_active Not-in-force
- 2015-07-07 TW TW104121990A patent/TWI579407B/zh not_active IP Right Cessation
- 2015-07-10 JP JP2015139224A patent/JP6124955B2/ja active Active
- 2015-07-10 CN CN201510404335.4A patent/CN105274591B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2015-07-13 KR KR1020150099241A patent/KR101686828B1/ko active IP Right Grant
-
2016
- 2016-01-12 US US14/993,791 patent/US9702046B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7095099B2 (ja) | 2019-05-07 | 2022-07-04 | 国网江蘇省電力有限公司電力科学研究院 | 新規なリチウムイオン電池モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160122876A1 (en) | 2016-05-05 |
TW201610229A (zh) | 2016-03-16 |
US20160017498A1 (en) | 2016-01-21 |
US9869026B2 (en) | 2018-01-16 |
JP2016029211A (ja) | 2016-03-03 |
CN105274591A (zh) | 2016-01-27 |
CN105274591B (zh) | 2017-10-24 |
KR101686828B1 (ko) | 2016-12-28 |
KR20160008974A (ko) | 2016-01-25 |
US9702046B2 (en) | 2017-07-11 |
EP2975159A1 (en) | 2016-01-20 |
EP2975159B1 (en) | 2016-11-02 |
TWI579407B (zh) | 2017-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6124955B2 (ja) | 無電解銅めっき組成物 | |
JP5671095B2 (ja) | 基体上に銅を無電解的に堆積する方法 | |
JP5655099B2 (ja) | ホルムアルデヒドを含有しない無電解銅組成物、および当該無電解銅組成物を用いて銅を無電解的にメッキする方法 | |
JP5317438B2 (ja) | 無電解的に銅を堆積する方法 | |
KR102060983B1 (ko) | 무전해 구리 도금 조성물 | |
US20080038450A1 (en) | Environmentally friendly electroless copper compositions | |
JP6307266B2 (ja) | ホルムアルデヒドを含まない無電解銅めっき組成物および方法 | |
TWI567233B (zh) | 以含有嘧啶衍生物之鹼性安定性催化劑無電金屬化介電質 | |
TW201915216A (zh) | 穩定的化學鍍銅組合物及在襯底上化學鍍銅之方法 | |
JP6687695B2 (ja) | 安定した無電解銅めっき組成物及び基板上に銅を無電解めっきするための方法 | |
TW202000987A (zh) | 無電鍍銅組成物及用於在基材上無電鍍銅之方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20151202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161024 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170330 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170404 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6124955 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |