JP2011258392A - 防爆構造誘導加熱装置 - Google Patents
防爆構造誘導加熱装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011258392A JP2011258392A JP2010131496A JP2010131496A JP2011258392A JP 2011258392 A JP2011258392 A JP 2011258392A JP 2010131496 A JP2010131496 A JP 2010131496A JP 2010131496 A JP2010131496 A JP 2010131496A JP 2011258392 A JP2011258392 A JP 2011258392A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- induction heating
- explosion
- reaction kettle
- gas
- proof
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- General Induction Heating (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】反応釜2と、反応釜を加熱するための誘導加熱モジュール3と、防爆装置4と、を備え、誘導加熱モジュールは、冷却用気体9を流通可能な金属管を反応釜の外周に取り巻いてコイル状に形成した誘導加熱コイル10を具備し、金属管にガラス繊維チューブ11を被せ、さらに耐熱材(耐熱セメント12)によりモールドして形成した。
【選択図】図1
Description
請求項2に記載の発明は、請求項1記載において、前記防爆装置は、前記反応釜の少なくとも前記誘導加熱モジュールが設けられた部分を収容する密閉ケースと、前記密閉ケースの外部から前記誘導加熱コイルの一方の開口端に前記冷却用気体を導入する気体導入路と、前記誘導加熱コイルの他方の開口端から前記冷却用気体を前記密閉ケース内に放出する気体放出口と、前記冷却用気体を前記密閉ケースの外部に排出するための気体排出弁と、を備え、空気又は不活性ガスを前記気体導入路に常時供給して前記誘導加熱コイルを冷却すると共に、前記密閉ケース内を外気圧よりも高い所定の気圧に保つことを要旨とする。
請求項3に記載の発明は、請求項2記載において、前記誘導加熱モジュールは複数であり、前記気体導入路は複数の前記誘導加熱モジュールに分岐して並列して接続され、それぞれの前記誘導加熱モジュールの前記気体放出口から前記密閉ケース内に前記冷却用気体が排出されることを要旨とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれか一項記載において、前記誘導加熱モジュールは複数であると共に、前記誘導加熱モジュールごとに別個に接続されたインバータを備えることを要旨とする。
請求項5に記載の発明は、請求項1乃至4のいずれか一項記載において、前記耐熱材は耐熱セメントであることを要旨とする。
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至5のいずれか一項記載において、前記反応釜の上下方向中央部より上側の外周面に温度センサを備えることを要旨とする。
また、誘導加熱コイルにはガラス繊維チューブが被せられているので、加熱時に誘導加熱コイルが熱により伸長及び拡径しても、ガラス繊維チューブが誘導加熱コイルと耐熱材との間の緩衝材及び滑り材として機能して、耐熱材の破損を防止することができ、誘導加熱コイルの露出を防止し電気的絶縁性の低下を防ぐことができる。更に、万が一、耐熱材に亀裂が入った場合でも、誘導加熱コイルの表面はガラス繊維チューブで被覆されており露出を防止することができる。
そして、請求項2に記載の発明によると、防爆装置において空気又は不活性ガスを気体導入路に常時供給して誘導加熱コイルを冷却するので、反応釜を冷却することなく誘導加熱コイルのみを冷却することができる。しかも、密閉ケース内を外気圧よりもやや高い所定の気圧に保っているので、例えば他の場所から漏れてきた可燃性ガスが密閉ケース内に入り込むことを防止し、誘導加熱モジュール及び反応釜の高温部と可燃性ガスとの接触を防止して防爆性能を保持することができる。更に、誘導加熱コイルを冷却した後の気体を利用して密閉ケース内を正圧にしているので、気体の供給設備を簡素化することができる。
また、請求項3に記載の発明によると、複数の誘導加熱モジュールを備えているので、誘導加熱モジュールごとに加熱の程度を異ならせて制御することができる。このため、例えば、反応釜の液量が多い時は全ての誘導加熱モジュールを作動させるようにし、また液量が少ない時は下の方の誘導加熱モジュールのみを作動させるようにして過熱防止と省エネルギ化を図り、液量に応じて無駄無く局所加熱制御するようにできる。更に、気体導入路が複数の誘導加熱モジュールに分岐して並列して接続されているので、各誘導加熱コイルに供給される冷却用空気の温度を均一化することができる。このため、全ての誘導加熱コイルを均等に温度制御することができる。
そして、請求項4に記載の発明によると、複数の誘導加熱モジュールごとに別個に接続されたインバータを備えているので、それぞれのインバータにより誘導加熱モジュールごとの制御を実現できるので、反応釜の高さ方向において異なる温度の制御をすることができる。
また、請求項5に記載の発明によると、耐熱材が耐熱セメントであるので、誘導加熱コイルの固定力及び絶縁性を更に高めることができる。
また、請求項6に記載の発明によると、反応釜の上下方向中央部より上側の外周面に温度センサを備えているので、制御異常による過昇温だけでなく、空焚きによる過昇温も検知することができる。
本実施例に防爆構造誘導加熱装置1は、図1に示すように、反応釜2と、該反応釜2を加熱するための誘導加熱モジュール3と、防爆装置4と、を備えたものである。
次に、上記構成の防爆構造誘導加熱装置1の作用について説明する。
本実施例の防爆構造誘導加熱装置1によれば、誘導加熱モジュール3は、誘導加熱コイル10を耐熱セメント12によりモールドして形成されているので、誘導加熱コイル10の固定力を高めることができる。このため、従来のように誘導加熱コイル10の固定力が弱い場合に比べて、加熱時に誘導加熱コイル10が熱膨張により伸張及び拡径しても誘導加熱コイル10の変形を抑えて加熱力の変化を防止することができる。また、耐熱セメント12及び固定用耐熱セメント24が反応釜2の周囲を取り囲むので、反応釜2の保温断熱を図ることができる。更に、誘導加熱コイル10を耐熱セメント12でモールドすることで、誘導加熱コイル10の絶縁性を高めることができる。
Claims (6)
- 反応釜と、該反応釜を加熱するための誘導加熱モジュールと、防爆装置と、を備え、
前記誘導加熱モジュールは、冷却用気体が流通可能な金属管を前記反応釜の外周に取り巻いてコイル状に形成した誘導加熱コイルを具備し、該金属管にガラス繊維チューブを被せ、さらに耐熱材によりモールドして形成されたことを特徴とする防爆構造誘導加熱装置。 - 前記防爆装置は、
前記反応釜の少なくとも前記誘導加熱モジュールが設けられた部分を収容する密閉ケースと、
前記密閉ケースの外部から前記誘導加熱コイルの一方の開口端に前記冷却用気体を導入する気体導入路と、
前記誘導加熱コイルの他方の開口端から前記冷却用気体を前記密閉ケース内に放出する気体放出口と、
前記冷却用気体を前記密閉ケースの外部に排出するための気体排出弁と、
を備え、
空気又は不活性ガスを前記気体導入路に常時供給して前記誘導加熱コイルを冷却すると共に、前記密閉ケース内を外気圧よりも高い所定の気圧に保つ請求項1記載の防爆構造誘導加熱装置。 - 前記誘導加熱モジュールは複数であり、
前記気体導入路は複数の前記誘導加熱モジュールに分岐して並列して接続され、それぞれの前記誘導加熱モジュールの前記気体放出口から前記密閉ケース内に前記冷却用気体が排出される請求項2記載の防爆構造誘導加熱装置。 - 前記誘導加熱モジュールは複数であると共に、前記誘導加熱モジュールごとに別個に接続されたインバータを備える請求項1乃至3のいずれか一項に記載の防爆構造誘導加熱装置。
- 前記耐熱材は耐熱セメントである請求項1乃至4のいずれか一項に記載の防爆構造誘導加熱装置。
- 前記反応釜の上下方向中央部より上側の外周面に温度センサを備える請求項1乃至5のいずれか一項に記載の防爆構造誘導加熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010131496A JP5634756B2 (ja) | 2010-06-08 | 2010-06-08 | 防爆構造誘導加熱装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010131496A JP5634756B2 (ja) | 2010-06-08 | 2010-06-08 | 防爆構造誘導加熱装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011258392A true JP2011258392A (ja) | 2011-12-22 |
JP5634756B2 JP5634756B2 (ja) | 2014-12-03 |
Family
ID=45474355
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010131496A Active JP5634756B2 (ja) | 2010-06-08 | 2010-06-08 | 防爆構造誘導加熱装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5634756B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160126673A (ko) * | 2015-04-24 | 2016-11-02 | 현대중공업 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
KR20160126671A (ko) * | 2015-04-24 | 2016-11-02 | 현대중공업 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
CN107814479A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-03-20 | 深圳市拓野机器人自动化有限公司 | 一种3d玻璃热弯加工装置 |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63118430A (ja) * | 1986-11-05 | 1988-05-23 | 清水建設株式会社 | 鉄筋コンクリ−ト構造物 |
JPH0189850U (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-13 | ||
JPH0436799U (ja) * | 1990-07-25 | 1992-03-27 | ||
JPH0554961A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Toyota Motor Corp | 電気式溶解炉のための温度制御装置 |
JPH06504401A (ja) * | 1990-12-22 | 1994-05-19 | シユミツト、エドウイン | 低温冷却可能な中空電気導体とその用途 |
JPH08261656A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Chubu Electric Power Co Inc | 浮揚溶解装置 |
JPH09120884A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-05-06 | Didier Werke Ag | 誘導コイルを動作させる方法及びこの方法を実施する誘導コイル |
JPH11269538A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Kitashiba Electric Co Ltd | 誘導加熱装置 |
JP2001330201A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-11-30 | Hisaka Works Ltd | ピュアスチーム発生装置 |
JP2002160052A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Shinei Diecast Kogyo Kk | 溶解保持炉 |
JP2004217472A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
JP2004311391A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁調理器 |
JP2008120672A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-05-29 | Mitsubishi Chemicals Corp | 窒化物半導体の製造方法、結晶成長速度増加剤、窒化物単結晶、ウエハ及びデバイス |
JP2009119314A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Sanetsu:Kk | 誘導加熱反応容器および高温高圧処理装置 |
-
2010
- 2010-06-08 JP JP2010131496A patent/JP5634756B2/ja active Active
Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63118430A (ja) * | 1986-11-05 | 1988-05-23 | 清水建設株式会社 | 鉄筋コンクリ−ト構造物 |
JPH0189850U (ja) * | 1987-12-01 | 1989-06-13 | ||
JPH0436799U (ja) * | 1990-07-25 | 1992-03-27 | ||
JPH06504401A (ja) * | 1990-12-22 | 1994-05-19 | シユミツト、エドウイン | 低温冷却可能な中空電気導体とその用途 |
JPH0554961A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-03-05 | Toyota Motor Corp | 電気式溶解炉のための温度制御装置 |
JPH08261656A (ja) * | 1995-03-20 | 1996-10-11 | Chubu Electric Power Co Inc | 浮揚溶解装置 |
JPH09120884A (ja) * | 1995-08-28 | 1997-05-06 | Didier Werke Ag | 誘導コイルを動作させる方法及びこの方法を実施する誘導コイル |
JPH11269538A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Kitashiba Electric Co Ltd | 誘導加熱装置 |
JP2001330201A (ja) * | 2000-05-25 | 2001-11-30 | Hisaka Works Ltd | ピュアスチーム発生装置 |
JP2002160052A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-06-04 | Shinei Diecast Kogyo Kk | 溶解保持炉 |
JP2004217472A (ja) * | 2003-01-15 | 2004-08-05 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ガラス母材の製造方法及び製造装置 |
JP2004311391A (ja) * | 2003-03-25 | 2004-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁調理器 |
JP2008120672A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-05-29 | Mitsubishi Chemicals Corp | 窒化物半導体の製造方法、結晶成長速度増加剤、窒化物単結晶、ウエハ及びデバイス |
JP2009119314A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Sanetsu:Kk | 誘導加熱反応容器および高温高圧処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160126673A (ko) * | 2015-04-24 | 2016-11-02 | 현대중공업 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
KR20160126671A (ko) * | 2015-04-24 | 2016-11-02 | 현대중공업 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
KR102216419B1 (ko) | 2015-04-24 | 2021-02-16 | 한국조선해양 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
KR102268408B1 (ko) | 2015-04-24 | 2021-06-22 | 한국조선해양 주식회사 | 인클로저 가압을 통한 방폭구조를 가지는 반응기 및 그것들을 사용한 다단 방폭형 처리장치 |
CN107814479A (zh) * | 2017-12-01 | 2018-03-20 | 深圳市拓野机器人自动化有限公司 | 一种3d玻璃热弯加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5634756B2 (ja) | 2014-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI497023B (zh) | 立式熱處理設備及此設備之冷卻方法 | |
TWI495836B (zh) | 立式熱處理設備、及壓力檢測系統與溫度感測器之組合體 | |
KR101585287B1 (ko) | 열처리 장치 및 그 제어 방법 | |
TWI570378B (zh) | 熱處理爐及熱處理設備 | |
JP5634756B2 (ja) | 防爆構造誘導加熱装置 | |
JP4607678B2 (ja) | 熱処理装置、ヒータ及びヒータの製造方法 | |
KR101503570B1 (ko) | 열처리 장치 및 열처리 장치의 온도 측정 방법 | |
CN103773923B (zh) | 用于热处理的快速升降温炉体 | |
JP5877920B1 (ja) | 急速昇降温熱処理炉 | |
JP2010171206A (ja) | 加熱処理装置 | |
JP2010171206A5 (ja) | ||
JP5568387B2 (ja) | 加熱装置及び基板処理方法並びに基板処理装置 | |
JP2009033115A (ja) | 加熱装置及びこれを用いた基板処理装置並びに半導体装置の製造方法並びに絶縁体 | |
CN102878796B (zh) | 一种热处理pan基碳毡的井式高温电阻炉 | |
CN202973555U (zh) | 辐射式电加热器 | |
KR101103978B1 (ko) | 고온 고압 기체 가열기 | |
CN111020703A (zh) | 高温真空炉及半导体加工设备 | |
JP5497860B2 (ja) | 熱処理炉及び熱処理炉用支持体 | |
KR101383065B1 (ko) | 선박용 화물유 가열 시스템 | |
KR20150044010A (ko) | 선박용 화물유 가열 시스템 | |
RU161350U1 (ru) | Корпус реактора твердотельной поликонденсации | |
JP2000055461A (ja) | 流体加熱装置およびそれを用いた基板処理装置 | |
JP2002299246A (ja) | 熱処理装置用ヒータの固定方法及び熱処理装置 | |
CN110836607A (zh) | 一种智能控温快速冷却的工业炉 | |
JP2011023565A (ja) | 拡散炉 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120927 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130508 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140430 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20140617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140930 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5634756 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |