CN110553802B - 一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法 - Google Patents

一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种用于大漏测量的检漏装置,包括气源、与气源通过气源管道连接的储气腔、与储气腔通过充气管道连接的真空腔、与储气腔连接的压力传感器,所述真空腔与充气管道连接的接口处设置充气阀门,储气腔与气源管道连接的接口处设置气源阀门。

Description

一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法
技术领域
本发明属于大漏测量技术领域,具体涉及一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法。
背景技术
对于自闭工件进行氦检漏的方法,通常采用压氦真空箱氦检漏,即将工件放入压氦腔内,向压氦腔充入设定压力的氦气,保持设定的时间,如果是有漏的工件,压氦腔内的氦气将通过有漏工件的漏孔(有漏部位)进入工件内部。没有漏的工件则不会有氦气漏入工件。完成设定的压氦时间后,将压氦腔内的氦气排除,然后将工件取出,用氮气吹扫工件表面,清除工件表面的浮氦,之后将工件放入真空检测腔,对检测腔抽真空,达到设定真空度后,接通氦质谱检漏仪,氦质谱检漏仪检测到氦元素后,根据设定的报警线,判定产品是否合格。这种检漏方式可以对非预充氦气自闭体工件进行高精度的真空箱氦泄漏检测,但是如果工件上的漏孔很大时,工件在压氦完成后,压氦腔排氦、吹扫工件表面浮氦、放入检测腔后对检测腔抽真空以及工件在整个工艺流动过程中,压入的氦气会大量的溢散,甚至散完。导致检测结果偏差巨大,甚至出现有漏品判定为合格品的重大质量问题。因此在压氦真空箱氦检漏之前,对自闭体工件进行大漏泄漏检测是非常重要和必要的一个关键工艺。
发明内容
基于以上问题,本发明的目的在于提供一种用于大漏测量的检漏装置及检漏方法。
为了实现以上目的,本发明采用的技术方案为:一种用于大漏测量的检漏装置,包括气源、与气源通过气源管道连接的储气腔、与储气腔通过充气管道连接的真空腔、与储气腔连接的压力传感器,所述真空腔与充气管道连接的接口处设置充气阀门,储气腔与气源管道连接的接口处设置气源阀门。
将上述检漏装置用于进行工件检漏的方法,包括以下步骤:
步骤1、将待检漏产品置于真空腔内,将真空腔抽真空并密封,使充气阀门与气源阀门处于关闭状态;
步骤2、打开气源阀门,通过气源向储气腔充压缩气体至压力传感器显示储气腔内达到设定压力,关闭气源阀门,打开充气阀门,储气腔内的压缩气体通过充气管道进入真空腔,待真空腔与储气腔内的压力平衡后通过压力传感器检测储气腔内压力;通过压力平衡后压力传感器上显示的值判断工件是否产生大漏;具体判断原理为:
设定储气腔容积为V、真空腔容积为V1、待检漏产品容积为V2,储气腔充气后压力为P;若产品无大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力理论值为P1:
P1=PV/(V+V1-V2)
若产品有大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力实际值为P2:
P2=PV/(V+V1)
判定标准为:当P2=P1时,工件产品为非大漏品,当P2<P1时,工件产品为大漏品。
在上述检漏方法中,设备实际控制体现为P2<(P1-FS*0.2%)*\U+3b2时为大漏品。FS为传感器量程,\U+3b2为安全系数(安全系数主要影响因素为:温度、湿度、产品一致性误差等)。
优化的,若干真空腔分别通过若干充气管道与储气腔连接,检测时,对每个与储气腔连接的真空腔内的产品依次进行步骤2的操作即可。
优化的,若干储气腔分别通过气源管道与气源连接。
本发明的有益效果为:
本发明提供的用于大漏测量的检漏装置及检漏方法,对储气腔充气后打开充气阀门,通过记录压力传感器的数值变化量即可快速判断产品是否存在大漏,这样检漏速度快,检测结果准确,采用任何气体介质作为气源皆可,因为是通过气压判断检漏结果,因此一次检漏后可立刻更换产品进行检漏,本装置结构简单,检漏速度快,检漏结果准确。
附图说明
图1为本发明提供的用于大漏测量的检漏装置示意图;
其中,1为气源,2为储气腔,3为真空腔,4为压力传感器,5为充气阀门,6为气源阀门,7为工件。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详细的说明。
实施例
如图1所示,本实施例提供一种用于大漏测量的检漏装置,包括气源1、与气源1通过气源管道连接的储气腔2、与储气腔2通过充气管道连接的真空腔3、与储气腔2连接的压力传感器4,真空腔3与充气管道连接的接口处设置充气阀门5,储气腔2与气源管道连接的接口处设置气源阀门6;
其中,若干真空腔3分别通过若干充气管道与储气腔2连接,若干储气腔2分别通过气源管道与气源1连接。
本实施例提供的检漏装置进行检漏的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、将待检漏产品分别置于真空腔3内,将真空腔3抽真空并密封,使充气阀门5与气源阀门6处于关闭状态;
步骤2、打开气源阀门6,通过气源1向储气腔2充压缩气体至压力传感器4显示储气腔2内达到设定压力,关闭气源阀门6,打开充气阀门5,储气腔2内的压缩气体通过充气管道进入真空腔3,待真空腔3与储气腔2内的压力平衡后通过压力传感器4检测储气腔2内压力;通过压力平衡后压力传感器4上显示的值判断工件7是否产生大漏;具体判断原理为:
设定储气腔2容积为V、真空腔3容积为V1、待检漏产品容积为V2,储气腔2充气后压力为P;若产品无大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔2内气体压力理论值为P1:
P1=PV/(V+V1-V2)
若产品有大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔2内气体压力实际值为P2:
P2=PV/(V+V1)
判定标准为:当P2=P1时产品为非大漏品,当P2<P1时为大漏品。
步骤3、对每个与储气腔2连接的真空腔3内的产品依次进行步骤2的操作。
本发明的上述实施例仅仅是为说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化和变动。这里无法对所有的实施方式予以穷举。凡是属于本发明的技术方案所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。

Claims (3)

1.一种用于大漏测量的检漏装置,其特征在于,包括气源、与气源通过气源管道连接的储气腔、与储气腔通过充气管道连接的真空腔、与储气腔连接的压力传感器,所述真空腔与充气管道连接的接口处设置充气阀门,储气腔与气源管道连接的接口处设置气源阀门;
利用权利上述检漏装置进行检漏的方法,包括以下步骤:
步骤1、将待检漏产品置于真空腔内,将真空腔抽真空并密封,使充气阀门与气源阀门处于关闭状态;
步骤2、打开气源阀门,通过气源向储气腔充压缩气体至压力传感器显示储气腔内达到设定压力,关闭气源阀门,打开充气阀门,储气腔内的压缩气体通过充气管道进入真空腔,待真空腔与储气腔内的压力平衡后通过压力传感器检测储气腔内压力;通过压力平衡后压力传感器上显示的值判断工件是否产生大漏;具体判断原理为:
设定储气腔容积为V、真空腔容积为V1、待检漏产品容积为V2,储气腔充气后压力为P;若产品无大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力理论值为P1:
P1=PV/(V+V1-V2)
若产品有大漏,则步骤2中压力平衡后储气腔内气体压力实际值为P2:
P2=PV/(V+V1)
判定标准为:当P2=P1时产品为非大漏品,当P2<P1时为大漏品。
2.根据权利要求1所述的用于大漏测量的检漏装置,其特征在于,若干真空腔分别通过若干充气管道与储气腔连接,对每个与储气腔连接的真空腔内的产品依次进行步骤2的操作。
3.根据权利要求1或2所述的用于大漏测量的检漏装置,其特征在于,若干储气腔分别通过气源管道与气源连接。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111929012A (zh) * 2020-07-03 2020-11-13 安徽皖仪科技股份有限公司 一种软包装气密性检测系统及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3430979B2 (ja) * 1999-07-23 2003-07-28 ヤマハ株式会社 漏洩試験方法および漏洩試験装置
CN101883974A (zh) * 2007-12-01 2010-11-10 因菲康有限公司 用于检测密封性的方法和装置
RU2426084C1 (ru) * 2010-07-09 2011-08-10 Открытое Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт "Гермес" Устройство для создания эталонных потоков пробных газов и способ определения эталонного потока пробного газа
CN106768700A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 广州市先河技术工程有限公司 一种电容器气密性检测方法
CN108844690A (zh) * 2018-07-12 2018-11-20 上海航天设备制造总厂有限公司 一种减压器漏率测试系统及方法
CN208860538U (zh) * 2018-09-27 2019-05-14 宁德新能源科技有限公司 检测电池的装置
CN209214867U (zh) * 2018-12-29 2019-08-06 天津市澳玛科技开发有限公司 一种罐头真空度在线检测装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN204228359U (zh) * 2014-11-17 2015-03-25 上海欣影电力科技股份有限公司 一种气循环检漏装置
CN107543664A (zh) * 2016-11-02 2018-01-05 北京卫星环境工程研究所 多密封系统漏率测量方法和装置
CN206974630U (zh) * 2017-04-17 2018-02-06 江苏海森电气科技有限公司 丝管冷凝器气密性自动检测系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3430979B2 (ja) * 1999-07-23 2003-07-28 ヤマハ株式会社 漏洩試験方法および漏洩試験装置
CN101883974A (zh) * 2007-12-01 2010-11-10 因菲康有限公司 用于检测密封性的方法和装置
RU2426084C1 (ru) * 2010-07-09 2011-08-10 Открытое Акционерное Общество "Научно-Исследовательский Институт "Гермес" Устройство для создания эталонных потоков пробных газов и способ определения эталонного потока пробного газа
CN106768700A (zh) * 2016-12-06 2017-05-31 广州市先河技术工程有限公司 一种电容器气密性检测方法
CN108844690A (zh) * 2018-07-12 2018-11-20 上海航天设备制造总厂有限公司 一种减压器漏率测试系统及方法
CN208860538U (zh) * 2018-09-27 2019-05-14 宁德新能源科技有限公司 检测电池的装置
CN209214867U (zh) * 2018-12-29 2019-08-06 天津市澳玛科技开发有限公司 一种罐头真空度在线检测装置

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
真空的基础知识;胡志强;《环境与可靠性试验应用技术》;20160831;全文 *

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