JP2012049400A - 光センサの製造方法、光センサ及びカメラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光センサの製造方法は、複数の画素領域を備えた半導体ウエハを準備する工程と、透光性ウエハと、透光性ウエハの第1主面上に複数の画素領域の各々に対応して配置された、α線放出量が0.05c/cm2・h以下の複数の透光性部材と、を有する透光性基板を準備する工程と、透光性ウエハの複数の透光性部材と半導体ウエハとを向かい合わせて、透光性基板と半導体ウエハとを固定部材によって貼り合せる工程と、固定された半導体ウエハと透光性基板とを個片化する工程と、を有する。
【選択図】 図1
Description
まず、シリコン単結晶から形成された基板31に、図1に示す画素領域等が複数形成された、複数の画素領域5を備えた半導体ウエハ30を準備する(図2(a))。画素領域等は、一般的な半導体素子製造工程によって形成される。
上記のように本実施例の光センサによって、撮像素子チップへのα線の影響を低減でき、反りを抑制することができる。また、本実施例の光センサの製造方法によって、撮像素子チップへのα線の影響を低減でき、ウエハレベルでの反りが抑制され、個片化した後の光センサにおいても反りが抑制されるため、歩留りの低下を抑制することができる。
図5の光センサの製造方法が図2で示した製造方法と同じである場合は簡易的に説明し、異なる点を詳細に説明する。
図6は、本発明の第1、第2の実施例にて説明した光センサを、撮像システムの一例であるデジタルカメラへ適用した場合のブロック図である。
2 透光性カバー部材
2a ガラス板
2b 透光性部材
3 固定部材
5 画素領域
6 貫通電極
7 空間
11 半導体基板
12 配線構造
13 表面電極
14 第1平坦化膜
15 カラーフィルタ
16 第2平坦化膜
17 マイクロレンズ
20 絶縁膜
21 導電膜
22 配線
23 絶縁部材
24 接続端子
Claims (13)
- 複数の画素領域を備えた半導体ウエハを準備する工程と、
透光性ウエハと、前記透光性ウエハの第1主面上に前記複数の画素領域の各々に対応して配置された、α線放出量が0.05c/cm2・h以下の複数の透光性部材と、を有する透光性基板を準備する工程と、
前記透光性ウエハの前記複数の透光性部材と前記半導体ウエハとを向かい合わせて、前記透光性基板と前記半導体ウエハとを固定部材によって貼り合せる工程と、
固定された前記半導体ウエハと前記透光性基板とを個片化する工程と、
を有する光センサの製造方法。 - 前記半導体ウエハを準備する工程は、前記複数の画素領域に対応する位置にマイクロレンズが配置された半導体ウエハを準備する工程であることを特徴とする請求項1に記載の光センサの製造方法。
- 前記固定工程は、前記複数の透光性部材と前記半導体ウエハの向かい合う表面同士の少なくとも一部を接触させることを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光センサの製造方法。
- 前記固定工程の前記透光性基板と前記半導体ウエハとの貼り合わせは、前記複数の透光性部材の各々を囲うように配置した固定部材によって、前記透光性ウエハと前記半導体ウエハとを貼り合わせることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光センサの製造方法。
- 前記透光性基板を準備する工程は、前記透光性ウエハに固定された前記複数の透光性部材の厚みが50μm以上の透光性基板を準備する工程であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光センサの製造方法。
- 前記透光性基板を準備する工程は、前記複数の透光性部材よりα線の放出量が多い前記透光性ウエハを有する透光性基板を準備する工程であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光センサの製造方法。
- 前記透光性基板を準備する工程は、前記透光性ウエハの線膨張係数が2.0ppm/℃以上4.0ppm/℃以下の透光性基板を準備する工程であり、
前記半導体ウエハを準備する工程は、シリコンの半導体ウエハを準備する工程であることを特徴とする請求項1乃至6に記載の光センサの製造方法。 - 画素領域を備えた撮像素子チップと、
前記撮像素子チップに固定部材を介して固定された透光性カバー部材と、を有する光センサであって、
透光性カバー部材は、ガラス板と、前記ガラス板の前記撮像素子チップ側に固定された、α線放出量が0.05c/cm2・h以下の透光性部材と、を有することを特徴とする光センサ。 - 前記透光性部材の厚みが50μm以上であることを特徴とする請求項8に記載の光センサ。
- 前記ガラス板は前記透光性部材よりα線の放出量が大きいことを特徴とする請求項8又は9に記載の光センサ。
- 前記ガラス板の線膨張係数が2.0ppm/℃以上4.0ppm/℃以下であり、前記撮像素子チップはシリコンからなる半導体基板を有することを特徴とする請求項8乃至10のいずれか一項に記載の光センサ。
- 請求項1乃至7のいずれか一項に記載の光センサの製造方法によって製造された光センサと、
前記光センサによって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。 - 請求項8乃至11のいずれか一項に記載の光センサと、
前記光センサによって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
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