JP2012041255A - 窒化アルミニウム粒子、窒化アルミニウム粒子の製造方法、及び窒化アルミニウム粒子の製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置し、次いで、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射し、全体積の5%〜40%の割合で内部に中空部を有することを特徴とする、窒化アルミニウム粒子を製造する。
【選択図】図1
Description
全体積の5%〜40%の割合で内部に中空部を有することを特徴とする、窒化アルミニウム粒子に関する。
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置する工程と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射する工程とを具え、
全体積の5%〜40%の割合で内部に中空部を有する窒化アルミニウム粒子を製造することを特徴とする、窒化アルミニウム粒子の製造方法に関する。
カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
前記坩堝の周囲に設けられた、マイクロ波透過性の断熱部材と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射するためのマイクロ波照射装置と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム粒子の製造装置に関する。
Al2O3+3C+N2→2AlN+3CO
活性炭(ノーリットSX-II)とマイクロンアルミナ(AX116)とを4:1のモル比で秤量及び混合した原料Sを0.6gとし、マイクロ波吸収体13として活性炭ノーリットSX-II1.0gを用いた。次いで、図1に示す製造装置10を用い、上述した製造方法にしたがってAlN粒子を得た。マイクロ波照射装置から照射されるマイクロ波の強度は450Wとし、照射時間は30分とした。
原料Sとマイクロ波吸収体13に用いるカーボンとして純カーボン(トーカブラック#18500/F)の1.0gを用いた以外は、実施例1と同様にしてAlN粒子を製造した。
11 坩堝
111 内側坩堝
112 外側坩堝
13 マイクロ波吸収体
14 石英ウール
15 マイクロ波照射装置
16 導管
Claims (14)
- 全体積の5%〜40%の割合で内部に中空部を有することを特徴とする、窒化アルミニウム粒子。
- 平均粒子径が1μm〜50μmの範囲であることを特徴とする、請求項1に記載の窒化アルミニウム粒子。
- カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して坩堝内に配置する工程と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射する工程とを具え、
全体積の5%〜40%の割合で内部に中空部を有する窒化アルミニウム粒子を製造することを特徴とする、窒化アルミニウム粒子の製造方法。 - 前記坩堝の周囲において、マイクロ波透過性の断熱部材を配置する工程を具えることを特徴とする、請求項3に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記断熱部材はアルミナからなることを特徴とする、請求項4に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記カーボン粒子は活性炭粒子であることを特徴とする、請求項3〜5のいずれか一に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)は、窒化アルミニウムを生成する際に要求される前記カーボン粒子と前記アルミナ粒子との化学量論的な混合比(カーボン粒子/アルミナ粒子)以上となるように設定したことを特徴とする、請求項3〜6のいずれか一に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記窒化アルミニウム粒子に対して600℃〜800℃の温度で加熱処理を行い、前記窒化アルミニウム粒子の表面に残留する炭素を除去する工程を具えることを特徴とする、請求項3〜7のいずれか一に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- 前記アルミナの平均粒子径が1μm〜50μmの範囲であることを特徴とする、請求項3〜8のいずれか一に記載の窒化アルミニウム粒子。
- 前記窒化アルミニウム粒子の平均粒子径が1μm〜50μmの範囲であることを特徴とする、請求項3〜9のいずれか一に記載の窒化アルミニウム粒子の製造方法。
- カーボン粒子とアルミナ粒子とを混合して配置する坩堝と、
前記坩堝の周囲に設けられた、マイクロ波透過性の断熱部材と、
前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子に対して、窒素雰囲気下においてマイクロ波を照射するためのマイクロ波照射装置と、
を具えることを特徴とする、窒化アルミニウム粒子の製造装置。 - 前記断熱部材は、アルミナからなることを特徴とする、請求項11に記載の窒化アルミニウム粒子の製造装置。
- 前記坩堝と前記断熱部材との間に、前記カーボン粒子及び前記アルミナ粒子を挟み込むようにして配置したマイクロ波吸収体を具えることを特徴とする、請求項11又は12に記載の窒化アルミニウム粒子の製造装置。
- 前記マイクロ波吸収体はカーボンからなることを特徴とする、請求項13に記載の窒化アルミニウム粒子の製造装置。
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