JP2012004247A - 基板貼り合せ装置の制御方法、基板貼り合せ装置、積層半導体装置製造方法及び積層半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の基板を保持した状態で、複数の基板を加熱して基板同士を接合するとともに接合した複数の基板を第1冷却目標温度まで冷却する温度調節部を有する基板貼り合わせ装置を制御する制御方法であって、温度調節部を、複数の基板を加熱して接合させるのに用いるか、すでに接合された複数の基板を第1冷却目標温度まで冷却するのに用いるかを決定してその決定を示す情報を出力する決定ステップを備える制御方法が提供される。
【選択図】図5
Description
[特許文献1] 特開2009−49066号公報
[特許文献2] 特開2009−267233号公報
Claims (14)
- 複数の基板を保持した状態で、前記複数の基板を加熱して基板同士を接合するとともに接合した複数の基板を第1冷却目標温度まで冷却する温度調節部を有する基板貼り合わせ装置を制御する制御方法であって、
前記温度調節部を、前記複数の基板を加熱して接合させるのに用いるか、または、すでに接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するのに用いるかを決定してその決定を示す情報を出力する決定ステップを備える制御方法。 - 前記決定ステップにおいて、前記複数の基板を加熱するのに要する時間と前記複数の基板を冷却するのに要する時間とを比較して、加熱に要する時間の方が長い場合に前記温度調節部を加熱に用い、冷却に要する時間の方が長い場合に前記温度調節部を冷却に用いることを決定する請求項1に記載の制御方法。
- 前記基板貼り合わせ装置は、前記温度調節部と別個に、前記複数の基板を保持して、専ら加熱して接合させる加熱専用部、および、前記複数の基板を保持して、専ら接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却する冷却専用部をそれぞれ少なくとも一つ有する請求項1または2に記載の制御方法。
- 前記基板貼り合わせ装置は、前記温度調節部を複数有し、
前記決定ステップは、複数の前記温度調節部のいずれを前記複数の基板を加熱するのに用いて、かつ、他を前記複数の基板を冷却するのに用いるか、を決定する請求項1から3のいずれかに記載の制御方法。 - 前記決定ステップにおいて、前記複数の基板を加熱するのに要する時間と前記複数の基板を冷却するのに要する時間の時間比を求めて、加熱に用いる前記複数の温度調節部の個数と冷却に用いる前記複数の温度調節部の個数の比を前記時間比に近づける請求項4に記載の制御方法。
- 加熱および冷却の少なくとも一方に関する情報の入力を受け付ける入力ステップをさらに備え、
前記入力ステップにより加熱および冷却の少なくとも一方に関する新たな情報の入力が受け付けられた場合に、前記決定ステップが実行される請求項1から5のいずれかに記載の制御方法。 - 前記決定ステップによる決定に基づいて、前記温度調節部を、前記複数の基板を加熱して接合させるべく制御する、または、前記温度調節部を、接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するべく制御する制御ステップをさらに備える請求項1から6のいずれかに記載の制御方法。
- 前記制御ステップにおいて、前記温度調節部を前記複数の基板を加熱して接合させるべく制御する場合に、前記複数の基板を加熱して接合させて、その後に前記第1冷却目標温度より高い第2冷却目標温度まで冷却する請求項7に記載の制御方法。
- 前記決定ステップは、前記温度調節部を、前記複数の基板を加熱して接合させるのに用いるか、すでに接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するのに用いるか、または、前記複数の基板を加熱して接合させてかつ接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するのに用いるかを決定する請求項1から3のいずれかに記載の制御方法。
- 前記基板貼り合わせ装置は、前記温度調節部を複数有し、
前記決定ステップは、複数の前記温度調節部のいずれを前記複数の基板を加熱するのに用いて、他のいずれを前記複数の基板を冷却するのに用いるか、さらに他のいずれを前記複数の基板を加熱してかつ冷却するのに用いるか、を決定する請求項9に記載の制御方法。 - 前記決定ステップによる決定に基づいて、前記複数の基板を加熱して接合させるべく前記温度調節部を制御するステップ、接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するべく前記温度調節部を制御するステップ、または、前記複数の基板を加熱して接合させてかつ接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するべく前記温度調節部を制御するステップをさらに備える請求項9または10に記載の制御方法。
- 複数の基板を保持する保持部、前記保持部に保持した前記複数の基板を加熱して基板同士を接合する加熱部、および、接合した前記複数の基板を前記保持部に保持した状態で第1冷却目標温度まで冷却する冷却部を有する温度調節部と、
前記温度調節部を、前記複数の基板を加熱して接合させるのに用いるか、すでに接合された前記複数の基板を前記第1冷却目標温度まで冷却するのに用いるかを決定して、その決定に基づいて前記温度調節部を制御する制御部と
を備える基板貼り合わせ装置。 - 請求項1から11のいずれかに記載の制御方法により制御される、請求項12に記載の基板貼り合せ装置により基板を貼り合せることを含む積層半導体装置製造方法。
- 請求項13に記載の積層半導体装置製造方法により製造された積層半導体装置。
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