JP7443226B2 - 発電素子、及び、発電装置 - Google Patents

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Description

本発明は、発電素子、及び、発電装置に関する。
櫛歯部分をそれぞれ有する2つの固定電極及び2つの可動電極を備える振動発電素子が知られている(特許文献1)。
特開2019-198161号公報
特許文献1に記載の振動発電素子では、固定電極と可動電極とが対向する部分の面積の変化によってエレクトレットによる誘導電荷が変化し、固定電極と可動電極との間の電位差が変化して起電力が発生することで発電が行われる。従来から、効率良く発電を行うことが求められている。
本発明の第1の態様によると、発電素子は、振動により発電する発電素子であって、第1電極及び第2電極と、前記第2電極と電気的に接続され前記第1電極に対向する第3電極と、前記第3電極と電気的に接続されずに前記第3電極に相対的に固定され、かつ前記第1電極と電気的に接続され前記第2電極に対向する第4電極とを有し、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる部材と、前記第1電極及び前記第3電極のうちの一方と、前記第2電極及び前記第4電極のうちの一方とに設けられるエレクトレットと、を備える。
本発明の第2の態様によると、発電装置は、第1の態様による発電素子と、前記第1電極及び前記第4電極に電気的に接続される電極と、前記第2電極及び前記第3電極に電気的に接続される電極とを有する整流部を備える。
本発明の第3の態様によると、発電素子は、振動により発電する発電素子であって、第1電極及び前記第1電極と電気的に接続される第2電極と、前記第1電極に対向する第3電極と、前記第3電極に相対的に固定され、かつ前記第3電極と電気的に接続され前記第2電極に対向する第4電極とを有し、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる部材と、前記第1電極及び前記第3電極のうちの一方と、前記第2電極及び前記第4電極のうちの一方とに設けられるエレクトレットと、を備える。
本発明の第4の態様によると、発電装置は、第3の態様による発電素子と、前記第1電極及び前記第2電極に電気的に接続される電極と、前記第3電極及び前記第4電極に電気的に接続される電極とを有する整流部を備える。
本発明によれば、効率良く発電を行うことができる。
実施の形態に係る発電装置の構成例を示す図である。 実施の形態に係る発電素子の構成例を示す図である。 実施の形態に係る発電装置の動作の一例を説明するための図である。 実施の形態に係る発電装置により行われる処理を説明するための図である。 変形例に係る発電装置の構成例を示す図である。
(実施の形態)
図面を参照して、実施の形態に係る発電装置について説明する。図1は、実施の形態に係る発電装置の構成例を示す図である。発電装置(振動発電装置)1は、発電素子10と、変換部20と、第1出力部25と、第2出力部26とを備え、振動を利用して発電を行う。発電装置1は、静電方式の発電装置であり、環境の振動のエネルギーを採取して電力を得る技術(エナジーハーベスティング)として利用可能である。
図2は、実施の形態に係る発電素子の構成例を示す図である。発電素子(振動発電素子)10は、支持枠(支持部材)11と、可動部12と、保持部18とを備える。振動発電素子10は、例えば、シリコン基板やSOI(Silicon On Insulator)基板を基材として用い、MEMS技術を利用して製造される。
支持枠(ベース)11は、電極16a及び電極16bを有する。電極16a及び電極16bは、支持枠11に対して固定して保持された電極であるともいえる。電極16aと電極16bは、可動部12を挟んで、紙面上下方向(X軸方向)に並んで配置される。以下の説明では、固定された電極16a、電極16bを、それぞれ第1固定電極16a、第2固定電極16bと称する。なお、図1、図2の座標軸に示すように、X軸に直交する紙面右方向をY軸プラス方向とする。他の図において、図1、図2の座標軸を基準として、それぞれの図の向きが分かるように座標軸を表示する場合もある。
可動部12は、電極13aと、電極13bと、絶縁部15とを有する。電極13aと電極13bとは、絶縁部15を介して互いに固定される。電極13aと電極13bとは、絶縁部15により支持され、相対的に固定された状態となる。絶縁部15は、絶縁材料により構成される絶縁層である。電極13a及び電極13bは、絶縁部15によって分離して設けられ、分割された電極ともいえる。
可動部12は、支持枠11内において電極13aと電極13bと絶縁部15がX軸方向に移動可能に構成される。電極13a、電極13b、及び絶縁部15は、振動発電素子10に振動が加えられると、一体的に振動する。以下の説明では、電極13a、電極13bを、それぞれ第1可動電極13a、第2可動電極13bと称する。第1可動電極13aと第1固定電極16aとは、互いに対向して配置され、相対的に移動可能である。また、第2可動電極13bと第2固定電極16bも、互いに対向して配置され、相対的に移動可能である。
第1固定電極16a、第2固定電極16b、第1可動電極13a、及び第2可動電極13bは、それぞれ、櫛歯形状となる部分(櫛歯部分)を有し、櫛歯状の電極となる。第1固定電極16aの櫛歯部分17aと、第1可動電極13aの櫛歯部分14aとは、噛み合うように形成される。また、第2固定電極16bの櫛歯部分17bと、第2可動電極13bの櫛歯部分14bも、噛み合うように形成される。なお、第1固定電極16a、第2固定電極16b、第1可動電極13a、及び第2可動電極13bに設けられる櫛歯の数及び配置は、図示した例に限られない。
第1固定電極16aのうち、第1可動電極13aと対向する面の表面近傍には、エレクトレットが形成される。第2固定電極16bのうち、第2可動電極13bと対向する面の表面近傍にも、エレクトレットが形成される。第1固定電極16aの櫛歯部分17a、及び第2固定電極16bの櫛歯部分17bには、固定電荷を有するエレクトレットが設けられる。櫛歯部分17a及び櫛歯部分17bの各々には、例えば、負の固定電荷を有する酸化膜がエレクトレット膜(層)として形成される。第1固定電極16a及び第2固定電極16bは、それぞれ、エレクトレット化された電極となり、半永久的に帯電する。なお、図中に記号「-」で模式的に示すように、第1固定電極16a及び第2固定電極16bは、それぞれ、全体としては負に帯電した状態となる。
第1固定電極16aと第1可動電極13aとの間には、容量(静電容量)が形成される。また、第2固定電極16bと第2可動電極13bとの間にも、静電容量が形成される。なお、第1固定電極16a及び第2固定電極16bに、正電荷を有するエレクトレットを設けるようにしてもよい。また、第1可動電極13a及び第2可動電極13bに、正電荷又は負電荷を有するエレクトレットを設けるようにしてもよい。
保持部18は、弾性を有するように構成され、可動部12を保持(支持)する。保持部18は、例えば、第1固定電極16a、第2固定電極16b、第1可動電極13a、及び第2可動電極13bと同じ材料(例えばシリコン)を用いて、可撓性を有するように形成される。可動部12は、保持部18によって弾性的に支持された状態となり、X軸方向に移動(振動)可能となる。なお、保持部18は、金属材料を用いて構成されてもよいし、可撓性を有する他の材料を用いて構成されてもよい。
振動発電素子10は、振動発電素子10から電力が供給されて動作する部品(回路)と接続可能である。振動発電素子10には、振動発電素子10により発電された交流を直流に変換する変換部、蓄電部(コンデンサ、バッテリ等)、及び、電圧を変圧する変圧部(降圧回路、昇圧回路等)などが接続され得る。図1に示す例では、振動発電素子10は、変換部20と、蓄電部30と、変圧部40とに電気的に接続される。
振動発電素子10に外部から振動が与えられると、保持部18に撓み(弾性変形)が生じ、可動部12はX軸方向に振動すると共に、第1可動電極13a及び第2可動電極13bの変位が生じる。第1可動電極13a及び第2可動電極13bが第1固定電極16a及び第2固定電極16bに対して振動することによって、第1可動電極13aと第1固定電極16aとの位置関係が変化し、第2可動電極13bと第2固定電極16bとの位置関係も変化する。可動部12のX方向の移動に伴って、第1可動電極13aの櫛歯部分14aは、第1固定電極16aの櫛歯部分17aに対してX方向に離間及び近接する。また、第2可動電極13bの櫛歯部分14bは、第2固定電極16bの櫛歯部分17bに対してX方向に離間及び近接する。
第1可動電極13aの位置が変化することで、第1可動電極13aと第1固定電極16aとの間隔(距離)が変化し、第1可動電極13aの櫛歯部分14aにおける第1固定電極16aの櫛歯部分17aに対向する領域の面積が変化する。この面積の変化に応じて、第1可動電極13a及び第1固定電極16aによる静電容量(の大きさ)が変化し、第1固定電極16aのエレクトレットによって第1可動電極13aにおいて誘導される電荷量が変化する。この場合、第1固定電極16aと第1固定電極16aに電気的に接続された外部の回路との間で、電荷の移動が生じる。図1及び図2に示す接続部分(配線、端子等)W1において電荷の移動が生じ、第1固定電極16a及び外部回路間で電流が生じる。
また、第2可動電極13bの位置が変化することで、第2可動電極13bと第2固定電極16bとの間隔が変化し、第2可動電極13bの櫛歯部分14bにおける第2固定電極16bの櫛歯部分17bに対向する領域の面積が変化する。この面積の変化に応じて、第2可動電極13b及び第2固定電極16bによる静電容量が変化し、第2固定電極16bのエレクトレットによって第2可動電極13bにおいて誘導される電荷量が変化する。この場合、第2固定電極16bと第2固定電極16bに電気的に接続された外部回路との間で、電荷の移動が生じる。図1及び図2に示す接続部分(配線、端子等)W2において電荷の移動が生じ、第2固定電極16b及び外部回路間で電流が生じる。
第1可動電極13a及び第1固定電極16a間の静電容量と、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の静電容量は、逆位相で変化する。第1可動電極13a及び第1固定電極16a間の静電容量が変動することで、第1固定電極16a及び外部回路間において交流電流が流れ、発電が行われる。また、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の静電容量が変動することで、第2固定電極16b及び外部回路間に交流電流が流れ、発電が行われる。
このように、本実施の形態に係る発電装置1では、振動に起因して生じる静電容量の変化を利用して、交流電力を生成することができる。振動発電素子10は、第1可動電極13a及び第1固定電極16a間と、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の各々で発電を行うため、発電量を増加させることができる。振動エネルギーを効率よく電気エネルギーに変換することが可能となり、発電効率を向上させることができる。
図1に示す変換部20は、2つの整流部(整流素子)21を含んで構成され、交流を直流に変換する機能を有する。変換部20は、交流を直流に変換する整流回路20である。2つの整流部21(第1整流部21a、第2整流部21b)は、それぞれ、ダイオードによって構成される。変換部20は、第1出力部25と第2出力部26との間に設けられ、振動発電素子10に電気的に接続される。変換部20は、振動発電素子10からの交流電流(電圧)を直流に変換する。なお、整流部21は、MOSトランジスタを用いて構成してもよいし、バイポーラトランジスタを用いて構成してもよい。
第1出力部25及び第2出力部26は、振動発電素子10による発電によって得られる電圧(電流)が出力される部分(配線、端子等)である。第1出力部25及び第2出力部26を介して、発電装置1の外部(図1では蓄電部30、変圧部40)に電力が供給される。なお、図1に示すように、第2出力部26及び配線W2は、接地線(グランド線)に接続される。第2出力部26及び配線W2の電位は、第1出力部25及び配線W1の各々の電位に対する基準電位(接地電位)となる。
蓄電部30は、第1出力部25と第2出力部26との間に設けられ、振動発電素子10により生成された電力が供給される。蓄電部30は、振動発電素子10により発電された電力によって充電され、電力を蓄電(蓄積)する。図1に示す例では、蓄電部30は、コンデンサCを含んで構成される。コンデンサCの一端は、第1出力部25に接続され、発電により得られた電位が与えられる。コンデンサCの他端は、第2出力部26及び配線W2に接続され、基準電位が与えられる。蓄電部30は、振動発電素子10により出力される電圧を平滑する平滑部でもある。なお、発電装置1は、蓄電部30を含んで構成されてもよい。
変圧部40は、第1出力部25及び第2出力部26を介して入力される電圧を変圧して出力する。変圧部(変圧回路)40は、実使用時に振動発電素子10と組み合わせて用いられる部品であり、実使用時に負荷として動作する。変圧部40は、例えば降圧回路であり、DC-DCコンバータ等により構成される。降圧回路40は、コンデンサCの電圧を降圧した電圧を出力可能である。変圧部40として用いる部品は、振動発電素子10から出力される電圧及び電流の大きさ等を考慮して選定される。なお、発電装置1は、変圧部40を含んで構成されてもよい。
図1に示す例では、第1整流部21aは、ダイオードD1を用いて構成される。ダイオードD1の一方の電極であるアノード(端子)は、振動発電素子10の第1固定電極16a及び第2可動電極13bに電気的に接続される。第1固定電極16aと第2可動電極13bは、共に配線W1に電気的に接続され、互いに電気的に接続される。また、ダイオードD1のアノードは、第2整流部21bにも電気的に接続される。
ダイオードD1の他方の電極であるカソード(端子)は、振動発電素子10の第2固定電極16b及び第1可動電極13aに電気的に接続される。第2固定電極16bと第1可動電極13aは、共に配線W2に電気的に接続され、互いに電気的に接続される。また、ダイオードD1のカソードは、第2出力部26を介して、コンデンサCの他端及び変圧部40に接続される。ダイオードD1のカソードの電位は、接地電位となる。
第2整流部21bは、ダイオードD2を用いて構成される。ダイオードD2のカソードは、振動発電素子10の第1固定電極16a及び第2可動電極13bに電気的に接続される。また、ダイオードD2のカソードは、第1整流部21aにも電気的に接続される。ダイオードD2のアノードは、第1出力部25を介して、コンデンサCの一端及び変圧部40に接続される。
このように、本実施の形態に係る発電装置1は、互いに電気的に分離された第1可動電極13a及び第2可動電極13bを有する。第1固定電極16aと第2可動電極13bとが電気的に接続され、第2固定電極16bと第1可動電極13aとが電気的に接続される。第1固定電極16a及び第1可動電極13aの第1の対(組)と、第2固定電極16b及び第2可動電極13bの第2の対とが、並列接続された状態となる。
図3は、実施の形態に係る発電装置の動作の一例を説明するための図である。図3(a)、(b)では、可動部12が第1固定電極16a及び第2固定電極16bに対してX方向に振動する場合に、発電装置1において発生する電流を模式的に示している。図3(a)は可動部12が+X方向に移動する場合を示し、図3(b)は可動部12が-X方向に移動する場合を示している。
図3(a)に示す状態では、可動部12の+X方向の移動に伴って、第1可動電極13aの櫛歯部分14aと第1固定電極16aの櫛歯部分17aとが対向する部分の面積は大きくなる。また、第2可動電極13bの櫛歯部分14bと第2固定電極16bの櫛歯部分17bとが対向する部分の面積は小さくなる。このため、第1可動電極13aと第1固定電極16aとの静電容量は大きくなり、第2可動電極13bと第2固定電極16bとの静電容量が小さくなる。
第1可動電極13a及び第1固定電極16a間の静電容量が増加するため、第1固定電極16aのエレクトレットによって第1可動電極13aにおいて誘起される正電荷の量が増加する。また、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の静電容量が減少するため、第2固定電極16bのエレクトレットによって第2可動電極13bにおいて誘起される正電荷の量が減少する。このとき、配線W1及び配線W2を介して、第2固定電極16b及び第1可動電極13aから第1固定電極16a及び第2可動電極13bに向かって負電荷(電子)が移動しようとし、第1整流部21aのダイオードD1がオン状態(順バイアス状態)となる。第2整流部21bのダイオードD2は、オフ状態(逆バイアス状態)となる。第1整流部21aがオン状態となることで、図3(a)において白抜き矢印で示すように電流が流れる。
一方、図3(b)に示す状態では、可動部12の-X方向の移動に伴って、第1可動電極13aの櫛歯部分14aと第1固定電極16aの櫛歯部分17aとが対向する部分の面積は小さくなり、第2可動電極13bの櫛歯部分14bと第2固定電極16bの櫛歯部分17bとが対向する部分の面積は大きくなる。このため、第1可動電極13aと第1固定電極16aとの静電容量は小さくなり、第2可動電極13bと第2固定電極16bとの静電容量が大きくなる。
第1可動電極13a及び第1固定電極16a間の静電容量が減少するため、第1可動電極13aにおいて誘起される正電荷の量が減少する。また、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の静電容量が増加するため、第2可動電極13bにおいて誘起される正電荷の量が増加する。このとき、配線W1を介して、第1固定電極16a及び第2可動電極13bから、第1出力部25に接続されるコンデンサCの一端及び変圧部40側に向かって負電荷が移動しようとし、第2整流部21bがオン状態となる。また、配線W2を介して、第2出力部26に接続されるコンデンサCの他端及び変圧部40側から、第2固定電極16b及び第1可動電極13aに向かって負電荷の移動が生じる。第1整流部21aは、オフ状態となる。
この図3(b)の場合、図中の白抜き矢印で示すように電流が流れる。第1出力部25及び第2出力部26間には、第1可動電極13a及び第1固定電極16a間の静電容量の変化に応じた電流と、第2可動電極13b及び第2固定電極16b間の静電容量の変化に応じた電流とが流れる。第1固定電極16a及び第1可動電極13aの第1の対による発電により得られる電流と、第2固定電極16b及び第2可動電極13bの第2の対による発電により得られる電流とが合わさった電流が、出力されることになる。
このように、本実施の形態に係る発電装置1は、互いに並列接続された2つの電極対による発電によって得られた電流及び電圧を出力する。このため、本実施の形態では、第1可動電極13aと第2可動電極13bとが電気的に分離されていない場合と比較して、略2倍の大きさの電流を変圧部40に供給することが可能となる。また、第1の対と第2の対とが直列接続されている場合と比較して、略半分の大きさの電圧を変圧部40に供給可能となる。
振動発電素子10から出力される電圧が高すぎると、後段の変圧部40として高耐圧の部品が必要となり、部品の選定が困難となってしまう。また、部品が高額となり、発電装置1の製造コストが増大するおそれがある。一方、本実施の形態では、上述のように、振動発電素子10から出力される電圧を低下させ、後段の回路に入力される電圧を低下させることができる。このため、後段の回路として用いる部品の選定が困難となってしまうことを回避することが可能となる。また、発電装置1の製造コストが増大することを防ぐことができる。
図4は、実施の形態に係る発電装置により行われる処理を説明するための図である。図4では、同一の時間軸に、可動部12の振幅x(図4(a))と、第1出力部25の電圧Vo(図4(b))とを示している。図4(a)において、縦軸は、可動部12のX軸方向の振幅(移動量)を示している。図4(b)において、縦軸は、電圧の大きさを示している。電圧Voは、第1出力部25を介して、コンデンサCの一端及び変圧部40に加わる電圧である。
図3(a)及び(b)を用いて上述したように、発電装置1では、可動部12の振幅xが正の値となる場合、即ち可動部12が+X方向に移動する場合と、可動部12の振幅xが負の値となる場合、即ち可動部12が-X方向に移動する場合とで、電流の方向が変わる交流電流が生じる。可動部12が+X方向に移動した場合は、ダイオードD1はオン状態となり、ダイオードD2はオフ状態となる。可動部12が-X方向に移動した場合には、ダイオードD1はオフ状態となり、ダイオードD2はオン状態となる。
図4(a)及び図4(b)に示す時刻t1から時刻t2までの期間において、可動部12の+X方向の移動に伴って、ダイオードD1がオン状態となり、ダイオードD2がオフ状態となる。この場合、ダイオードD1を介して、第1固定電極16a及び第2可動電極13b側から第2固定電極16b及び第1可動電極13a側へと電流が流れる。
時刻t2から時刻t3までの期間において、可動部12の-X方向の移動に伴って、ダイオードD2がオン状態となり、ダイオードD1はオフ状態となる。この場合、ダイオードD2及び第1出力部25及び第2出力部26を経由して、第2固定電極16b及び第1可動電極13a側から第1固定電極16a及び第2可動電極13b側へと電流が流れる。第1可動電極13a及び第1固定電極16aによる発電によって得られる電流と、第2可動電極13b及び第2固定電極16bによる発電によって得られる電流とを合わせた電流が、蓄電部30及び変圧部40に出力される。これにより、コンデンサCへの充電が行われ、図4(b)において太線で示すように、電圧Voの値(レベル)が大きくなる。なお、図4に示す例では、電圧Voは負の値となる。
時刻t3~時刻t4の期間では、時刻t1~時刻t2の期間の場合と同様に、可動部12の+X方向の移動に応じて、発電装置1において電流が流れる。この場合、上述したように、ダイオードD2はオフ状態となる。このため、コンデンサCに蓄積された電荷が保持され、電圧Voの低下を抑制することができる。
時刻t4~時刻t5の期間では、時刻t2~時刻t3の期間の場合と同様に、可動部12の-X方向の移動に応じて、発電装置1において電流が流れる。この場合、コンデンサCへの充電が行われて、電圧Voの値が大きくなる。変圧部40には、振動発電素子10の発電によって充電されたコンデンサCの電圧Voが供給される。
このように、本実施の形態に係る発電装置1は、第1固定電極16a及び第1可動電極13aの第1の対と、第2固定電極16b及び第2可動電極13bの第2の対とによって発電を行う。このため、発電装置1は、効率良く発電を行うことができる。また、電気的に並列接続された2つの電極対によって発電を行うため、発電装置1の外部に供給する電圧を低下させると共に、発電装置1の外部に供給する電流を増加させることができる。振動発電素子10から出力される電圧と電流との比、即ちインピーダンス(出力インピーダンス)を低減させることができる。このため、変圧部40として用いる部品の選定が困難となることを回避することが可能となる。
また、本実施の形態に係る発電装置1では、2つのダイオードD1、D2によって整流を行う。このため、多数のダイオードを用いて整流を行う場合と比較して、ダイオードにおける電力の損失を抑制し、発電効率を向上させることができる。また、発電装置1の製造コストが増大することを防ぐことができる。
なお、上記では、変換部20の構成例について説明したが、あくまでも一例であって、変換部(整流回路)20の構成は、上述した例に限られない。変換部20の構成は、適宜変更可能であり、例えば、3つ以上のダイオードを有する構成にしてもよい。変換部20として、4つのダイオードをブリッジ型に配置した整流回路を用いてもよい。
上述した実施の形態によれば、次の作用効果が得られる。
(1)発電素子(振動発電素子10)は、振動により発電する発電素子であって、第1電極(第1固定電極16a)及び第2電極(第2固定電極16b)と、第2電極と電気的に接続され第1電極に対向する第3電極(第1可動電極13a)と、第3電極と電気的に接続されずに第3電極に相対的に固定され、かつ第1電極と電気的に接続され第2電極に対向する第4電極(第2可動電極13b)とを有し、第1電極及び第2電極の間に設けられる部材(可動部12)と、第1電極及び第3電極のうちの一方と、第2電極及び第4電極のうちの一方とに設けられるエレクトレットと、を備える。このようにしたので、本実施の形態に係る振動発電素子10は、効率良く発電を行うことができる。また、並列接続された2つの電極対によって発電を行うため、出力インピーダンスを低減させることができる。これにより、振動発電素子10に接続する部品の選定が困難となることを回避することができる。
(2)発電装置1は、発電素子(振動発電素子10)と、発電素子により発電された交流を直流に変換する変換部20とを備える。変換部20は、第1電極及び第4電極に電気的に接続される電極(アノード)と第2電極及び第3電極に電気的に接続される電極(カソード)とを有する第1整流部21aと、第1電極及び第4電極に電気的に接続される電極(カソード)と出力部(第1出力部25)に電気的に接続される電極(アノード)とを有する第2整流部21bとを備える。本実施の形態に係る発電装置1は、2つのダイオードによって整流を行うため、多数のダイオードによって整流を行う場合と比較して、発電装置1内における電力の損失を抑制し、発電効率を向上させることができる。また、発電装置1の製造コストが増大することを防ぐことができる。
以下では、図面を参照して、変形例について説明する。なお、図中、上述した実施の形態と同一もしくは相当部分には、同一の参照番号を付し、上述した実施の形態との相違点を主に説明する。
図5は、変形例に係る発電装置の構成例を示す図である。図5に示す例では、変換部20のダイオードD1のアノードは、振動発電素子10の第1固定電極16a及び第2固定電極16bに電気的に接続される。第1固定電極16aと第2固定電極16bは、共に配線W1に電気的に接続され、互いに電気的に接続される。ダイオードD1のカソードは、振動発電素子10の第1可動電極13a及び第2可動電極13bに電気的に接続される。第1可動電極13aと第2可動電極13bは、共に配線W2に電気的に接続され、互いに電気的に接続される。変換部20のダイオードD2のカソードは、第1固定電極16a、第2固定電極16b、及びダイオードD1のアノードに電気的に接続される。
また、本変形例では、第1固定電極16a及び第2可動電極13bは、それぞれ、負電荷を有するエレクトレットが設けられ、エレクトレット化された電極となる。なお、第1固定電極16a及び第2可動電極13bに、正電荷を有するエレクトレットを設けるようにしてもよい。第2固定電極16b及び第1可動電極13aに、正電荷又は負電荷を有するエレクトレットを設けるようにしてもよい。
本変形例の場合も、第1固定電極16a及び第1可動電極13aの第1の対と、第2固定電極16b及び第2可動電極13bの第2の対とが、並列接続された状態となる。発電装置1は、電気的に並列接続された2つの電極対によって発電を行うことができ、発電装置1の外部に供給する電圧を低下させることができる。このため、出力インピーダンスを低減させることができ、振動発電素子10に接続する部品の選定が困難となることを防ぐことができる。
上記では、種々の実施形態および変形例を説明したが、本発明はこれらの内容に限定されるものではない。本発明の技術的思想の範囲内で考えられるその他の態様も本発明の範囲内に含まれる。
1…発電装置、10…発電素子、12…可動部、13a…第1可動電極、13b…第2可動電極、15…絶縁部、16a…第1固定電極、16b…第2固定電極、20…変換部、21a…第1整流部、21b…第2整流部、25…第1出力部、26…第2出力部、30…蓄電部、40…変圧部

Claims (9)

  1. 振動により発電する発電素子であって、
    第1電極及び第2電極と、
    前記第2電極と電気的に接続され前記第1電極に対向する第3電極と、前記第3電極と電気的に接続されずに前記第3電極に相対的に固定され、かつ前記第1電極と電気的に接続され前記第2電極に対向する第4電極とを有し、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる部材と、
    前記第1電極及び前記第3電極のうちの一方と、前記第2電極及び前記第4電極のうちの一方とに設けられるエレクトレットと、
    を備え
    前記第1電極と前記第3電極との間の静電容量と、前記第2電極と前記第4電極との間の静電容量とは逆位相で変化する発電素子。
  2. 請求項1に記載の発電素子において、
    前記第4電極は、前記第3電極に絶縁部を介して固定される発電素子。
  3. 請求項1または請求項2に記載の発電素子において、
    前記部材は、第1電極及び第2電極に対して移動可能な可動部である発電素子。
  4. 請求項3に記載の発電素子において、
    前記可動部は、外部から振動が与えられると、前記第1電極及び前記第2電極の間において振動し、
    前記可動部が振動する場合、前記第1電極及び前記第3電極により発電し、前記第2電極及び前記第4電極により発電する発電素子。
  5. 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の発電素子と、
    前記第1電極及び前記第4電極に電気的に接続される電極と、前記第2電極及び前記第3電極に電気的に接続される電極とを有する整流部を備える発電装置。
  6. 請求項5に記載の発電装置において、
    前記整流部は、前記第1電極及び前記第3電極と前記第2電極及び前記第4電極により発電される交流を整流する発電装置。
  7. 請求項6に記載の発電装置において、
    前記整流部は、ダイオードである発電装置。
  8. 振動により発電する発電素子であって、
    第1電極及び前記第1電極と電気的に接続される第2電極と、
    前記第1電極に対向する第3電極と、前記第3電極に相対的に固定され、かつ前記第3電極と電気的に接続され前記第2電極に対向する第4電極とを有し、前記第1電極及び前記第2電極の間に設けられる部材と、
    前記第1電極及び前記第3電極のうちの一方と、前記第2電極及び前記第4電極のうちの一方とに設けられるエレクトレットと、
    を備え
    前記第1電極及び前記第2電極は同じ配線を介して外部回路に接続され、
    前記第1電極と前記第3電極との間の静電容量と、前記第2電極と前記第4電極との間の静電容量とは逆位相で変化する発電素子。
  9. 請求項8に記載の発電素子と、
    前記第1電極及び前記第2電極に電気的に接続される電極と、前記第3電極及び前記第4電極に電気的に接続される電極とを有する整流部を備える発電装置。
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