JP2012022177A - カラーフィルタ用基板の再生処理システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも基板を製造工程に投入する投入装置と、基板にフォトレジストを塗布する塗布装置と、前記フォトレジストの膜厚を検査する膜厚検査機と、基板に付着する異物を検査する異物検査機と、前記基板に塗布されたフォトレジストを露光した後現像処理する現像装置と、前記膜厚検査機と異物検査機によって検査された前記不良基板を一時収納するバッファ装置と、を備え、且つ、前記バッファ装置に収納された前記不良基板の払い出し指示発行手段と、前記不良基板に塗布されたフォトレジストを剥離する手段と、前記フォトレジストが剥離された基板の払い出し先を判断する手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用基板の再生処理システム。
【選択図】図5
Description
ある。該再生処理装置を用いて再生処理する工程では、各工程で単層または多層に処理されたフォトレジストや透明電極膜(ITO:Indium Tin Oxide)を複数の薬液を用いて剥離し、不良基板は素ガラスに再生され、再度、初工程より投入される。
を投入してしまうと、搬送速度が異なっているため、通常生産処理中の基板は品質不良の基板となってしまう。そのため、通常生産品の現像処理が終わった後に、レシピを剥離用に変更し、剥離処理を実施している。
基板を製造工程に投入する投入装置と、
基板にフォトレジストを塗布する塗布装置と、
前記フォトレジストの膜厚を検査する膜厚検査機と、
基板に付着する異物を検査する異物検査機と、
前記基板に塗布されたフォトレジストを露光した後現像処理する現像装置と、
前記膜厚検査機と異物検査機によって検査された前記不良基板を一時収納するバッファ装置と、を備えたカラーフィルタ製造工程を有し、且つ、
前記バッファ装置に収納された前記不良基板の払い出し指示発行手段と、
前記バッファ装置から払い出された前記不良基板に塗布されたフォトレジストを剥離する手段と、
前記フォトレジストが剥離された基板の払い出し先を判断する手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用基板の再生処理システムである。
前記バッファ装置の上流に位置する装置で基板を払い出す時間間隔が一定の装置を起点装置とし、前記起点装置から前記バッファ装置の間に位置する装置の基板払い出し基準時間と実時間の差がマイナスとなる装置の差の総和を求め、前記差の総和が予め設定された設定時間よりも長い場合は、前記不良基板を前記現像装置へ払い出し指示することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システムである。
前記現像装置の搬送速度を下げ、現像処理時間を長くしてフォトレジストを剥離することを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システムである。
前記投入装置上の基板のロット番号と払い出し先指示要求のあった前記フォトレジストが剥離された基板のロット番号が同じ場合は、前記塗布装置へ払い出し指示を発行し、
前記投入装置上の基板のロット番号と払い出し先指示要求のあった前記フォトレジストが剥離された基板のロット番号が異なる場合は、基板を収納する回収装置へ払い出し指示を発行することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システムである。
以下に示す。
(1)塗布後のフォトレジスト膜厚を測定し、(2)膜厚異常の場合、下流装置(この場合の下流装置は、異物検査機33を指す)へ基板を払い出す際、基板情報に剥離フラグを付与する。
(1)検査対象基板の「異物数」、「異物サイズ」を測定し、(2)検出された「異物検出数」、「異物サイズ」が工程規格外の場合には、下流装置(この場合は、露光装置34を指す)へ基板を払い出す際の基板情報に剥離フラグを付与する。
(1)T(t)は、ある起点装置70の基板払い出し間隔時間(実時間)であって、現像装置36、バッファ装置35の上流に位置する装置で、CV(コンベア)やバッファ装置35に付属するRB(ロボット)等、装置群51内に存在する装置の中で基板払い出し間隔が一定に保たれる装置を起点装置70として選定する。選定された起点装置70が、下流へ基板を払い出す間隔(基板を払い出してから、次の基板を下流に払い出すまでの間)を起点装置70より収集管理する。
(2)E(t)は、起点装置70における基板の下流装置への払い出し基準時間(設定時間)であって、設定値はシステム制御部52で設定する。
(3)Tn(t)は、起点装置70とバッファ装置35の間に位置する各装置の基板払い出し間隔時間(実時間)(n=1〜n)であって、起点装置70とバッファ装置35の間に位置する各装置の各基板払い出し間隔時間を各装置より収集管理する。
(4)En(t)は、起点装置70からバッファ装置35の間に位置する各装置の下流装置への払い出し基準時間(設定時間)(n=1〜n)であって、起点装置70とバッファ装置35の間に位置する各装置の各基板払い出し基準時間を各装置より収集管理する。設定値はシステム制御部52で設定しても良い。
(5)Σ(En(t)−Tn(t))は、起点装置70からバッファ装置35の間に位置する各装置において、下流装置への払い出し基準時間(En(t))から、払い出し実時間(Tn(t))を引いた値の総和(但し、払い出しが基準時間から遅れている装置(E
n(t)−Tn(t)>0、n=1〜n)のみを加算対象として本変数を定義する。)である。
(6)αは、工程内再生を行う場合の剥離処理を行うために現像装置が必要とする処理時間の設定値である。
は矢印44に示すように一旦回収装置のカセットに回収させるかを、製造処理工程の処理装置の処理状況に基づいて判断し、分岐装置39へ剥離基板の払い出し先の指示を発行する。
2・・・基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
10・・・投入装置
11・・・塗布装置
12・・・膜厚検査機
13・・・異物検査機
14・・・露光装置
15・・・バッファ装置
16・・・現像装置
17・・・オーブン
18・・・回収装置
21・・・不良が発見された基板が搬送される方向を示す矢印
22・・・剥離処理された基板が搬送される方向を示す矢印
23・・・基板が回収装置に回収される搬送方向を示す矢印
30・・・投入装置
31・・・塗布装置
32・・・膜厚検査機
33・・・異物検査機
34・・・露光装置
35・・・バッファ装置
36・・・現像装置
37・・・オーブン
38・・・回収装置
39・・・分岐装置
41・・・不良が発見された基板が搬送される方向を示す矢印
42・・・剥離処理された基板が搬送される方向を示す矢印
43・・・分岐装置から塗布装置に搬送される方向を示す矢印
44・・・基板が分岐装置から回収装置に回収される搬送方向を示す矢印
50・・・カラーフィルタ用基板の再生処理システム
51・・・装置群
52・・・システム制御部
53・・・ネットワーク
54・・・現像液噴射ノズル
56・・・ピン
57・・・剥離フラグが付与された基板
58・・・搬送コンベア
59・・・生産処理される基板
60・・・ピンを上昇させる方向を示す矢印
61・・・現像装置内の基板搬送方向を示す矢印
Claims (6)
- カラーフィルタの製造処理工程中に発生する不良基板を再生処理する再生処理システムであって、少なくとも
基板を製造工程に投入する投入装置と、
基板にフォトレジストを塗布する塗布装置と、
前記フォトレジストの膜厚を検査する膜厚検査機と、
基板に付着する異物を検査する異物検査機と、
前記基板に塗布されたフォトレジストを露光した後現像処理する現像装置と、
前記膜厚検査機と異物検査機によって検査された前記不良基板を一時収納するバッファ装置と、を備えたカラーフィルタ製造工程を有し、且つ、
前記バッファ装置に収納された前記不良基板の払い出し指示発行手段と、
前記バッファ装置から払い出された前記不良基板に塗布されたフォトレジストを剥離する手段と、
前記フォトレジストが剥離された基板の払い出し先を判断する手段と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタ用基板の再生処理システム。 - 前記バッファ装置に収納された前記不良基板の払い出し指示発行手段は、
前記バッファ装置の上流に位置する装置で基板を払い出す時間間隔が一定の装置を起点装置とし、前記起点装置から前記バッファ装置の間に位置する装置の基板払い出し基準時間と実時間の差がマイナスとなる装置の差の総和を求め、前記差の総和が予め設定された設定時間よりも長い場合は、前記不良基板を前記現像装置へ払い出し指示することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システム。 - 前記バッファ装置から払い出された前記不良基板に塗布されたフォトレジストを剥離する手段は、
前記現像装置の搬送速度を下げ、現像処理時間を長くしてフォトレジストを剥離することを特徴とする請求項1または2に記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システム。 - 前記現像装置の搬送速度は予め登録された剥離処理レシピに基づいて設定されることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システム。
- 前記現像装置は不良基板を受入後、不良基板を上方に移動するピンナップ機構を有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システム。
- 前記フォトレジストが剥離された基板の払い出し先を判断する手段は、
前記投入装置上の基板のロット番号と払い出し先指示要求のあった前記フォトレジストが剥離された基板のロット番号が同じ場合は、前記塗布装置へ払い出し指示を発行し、
前記投入装置上の基板のロット番号と払い出し先指示要求のあった前記フォトレジストが剥離された基板のロット番号が異なる場合は、基板を収納する回収装置へ払い出し指示を発行することを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタ用基板の再生処理システム。
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