JP2012044823A - 静電誘導発電デバイス、静電誘導発電機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の面にエレクトレット電極を備える第1固定電極基板および第2固定電極基板と、可動電極と、前記可動電極と離間して形成される保持枠と、前記可動電極の可動方向に直交する方向に、前記可動電極の対向する2辺と前記保持枠とを繋ぐ少なくとも1対の電極支持梁と、を備える可動電極基板と、を備え、前記第1固定電極基板の前記エレクトレット電極と前記第2固定電極基板の前記エレクトレット電極と、を対向配置させ、前記可動電極と、前記第1固定電極基板および前記第2固定電極基板の前記エレクトレット電極と、を対向配置させ、前記可動電極基板を前記第1固定電極基板と前記第2固定電極基板とにより挟持、固着する静電誘導発電デバイス。
【選択図】図2
Description
W/T≦0.1
図1は本実施形態に係る静電誘導発電デバイスを示す外観斜視図である。図1に示す静電誘導発電デバイス100は、後述する固定電極上のエレクトレットを備える第1固定電極基板としての第1基板10と、固定電極上のエレクトレットを備える第2固定電極基板としての第2基板20とによって、可動部を備える可動基板30を挟むように第1基板10、可動基板30、第2基板20とが積層されている。
本願発明の第2実施形態を、図8に示す。図8に示す静電誘導発電デバイス200は、第1実施形態と同様に可動基板230と、可動基板230を挟持するように配置される第1基板210と、第2基板220と、を備える。可動基板230は外形に沿って枠状に可動電極保持枠231が形成されている。可動電極保持枠231には可動電極232Aおよび232Bが、電極支持梁233a、233bによって繋がれている。可動電極232A、232Bに備える可動電極指232a、232bの延在方向は互いに直交する方向、図示において、可動電極指232aはY方向に、可動電極指232bはX方向、に形成されている。
本願発明の第3実施形態として第1実施形態に係る静電誘導発電デバイスを用いた静電誘導発電器について説明する。図9は第2実施形態に係る静電誘導発電器1000を示すブロック図である。静電誘導発電器1000が、静電誘導発電デバイス100と電源制御部300と、充電部400とを備え、発電した電気を駆動対象となる駆動装置500へ供給する。
水準1:W=100μm、T=100μm
水準2:W=10μm、T=100μm
水準3:W=5μm、T=100μm
水準4:W=1μm、T=100μm
水準1:kV1/kH1=1.0
水準2:kV2/kH2=0.01
水準3:kV3/kH3=0.0025
水準4:kV4/kH4=0.0001
となり、電極支持梁の振動方向に対する鉛直方向の変位量が1%以下となる水準2、すなわちW/T=0.1が好適であることが分かった。そして梁長さL=1670μmが求められた。
Claims (5)
- 一方の面にエレクトレット電極を備える第1固定電極基板および第2固定電極基板と、
可動電極と、前記可動電極と離間して形成される保持枠と、前記可動電極の可動方向に直交する方向に、前記可動電極の対向する2辺と前記保持枠とを繋ぐ少なくとも1対の電極支持梁と、を備える可動電極基板と、を備え、
前記第1固定電極基板の前記エレクトレット電極と前記第2固定電極基板の前記エレクトレット電極と、を対向配置させ、
前記可動電極と、前記第1固定電極基板および前記第2固定電極基板の前記エレクトレット電極と、を対向配置させ、前記可動電極基板を前記第1固定電極基板と前記第2固定電極基板とにより挟持、固着する、
ことを特徴とする静電誘導発電デバイス。 - 前記電極支持梁は前記可動電極より延出され前記保持枠への接続部までの前記梁長さLに平面視で直交する方向の梁幅Wと、梁厚さTと、が次の関係にある、
ことを特徴とする請求項1に記載の静電誘導発電デバイス。
W/T≦0.1 - 前記可動電極は、前記可動電極の可動方向に直交する方向に延伸された複数の電極指と、前記複数の電極指の両端に接続する電極指梁と、により形成され、
前記電極支持梁は前記電極指梁から延伸され、
前記第1固定電極基板および前記第2固定電極基板の前記エレクトレット電極は、前記可動電極の前記複数の電極指に対向して複数のエレクトレット電極指により形成され、ている、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の静電誘導発電デバイス。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の前記可動電極を少なくとも2以上備え、少なくとも2個の前記可動電極は、可動方向が直交するように配置される、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の静電誘導発電デバイス。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の静電誘導発電デバイスを用いた静電誘導発電機器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010185854A JP5703627B2 (ja) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | 静電誘導発電デバイス、静電誘導発電機器 |
US13/214,538 US8564169B2 (en) | 2010-08-23 | 2011-08-22 | Electrostatic induction generation device and electrostatic induction generation apparatus having a movable electrode formed between a first fixed electrode substrate and a second fixed electrode substrate |
US14/028,925 US20140015374A1 (en) | 2010-08-23 | 2013-09-17 | Electrostatic induction generation device and electrostatic induction generation apparatus having a movable electrode formed between a first fixed electrode substrate and a second fixed electrode substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010185854A JP5703627B2 (ja) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | 静電誘導発電デバイス、静電誘導発電機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012044823A true JP2012044823A (ja) | 2012-03-01 |
JP5703627B2 JP5703627B2 (ja) | 2015-04-22 |
Family
ID=45593496
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010185854A Active JP5703627B2 (ja) | 2010-08-23 | 2010-08-23 | 静電誘導発電デバイス、静電誘導発電機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8564169B2 (ja) |
JP (1) | JP5703627B2 (ja) |
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---|---|
US8564169B2 (en) | 2013-10-22 |
JP5703627B2 (ja) | 2015-04-22 |
US20140015374A1 (en) | 2014-01-16 |
US20120043851A1 (en) | 2012-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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