JP5935542B2 - 基板貼り合わせ装置および基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Description
[特許文献1] 特開2012−4322
Claims (6)
- 複数の基板を挟んで加圧する加圧部と、
前記複数の基板をそれぞれ温調する温調部と、
前記複数の基板のそれぞれの面内における複数の領域のそれぞれにおいて、前記複数の基板の間の温度差が予め定められた範囲になるように、前記複数の領域ごとに前記加圧部の圧力を制御する制御部と
を備える基板貼り合わせ装置。 - 前記加圧部は、前記複数の基板を保持する保持面を有し、
前記制御部は、前記保持面の形状を変化させることにより、前記複数の領域ごとに前記加圧部の前記圧力を制御する請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記複数の領域の温度を検出する温度検出部を更に備え、
前記制御部は、前記温度検出部が検出した温度に基づいて、前記加圧部の圧力を制御する
請求項1または2に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記基板を冷却する冷却部を更に備え、
前記温調部は、前記冷却部を前記複数の領域のそれぞれに対応させて個別に制御する
請求項1から3のいずれか一項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記基板を加熱する加熱部を更に備え、
前記温調部は、前記加熱部を前記複数の領域のそれぞれに対応させて個別に制御する
請求項1から4のいずれか1項に記載の基板貼り合わせ装置。 - 複数の基板を挟んで加圧する加圧段階と、
前記複数の基板をそれぞれ温調する温調段階と、
前記複数の基板のそれぞれの面内における複数の領域のそれぞれにおいて、前記複数の基板の間の温度差が予め定められた範囲になるように、前記複数の領域ごとに前記加圧段階における圧力を制御する制御段階と
を備える基板貼り合わせ方法。
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