JP2015097360A - 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015097360A JP2015097360A JP2013237472A JP2013237472A JP2015097360A JP 2015097360 A JP2015097360 A JP 2015097360A JP 2013237472 A JP2013237472 A JP 2013237472A JP 2013237472 A JP2013237472 A JP 2013237472A JP 2015097360 A JP2015097360 A JP 2015097360A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inner edge
- vibrating arm
- vibration element
- connection point
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 29
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 27
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 13
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 241000251131 Sphyrna Species 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000251468 Actinopterygii Species 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003237 Na0.5Bi0.5TiO3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N bismuth sodium Chemical compound [Na].[Bi] FSAJRXGMUISOIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002115 bismuth titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 230000036772 blood pressure Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N dilithium;[oxido(oxoboranyloxy)boranyl]oxy-oxoboranyloxyborinate Chemical compound [Li+].[Li+].O=BOB([O-])OB([O-])OB=O PSHMSSXLYVAENJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 229910000154 gallium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- LWFNJDOYCSNXDO-UHFFFAOYSA-K gallium;phosphate Chemical compound [Ga+3].[O-]P([O-])([O-])=O LWFNJDOYCSNXDO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 1
- 239000003353 gold alloy Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 229910000833 kovar Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- -1 silver halide Chemical class 0.000 description 1
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Abstract
【解決手段】振動素子2は、基部4と、基部4から−Y’軸方向に延出しているテーパー部41、42と、テーパー部41から−Y’軸方向に延出している振動腕5と、テーパー部42から−Y’軸方向に延出している振動腕6と、を含む。テーパー部41、42は、それぞれX軸方向に沿った長さが、−Y’軸方向に向かうにつれて長くなるように構成されており、Z’軸方向からの平面視において、テーパー部41の(第1)内側縁部と基部4との接続点が、(第1)外側縁部と基部4との接続点よりも+Y’軸方向に位置しており、同様に、テーパー部42の(第2)内側縁部と基部4との接続点が、(第2)外側縁部と基部4との接続点よりも+Y’軸方向に位置している。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の振動素子は、音叉型をなしており、基部と、基部から延出する一対の振動腕とを有する。これら一対の振動腕が互いに接近、離間を交互に繰り返すことにより、一対の振動腕は基部において互いの振動を打ち消し合うように駆動する。
また、一対の振動腕の幅は、その付け根(基部との接続部)に向かってテーパー状に広がっている。このような形状になっていることで、振動腕の表面のスペースが十分に確保され、振動腕に設けられる電極に接続される電気配線を、振動腕に対して容易に敷設することができる。
[適用例1]
本発明の振動素子は、互いに直交する方向を第1方向および第2方向としたとき、
基部と、
平面視で前記基部と接続され、前記第2方向に並び、前記基部から前記第1方向に延出されている第1テーパー部および第2テーパー部と、
平面視で、前記第1テーパー部から前記第1方向に延出されている第1振動腕と、
平面視で、前記第2テーパー部から前記第1方向に延出されている第2振動腕と、
を含み、
前記基部から前記第1テーパー部および前記第2テーパー部が延出されている方向を延出方向、
前記延出方向とは反対の方向を反延出方向としたとき、
前記第1テーパー部および前記第2テーパー部は、
それぞれ、前記第2方向に沿った長さが、前記反延出方向に向かうにつれて長くなっており、
平面視において、
前記第1テーパー部の縁部のうち前記第2テーパー部側に位置する縁部を第1内側縁部、
前記第2テーパー部側とは反対側に位置する縁部を第1外側縁部としたとき、
前記第1内側縁部と前記基部との接続点は、前記第1外側縁部と前記基部との接続点よりも前記反延出方向に配置され、
前記第2テーパー部の縁部のうち前記第1テーパー部側に位置する縁部を第2内側縁部、
前記第1テーパー部側とは反対側に位置する縁部を第2外側縁部としたとき、
前記第2内側縁部と前記基部との接続点は、前記第2外側縁部と前記基部との接続点よりも前記反延出方向に配置されていることを特徴とする。
また、第1テーパー部および第2テーパー部に発生する歪みも分散されるため、熱弾性損失の低減が図られ、Q値を高めることができる。
したがって、耐衝撃性が高くかつQ値が高い振動素子を得ることができる。
本発明の振動素子では、前記第1内側縁部と前記第1振動腕との接続点および前記第1外側縁部と前記第1振動腕との接続点は、前記第1振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称であり、
前記第2内側縁部と前記第2振動腕との接続点および前記第2外側縁部と前記第2振動腕との接続点は、前記第2振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称であることが好ましい。
これにより、第1振動腕と第2振動腕とが互いに接近、離間を繰り返すように振動する際の振動安定性を高めることができる。その結果、第1振動腕および第2振動腕の振動漏れをより少なくすることができ、Q値をより高めることができる。
本発明の振動素子では、平面視において、前記第1内側縁部の形状と前記第1外側縁部の形状とが、前記第1振動腕の前記第1方向沿った仮想中心線に対して線対称であり、
平面視において、前記第2内側縁部の形状と前記第2外側縁部の形状とが、前記第2振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称であることが好ましい。
これにより、第1振動腕と第2振動腕とが互いに接近、離間を繰り返すように振動する際の振動安定性を特に高めることができる。その結果、第1振動腕および第2振動腕の振動漏れを特に少なくすることができ、Q値をさらに高めることができる。
本発明の振動素子では、前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記ヒレ部は、
前記第1内側縁部と前記第1振動腕との接続点よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2内側縁部と前記第2振動腕との接続点よりも前記反延出方向に配置されていることが好ましい。
これにより、ヒレ部の端部を起点にした亀裂の進展等が起こり難くなり、ヒレ部を設けたとしても振動素子の耐衝撃性が低下するのを抑制することができる。
本発明の振動素子では、前記第1振動腕および前記第2振動腕は、それぞれ、互いに表裏の関係にある1対の主面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延出されている溝を含み、
前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記ヒレ部は、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部よりも前記反延出方向に配置されていることが好ましい。
これにより、ヒレ部の端部を起点にした亀裂の進展等が起こり難くなり、ヒレ部を設けたとしても振動素子の耐衝撃性が低下するのを抑制することができる。
本発明の振動素子では、前記第1振動腕および前記第2振動腕は、それぞれ、互いに表裏の関係にある1対の主面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延出されている溝を含み、
前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部は、前記第1内側縁部と前記基部との接続点よりも前記延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部は、前記第2内側縁部と前記基部との接続点よりも前記延出方向に配置され、
前記ヒレ部は、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記端部よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記端部よりも前記反延出方向に配置されていることが好ましい。
これにより、Q値を高めつつ、ヒレ部を設けた場合の振動素子の耐衝撃性の低下を最小限に抑えることができる。
本発明の振動素子では、前記振動腕は、
錘部と、
前記テーパー部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含むことが好ましい。
なお、錘部として例えば腕部の幅を広げた広幅部を設けることができるが、これによって振動周波数は低下する。ただし、その際、腕部の幅を広げることによって、屈曲振動の際に振動腕に発生する熱の移動経路を長くすることができ、これにより、後述する断熱的領域において振動素子の熱弾性損失を減少させることができる。
本発明の振動子は、本発明の振動素子と、
前記振動素子が搭載されているパッケージと、
を含むことを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する振動子が得られる。
本発明の発振器は、本発明の振動素子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する発振器が得られる。
本発明の電子機器は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する電子機器が得られる。
[適用例11]
本発明の移動体は、本発明の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、高い信頼性を有する移動体が得られる。
1.振動子
<第1実施形態>
まず、本発明の振動子の第1実施形態および本発明の振動素子の第1実施形態について説明する。
なお、以下では、説明の便宜上、図1に示すように、互いに直交する3軸をX軸(水晶の電気軸)、Y軸(水晶の機械軸)およびZ軸(水晶の光学軸)とする。また、図2中の上側を「上」とし、下側を「下」とする。また、図1中の上側を「先端」とし、下側を「基端」とする。
図1に示すように、振動子1は、振動素子(本発明の振動素子)2と、振動素子2を収納するパッケージ9とを有している。
図1および図2に示すように、パッケージ9は、上面に開口する凹部911を有する箱状のベース91と、凹部911の開口を塞いでベース91に接合されている板状のリッド92とを有している。パッケージ9は、凹部911がリッド92で塞がれることで形成された収容空間Sを有し、この収容空間Sに振動素子2を気密的に収容している。収容空間S内は、減圧(好ましくは真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
図1および図3に示すように、振動素子2は、水晶振動片3と、水晶振動片3上に形成された第1、第2駆動用電極84、85とを有している。なお、図1および図2では、説明の便宜上、第1、第2駆動用電極84、85の図示を省略している。
また、水晶振動片3は、基部4と、基部4から延出する1対のテーパー部41、42と、1対のテーパー部41、42から延出する1対の振動腕5、6と、支持部7とを有している。
水晶振動片3は、Zカット水晶板で構成されている。Zカット水晶板とは、Z軸をほぼ厚さ方向とする水晶基板であるが、Z軸と厚さ方向とが多少ずれていてもよい。なお、本実施形態に係る水晶振動片3は、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点から、Z軸が厚さ方向に対して若干傾くように構成されている。
また、図4では、破線L1と破線L2とで挟まれた領域がテーパー部41であり、図5では、破線L3と破線L4とで挟まれた領域がテーパー部42である。
同様に、振動腕6にも、一対の第1駆動用電極84と一対の第2駆動用電極85とが形成されている。第1駆動用電極84の一方は、側面613に形成されており、他方は、側面614に形成されている。また、第2駆動用電極85の一方は、溝62の側面に形成されており、他方は、溝63の側面に形成されている。
各第1駆動用電極84は、図示しない配線によって、保持腕74まで引き出され、第1導電性接着材11を介して接続端子951と電気的に接続されている。同様に、各第2駆動用電極85は、図示しない配線によって、保持腕75まで引き出され、導電性接着材12を介して接続端子961と電気的に接続されている。
第1、第2駆動用電極84、85の構成材料としては、導電性を有していれば、特に限定されず、例えば、金(Au)、金合金、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、アルミニウム合金、銀(Ag)、銀合金、クロム(Cr)、クロム合金、ニッケル(Ni)、ニッケル合金、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、ニオブ(Nb)、タングステン(W)、鉄(Fe)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)等の金属材料、酸化インジウムスズ(ITO)等が挙げられる。
また、図4に示す第1内側縁部411と振動腕5との接続点(第1内側縁部411の先端)をP1とし、第1内側縁部411と基部4との接続点(第1内側縁部411の基端)をP2とする。また、第1外側縁部412と振動腕5との接続点(第1外側縁部412の先端)をP3とし、第1外側縁部412と基部4との接続点(第1外側縁部412の基端)をP4とする。
なお、図4に示す破線L1は、接続点P1と接続点P3とを結ぶ線分であり、破線L2は、接続点P2と接続点P4とを結ぶ線分である。また、図5に示す破線L3は、接続点P5と接続点P7とを結ぶ線分であり、破線L4は、接続点P6と接続点P8とを結ぶ線分である。
なお、テーパー部41は、図4に示す破線L1、破線L2、第1内側縁部411および第1外側縁部412で囲まれた領域であるといえる。同様に、テーパー部42は、図5に示す破線L3、破線L4、第2内側縁部421および第2外側縁部422で囲まれた領域であるといえる。
さらには、接続点P2および接続点P6を上述した位置にしたことで、その分、第1内側縁部411および第2内側縁部421のX軸方向の長さを変えることなく、その全長をより長くとることができる。これにより、第1内側縁部411および第2内側縁部421の最小曲率半径をより長くすることができるので、水晶振動片3の大型化を避けつつ、テーパー部41、42に発生する応力をより分散することができる。
上記のことを換言すれば、Y’軸方向に平行な対称軸(仮想中心線)を仮想したとき、接続点P1と接続点P3とが重なり、接続点P5と接続点P7とが重なることが好ましく、このとき許容される位置ずれは、Y’軸方向において上記範囲内であればよい。
さらに、距離d1と距離d2は、互いに同じであるのが好ましく、不可避的に生じる距離d1と距離d2の差も距離d1と距離d2のいずれか短い方の3%以下であるのが好ましい。
次に、本発明の振動素子の第2実施形態について説明する。
図6は、本発明の第2実施形態に係る振動素子の部分拡大平面図である。
以下、第2実施形態に係る振動素子について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
第2実施形態に係る振動素子2は、第1内側縁部411と第2内側縁部421との間に設けられたヒレ部45を有する以外、第1実施形態に係る振動素子2と同様である。ヒレ部45は、第1内側縁部411と第2内側縁部421とを跨ぐように設けられ、かつ、第1内側縁部411および第2内側縁部421からXY’面内に延出するように設けられた部位であるが、このようなヒレ部45を設けることにより、従来よりも振動素子2の機械的強度(例えば剛性等)を高めるとともに、応力集中のさらなる緩和を図ることができる。
そこで、本実施形態では、図6に示すように、ヒレ部45が、第1内側縁部411と振動腕5との接続点P1よりも+Y’軸方向(反延出方向)に位置している。また、図6には図示していないものの、ヒレ部45は、第2内側縁部421と振動腕6(図5参照)との接続点P5(図5参照)よりも+Y’軸方向(反延出方向)に位置している。ヒレ部45の位置をこのように設定すれば、ヒレ部45の端部(接続点P9および接続点P10)を起点にした亀裂の進展等が起こり難くなり、ヒレ部45を設けたとしても振動素子2の耐衝撃性が低下するのを低減することができる。
図7に示す振動素子2は、ヒレ部の配置が異なる以外、図6に示す振動素子2と同様である。図7に示すヒレ部46は、溝52の基端521よりも+Y’軸方向(反延出方向)に位置している。また、図7には図示していないものの、ヒレ部46は、溝62(図5参照)の基端よりも+Y’軸方向(反延出方向)に位置している。ヒレ部46の位置をこのように設定すれば、ヒレ部46の端部(接続点P11および接続点P12)を起点にした亀裂の進展等がより起こり難くなり、ヒレ部46を設けたとしても振動素子2の耐衝撃性が低下するのをより十分に低減することができる。
また、ヒレ部45、46は、縁部451、461に向けてその厚さ(Z’軸方向の長さ)が漸減していることが好ましい。これにより、振動素子2の機械的強度を高めつつ、応力集中のさらなる緩和を図ることができる。
なお、図6、7に示すヒレ部45、46の形状は一例であり、ヒレ部45、46の形状は限定されるものではない。
このような第2実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
次に、本発明の振動素子の第3実施形態について説明する。
図8は、本発明の第3実施形態に係る振動素子の平面図である。
以下、第3実施形態に係る振動素子について、前述した第1、第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図8に示す振動素子2は、テーパー部41の第1内側縁部411と基部4との接続点(第1内側縁部411の基端)P2と、テーパー部42の第2内側縁部421と基部4との接続点(第2内側縁部421の基端)P6との間に位置する基部4の縁部であって、平面視で直線状をなす縁部43を有している。このような直線状をなす縁部43が設けられていることにより、振動腕5と振動腕6との離間距離を、図1に示す振動素子2に比べて広くすることができる。このため、ハンマーヘッド59、69のX軸方向に沿った長さをより長く確保することができ、図1に示す振動素子2に比べて全長を長くすることなくハンマーヘッド59、69の質量をより大きくすることができる。その結果、振動素子2のQ値をより高めることができる。
このような第3実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
次に、本発明の振動素子の第4実施形態について説明する。
図9は、本発明の第4実施形態に係る振動素子の平面図である。
以下、第4実施形態に係る振動素子について、前述した第1〜第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
本発明の第4実施形態に係る振動素子は、構成が異なる以外は、前述した第3実施形態と同様である。なお、前述した第3実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
このような第4実施形態によっても、前述した第1実施形態と同様の効果を奏することができる。
次に、本発明の振動素子を備える発振器(本発明の発振器)について説明する。
図10は、本発明の発振器の好適な実施形態を示す断面図である。
図10に示す発振器100は、振動子1と、振動素子2を駆動するためのICチップ110とを有している。以下、発振器100について、前述した振動子との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
次に、本発明の振動素子を備える電子機器(本発明の電子機器)について説明する。
図11は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部2000を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動素子2が内蔵されている。
次に、本発明の振動素子を備える移動体(本発明の移動体)について説明する。
図14は、本発明の移動体を適用した自動車を示す斜視図である。自動車1500には、振動素子2が搭載されている。振動素子2は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバッグ、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
以上、本発明の振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、各実施形態を適宜組み合わせてもよい。
また、振動腕が備えるハンマーヘッドは、必要に応じて設けられればよく、省略されてもよい。
また、各実施形態の説明では、振動腕に設けられた各溝のうち、一部の溝について代表的に説明しているが、これらの説明は、残る溝に対して適用されてもよく、適用されなくてもよい。
Claims (11)
- 互いに直交する方向を第1方向および第2方向としたとき、
基部と、
平面視で前記基部と接続され、前記第2方向に並び、前記基部から前記第1方向に延出されている第1テーパー部および第2テーパー部と、
平面視で、前記第1テーパー部から前記第1方向に延出されている第1振動腕と、
平面視で、前記第2テーパー部から前記第1方向に延出されている第2振動腕と、
を含み、
前記基部から前記第1テーパー部および前記第2テーパー部が延出されている方向を延出方向、
前記延出方向とは反対の方向を反延出方向としたとき、
前記第1テーパー部および前記第2テーパー部は、
それぞれ、前記第2方向に沿った長さが、前記反延出方向に向かうにつれて長くなっており、
平面視において、
前記第1テーパー部の縁部のうち前記第2テーパー部側に位置する縁部を第1内側縁部、
前記第2テーパー部側とは反対側に位置する縁部を第1外側縁部としたとき、
前記第1内側縁部と前記基部との接続点は、前記第1外側縁部と前記基部との接続点よりも前記反延出方向に配置され、
前記第2テーパー部の縁部のうち前記第1テーパー部側に位置する縁部を第2内側縁部、
前記第1テーパー部側とは反対側に位置する縁部を第2外側縁部としたとき、
前記第2内側縁部と前記基部との接続点は、前記第2外側縁部と前記基部との接続点よりも前記反延出方向に配置されていることを特徴とする振動素子。 - 前記第1内側縁部と前記第1振動腕との接続点および前記第1外側縁部と前記第1振動腕との接続点は、前記第1振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称であり、
前記第2内側縁部と前記第2振動腕との接続点および前記第2外側縁部と前記第2振動腕との接続点は、前記第2振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称である請求項1に記載の振動素子。 - 平面視において、前記第1内側縁部の形状と前記第1外側縁部の形状とが、前記第1振動腕の前記第1方向沿った仮想中心線に対して線対称であり、
平面視において、前記第2内側縁部の形状と前記第2外側縁部の形状とが、前記第2振動腕の前記第1方向に沿った仮想中心線に対して線対称である請求項1または2に記載の振動素子。 - 前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記ヒレ部は、
前記第1内側縁部と前記第1振動腕との接続点よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2内側縁部と前記第2振動腕との接続点よりも前記反延出方向に配置されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。 - 前記第1振動腕および前記第2振動腕は、それぞれ、互いに表裏の関係にある1対の主面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延出されている溝を含み、
前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記ヒレ部は、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部よりも前記反延出方向に配置されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。 - 前記第1振動腕および前記第2振動腕は、それぞれ、互いに表裏の関係にある1対の主面の少なくとも一方に設けられ、前記第1方向に沿って延出されている溝を含み、
前記第1内側縁部と前記第2内側縁部との間に設けられ、前記第1内側縁部および前記第2内側縁部から延出されているヒレ部を含み、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部は、前記第1内側縁部と前記基部との接続点よりも前記延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記基部側の端部は、前記第2内側縁部と前記基部との接続点よりも前記延出方向に配置され、
前記ヒレ部は、
前記第1振動腕に設けられている前記溝の前記端部よりも前記反延出方向に配置され、
かつ、前記第2振動腕に設けられている前記溝の前記端部よりも前記反延出方向に配置されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の振動素子。 - 前記振動腕は、
錘部と、
前記テーパー部と前記錘部との間に配置されている腕部と、
を含む請求項1ないし6のいずれか1項に記載の振動素子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子が搭載されているパッケージと、
を含むことを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013237472A JP6340774B2 (ja) | 2013-11-16 | 2013-11-16 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013237472A JP6340774B2 (ja) | 2013-11-16 | 2013-11-16 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015097360A true JP2015097360A (ja) | 2015-05-21 |
JP6340774B2 JP6340774B2 (ja) | 2018-06-13 |
Family
ID=53374465
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013237472A Expired - Fee Related JP6340774B2 (ja) | 2013-11-16 | 2013-11-16 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6340774B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017152835A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57181217A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Citizen Watch Co Ltd | Manufacture of tuning fork type quartz oscillator |
JP2005020544A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
WO2005125006A1 (ja) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Citizen Watch Co., Ltd. | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP2006352771A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイスならびに電子機器および携帯電話装置 |
JP2010093408A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
JP2010154224A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2011014977A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動子 |
JP2011019159A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | River Eletec Kk | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2011151568A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
JP2011223230A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子 |
JP2012028899A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
JP2013078081A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
-
2013
- 2013-11-16 JP JP2013237472A patent/JP6340774B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57181217A (en) * | 1981-04-30 | 1982-11-08 | Citizen Watch Co Ltd | Manufacture of tuning fork type quartz oscillator |
JP2005020544A (ja) * | 2003-06-27 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
WO2005125006A1 (ja) * | 2004-06-21 | 2005-12-29 | Citizen Watch Co., Ltd. | 水晶デバイス及び水晶デバイスの製造方法 |
JP2006352771A (ja) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片および圧電デバイスならびに電子機器および携帯電話装置 |
JP2010093408A (ja) * | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片及び音叉型圧電振動片の製造方法 |
JP2010154224A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2011014977A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Seiko Epson Corp | 音叉型圧電振動片および圧電振動子 |
JP2011019159A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | River Eletec Kk | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2011151568A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子 |
JP2011223230A (ja) * | 2010-04-08 | 2011-11-04 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子 |
JP2012028899A (ja) * | 2010-07-21 | 2012-02-09 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
JP2013078081A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017152835A (ja) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6340774B2 (ja) | 2018-06-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5581931B2 (ja) | 振動片、振動片の製造方法、振動子、振動デバイスおよび電子機器 | |
JP6331702B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
JP6435606B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2015128267A (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 | |
JP6107330B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US9246471B2 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and mobile object | |
US20140292433A1 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object | |
JP6390104B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US10103710B2 (en) | Resonator, oscillator, electronic apparatus, and mobile object | |
US20140368288A1 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object | |
JP6287208B2 (ja) | 振動子、発振器、電子機器、物理量センサーおよび移動体 | |
JP2014200050A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2015149591A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器、センサー、および移動体 | |
JP6528878B2 (ja) | 電子デバイス、電子機器および移動体 | |
US9287848B2 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, and moving object having reduced vibration leakage | |
JP6044222B2 (ja) | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
JP2015149592A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US20140368287A1 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and moving object | |
JP6340774B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
US20120056686A1 (en) | Vibrator element, vibrator, vibration device, and electronic device | |
JP2014165573A (ja) | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
JP2014192797A (ja) | 振動片、振動素子、振動子、電子機器、および移動体 | |
JP6498379B2 (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2015002556A (ja) | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2016017768A (ja) | センサー素子、センサーデバイス、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161019 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171003 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180417 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180430 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6340774 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |