JP2011508900A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. ウェハスタック（８）に組込まれることになるスペーサウェハ（１）であって、前記ウェハスタック（８）は、複数の機能的要素（９）を保持する第１のウェハ（６）と、前記第１のウェハ（６）の前記機能的要素（９）に整列される複数の機能的要素（９）を保持する第２のウェハ（７）とを少なくとも含み、前記ウェハスタック（８）は、複数の集積光学装置（２１）に分離可能であり、
   前記スペーサウェハ（１）は、第１の表面（１１）および第２の表面（１２）を有するスペーサ本体（１０）を備え、前記スペーサウェハ（１）は、前記第１の表面（１１）に対して配置された前記第１のウェハ（６）と前記第２の表面（１２）に対して配置された前記第２のウェハ（７）とを互いから一定の距離に保つように形作られ、
   前記スペーサウェハ（１）は、複数の開口部（１３）をさらに備え、
   前記スペーサウェハ（１）はさらに、複数の空洞（２５）を少なくとも前記第１の表面（１１）において備え、
   前記空洞（２５）は、前記スペーサウェハ（１）が前記第１のウェハ（６）に対して接着される際に余分な接着剤を集めるように設計されることを特徴とし、
   前記空洞（２５）は、前記開口部（１３）同士の間の前記第１および第２の表面（１１，１２）の少なくとも一方上に配置され、かつ前記開口部（１３）から分離されたスペーサ溝（２５）である、ウェハ（１）。
2. 前記ウェハは、前記ウェハスタック（８）の２枚のウェハを分離するためのスペーサウェハ（１）であり、
   前記第１および第２の表面（１１，１２）の少なくとも一方は、前記開口部（１３）から前記表面（１１，１２）を分離するエッジ領域（１５）を含み、前記スペーサウェハ（１）の前記エッジ領域（１５）における厚さは、前記エッジ領域の周りの表面位置（１６，２５）における前記スペーサウェハ（１）の厚さを上回る、請求項１に記載のスペーサウェハ（１）。
3. 前記表面（１１）は、前記エッジ領域（１５）に対する窪み（１６）を形成する、請求項２に記載のウェハ（１）。
4. 前記エッジ領域（１５）と前記エッジ領域（１５）の周りの表面位置とにおける厚さの
   差は、１〜１０マイクロメートルの範囲にある、請求項３に記載のウェハ（１）。
5. 前記スペーサ溝（２５）は、前記ウェハスタック（８）を個々の装置（２１）に分離するためのダイシングライン（２２）と一致する、請求項１から４のうちいずれか１項に記載のウェハ（１）。
6. 前記スペーサ溝（２５）の深さは、前記スペーサ（１）の高さの少なくとも５０％〜８０％または９０％である、請求項１または５に記載のウェハ（１）。
7. 前記ウェハ（１）は、鋳造、エンボス加工または型押しによって製造される、請求項１から６のうちいずれか１項に記載のウェハ（１）。
8. 前記スペーサ（１）の表面（１１，１２）において形作られ、前記開口部（１３）から、それぞれの前記開口部（１３）から離間された前記表面の位置に至る通気チャネル（２６）を備える、請求項１から７のうちいずれか１項に記載のスペーサウェハ（１）。
9. 前記通気チャネル（２６）は、前記通気チャネル（２６）中の材料の流れを妨害する障害物を含む、請求項８に記載のスペーサウェハ（１）。
10. 前記第１および第２の表面（１１，１２）の少なくとも一方上に配置され、かつ前記ダイシングライン（２２）から所定の距離だけ離間された１つ以上のマイクロスペーサ（３２）を備える、請求項５から９のうちいずれか１項に記載のスペーサウェハ（１）。
11. ウェハスタック（８）であって、前記ウェハスタック（８）は、複数の機能的要素（９）を保持する第１のウェハ（６）と、前記第１のウェハ（６）の前記機能的要素（９）に整列される複数の機能的要素（９）を保持する第２のウェハ（７）と、前記第１のウェハ（６）および前記第２のウェハ（７）の間に配置されるスペーサウェハ（１）とを備え、前記ウェハスタック（８）は、複数の集積光学装置（２１）に分離可能であり、
    前記スペーサウェハ（１）は、第１の表面（１１）および第２の表面（１２）を有するスペーサ本体（１０）を備え、前記スペーサウェハ（１）は、前記第１の表面（１１）に対して配置された前記第１のウェハ（６）と前記第２の表面（１２）に対して配置された前記第２のウェハ（７）とを互いから一定の距離に保つように形作られ、
    前記スペーサウェハ（１）は、複数の開口部（１３）をさらに備え、
    前記スペーサウェハ（１）はさらに、複数の空洞（２５）を少なくとも前記第１の表面（１１）において備え、
    前記空洞（２５）は、前記スペーサウェハ（１）が前記第１のウェハ（６）に対して接着されることによる余分な接着剤を含むことを特徴とし、
    前記空洞（２５）は、前記開口部（１３）同士の間の前記第１および第２の表面（１１，１２）の少なくとも一方上に配置され、かつ前記開口部（１３）から分離されたスペーサ溝（２５）である、ウェハスタック（８）。
12. 前記ウェハスタック（８）を複数のウェハスタック要素（１９）に分離することによって、請求項１１に記載のウェハスタック（８）から製造される、ウェハスタック要素（１９）。
13. 少なくとも２枚のウェハ（１，６）を結合するための方法であって、
    第１のウェハ（１）を供給するステップを含み、前記第１のウェハ（１）は、複数の流量制御空洞（２５）と、前記第１のウェハ（１）の少なくとも第１の表面において複数の高い領域（１５）とを含み、さらに、
    他のウェハ（６）を供給するステップを含み、
    前記方法はさらに、
    前記第１のウェハ（１）および前記他のウェハ（６）のうち少なくとも一方上に結合剤（１７）を堆積するステップと、
    その後、前記結合剤（１７）を間に介在させた状態で、前記第１のウェハ（１）の前記第１の表面（１１）を前記他のウェハ（６）に近接させて配置し、それにより前記結合剤（１７）を前記流量制御空洞（２５）から前記高い領域（１５）に毛管力によって流れさせ、かつそれにより前記ウェハ（１，６）の間に取込まれた空気を前記高い領域（１５）から前記流量制御空洞（２５）に移動させるステップと、を含むことを特徴とする方法。
14. 前記第１のウェハ（１）および前記他のウェハ（６）が互いに近接して配置される際に、
    前記第１のウェハ（１）の前記流量制御空洞（２５）内に、または
    前記流量制御空洞（２５）の位置に対応する位置において前記他のウェハ（６）上に、
    前記結合剤（１７）を堆積するステップを含む、請求項１３に記載の方法。
15. 前記第１のウェハ（１）は、長方形のパターンであってダイシングライン（２２）によって分離される複数の開口部（１３）を備え、前記結合剤（１７）を堆積するステップは、
    前記第１のウェハ（１）および前記他のウェハ（６）が互いに近接して配置される際に、
    前記ダイシングライン（２２）の交差点（２９）において前記第１のウェハ（１）上に、または
    前記ダイシングライン（２２）の前記交差点（２９）に対応する位置において前記他のウェハ（６）上に、
    前記結合剤の小滴（３０）を堆積するステップを含む、請求項１３または１４に記載の方法。