JP2011250225A5

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Info

Publication number: JP2011250225A5
Application number: JP2010122288A
Authority: JP
Filing date: 2010-05-28
Publication date: 2012-04-19
Anticipated expiration: 2030-05-28

Description

（ａ）は、第１圧電デバイス１００の平面図である。（ｂ）は、（ａ）に示した第１圧電デバイス１００のＡ−Ａ’断面図である。（ａ）は、音叉型の第１水晶振動片５０の電極非形成部２９ａの説明図である。（ｂ）は、パッケージの底面ＢＴに形成された第１金属膜５６の大きさを示す説明図である。圧電デバイス１００の周波数調整の工程を説明するフローチャートである。（ａ）は、パッケージの底面ＢＴに形成された第１金属膜５６に照射されるレーザ光の照射スポットＩＳを示す図である。（ｂ）は、第２金属膜２８ａに照射される照射スポットＩＳを示す図である。（ａ）は、第２圧電デバイス１１０の平面図である。（ｂ）は、（ａ）に示した第２圧電デバイス１１０のＢ−Ｂ’断面図である。（ａ）は、パッケージの底面ＢＴに形成された第１金属膜５７に照射される照射スポットＩＳを示す図である。（ｂ）は、第２金属膜２８ｂに照射される照射スポットＩＳを示す図である。（ａ）は、第３圧電デバイス１２０の平面図である。（ｂ）は、（ａ）に示した第３圧電デバイス１２０のＣ−Ｃ’断面図である。（ａ）は、パッケージの底面ＢＴに形成された第１金属膜５８に照射される照射スポットＩＳを示す図である。（ｂ）は、第２金属膜２８ｃに照射される照射スポットＩＳを示す図である。（ａ）は、音叉型の第４水晶振動片７０の平面図である。（ｂ）は、音叉型の第５水晶振動片８０の平面図である。（ｃ）は、音叉型の第６水晶振動片９０の平面図である。（ａ）は、第４圧電デバイス１３０の平面図である。（ｂ）は、（ａ）に示した第４圧電デバイス１３０のＤ−Ｄ’断面図である。（ａ）は、第５圧電デバイス１４０の構成を示す斜視図である。（ｂ）は、（ａ）に示した第５圧電デバイス１４０のＥ−Ｅ’断面図である。

図２（ａ）に示されるように、音叉型の第１水晶振動片５０の振動腕２１の長さＬ１は、例えば１．００ｍｍ〜１．５０ｍｍで形成される。また振動腕２１の幅Ｗ１は、例えば８０μｍ〜１００μｍで形成される。振動腕２１はその途中から幅Ｗ１よりも幅の広い幅Ｗ３となり、振動腕幅広部２６が形成される。幅Ｗ３は幅Ｗ１の１１０％〜１３０％程度である。振動腕幅広部２６の長さＬ２は、長さＬ１の１０％〜３０％である。

Claims

前記パッケージは、前記音叉型の圧電振動片に対向する底面を有するベースと、前記音叉型の圧電振動片に対向する天井面を有し前記パッケージを封止する透明なリッドとを有し、
前記ベースの前記底面に前記第１金属膜が形成されている請求項１に記載の圧電デバイス。
前記パッケージは、前記音叉型の圧電振動片に対向する底面を有する透明なベースと、前記音叉型の圧電振動片に対向する天井面を有し前記パッケージを封止するリッドとを有し、
前記リッドの前記天井面に前記第１金属膜が形成されている請求項１に記載の圧電デバイス。