JP2012015276A5 - - Google Patents

Claims (17)

1. 複数の光電変換部が配された第１の基板と、
   各光電変換部で生じた信号を処理もしくは前記信号を読み出すための複数の読み出し回路が配された第２の基板と、を有する固体撮像装置であって、
   前記第１の基板に配され、各々が電気的に分離された複数の第１の導電パターンと、
   前記第２の基板に配され、各々が電気的に分離された複数の第２の導電パターンと、を有し、
   前記複数の第１の導電パターンの各々は、前記第２の導電パターンと接触する第１の電気的接続部を有し、前記複数の第２の導電パターンの各々は、前記第１の導電パターンと接触する第２の電気的接続部を有し、
   前記第１の導電パターンは、前記第１の電気的接続部を含み且つ第１の方向に延在する第１の部分パターンを有し、前記第２の導電パターンは、前記第２の電気的接続部を含み且つ前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在する部分パターンを有し、
   前記第１の部分パターンの前記第１の方向に延在する長さは、前記第１の部分パターンの第２の方向の長さよりも長いことを特徴とする固体撮像装置。
2. 複数の光電変換部が配された第１の基板と、
   各光電変換部で生じた信号を処理もしくは前記信号を読み出すための複数の読み出し回路が配された第２の基板と、を有する固体撮像装置であって、
   前記第１の基板に配され、各々が電気的に分離された複数の第１の導電パターンと、
   前記第２の基板に配され、各々が電気的に分離された複数の第２の導電パターンと、を有し、
   前記複数の第１の導電パターンの各々は、前記第２の導電パターンと接触する第１の電気的接続部を有し、
   前記複数の第２の導電パターンの各々は、前記第１の導電パターンと接触する第２の電気的接続部を有し、
   前記第１の導電パターンは、前記第１の電気的接続部を含み且つ第１の方向に延在する第１の部分パターンを有し、前記第２の導電パターンは、前記第２の電気的接続部を含み且つ前記第１の方向とは異なる第２の方向に延在する第２の部分パターンを有し、
   前記第２の部分パターンの前記第２の方向に延在する長さは、前記第２の部分パターンの第１の方向の長さよりも長いことを特徴とする固体撮像装置。
3. 前記第１の方向と前記第２の方向とは直交する方向であることを特徴とする請求項１または２のいずれかに記載の固体撮像装置。
4. 前記光電変換部と、
   フローティングディフュージョンと、
   前記光電変換部の信号を前記フローティングディフュージョンへ転送する転送部と、
   前記フローティングディフュージョンとゲートが電気的に接続された画素増幅部と、
   前記画素増幅部の入力ノードの電位をリセットする画素リセット部と、を有する画素を複数有し、
   複数の前記光電変換部、複数の前記フローティングディフュージョン、及び複数の前記転送部とが前記第１の基板に配され、
   複数の前記画素増幅部と、複数の前記画素リセット部と、が前記第２の基板に配されており、
   前記複数の第１の導電パターンの各々は、前記複数のフローティングディフュージョンの各々と電気的に接続されており、
   前記複数の第２の導電パターンの各々は、前記複数の画素増幅部のゲートの各々と電気的に接続されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
5. 前記複数の第１の導電パターンもしくは前記複数の第２の導電パターンの少なくとも一部が、前記光電変換部を前記第２の基板の方向に垂直投影した領域の一部の領域まで延在して配置されていることを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
6. 複数のフローティングディフュージョンと、
   各光電変換部の信号を各フローティングディフュージョンへ転送する複数の転送部と、
   前記転送部の導通を制御する複数の転送制御線と、が前記第１の基板に配され、
   前記複数の転送制御線に駆動パルスを供給する垂直走査部が前記第２の基板に配され、
   前記複数の第１の導電パターンの各々は、前記複数の転送制御線の各々と電気的に接続されており、
   前記複数の第２の導電パターンの各々は、前記垂直走査部と電気的に接続されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
7. 各前記第１の導電パターンが複数の前記第１の電気的接続部を有し、各前記第２の導電パターンが複数の前記第２の電気的接続部を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
8. 前記複数の第１の導電パターン及び前記複数の第２の導電パターンの少なくとも一方は、複数の配線層により形成されていることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の固体撮像装置。
9. 前記第１の導電パターンは、更に、前記第２の方向に延在する第３の部分パターンを有し、
   前記第２の導電パターンは、更に、前記第１の方向に延在する第４の部分パターンを有し、
   前記第３の部分パターンは、前記第４の部分パターンに接触する第３の電気的接続部を有し、
   前記第４の部分パターン、前記第３の部分パターンに接触する第４の電気的接続部を有することを特徴とする請求項１〜８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
10. 前記複数の第１の導電パターンもしくは前記複数の第２の導電パターンの少なくとも一方がダマシン構造であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
11. 前記光電変換部と、
    フローティングディフュージョンと、
    前記光電変換部の信号を前記フローティングディフュージョンへ転送する転送部とを含む複数の画素を有し、前記光電変換部と前記フローティングディフュージョンと前記転送部との組が前記第１の基板に所定の画素ピッチで規則的に配されており、
    前記第１の部分パターンの、前記第１の方向に平行な方向の長さは、前記画素ピッチよりも短いことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
12. 前記光電変換部と、
    フローティングディフュージョンと、
    前記光電変換部の信号を前記フローティングディフュージョンへ転送する転送部とを含む画素を複数有し、
    前記光電変換部と前記フローティングディフュージョンと前記転送部との組が前記第１の基板に所定の画素ピッチで規則的に配されており、
    前記第２の部分パターンの、前記第２の方向に平行な方向の長さは、前記画素ピッチよりも短いことを特徴とする請求項２に記載の固体撮像装置。
13. 前記光電変換部と
    フローティングディフュージョンと、
    前記光電変換部の信号を前記フローティングディフュージョンへ転送する転送部と、
    前記フローティングディフュージョンとゲートが電気的に接続された画素増幅部と、
    前記画素増幅部の入力ノードの電位をリセットする画素リセット部と、を含む画素を複数有し、
    前記複数の光電変換部、前記複数のフローティングディフュージョン及び前記複数の転送部が前記第１の基板に配され、
    前記複数の画素増幅部及び前記複数の画素リセット部とが前記第２の基板に配されており、
    前記画素増幅部及び前記画素リセット部とが、複数の前記光電変換部で共有化されており、
    前記複数の光電変換部が所定の画素ピッチで規則的に配されており、
    前記第１の部分パターンの、前記第１の方向の長さをＬ、共有する前記光電変換部の数をｎ、前記画素ピッチをｐとすると、
    （ｎ−１）×ｐ≦Ｌ≦ｎ×ｐ
    を満たすことを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
14. 前記光電変換部と、
    フローティングディフュージョンと、
    前記光電変換部の信号をフローティングディフュージョンへ転送する転送部と、
    前記フローティングディフュージョンとゲートが電気的に接続された画素増幅部と、
    前記画素増幅部の入力ノードの電位をリセットする画素リセット部と、を含む画素を複数有し、
    前記複数の光電変換部、前記複数のフローティングディフュージョン、前記複数の転送部とが前記第１の基板に配され、
    前記複数の画素増幅部、前記複数の画素リセット部とが前記第２の基板に配されており、
    前記画素増幅部及び前記画素リセット部とが、複数の前記光電変換部で共有化されており、
    前記複数の光電変換部が所定の画素ピッチで規則的に配されており、
    前記第２の部分パターンの、前記第２の方向の長さをＬ、共有する前記光電変換部の数をｎ、前記画素ピッチをｐとすると、
    （ｎ−１）×ｐ≦Ｌ≦ｎ×ｐ
    を満たすことを特徴とする請求項２に記載の固体撮像装置。
15. 前記読み出し回路は、周辺回路を含むことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
16. 前記周辺回路は、画素列ごとに設けられる信号処理回路を含むことを特徴とする請求項１５に記載の固体撮像装置。
17. 前記読み出し回路は、
    フローティングディフュージョンと、
    前記光電変換部の信号をフローティングディフュージョンへ転送する転送部と、
    前記フローティングディフュージョンとゲートが電気的に接続された画素増幅部と、
    前記画素増幅部の入力ノードの電位をリセットする画素リセット部と、
    画素列ごとに設けられる信号処理部と、
    垂直走査回路と、
    水平走査回路と、を含み、
    前記読み出し回路のうちの少なくとも一部が、前記第２の基板に配されることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の固体撮像装置。