JP2011505553A - 気密性を検査するための方法及び装置 - Google Patents
気密性を検査するための方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011505553A JP2011505553A JP2010535380A JP2010535380A JP2011505553A JP 2011505553 A JP2011505553 A JP 2011505553A JP 2010535380 A JP2010535380 A JP 2010535380A JP 2010535380 A JP2010535380 A JP 2010535380A JP 2011505553 A JP2011505553 A JP 2011505553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test gas
- gas
- test
- pump
- inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
- G01M3/229—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators removably mounted in a test cell
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
Description
τ= V/S
τ:システムの時定数(63%−時間)
V :検査室の体積
S :ポンプの試験ガスの吸引能力
p = Q/S
p :試験ガスの分圧
Q :検査対象からの試験ガスの漏れ速度
S :試験ガスのためのポンプの吸引能力
c = Qleak/Qcarrier
ヘリウム分圧pHe は、以下に示す式により求められる。
PHe = C*Ptot
Claims (8)
- 試験ガスが充填された検査対象(13)が検査室(10)に収容されて、該検査室から取り出された試験ガスとキャリアガスとからなるガス混合物の流れにある試験ガスセンサ(17)が、凝縮ポンプ(15,30) の下流側に配置され、前記ガス混合物が前記試験ガスセンサ(17)を用いて試験ガスの存在を検査される気密性を検査するための方法において、
前記キャリアガスは、前記検査室(10)の下流側で前記試験ガスの流れに供給されることを特徴とする方法。 - 前記キャリアガスは、前記試験ガスの流れにおける前記検査室(10)の後の第1ポンプ(30)で供給されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記キャリアガスは、前記試験ガスの流れにおける前記検査室(10)の後の第1ポンプ(30)と該第1ポンプの後の第2ポンプ(31)との間に供給されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 検査対象(20)を収容する検査室(10)又は検査対象(20)からガスを送るためのポンプ配置(18)と、該ポンプ配置に接続された試験ガスセンサ(27)とを備えた気密性を検査するための装置において、
前記試験ガスセンサ(27)は、多段の前記ポンプ配置(18)の最終段階(26)、又は前記多段ポンプ配置(18)の最終段階(26)の上流側に配置されていることを特徴とする装置。 - 排気された検査対象(20)が試験ガスの外部作用に晒されて、試験ガスセンサ(27)が、前記検査対象から取り出された試験ガスとキャリアガスとからなる圧縮されたガス混合物を分析するために、前記ガス混合物の流れ方向に見たとき、凝縮ポンプ(26)の下流側に配置され、前記ガス混合物が前記試験ガスセンサ(27)を用いて試験ガスの存在を検査される気密性を検査するための方法において、
前記検査対象(20)は、検査室に収容されることなく周囲大気に晒され、試験ガス噴射器(23)が、前記試験ガスを含む前記大気を生成するために設けられていることを特徴とする方法。 - 前記キャリアガスは、前記試験ガスの流れにおける前記検査対象(20)の後に供給されることを特徴とする請求項5に記載の方法。
- 排気された検査対象(20)の外側で試験ガスを含む大気を生成する手段と、前記検査対象(20)と直接に又は別の要素と直列に接続可能な凝縮ポンプ(26)と、該凝縮ポンプ(26)の出口に接続された試験ガスセンサ(27)とを備えた気密性を検査するための装置において、
前記検査対象(20)は、検査室に収容されずに周囲大気に晒されて、試験ガス噴射器(23)が、前記試験ガスを含む前記大気を生成するために設けられていることを特徴とする装置。 - 検査対象(20)を収容する検査室(10)又は検査対象(20)からガスを送るためのポンプ配置(18)と、該ポンプ配置に接続された試験ガスセンサ(27)とを備えた気密性を検査するための装置において、
前記ポンプ配置は大気圧を超える高圧を生成し、前記試験ガスセンサ(27)は前記高圧に通じていることを特徴とする装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007057944A DE102007057944A1 (de) | 2007-12-01 | 2007-12-01 | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung |
PCT/EP2008/066346 WO2009068614A1 (de) | 2007-12-01 | 2008-11-27 | Verfahren und vorrichtung zur dichtheitsprüfung |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013252355A Division JP6042317B2 (ja) | 2007-12-01 | 2013-12-05 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011505553A true JP2011505553A (ja) | 2011-02-24 |
Family
ID=40364361
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010535380A Pending JP2011505553A (ja) | 2007-12-01 | 2008-11-27 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
JP2013252355A Active JP6042317B2 (ja) | 2007-12-01 | 2013-12-05 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
JP2014229889A Active JP6099617B2 (ja) | 2007-12-01 | 2014-11-12 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013252355A Active JP6042317B2 (ja) | 2007-12-01 | 2013-12-05 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
JP2014229889A Active JP6099617B2 (ja) | 2007-12-01 | 2014-11-12 | 気密性を検査するための方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8646315B2 (ja) |
EP (3) | EP2217902B1 (ja) |
JP (3) | JP2011505553A (ja) |
CN (3) | CN102798505B (ja) |
DE (1) | DE102007057944A1 (ja) |
WO (1) | WO2009068614A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160091933A (ko) * | 2013-11-29 | 2016-08-03 | 가즈트랑스포르 에 떼끄니가즈 | 밀봉되고 단열된 탱크의 모니터링 방법 |
CN107003204A (zh) * | 2014-12-03 | 2017-08-01 | 英福康有限公司 | 用箔室内运载气体进行无泄漏测试 |
JP2021525878A (ja) * | 2018-06-05 | 2021-09-27 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH | ガスセンサを連結する連結装置 |
JP2022033540A (ja) * | 2020-08-17 | 2022-03-02 | 株式会社鷺宮製作所 | 温度式弁装置及び冷却装置並びに冷凍サイクルシステム |
Families Citing this family (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008048625A1 (de) * | 2008-09-24 | 2010-03-25 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Leckprüfung einer Vakuumprozessanlage |
DE102009059824A1 (de) * | 2009-12-21 | 2011-06-22 | Inficon GmbH, 50968 | Verfahren und Vorrichtung zur Leckbestimmung |
JP5643337B2 (ja) * | 2009-12-22 | 2014-12-17 | アイエムエー ライフ ノース アメリカ インコーポレーテッド | 真空ポンプ排出物に関するガス測定による凍結乾燥の監視 |
DE102010048982B4 (de) * | 2010-09-03 | 2022-06-09 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
FR2969287B1 (fr) * | 2010-12-17 | 2013-10-25 | Alcatel Lucent | Dispositif de detection de fuite utilisant l'hydrogene comme gaz traceur |
DE102010055195B4 (de) * | 2010-12-20 | 2018-04-26 | INPRO Innovationsgesellschaft für fortgeschrittene Produktionssysteme in der Fahrzeugindustrie mbH | Vorrichtung und Verfahren zur Dichtheitsprüfung an geschlossenen hohlen Bauteilen und Verpackungen |
JP5840237B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2016-01-06 | ノルデン・マシーナリー・アーベー | 漏れ検出方法および装置 |
DE102011106165B4 (de) * | 2011-06-30 | 2015-07-02 | Sartorius Stedim Biotech Gmbh | Prüfverfahren und -vorrichtung für Bioreaktorbehälter sowie Verwendung |
CN103048089A (zh) * | 2011-10-12 | 2013-04-17 | 上海莲南汽车附件有限公司 | 一种丙烯测漏的方法 |
FR2993659B1 (fr) * | 2012-07-23 | 2014-08-08 | Adixen Vacuum Products | Procede et installation de detection pour le controle d'etancheite d'emballages de produits scelles |
DE102012220108A1 (de) * | 2012-11-05 | 2014-05-22 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Prüfung einer Dichtheitsprüfanlage |
FR3000215B1 (fr) * | 2012-12-21 | 2016-02-05 | Aneolia | Dispositif et procede de test d'un echantillon, en particulier de discrimination d'un gaz d'un echantillon |
TWM454545U (zh) * | 2013-02-01 | 2013-06-01 | Jusun Instr Co Ltd | 充電電池檢測設備 |
CN104034495A (zh) * | 2013-03-06 | 2014-09-10 | 楚天科技股份有限公司 | 一种容器的真空检漏方法及真空检漏系统 |
WO2014180469A1 (de) * | 2013-05-07 | 2014-11-13 | Lüdolph Management GmbH | Dichtheitsprüfanordnung und dichtheitsprüfverfahren |
DE102013217288A1 (de) * | 2013-08-29 | 2015-03-05 | Inficon Gmbh | Dichtheitsprüfung während der Evakuierung einer Folienkammer |
CN103471777B (zh) * | 2013-08-29 | 2015-12-02 | 中国计量学院 | 一种基于二氧化碳传感器的气体泄漏检测方法 |
DE102013218506A1 (de) * | 2013-09-16 | 2015-03-19 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit mehrstufiger Membranpumpe |
CN105466641A (zh) * | 2015-10-15 | 2016-04-06 | 杭州伯坦科技工程有限公司 | 电池漏液快速检测装置及其检测方法 |
DE102015222554A1 (de) * | 2015-11-16 | 2017-05-18 | Inficon Gmbh | Lecksuche mit Sauerstoff |
FR3072774B1 (fr) * | 2017-10-19 | 2019-11-15 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites pour le controle de l'etancheite d'un objet a tester |
EP3567356B1 (en) * | 2018-05-07 | 2021-02-24 | Inficon GmbH | Sniffing leak detector with switching valve and buffer chamber |
DE102019006343A1 (de) * | 2018-09-24 | 2020-03-26 | Merck Patent Gmbh | Messkammer und Messstand |
CN109540411A (zh) * | 2018-11-19 | 2019-03-29 | 合肥市极点科技有限公司 | 一种机动车天窗密封性检测装置 |
CN109489914A (zh) * | 2018-12-20 | 2019-03-19 | 中国石油集团川庆钻探工程有限公司 | 井下工具实验装置气密封检测方法 |
DE102019121462B4 (de) * | 2019-08-08 | 2021-12-09 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Dichtheitsprüfung eines flüssigkeitsgefüllten Prüflings |
CN110553802B (zh) * | 2019-09-12 | 2022-01-14 | 爱发科东方真空(成都)有限公司 | 一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法 |
DE102020111959A1 (de) | 2020-05-04 | 2021-11-04 | MAX-PLANCK-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Verfahren und Messvorrichtung zur Untersuchung der Wasserstoffpermeabilität eines Untersuchungsgegenstands |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3855844A (en) * | 1973-11-15 | 1974-12-24 | Gen Motors Corp | Leak detection system for sealed beam headlamp units |
JP2005164525A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Sensistor Technologies Ab | 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法 |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2486199A (en) * | 1945-09-10 | 1949-10-25 | Univ Minnesota | Method and apparatus for determining leaks |
GB1214301A (en) * | 1967-11-09 | 1970-12-02 | Analytical Instr Ltd | Improvements in gas leak detectors |
US3888111A (en) * | 1973-11-21 | 1975-06-10 | Gen Motors Corp | Sealed beam headlamp unit leak detection system |
JPS58105032A (ja) * | 1981-12-18 | 1983-06-22 | Tokuda Seisakusho Ltd | ヘリウム質量分析型漏洩試験装置 |
US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
DE3865012D1 (de) * | 1988-06-01 | 1991-10-24 | Leybold Ag | Pumpsystem fuer ein lecksuchgeraet. |
DE3828588C1 (ja) * | 1988-08-23 | 1989-12-07 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh, 6980 Wertheim, De | |
US4898021A (en) * | 1988-11-30 | 1990-02-06 | Westinghouse Electric Corp. | Quantitative air inleakage detection system and method for turbine-condenser systems |
DE58906917D1 (de) * | 1989-12-15 | 1994-03-17 | Alcatel Hochvakuumtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung. |
US5168747A (en) * | 1990-11-26 | 1992-12-08 | Westinghouse Electric Corp. | System and method for locating leaks in steam turbine systems |
JPH0481033U (ja) * | 1990-11-28 | 1992-07-15 | ||
US5361626A (en) * | 1992-01-29 | 1994-11-08 | United States Surgical Corporation | Method and apparatus for detecting leaks in sealed packages |
JPH0674855A (ja) * | 1992-07-08 | 1994-03-18 | Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk | 真空漏洩検出方法、および同装置 |
DE4228148A1 (de) * | 1992-08-25 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Vakuum-Lecksuchgerät für die Testgaslecksuche mit leichten Gasen |
US5447055A (en) * | 1993-02-09 | 1995-09-05 | Tracer Research Corporation | Automated leak detection apparatus and method |
JPH07103843A (ja) * | 1993-10-05 | 1995-04-21 | Hitachi Bill Shisetsu Eng Kk | 真空漏洩検出方法および同装置 |
US5553483A (en) * | 1995-08-15 | 1996-09-10 | Pilot Industries, Inc. | Leak detection system |
US5703281A (en) * | 1996-05-08 | 1997-12-30 | Southeastern Univ. Research Assn. | Ultra high vacuum pumping system and high sensitivity helium leak detector |
DE19638506A1 (de) * | 1996-09-20 | 1998-03-26 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher |
DE19960174A1 (de) * | 1999-12-14 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Lecksuche und Lecklokalisierung sowie zur Durchführung dieser Verfahren geeignete Vorrichtungen |
DE10110987B4 (de) * | 2001-03-07 | 2005-09-22 | Wöhler Meßgeräte Kehrgeräte GmbH | Verfahren für die Bestimmung einer Leckrate |
US6450012B1 (en) * | 2001-04-30 | 2002-09-17 | Mocon, Inc. | Multi-port gas leakage measurement fixture |
DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
DE10302764A1 (de) * | 2003-01-24 | 2004-07-29 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpsystem |
JP4511543B2 (ja) | 2003-06-11 | 2010-07-28 | バリアン・インコーポレイテッド | 蓄積法による漏れ検出装置および方法 |
GB0322609D0 (en) * | 2003-09-26 | 2003-10-29 | Boc Group Plc | Detection of contaminants within pumped fluid |
ITRM20030451A1 (it) * | 2003-09-30 | 2005-04-01 | Xsemisys Di Fabio La Spina & C S N C | Metodo e dispositivo per la rivelazione e la |
US7448256B2 (en) * | 2003-12-05 | 2008-11-11 | Sensistor Technologies Ab | System and method for determining the leakproofness of an object |
US20050223799A1 (en) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Brian Murphy | System and method for motion capture and analysis |
DE102004034381A1 (de) | 2004-07-16 | 2006-02-16 | Inficon Gmbh | Gassensor und Verfahren zum Betreiben einer Getterpumpe |
DE102004045803A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Inficon Gmbh | Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung |
CN1755417A (zh) * | 2004-09-27 | 2006-04-05 | Idc公司 | 用于检测电子装置中的泄漏点的方法及系统 |
DE102004050762A1 (de) * | 2004-10-16 | 2006-04-20 | Inficon Gmbh | Verfahren zur Lecksuche |
US8297109B2 (en) * | 2010-04-09 | 2012-10-30 | Inficon Gmbh | Method for performing a leak test on a test object |
-
2007
- 2007-12-01 DE DE102007057944A patent/DE102007057944A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-11-27 CN CN201210250103.4A patent/CN102798505B/zh active Active
- 2008-11-27 CN CN2012102498027A patent/CN102818684A/zh active Pending
- 2008-11-27 US US12/744,776 patent/US8646315B2/en active Active
- 2008-11-27 WO PCT/EP2008/066346 patent/WO2009068614A1/de active Application Filing
- 2008-11-27 EP EP08855308.6A patent/EP2217902B1/de active Active
- 2008-11-27 EP EP17157133.4A patent/EP3206001A1/de not_active Withdrawn
- 2008-11-27 EP EP14150166.8A patent/EP2720023B1/de active Active
- 2008-11-27 JP JP2010535380A patent/JP2011505553A/ja active Pending
- 2008-11-27 CN CN2008801187395A patent/CN101883974B/zh active Active
-
2013
- 2013-10-02 US US14/044,117 patent/US20140096595A1/en not_active Abandoned
- 2013-12-05 JP JP2013252355A patent/JP6042317B2/ja active Active
-
2014
- 2014-11-12 JP JP2014229889A patent/JP6099617B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3855844A (en) * | 1973-11-15 | 1974-12-24 | Gen Motors Corp | Leak detection system for sealed beam headlamp units |
JP2005164525A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Sensistor Technologies Ab | 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160091933A (ko) * | 2013-11-29 | 2016-08-03 | 가즈트랑스포르 에 떼끄니가즈 | 밀봉되고 단열된 탱크의 모니터링 방법 |
JP2017508950A (ja) * | 2013-11-29 | 2017-03-30 | ギャズトランスポルト エ テクニギャズ | 封止断熱タンクの監視 |
KR102358359B1 (ko) * | 2013-11-29 | 2022-02-04 | 가즈트랑스포르 에 떼끄니가즈 | 밀봉되고 단열된 탱크의 모니터링 방법 |
CN107003204A (zh) * | 2014-12-03 | 2017-08-01 | 英福康有限公司 | 用箔室内运载气体进行无泄漏测试 |
JP2021525878A (ja) * | 2018-06-05 | 2021-09-27 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングInficon GmbH | ガスセンサを連結する連結装置 |
JP7431177B2 (ja) | 2018-06-05 | 2024-02-14 | インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ガスセンサを連結する連結装置 |
JP2022033540A (ja) * | 2020-08-17 | 2022-03-02 | 株式会社鷺宮製作所 | 温度式弁装置及び冷却装置並びに冷凍サイクルシステム |
JP7328945B2 (ja) | 2020-08-17 | 2023-08-17 | 株式会社鷺宮製作所 | 温度式弁装置及び冷却装置並びに冷凍サイクルシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100313634A1 (en) | 2010-12-16 |
CN101883974A (zh) | 2010-11-10 |
DE102007057944A1 (de) | 2009-06-04 |
EP2217902B1 (de) | 2017-02-22 |
EP2217902A1 (de) | 2010-08-18 |
EP3206001A1 (de) | 2017-08-16 |
EP2720023A2 (de) | 2014-04-16 |
JP2015052614A (ja) | 2015-03-19 |
CN102818684A (zh) | 2012-12-12 |
EP2720023B1 (de) | 2018-10-10 |
US20140096595A1 (en) | 2014-04-10 |
WO2009068614A1 (de) | 2009-06-04 |
EP2720023A3 (de) | 2017-03-29 |
US8646315B2 (en) | 2014-02-11 |
JP6099617B2 (ja) | 2017-03-22 |
CN102798505B (zh) | 2016-03-23 |
JP6042317B2 (ja) | 2016-12-14 |
JP2014059322A (ja) | 2014-04-03 |
CN101883974B (zh) | 2013-01-02 |
CN102798505A (zh) | 2012-11-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6099617B2 (ja) | 気密性を検査するための方法及び装置 | |
CN104541142B (zh) | 用于检查密封产品的泄漏的检测方法和设备 | |
CN110376272B (zh) | 气体分压的在线测量装置及其在线测量方法 | |
JP5575812B2 (ja) | 漏れ検出器を機能検査する方法 | |
US6196056B1 (en) | System for determining integrity of a gas-sealed compartment | |
US8806919B2 (en) | Leak detection apparatus and method | |
JP5337802B2 (ja) | 吸込み式漏れ検出器 | |
JPH06310091A (ja) | 大気圧イオン化質量分析計 | |
JP2011107034A (ja) | リークディテクタ | |
JP6878425B2 (ja) | 酸素を用いたリーク検知 | |
CN107179163A (zh) | 大型变压器密封元件的高速吸枪泄漏检测装置及检测方法 | |
CN116569015A (zh) | 用于识别测试对象中的气体泄漏的气体泄漏检测设备和气体泄漏检测方法 | |
JP2005164525A (ja) | 対象物の密封性を測定するためのシステム及び方法 | |
CN210293526U (zh) | 气体分压的在线测量装置 | |
JP7150013B2 (ja) | 漏洩個所から漏出する試験ガスを妨害ガスから区別する装置および方法 | |
US20240159616A1 (en) | Functionally testing a leak detection device for checking the sealing tightness of an inspection object filled with a liquid | |
JP6474291B2 (ja) | 化学発光式ガス検出装置および化学発光式ガス検出方法 | |
JP2002062212A (ja) | スニッファープローブ及びそれを用いた漏洩検査装置 | |
JPH1090104A (ja) | ヘリウムリークディテクター | |
KR20230159394A (ko) | 액체로 채워진 시편의 누출 검사용 누출 감지 장치의 기능 검사 | |
CN114324548A (zh) | 内部气氛含量测试装置及测试方法 | |
JP3385536B2 (ja) | ガス供給源 | |
JP2006118999A (ja) | ガス検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111003 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130708 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130813 |