JP2012028899A

JP2012028899A - 振動片、振動子及び発振器

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Publication number: JP2012028899A
Application number: JP2010163648A
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Inventors: Akinori Yamada; 明法山田
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Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-07-21
Filing date: 2010-07-21
Publication date: 2012-02-09
Anticipated expiration: 2030-07-21
Also published as: JP5796280B2

Abstract

【課題】耐衝撃特性に関して更なる向上が可能な振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、を備え、平面視において、振動腕１１が、振動腕１１の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が、基部１０に近づく途中で結合点１２ａ，１２ｂを境に大きくなるように形成された拡幅部１２を有し、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとを結んだ方向（矢印Ｄ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しないことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器に関する。

特許文献１には、第１と第２の平行な振動アーム（以下、振動腕という）が延びるベース（以下、基部という）と、各振動腕の自由端を形成するフリッパー形状をした拡大部分（以下、錘部という）と、各振動腕の正面と裏面の少なくとも一方に形成された溝（以下、溝部という）と、を有し、この溝部が振動腕の自由端（先端）の方向に、錘部の開始点を越えて延びているピエゾ電子同調フォーク型共振器（以下、振動片という）が開示されている。

特開２００９−２７７１１号公報（図１）

特許文献１によれば、上記振動片は、振動腕に形成された溝部が振動腕の先端の方向に、錘部の開始点を越えて延びていることから、衝撃時の溝部における応力が分散し、耐衝撃特性が向上するとされている。
ところで、上記振動片は、実施例の平面視（特許文献１の図１参照）において、振動腕の根元部と基部とがテーパ部（拡幅部）で結合されている。
そして、上記振動片は、平面視において、テーパ部における各振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、各振動腕の延びる方向に対して直交しているものと考えられる。

換言すれば、上記振動片のテーパ部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とは、平面視において、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にあるといえる。
これにより、上記振動片は、外形線が屈曲し応力集中が発生しやすい部分である上記結合点同士が、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にあることから、例えば、落下などの衝撃時において、互いに接近した部分のそれぞれに応力集中が発生する。
この結果、上記振動片は、例えば、落下などの衝撃時において、振動腕の根元部近傍での破損の虞があることから、耐衝撃特性に関して更なる向上が必要である。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる振動片は、基部と、前記基部から延びる少なくとも１本の振動腕と、を備え、平面視において、前記振動腕は、前記振動腕の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が前記基部に近づく途中で結合点を境に大きくなるように形成された拡幅部を有し、平面視において、前記拡幅部における前記振動腕の一方側との前記結合点と、他方側との前記結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことを特徴とする。

これによれば、振動片は、振動腕が振動腕の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が、基部に近づく途中で結合点を境に大きくなるように形成された拡幅部を有している。
そして、振動片は、平面視において、拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、振動腕の延びる方向に対して直交しない。
換言すれば、振動片は、平面視において、拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とが、従来のような振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にないことから、衝撃時において、従来と比較して応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、振動片は、応力集中による振動腕の根元部近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例２］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕は、前記基部側に位置する腕部と、前記腕部より先端側に位置し前記腕部より幅が広い錘部と、を有し、平面視において、前記錘部と前記腕部とが、前記腕部の幅が前記錘部に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部で結合され、平面視において、前記第２拡幅部における、前記振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことが好ましい。

これによれば、振動片は、錘部と腕部とが、腕部の幅が錘部に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部で結合されている。そして、振動片は、平面視において、第２拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、振動腕の延びる方向に対して直交しない。
換言すれば、振動片は、平面視において、第２拡幅部における振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とが、振動腕を最短距離で挟んだ位置関係にないことから、衝撃時において、応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、振動片は、応力集中による振動腕の第２拡幅部近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例３］上記適用例にかかる振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記複数本の振動腕と、前記拡幅部と、前記基部とを含んで音叉を構成し、前記音叉の両端に配置された前記振動腕と結合されている前記拡幅部における、前記音叉の外側の前記結合点は、前記音叉の内側の前記結合点より、前記振動腕の先端寄りに位置していることが好ましい。

これによれば、振動片は、音叉の両端に配置された振動腕と結合されている拡幅部における、音叉の外側の結合点は、音叉の内側の結合点より、振動腕の先端寄りに位置している。
この結果、振動片は、音叉の両端に配置された振動腕の、音叉の外側の根元部の剛性を高められることから、耐衝撃特性を向上させることができる。

［適用例４］上記適用例１または適用例２にかかる振動片において、前記基部から前記振動腕の延びる方向に対して交差する方向に突出し、前記振動腕側に折れ曲がり、前記振動腕に沿って延びる支持部を、さらに備え、前記支持部側の前記結合点は、前記支持部側とは反対側の前記結合点より、前記振動腕の前記基部寄りに位置していることが好ましい。

これによれば、振動片は、振動腕に沿って延びる支持部を、さらに備え、支持部側の結合点が、支持部側とは反対側の結合点より、振動腕の基部寄りに位置している。
このことから、振動片は、平面サイズを拡大することなく、支持部の先端部分（外部部材に支持される部分）と拡幅部との距離を長くすることが可能となる。
この結果、振動片は、例えば、支持部を接着剤で外部部材に固定する際に、流出による拡幅部への接着剤の付着を低減できる。

［適用例５］本適用例にかかる振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、振動子は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、振動片を収容するパッケージと、を備えたことから、耐衝撃特性の向上など、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載された効果を奏する振動子を提供することができる。

［適用例６］本適用例にかかる発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする。

これによれば、発振器は、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載の振動片を備えたことから、耐衝撃特性の向上など、適用例１ないし適用例４のいずれか一例に記載された効果を奏する発振器を提供することができる。

第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。変形例の振動片の要部の概略構成を示す模式要部平面図。第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）の断面図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態の振動片の概略構成を示す模式図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。

図１に示すように、振動片としての水晶振動片１は、水晶の原石などから所定の角度で切り出されたウエハー状の水晶基板を基材とし、外形形状がフォトリソグラフィ技術を用いたウエットエッチングなどによって形成されている。

水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から互いに沿って延びる一対の振動腕１１と、を備えている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、振動腕１１が、振動腕１１の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が、基部１０に近づく途中で結合点１２ａ，１２ｂを境に大きくなるように形成された拡幅部１２を有している。
そして、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとを結んだ方向（矢印Ｄ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。

そして、水晶振動片１は、基部１０を、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向（ここでは、略直交する方向）に、両側から切り欠いた一対の切り欠き部１３を備えている。
そして、水晶振動片１は、基部１０から、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向（ここでは、略直交する方向）に突出し、振動腕１１側に折れ曲がり、振動腕１１に沿って延びる一対の支持部１４をさらに備えている。

振動腕１１は、基部１０側に位置する腕部１５（腕部１５は拡幅部１２よりも長い形状）と、腕部１５より先端側に位置し腕部１５より幅が広い錘部１６と、振動腕１１の延びる方向に沿って形成され、一対の振動腕１１の並ぶ方向（Ａ−Ａ線に沿った方向）に沿って切断した振動腕１１の断面形状が、略Ｈ字状となる溝部１７と、を有している。

水晶振動片１は、平面視において、振動腕１１の錘部１６と腕部１５とが、腕部１５の幅が錘部１６に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部１８で結合されている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとを結んだ方向（矢印Ｆ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。

水晶振動片１は、一対の振動腕１１と、拡幅部１２と、基部１０とを含んで音叉を構成している。
そして、水晶振動片１は、一対の振動腕１１、換言すれば音叉の両端に配置された振動腕１１と結合されている拡幅部１２における、音叉の外側（支持部１４側）の結合点１２ａが、音叉の内側（一対の振動腕１１が互いに対向する側）の結合点１２ｂより、振動腕１１の先端寄りに位置している。

ここで、溝部１７の端部１７ａ，１７ｂの長手方向の位置について説明する。
溝部１７の、振動腕１１の根元側の端部１７ａは、振動腕１１の強度を向上させる観点から、拡幅部１２の結合点１２ｂより振動腕１１の先端側に位置することが好ましく、拡幅部１２の結合点１２ｂと結合点１２ａとの間に位置することがより好ましく、結合点１２ａより振動腕１１の先端側に位置することが特に好ましい。
一方、溝部１７の、振動腕１１の先端側の端部１７ｂは、振動腕１１の強度を向上させる観点から、第２拡幅部１８の結合点１８ａより振動腕１１の根元側に位置することが好ましく、第２拡幅部１８の結合点１８ａと結合点１８ｂとの間に位置することがより好ましく、結合点１８ｂより振動腕１１の根元側に位置することが特に好ましい。

図１（ａ）に示すように、水晶振動片１は、一対（２本）の振動腕１１と、拡幅部１２と、基部１０とを含んで音叉を構成することで、音叉型水晶振動片となっており、一対の支持部１４が、パッケージなどの外部部材に、導電性接着剤などを用いて固定されるようになっている。
そして、水晶振動片１は、一対の振動腕１１に形成された図示しない励振電極に、支持部１４に形成された図示しないマウント電極及び基部１０に形成された図示しない引き出し電極を経由して外部から駆動信号が印加されることにより、一対の振動腕１１が、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で矢印Ｂ方向（一対の振動腕１１が互いに離れる方向）及び矢印Ｃ方向（一対の振動腕１１が互いに近づく方向）に交互に屈曲振動（共振）する。

この際、水晶振動片１は、振動腕１１に溝部１７が形成されていることで、屈曲振動によって発生する熱が、溝部１７によって拡散（熱伝導）し難くなるように構成されていることから、熱弾性損失（屈曲振動する振動片の圧縮部と伸張部との間で発生する熱伝導により生じる振動エネルギーの損失）を抑制できる。
また、水晶振動片１は、振動腕１１に錘部１６が形成されていることで、錘部１６の慣性質量の増加によるＱ値の向上効果により、例えば、Ｑ値を維持しながら振動腕を短くすることができる。
加えて、水晶振動片１は、基部１０に切り欠き部１３及び基部１０から延びる支持部１４を有することで、振動腕１１の屈曲振動に伴う外部への振動漏れを低減することができる。

上述したように、第１実施形態の水晶振動片１は、基部１０と振動腕１１とが、振動腕１１の幅が基部１０に近づくに連れて広がるように形成された拡幅部１２で結合されている。
そして、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとを結んだ方向（矢印Ｄ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。

換言すれば、水晶振動片１は、平面視において、拡幅部１２における振動腕１１の一方側との結合点１２ａと、他方側との結合点１２ｂとが、従来のような振動腕１１を最短距離で挟んだ位置関係（結合点１２ｂが結合点１２ａと振動腕１１の幅方向に沿って横並びになるように図１の構成よりも結合点１２ｂを錘部１６側に移動させた構成）にない。
このことから、水晶振動片１は、衝撃時において、従来は、腕部１５の両脇にある２つの結合点の距離が、腕部１５の幅の大きさ分しかなかったが、これと比較して本願実施形態の場合では腕部１５の幅よりも大きい距離をもって２つの結合点１２ａ，１２ｂが離れているので結合点１２ａ，１２ｂ近傍に発生する応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、水晶振動片１は、応力集中による振動腕１１の根元部近傍（拡幅部１２近傍）での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。

また、水晶振動片１は、振動腕１１の錘部１６と腕部１５とが、腕部１５の幅が錘部１６に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部１８で結合されていてもよい。
この場合、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとを結んだ方向（矢印Ｆ方向）が、振動腕１１の延びる方向（矢印Ｅ方向）に対して直交しない構成となっている。

換言すれば、水晶振動片１は、平面視において、第２拡幅部１８における振動腕１１の一方側との結合点１８ａと、他方側との結合点１８ｂとが、振動腕１１を最短距離で挟んだ位置関係（結合点１８ｂが結合点１８ａと振動腕１１の幅方向に沿って横並びになるように図１の構成よりも結合点１８ａを拡幅部１２側に移動させた構成）にないことから、結合点１２ａ，１２ｂの場合と同様に衝撃時において、応力集中部分が互いに離れて存在することとなる。
この結果、水晶振動片１は、応力集中による振動腕１１の第２拡幅部１８近傍での破損を低減することが可能となり、耐衝撃特性を向上させることができる。

また、水晶振動片１は、音叉の両端に配置された振動腕１１（一対の振動腕１１）と結合されている拡幅部１２における、音叉の外側の結合点１２ａは、音叉の内側の結合点１２ｂより、振動腕１１の先端寄りに位置している。
この結果、水晶振動片１は、音叉の両端に配置された振動腕１１の、切り欠き部１３から音叉の外側の結合点１２ａまでの距離が、切り欠き部１３から音叉の内側の結合点１２ｂまでの距離より長くなる。
これにより、基部１０の結合点１２ａ側の側面を長く形成することができるため水晶振動片１は、音叉の外側の根元部の剛性を高められ、耐衝撃特性を向上させることができる。

（変形例）
ここで、第１実施形態の変形例について説明する。
図２は、変形例の振動片の要部の概略構成を示す模式要部平面図である。なお、第１実施形態との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略し、第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図２に示すように、変形例の振動片としての水晶振動片２は、基部１０と振動腕１１とを結合する拡幅部１１２の支持部１４側の結合点１１２ａが、支持部１４側とは反対側（一対の振動腕１１が互いに対向する側）の結合点１１２ｂより、振動腕１１の基部１０寄り（切り欠き部１３寄り）に位置している。

これによれば、水晶振動片２は、平面サイズを拡大することなく、支持部１４の先端部１４ａ（外部部材に支持される部分）と拡幅部１１２との距離Ｌを長くすることが可能となる。
この結果、水晶振動片２は、例えば、支持部１４の先端部１４ａを接着剤２０で外部部材に固定する際に、流出による拡幅部１１２への接着剤２０の付着を低減できる。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた振動子について説明する。
図３は、第２実施形態の振動子の概略構成を示す模式図であり、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＧ−Ｇ線での断面図である。

図３に示すように、振動子としての水晶振動子５は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
パッケージ８０は、パッケージベース８１、シームリング８２、蓋体８５などから構成されている。
パッケージベース８１は、水晶振動片１を収容できるように凹部が形成され、その凹部に水晶振動片１の図示しないマウント電極と接続される接続パッド８８が設けられている。
接続パッド８８は、パッケージベース８１内の配線に接続され、パッケージベース８１の外周部に設けられた外部接続端子８３と導通可能に構成されている。

パッケージベース８１の凹部の周囲には、シームリング８２が設けられている。さらに、パッケージベース８１の底部には、貫通穴８６が設けられている。
水晶振動片１は、パッケージベース８１の接続パッド８８に導電性接着剤８４を介して接着固定されている。そして、パッケージ８０は、パッケージベース８１の凹部を覆う蓋体８５とシームリング８２とがシーム溶接されている。
パッケージベース８１の貫通穴８６には、金属材料などからなる封止材８７が充填されている。この封止材８７は、減圧雰囲気内で溶融後固化され、パッケージベース８１内が減圧状態を保持できるように、貫通穴８６を気密に封止している。
水晶振動子５は、外部接続端子８３を介した外部からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。

上述したように、水晶振動子５は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶振動子５は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。

（第３実施形態）
次に、第３実施形態として、上記で説明した水晶振動片を備えた発振器について説明する。
図４は、第３実施形態の発振器の概略構成を示す模式図であり、図４（ａ）は平面図、図４（ｂ）は図４（ａ）のＨ−Ｈ線での断面図である。

発振器としての水晶発振器６は、上記水晶振動子５の構成に回路素子をさらに備えた構成となっている。なお、水晶振動子５との共通部分については、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図４に示すように、水晶発振器６は、第１実施形態の水晶振動片１と、水晶振動片１を発振させる発振回路を有する回路素子としてのＩＣチップ９１と、水晶振動片１及びＩＣチップ９１を収容するパッケージ８０と、を備えている。
ＩＣチップ９１は、パッケージベース８１の底部に固着され、Ａｕ、Ａｌなどの金属ワイヤー９２により他の配線と接続されている。
水晶発振器６は、ＩＣチップ９１の発振回路からの駆動信号により水晶振動片１が励振され、所定の周波数（例えば、３２ｋＨｚ）で発振（共振）する。

上述したように、水晶発振器６は、耐衝撃特性が向上した水晶振動片１を備えていることから、耐衝撃特性を向上させることができる。
なお、水晶発振器６は、水晶振動片１に代えて水晶振動片２を用いても、同様の効果を得ることができる。

なお、上記各実施形態及び変形例において、水晶振動片１，２の切り欠き部１３、支持部１４、錘部１６、溝部１７、第２拡幅部１８は、なくてもよい。
また、水晶振動片１，２の振動腕１１の数は、２本としたが、これに限定するものではなく、１本、または３本以上でもよい。
また、支持部１４は、一対の振動腕１１の間から、振動腕１１に沿って延びる１本の腕状に形成されていてもよい。

また、上記各実施形態及び変形例において、水晶振動片１，２の拡幅部１２，１１２及び第２拡幅部１８の外形形状（振動腕１１と基部１０とを繋ぐ線及び腕部１５と錘部１６とを繋ぐ線）は、曲線で形成されているが、これに限定するものではなく、直線で形成されていてもよい。

なお、上記各実施形態及び変形例では、振動片を水晶としたが、これに限定するものではなく、例えば、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電体を被膜として備えたシリコンなどであってもよい。

１，２…振動片としての水晶振動片、５…振動子としての水晶振動子、６…発振器としての水晶発振器、１０…基部、１１…振動腕、１２…拡幅部、１２ａ，１２ｂ…結合点、１３…切り欠き部、１４…支持部、１４ａ…先端部、１５…腕部、１６…錘部、１７…溝部、１７ａ，１７ｂ…端部、１８…第２拡幅部、１８ａ，１８ｂ…結合点、８０…パッケージ、８１…パッケージベース、８２…シームリング、８３…外部接続端子、８４…導電性接着剤、８５…蓋体、８６…貫通穴、８７…封止材、８８…接続パッド、９１…回路素子としてのＩＣチップ、９２…金属ワイヤー、１１２…拡幅部、１１２ａ，１１２ｂ…結合点。

Claims

基部と、
前記基部から延びる少なくとも１本の振動腕と、を備え、
平面視において、前記振動腕は、前記振動腕の長手方向の単位長さあたりの変化に対する幅の長さの変化の率が前記基部に近づく途中で結合点を境に大きくなるように形成された拡幅部を有し、
平面視において、前記拡幅部における前記振動腕の一方側との前記結合点と、他方側との前記結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことを特徴とする振動片。
請求項１に記載の振動片において、前記振動腕は、前記基部側に位置する腕部と、前記腕部より先端側に位置し前記腕部より幅が広い錘部と、を有し、
平面視において、前記錘部と前記腕部とが、前記腕部の幅が前記錘部に近づくに連れて広がるように形成された第２拡幅部で結合され、
平面視において、前記第２拡幅部における、前記振動腕の一方側との結合点と、他方側との結合点とを結んだ方向が、前記振動腕の延びる方向に対して直交しないことを特徴とする振動片。
請求項１または請求項２に記載の振動片において、前記振動腕を複数本備え、前記複数本の振動腕と、前記拡幅部と、前記基部とを含んで音叉を構成し、
前記音叉の両端に配置された前記振動腕と結合されている前記拡幅部における、前記音叉の外側の前記結合点は、前記音叉の内側の前記結合点より、前記振動腕の先端寄りに位置していることを特徴とする振動片。
請求項１または請求項２に記載の振動片において、前記基部から前記振動腕の延びる方向に対して交差する方向に突出し、前記振動腕側に折れ曲がり、前記振動腕に沿って延びる支持部を、さらに備え、
前記支持部側の前記結合点は、前記支持部側とは反対側の前記結合点より、前記振動腕の前記基部寄りに位置していることを特徴とする振動片。
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする振動子。
請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片を発振させる発振回路を有する回路素子と、
前記振動片及び前記回路素子を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする発振器。