JP2012031472A - Sn合金めっき液への錫成分補給方法およびSn合金めっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化第一錫粉末10が溶解された補給用液11とSn合金めっき液12とを、陽イオン交換膜21を介して接するように配置し、補給用液11中の錫イオンを、陽イオン交換膜21を通じてSn合金めっき液12中に移動させ、補給用液11中の不溶解物15を補給用液11中から回収する。
【選択図】図1
Description
なお、本発明は前記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
11 補給用液
12 Sn合金めっき液
13 溶液
15 不溶解物
20 補給用容器
21 陽イオン交換膜
22 枠体
30 不溶性アノード電極
31 カソード電極(被めっき物)
32 架台
33 基板支持部
34 電源
35 支持部
36 錘
37 電極支持部
40 めっき槽
41 槽本体
42 外槽
43 めっき液回収部
50 タンク
51 超音波振動子
60 液供給装置
61 ノズル
62 供給管
63 ポンプ
64 回収管
70 供給機構
71 溶液供給部
72 粉末供給部
73 制御装置
74 配管
75 秤量室
100,200 Sn合金めっき装置
Claims (6)
- 酸化第一錫粉末が溶解された補給用液とSn合金めっき液とを、陽イオン交換膜を介して接するように配置し、
前記補給用液中の錫イオンを、前記陽イオン交換膜を通じて前記Sn合金めっき液中に移動させ、
前記補給用液中の不溶解物を前記補給用液中から回収することを特徴とするSn合金めっき液への錫成分補給方法。 - 前記補給用液を、前記陽イオン交換膜によって覆われた補給用容器に保持させて、この補給用容器を前記Sn合金めっき液中に浸漬することにより、このSn合金めっき液中に錫イオンを移動させることを特徴とする請求項1に記載のSn合金めっき液への錫成分補給方法。
- 前記補給用液を超音波振動させることを特徴とする請求項1または2に記載のSn合金めっき液への錫成分補給方法。
- Sn合金めっき液を保持し、このSn合金めっき液中に備えられた不溶性アノード電極およびカソード電極による電解めっき処理が行われるめっき槽と、
このめっき槽に供給される前記Sn合金めっき液を貯留するタンクと、
陽イオン交換膜およびこの陽イオン交換膜を支持する枠体を備える補給用容器とを備え、
前記補給用容器は、酸化第一錫粉末が溶解された補給用液を保持して、前記タンクに貯留された前記Sn合金めっき液中に配置されることを特徴とするSn合金めっき装置。 - 前記補給用容器に超音波振動子が備えられていることを特徴とする請求項4に記載のSn合金めっき装置。
- 前記タンクのSn合金めっき液中に配置された状態の前記補給用容器に対して、錫を溶解可能な溶液と、任意量の酸化第一錫粉末とを供給する供給機構をさらに備えることを特徴とする請求項4または5に記載のSn合金めっき装置。
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JP2019147971A (ja) * | 2018-02-26 | 2019-09-05 | 三菱マテリアル株式会社 | Sn合金めっき液へのSn成分補給方法、Sn合金めっき用補給液製造方法及びSn成分補給装置 |
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2010
- 2010-07-30 JP JP2010172002A patent/JP5685850B2/ja active Active
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