JP2012028961A - 超音波送受波器の取り付け方法及びこれを用いた超音波流量計 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波送受波器と筺体とのシール手段として低コストのＯリングなどの弾性圧縮体を使用することが可能でコストダウンを図ること。
【解決手段】超音波送受波器６，７が、流路２を有する筐体１に設けられたＯリング２３を圧縮する方向に取り付けられ、この超音波送受波器６、７に複数箇所当接して付勢する付勢手段２４を設け、この付勢手段２４を筐体１へ係止するネジ２５を設けることにより、Ｏリング２３をシール手段として使用することを可能とし、低コストで、筐体に伝わる超音波送受波器の振動を減少して信号処理を容易にする超音波流量計を実現することができた。
【選択図】図２

Description

本発明は、筐体に挿着された超音波送受波器と制御部とを電気的に導通し、超音波送受波器により発生した超音波を用いて気体や液体の流量の計測を行う超音波流量計に関するものである。

従来のこの種の超音波送受波器（超音波振動子）は、例えば、図１０のようなものがある。図１０において、１００はケース、１０１はケース１００の天部、１０２はケース１００の側壁部、１０３はケース１００の開口部であり、ケース１００は天部１０１と側壁部１０２と開口部１０３を有した有天筒状の形状である。１０４はケース１００の天部１０１の外壁面に固定された音響整合層、１０５は天部１０１の内壁面に固定された圧電体、１０６は側壁部１０２の外壁に設けた支持部であり、支持部１０６はケース１００の開口部１０３側に環状に広がるフランジ１０７と開口部１０３を塞ぐ封止体１０８とを重ねて厚みを増加させて剛性を増大させている。１０９、１１０は封止体１０８に設けられた端子、１１１は端子１０９と１１０を絶縁するための絶縁部、１１２は圧電体１０５と端子１０９を電気的に接続するためのリード線である。

このように超音波振動子１１３は有天筒状のケース１００の内部に圧電体１０５を設けて封止体１０８で封止するとともにケース１００の外部に音響整合層１０４と支持部１０６を備えている。１１４は側壁部１０２に当接して側壁部１０２の振動を低減する制振性に優れた材質で形成した制振体である。１１５は保持部１１６に第一の環状突起部１１７と第二の環状突起部１１８による気密シール部１１９を設けた振動伝達抑止体である。第一の環状突起部１１７は取り付け穴１２０の平坦面１２１に密着して振動伝達抑止体１１５と取り付壁１２２との間を気密シールし、第二の環状突起部１１８は超音波振動子１１３の支持部１０６を構成するフランジ１０７に密着して振動伝達抑止体１１５と超音波振動子１１３との間を気密シールしている。１２３は取り付け壁１２２に設けた取り付穴１２０に挿入された振動伝達抑止体１１５が脱落しないように押える固定体であり、取り付け壁１２２にねじ（図示せず）などで固定されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−１５９５５１号公報

しかしながら、上記従来の構成は、振動伝達抑制体１１５の構造が複雑であった。即ち、振動伝達抑制体１１５には支持部１０６やフランジ部１０７が挿着される内溝形状の保持部１１６があり、その近傍には取り付け穴１２０の平坦面１２１に密着して振動伝達抑止体１１５と取り付け壁１２２との間を気密シールする第一の環状突起部１１７および超音波振動子１１３の支持部１０６を構成するフランジ１０７に密着して振動伝達抑止体１１５と超音波振動子１１３との間を気密シールする第二の環状突起部１１８が構成されており複雑なため、製造する際においてはコスト高になるという課題を有していた。

本発明の超音波送受波器の取り付け方法は、前記従来の課題を解決するもので、超音波送受波器が流路を有する筐体に設けられたシール手段を圧縮する方向に取り付けられ、この超音波送受波器に複数箇所当接して付勢する付勢手段を設け、この付勢手段を筐体へ係止する係止手段を設けることにより、シール手段として低コストのＯリングなどを使用す
ることが可能で、また筐体に伝わる超音波送受波器の振動を減少して信号処理を容易にする超音波流量計を提供することを目的とする。

前記従来の課題を解決するために、本発明の超音波送受波器の取り付け方法は、記筐体に取り付けられる超音波送受波器と、前記筐体に設けられた前記超音波送受波器の取り付け穴と、前記取り付け穴に挿着されたシール手段と、前記超音波送受波器に設けられ前記シール手段に当接するシール面と、前記超音波送受波器に対し複数箇所で当接し、前記シール手段を圧縮する方向に付勢する付勢手段と、前記付勢手段を前記筐体へ係止する係止手段と、から構成したものである。これにより、シール手段として低コストのＯリングなどの弾性圧縮体を使用することが可能で、また筐体に伝わる超音波送受波器の振動伝播を減少して高精度な流量計測を可能にする超音波流量計を実現することができる。

本発明の超音波送受波器の取り付け方法およびこれを用いた超音波流量計は、超音波送受波器と筺体とのシール手段として低コストのＯリングなどの弾性圧縮体を使用することが可能でコストダウンが図れる。また筐体に伝わる超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

本発明の実施の形態１における超音波流量計の構成図 本発明の実施の形態１における超音波送受波器の取り付け部断面図 本発明の実施の形態１における超音波送受波器の取り付け平面図 本発明の実施の形態２における超音波送受波器の取り付け部断面図 本発明の実施の形態２における超音波送受波器の取り付け平面図 本発明の実施の形態３における超音波送受波器の取り付け部断面図 本発明の実施の形態４における超音波送受波器の取り付け部断面図 本発明の実施の形態５における超音波送受波器の取り付け部断面図 本発明の実施の形態６における超音波送受波器の取り付け部断面図 従来の超音波送受波器の取り付け部断面図

第１の発明は、筐体と、前記筐体に取り付けられる超音波送受波器と、前記筐体に設けられた前記超音波送受波器の取り付け穴と、前記取り付け穴に挿着されたシール手段と、前記超音波送受波器に設けられ前記シール手段に当接するシール面と、前記超音波送受波器に対し複数箇所で当接し、前記シール手段を圧縮する方向に付勢する付勢手段と、前記付勢手段を前記筐体へ係止する係止手段と、からなるものである。

その結果、超音波送受波器の振動がシール手段であるＯリングなどの弾性体を介して筐体に伝播する構成となり、筐体伝播が小さくなる。またシール手段を圧縮する方向に超音波送受波器に対し複数箇所のみ当接して付勢する構成であり、超音波送受波器を全面で付勢する構成に比べ筐体伝播を低減することが出来る。

従って、筐体に伝わる超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第２の発明は、特に第１の発明において、前記超音波送受波器は、対向する１対の電極面を有する圧電体と、前記圧電体の一方の電極面に電気的に接続されたケースと、前記ケ
ースのフランジ部と電気的に導通された端子板と、前記端子板と絶縁状態で前記端子板に設けられた外部電極と、前記圧電体の他方の電極面と前記外部電極の間に設けられた導電体と、前記圧電体に対向し前記ケースに接着固定された音響整合層と、からなり、前記シール手段は、前記フランジ部と前記筐体に当接して設けられ、前記付勢手段は、前記端子板の３箇所以上で当接して前記シール手段を圧縮する方向に付勢する構成としたものである。

その結果、ケースに接着された圧電体を振動し、この圧電体に対向してケースに接着固定された音響整合層から超音波を発生したときに、圧電体の振動がケース、シール手段としてのＯリングなどの弾性体を介して筐体に伝わるが弾性体の振動吸収効果により筐体伝播が小さくなる。また端子板を少なくとも３箇所以上当接して付勢することにより、超音波送受波器の端子板を全面で付勢する構成に比べ振動が複数の付勢手段を介してのみ筐体に伝播するため筐体伝播を低減することが出来る。

従って、筐体に伝わる超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第３の発明は、特に第２の発明において、前記端子板の外周部は、前記取り付け穴に対して点接触もしくは線接触する当接規制手段を有する構成としたものである。

その結果、端子板の外周部が筐体に対して面で接することがなくなり、超音波送受波器の振動の筐体への伝播を低減することが出来る。従って、高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第４の発明は、特に第３の発明において、前記当接規制手段は、前記端子板の外周部を前記取り付け穴に対して少なくとも３箇所以上で当接する当接部を前記取り付け穴に設ける構成としたものである。

その結果、端子板の外周部と筐体との距離を等距離で固定することができ、超音波送受波器の取り付け穴から均一な分布で超音波が発信される。その結果、安定した信号処理が実現でき高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第５の発明は、特に第２の発明において、前記付勢手段は、前記端子板の３箇所以上で当接して前記シール手段を圧縮する方向に付勢する突起部と、前記端子板の外周部に３箇所以上当接して前記超音波送受波器を前記取り付け穴の中心方向に支持する支持部を有する構成としたものである。

その結果、付勢手段を筐体に固定することにより、超音波受波器の端子板外周は直接筐体に接触することなく、端子板の外周部と筐体との距離を等距離で固定することができ、超音波送受波器の取り付け穴から均一な分布で超音波が発信される。その結果、安定した信号処理が実現でき高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第６の発明は、特に第１〜５のいずれか１つの発明において、前記付勢手段と前記筐体が当接する当接部に３箇所以上の当接する突起部を、前記付勢手段または前記筐体に設ける構成としたものである。

その結果、付勢手段を筐体に固定することにより、付勢手段から筐体へ伝播する筐体伝
播を減少することが出来る。その結果、安定した信号処理が実現でき高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第７の発明は、特に第１〜６のいずれか１つの発明において、前記係止手段と前記付勢手段の間、及び／又は、前記付勢手段と筐体の間に振動吸収体を有する構成としたものである。

その結果、超音波送受波器から付勢手段を介して筐体に伝播する筐体伝播を減少することが出来る。その結果、安定した信号処理が実現でき高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

第８の発明は、前記筐体が、被測定流体の流量を測定する流量測定部を備え、前記流量測定部は、請求項１から７のいずれか１項に記載の超音波送受波器の取り付け方法で取り付けられた一対の超音波送受波器と、この超音波送受波器間の超音波伝搬時間を計測する計測回路と、この計測回路からの信号に基づいて流量を求める演算回路を備えた超音波流量計とすることにより、信頼性の高い計測精度が得られるものである。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施の形態によって本発明が限定されるものではない。

（実施の形態１）
図１は本発明の第１の実施の形態における超音波送受波器の取り付け方法を用いた超音波流量計の構成を示すものである。

図１において、筐体１に構成された流路２はＬＰガスや天然ガスなどの流体が流れる。流量測定部３はこの流路２を流れる流体の流量を測定する領域であり、流量測定部３には流路２の上流側４と下流側５に上流側に配置された超音波送受波器６と下流側に配置された超音波送受波器７が配置されている。超音波送受波器６および超音波送受波器７は、超音波送受波器６および超音波送受波器７間の超音波伝播時間を計測する計測回路８に接続され、更にこの計測回路８からの信号に基づいて流速および／または流量を求める演算回路９が設けられている。尚、超音波送受波器６、７から超音波を発信するための信号は発信回路（図示せず）から超音波送受波器６、７へ出力される。

以上のように構成された流量測定部３での超音波流量計の動作、作用を説明する。超音波送受波器６と超音波送受波器７の中心を結ぶ距離をＬとし、この直線と流れの方向である流路２の長手方向となす角度をθとする。また流体の無風状態での音速をＣ、流路２内での流体の流速をＶとする。流量測定部３の上流側４に配置された超音波送受波器６から送信された超音波は流路２を斜めに横断し、下流側５に配置された超音波送受波器７で受信する。このときの伝搬時間ｔ１は、
ｔ１＝Ｌ／Ｃ＋Ｖｃｏｓθ・・・・・（式１）
で示される。次に超音波送受波器７から超音波を送信して超音波送受波器６で受信する。このときの伝搬時間ｔ２は、
ｔ２＝Ｌ／Ｃ−Ｖｃｏｓθ・・・・・（式２）
で示される。

そして、ｔ１とｔ２の式から流体の音速Ｃを消去すると、
Ｖ＝Ｌ／２ｃｏｓθ（１／ｔ１−１／ｔ２）・・・・・（式３）
の式が得られる。

Ｌとθが既知なら、計測回路８にてｔ１とｔ２を測定すれば流速Ｖが求められる。この
流速Ｖから流量Ｑは、流路２の断面積をＳ、補正係数をＫとすれば、演算回路９で、Ｑ＝ＫＳＶを演算して流量を求めることができる。

以上のような動作原理で流量計測を行う超音波流量計に用いる超音波送受波器について図１から図９を用いて説明する。図２は本発明の第１の実施の形態における超音波送受波器の取り付け断面図を示すものであり、図３は超音波送受波器の取り付け平面図である。

図２および図３において、上流側および下流側に配置された超音波送受波器６、７は、対向する１対の一方の電極面１０および他方の電極面１１を有する圧電体１２と、圧電体１２の一方の電極面１０に電気的に接続されたケース１３と、ケース１３のフランジ部１４と電気的に導通された一方の外部電極１５を有する端子板１６と、端子板１６と絶縁状態で端子板１６に設けられた他方の外部電極１７と、圧電体１２の他方の電極面１１と他方の外部電極１７の間に設けられた導電体１８と、圧電体１２に対向しケース１３に接着固定された音響整合層１９とで構成している。

上流側および下流側に配置された超音波送受波器６、７の筐体２０への固定は、筐体２０に設けられた取り付け穴２１の階段部２２に挿着されたシール手段であるＯリング２３をフランジ部１４で圧縮するように付勢手段２４を係止手段であるネジ２５で筐体２０に固定している。Ｏリング２３がセットされる筐体２０の階段部２２は、水平面２６と垂直面２７でＯリング２３のシール面を構成している。垂直面２７の直径は、端子板１６の外周部２８の直径に比べ大きく構成している。従ってＯリング２３が圧縮されても端子板１６の外周部２８は垂直面２７に当接することはない。また付勢手段２４には先端形状が球状の突起部２９を４ヶ所設けている。

以上のように構成された超音波送受波器の取り付け方法、動作を説明する。

先ずＯリング２３を筐体２０に設けた階段部２２に挿着する。次に、超音波送受波器６、７のフランジ部１４をＯリング２３の上に置き、付勢手段２４をネジ２５で固定する。その結果、超音波送受波器６、７はＯリング２３を圧縮した状態で固定される。固定状態に於いては端子板１６の外周部２８と筐体２０は非接触の状態にある。この様に固定された超音波送受波器６と超音波送受波器７は相互に超音波が送信され、超音波送受波器６および超音波送受波器７間の超音波伝播時間を計測することで流量を求めることが可能となる。

本実施の形態においては、超音波送受波器の振動がシール手段であるＯリングの弾性体を介して筐体に伝播する構成となり、筐体伝播が小さくなる。またシール手段を圧縮する方向に超音波送受波器に対し複数箇所のみ当接して付勢する構成であり、超音波送受波器を全面で付勢する構成に比べ筐体伝播を低減することが出来る。

従って、筐体に伝わる超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。尚突起部２５は４ヶ所である必要はなく、３ヶ所であれば端子板１６を均一に押すことが可能であり機能的に何ら問題はない。

（実施の形態２）
図４、図５は本発明の第２の実施の形態を示したものであり、図４は超音波送受波器の取り付け断面図を示すものであり、図５は超音波送受波器の取り付け平面図である。図４において筐体３０の階段部３１の上部には当接規制手段の突起３２が４ヶ所設けられており、超音波送受波器６，７を取り付け穴３３のＯリング３４の上に挿着したとき端子板３５の外周部３６が筐体３０の側壁部３０ａに当接することを防止している。尚突起３２は
端子板３５の外周部３６に対しては縦方向で線状に接する形状である。その他の構成および組立方法は図２と同様であり説明は省略する。

本実施の形態においては、超音波送受波器６、７を付勢手段２４の突起部２９で付勢したとき超音波送受波器６、７が横方向に移動しても端子板３５の外周部３６が突起３２に線状に当接するため、超音波送受波器６、７が筐体３０に直接接触することがなく、超音波送受波器６，７の振動の筐体３０への筐体伝播が小さくなる。

従って、筐体に伝わる超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。尚突起３２の形状は、縦方向に線状に接する形状に限定されるものではなく、端子板３５の外周部３６を点接触する構成も性能が確保され効果が大きい。

また、突起３２は４ヶ所である必要はなく、３ヶ所であれば超音波送受波器６、７が取り付け穴３３から横方向に移動しても、端子板３５の外周部３６が側壁部３０ａに接触するのを防止することができ機能的に何ら問題はない。

（実施の形態３）
図６は本発明の第３の実施の形態を示したものであり、図６は超音波送受波器の取り付け断面図である。図６において付勢手段３７には、超音波送受波器６、７の端子板３８の少なくとも３ヶ所以上接して付勢する突起部３９と、端子板３８の外周部３８ａに少なくとも３箇所以上当接して超音波送受波器６、７を取り付け穴４０の中心方向に支持する支持部４１が構成されている。その他の部品であるＯリング４２、筐体４３、係止手段であるネジ４４等の構成および組立方法は図２と同様であり説明は省略する。

本実施の形態においては、超音波送受波器６、７を付勢手段３７の突起部３９で付勢したとき端子板３８の外周部３９が支持部４１に当接し、超音波送受波器６、７が横方向に移動しないよう構成されている。従って超音波送受波器６，７の振動は筐体３０へ直接筐体伝播することはなく、付勢手段３７のみを介して筐体に伝わるのみとなる。

その結果、超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

（実施の形態４）
図７は本発明の第４の実施の形態を示したものであり、図７は超音波送受波器の取り付け断面図である。図７において付勢手段４５には、突起部４６が設けられており付勢手段４５を係止手段のネジ４７で筐体４８に固定したとき、突起４６が筐体４８に当接する。この突起４６は筐体４８に少なくとも３箇所以上当接する構成が好ましい。付勢手段４５には端子板４９を付勢する突起部５０、端子板４９を支持する支持部５１が構成されている。その他の構成および組立方法は図６と同様であり説明は省略する。

本実施の形態においては、超音波送受波器６、７を固定するときに付勢手段４５をネジ４７で筐体４８に固定する。突起部５０は端子板４９を付勢する。このとき付勢手段４５の突起部４６は筐体４８に点接触状態で当接している。従って超音波送受波器６，７の振動は筐体３０へ直接筐体伝播することはなく、付勢手段３７の突起部４６を介して筐体に伝わるのみとなる。

その結果、超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくす
ることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。尚突起部４６は付勢手段４５に設ける構成に限定されるものではなく、筐体４８側に設けても同様の効果を得ることができる。

（実施の形態５）
図８は本発明の第５の実施の形態を示したものであり、図８は超音波送受波器の取り付け断面図である。図８において付勢手段５２には、上突起部５３と下突起部５４が設けられている。またネジ５５と上突起部５３の間には振動吸収体であるゴム板５７挟持されている。付勢手段５２を係止手段のネジ５５で筐体５６に固定したとき、下突起部５４は筐体５６に点で当接する。この下突起４６は筐体５６に少なくとも３箇所以上当接する構成が好ましい。一方、上突起部５３はゴム板５７に当接する。付勢手段５２には端子板５８を付勢する突起部５９、端子板５８を支持する支持部６０が構成されている。その他の構成および組立方法は図６と同様であり説明は省略する。

本実施の形態においては、超音波送受波器６、７を固定するときに付勢手段５２をネジ５５で筐体５６に固定する。突起部５９は端子板５８を付勢する。このとき付勢手段５２の下突起部５４は筐体５６に点接触状態で当接している。また上突起部５３は振動吸収体のゴム板５７を介してネジ５５に当接している。従って超音波送受波器６，７の振動は筐体５６へ直接筐体伝播することはなく、付勢手段５２の下突起部５４と上突起部５３を介して筐体に伝わるのみとなる。特に上突起部５３とネジ５５の間には振動吸収体であるゴム板５７が挟持されており、振動がネジ５５を介して筐体５６に伝播することを防止している。

その結果、超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

（実施の形態６）
図９は本発明の第６の実施の形態を示したものであり、図９は超音波送受波器の取り付け断面図である。図９において付勢手段６１の下突起部６２と筐体６３の間に振動防止手段であるゴム板６４が挟持されている。また付勢手段６１の上突起部６５と係止手段であるネジ６６の間には振動防止手段であるゴム板６７が挟持されている。付勢手段６１には端子板６８を付勢する突起部６９、端子板６８を支持する支持部７０が構成されている。その他の構成および組立方法は図６と同様であり説明は省略する。

本実施の形態においては、超音波送受波器６、７を固定するときに付勢手段６１をネジ６６で筐体６３に固定する。突起部６９は端子板６８を付勢する。このとき付勢手段６１の下突起部６２はゴム板６４を挟持して筐体６３に固定されている。また上突起部６５は振動吸収体のゴム板６７を介してネジ６６に当接している。従って超音波送受波器６，７の振動は筐体６３へ直接筐体伝播することはなく、超音波送受波器６、７の振動はゴム板６４、６７を介して筐体に伝わるのみとなる。

その結果、超音波送受波器の筺体伝播を減少して信号処理を行う際のＳ／Ｎを大きくすることが可能であり高精度な流量計測を可能にする超音波送受波器および超音波流量計を実現することができる。

以上のように、本発明にかかる超音波送受波器および超音波流量計は、超音波流量計を製造する際に超音波送受波器と制御プリント基板とをリード線を用いることなく導通することが可能であり、安価な超音波流量計を実現することができる。またリード線を用いな
いため外来ノイズが影響を与えることがない等、信頼性に優れた超音波送受波器を用いた超音波流量計として有用である。

１、２０、３０、４３、４８、５６、６３ 筐体
２ 流路（計測流路）
６ 超音波送受波器
７ 超音波送受波器
１４ シール面（フランジ部）
２３、３４、４２ Ｏリング（シール手段）
２４、３７、４５、５２、６１ 付勢手段
２５、４４、４７、５５、６６ ネジ（係止手段）

Claims (8)

1. 筐体と、
   前記筐体に取り付けられる超音波送受波器と、
   前記筐体に設けられた前記超音波送受波器の取り付け穴と、
   前記取り付け穴に挿着されたシール手段と、
   前記超音波送受波器に設けられ前記シール手段に当接するシール面と、
   前記超音波送受波器に対し複数箇所で当接し、前記シール手段を圧縮する方向に付勢する付勢手段と、
   前記付勢手段を前記筐体へ係止する係止手段と、
   からなる超音波送受波器の取り付け方法。
2. 前記超音波送受波器は、対向する１対の電極面を有する圧電体と、前記圧電体の一方の電極面に電気的に接続されたケースと、前記ケースのフランジ部と電気的に導通された端子板と、前記端子板と絶縁状態で前記端子板に設けられた外部電極と、前記圧電体の他方の電極面と前記外部電極の間に設けられた導電体と、前記圧電体に対向し前記ケースに接着固定された音響整合層と、からなり、
   前記シール手段は、前記フランジ部と前記筐体に当接して設けられ、
   前記付勢手段は、前記端子板の３箇所以上で当接して前記シール手段を圧縮する方向に付勢する構成とした請求項１記載の超音波送受波器の取り付け方法。
3. 前記端子板の外周部は、前記取り付け穴に対して点接触もしくは線接触する当接規制手段を有する構成とした請求項２記載の超音波送受波器の取り付け方法。
4. 前記当接規制手段は、前記端子板の外周部を前記取り付け穴に対して少なくとも３箇所以上で当接する当接部を前記取り付け穴に設ける構成とした請求項３に記載の超音波送受波器の取り付け方法。
5. 前記付勢手段は、前記端子板の３箇所以上で当接して前記シール手段を圧縮する方向に付勢する突起部と、前記端子板の外周部に３箇所以上当接して前記超音波送受波器を前記取り付け穴の中心方向に支持する支持部を有する構成とした請求項２に記載の超音波送受波器の取り付け方法。
6. 前記付勢手段と前記筐体が当接する当接部に３箇所以上の当接する突起部を、前記付勢手段または前記筐体に設ける構成とした請求項１〜５のいずれか１項記載の超音波送受波器の取り付け方法。
7. 前記係止手段と前記付勢手段の間、及び／又は、前記付勢手段と筐体の間に振動吸収体を有する構成とした請求項１〜６のいずれか１項記載の超音波送受波器の取り付け方法。
8. 前記筐体は、被測定流体の流量を測定する流量測定部を備え、前記流量測定部は、請求項１から７のいずれか１項に記載の超音波送受波器の取り付け方法で取り付けられた一対の超音波送受波器と、この超音波送受波器間の超音波伝搬時間を計測する計測回路と、この計測回路からの信号に基づいて流量を求める演算回路を備えた超音波流量計。

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