JP2012032649A - フォトマスク修正方法およびレーザ加工装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 94
- 238000012937 correction Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 35
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims abstract description 13
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 12
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 87
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 159
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 56
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 36
- 230000008569 process Effects 0.000 description 21
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 16
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 13
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 11
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 6
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 5
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 4
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000001182 laser chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/50—Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/68—Preparation processes not covered by groups G03F1/20 - G03F1/50
- G03F1/72—Repair or correction of mask defects
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/066—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms by using masks
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
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- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
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Abstract
【解決手段】Qスイッチ周波数が1Hzから1kHzの範囲内に設定されたCVD加工用レーザ発振器11から出射される、1パルス当りの照射エネルギ密度が40mJ/cm2以上、もしくは、照射パワー密度が1MW/cm2以上の紫外レーザ光、および、クロムカルボニルガスからなる原料ガスを用いてフォトマスク2のハーフトーンパターンの修正部分にCVD膜を成膜する。本発明は、例えば、フォトマスクの修正を行うレーザ加工装置に適用できる。
【選択図】図1
Description
1.実施の形態
2.変形例
[レーザ加工装置の構成例]
図1は、本発明を適用したレーザ加工装置1の一実施の形態を示すブロック図である。レーザ加工装置1は、ハーフトーンパターンを有するフォトマスク2の修正を行う装置である。レーザ加工装置1は、CVD加工用レーザ発振器11、レーザ照射強度均一化光学系12、ZAP加工用レーザ発振器13、レーザ照射強度均一化光学系14、可変スリット15、結像加工光学系16、ガスユニット17、原料ガス供給・排気ユニット18、マスクホルダ19、XYステージ20、透過照明21、透過照明レンズ22、観察光学系23、プローブ光源24、透過光強度測定器25、および、制御部26を含むように構成される。
ここで、レーザ加工装置1において、フォトマスク2のハーフトーンパターンの欠陥部を修正するときのCVD加工条件について検討する。
ただし、PはCVDレーザ光の照射パワー密度、CCVDはCVD膜の比熱、ρCVDはCVD膜の密度、dはCVD膜の膜厚を表す。
P×τ=ΔT×(CCVD×ρCVD×d+Cg×ρg×(κg×τ)1/2) ・・・(4)
次に、図4のフローチャートを参照して、レーザ加工装置1により実行されるフォトマスク修正処理について説明する。なお、以下、図5のフォトマスク2上に形成されたハーフトーンパターンのハーフトーン膜51ににより形成されるハーフトーンパターンに欠陥52が生じており、そのハーフトーンパターンの修正を行う場合を例に挙げて説明する。
なお、以上の説明では、ハーフトーン膜51を全て除去してから、ハーフトーンパターンを修正する例を示したが、欠陥52の周辺のハーフトーン膜51のみを除去してからハーフトーンパターンを修正するようにしてもよい。
2 フォトマスク
11 CVD加工用レーザ発振器
12 レーザ照射強度均一化光学系
13 ZAP加工用レーザ発振器
14 レーザ照射強度均一化光学系
15 可変スリット
16 結像加工光学系
16a 対物レンズ
16b 微動ステージ
17 ガスユニット
18 原料ガス供給・排気ユニット
24 プローブ光源
25 透過光強度測定器
26 制御部
Claims (3)
- フォトマスクの修正を行うフォトマスク修正方法において、
Qスイッチ周波数が1Hzから1kHzの範囲内に設定されたレーザ発振器から出射される、1パルス当りの照射エネルギ密度が40mJ/cm2以上、もしくは、照射パワー密度が1MW/cm2以上の紫外レーザ光、および、クロムカルボニルガスからなる原料ガスを用いて前記フォトマスクのハーフトーンパターンの修正部分にCVD膜を成膜する
ことを特徴とするフォトマスク修正方法。 - パルス幅が40ns以下、かつ、照射パワー密度が1MW/cm2以上の紫外レーザ光、または、パルス幅が40nsを超え、かつ、1パルス当りの照射エネルギ密度が40mJ/cm2を超える紫外レーザ光を用いる
ことを特徴とする請求項1に記載のフォトマスク修正方法。 - フォトマスクの修正を行うレーザ加工装置において、
紫外レーザ光を発振するQスイッチレーザ発振手段と、
クロムカルボニルガスからなる原料ガスを前記フォトマスクのハーフトーンパターンの修正部分近傍に供給する原料ガス供給手段と、
前記Qスイッチレーザ発振手段のQスイッチ周波数、並びに、紫外レーザ光の1パルス当りの照射エネルギ密度および照射パワー密度を制御するレーザ制御手段と
を備え、
前記Qスイッチレーザ発振手段のQスイッチ周波数を1Hzから1kHzの範囲内に設定し、紫外レーザ光の1パルス当りの照射エネルギ密度を40mJ/cm2以上、または、紫外レーザ光の照射パワー密度を1MW/cm2以上に設定して、紫外レーザ光を前記修正部分に照射し、前記修正部分にCVD膜を生成する
ことを特徴とするレーザ加工装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010172888A JP5163967B2 (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | フォトマスク修正方法およびレーザ加工装置 |
KR1020137004996A KR101363905B1 (ko) | 2010-07-30 | 2011-03-16 | 포토마스크 수정 방법 및 레이저 가공 장치 |
PCT/JP2011/056242 WO2012014520A1 (ja) | 2010-07-30 | 2011-03-16 | フォトマスク修正方法およびレーザ加工装置 |
CN201180036907.8A CN103026297B (zh) | 2010-07-30 | 2011-03-16 | 光掩模修正方法及激光加工装置 |
TW100126706A TWI479258B (zh) | 2010-07-30 | 2011-07-28 | 光罩修正方法及雷射加工裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010172888A JP5163967B2 (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | フォトマスク修正方法およびレーザ加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012032649A true JP2012032649A (ja) | 2012-02-16 |
JP5163967B2 JP5163967B2 (ja) | 2013-03-13 |
Family
ID=45529744
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010172888A Active JP5163967B2 (ja) | 2010-07-30 | 2010-07-30 | フォトマスク修正方法およびレーザ加工装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5163967B2 (ja) |
KR (1) | KR101363905B1 (ja) |
CN (1) | CN103026297B (ja) |
TW (1) | TWI479258B (ja) |
WO (1) | WO2012014520A1 (ja) |
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-
2010
- 2010-07-30 JP JP2010172888A patent/JP5163967B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-16 WO PCT/JP2011/056242 patent/WO2012014520A1/ja active Application Filing
- 2011-03-16 CN CN201180036907.8A patent/CN103026297B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-16 KR KR1020137004996A patent/KR101363905B1/ko active IP Right Grant
- 2011-07-28 TW TW100126706A patent/TWI479258B/zh not_active IP Right Cessation
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WO2012014520A1 (ja) | 2012-02-02 |
KR20130042587A (ko) | 2013-04-26 |
JP5163967B2 (ja) | 2013-03-13 |
TWI479258B (zh) | 2015-04-01 |
TW201219965A (en) | 2012-05-16 |
KR101363905B1 (ko) | 2014-02-19 |
CN103026297B (zh) | 2014-11-26 |
CN103026297A (zh) | 2013-04-03 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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