JP2011248971A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化、低電圧・低電力化ならびに高速化が可能なセンスアンプを提供する。
【解決手段】増幅作用をする交差結合された第1のMOSトランジスタと第2のMOSトランジスタのそれぞれのソースに直列に第3のMOSトランジスタと第4のMOSトランジスタを接続し、第3及び第4のMOSトランジスタの電流供給能力を第3及び第4のMOSトランジスタの制御電極に与える制御電圧で制御する。データ保持期間において、制御電圧により第3及び第4のMOSトランジスタに、データ保持に必要な最小限のサブスレッショルド電流を流し、ビット線電位を保持する。
【選択図】図1
【解決手段】増幅作用をする交差結合された第1のMOSトランジスタと第2のMOSトランジスタのそれぞれのソースに直列に第3のMOSトランジスタと第4のMOSトランジスタを接続し、第3及び第4のMOSトランジスタの電流供給能力を第3及び第4のMOSトランジスタの制御電極に与える制御電圧で制御する。データ保持期間において、制御電圧により第3及び第4のMOSトランジスタに、データ保持に必要な最小限のサブスレッショルド電流を流し、ビット線電位を保持する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。より具体的には、本発明は、半導体記憶装置に使われるセンスアンプ回路に関する。
MOSトランジスタのしきい電圧VTのばらつきは、微細化とともに増大するので、チップ内のMOSトランジスタの動作速度が益々ばらつくようになる。この速度ばらつきは、その動作電圧VDDが低下するほど顕著になる。しきい電圧VTばらつきの増大は、ダイナミック・ランダム・アクセスメモリ(以下、DRAM)などに使われるセンスアンプのオフセット電圧も増加させ、センス動作を不安定にする。ここで、オフセット電圧とは、信号の増幅動作を行う交差結合された2個のMOSトランジスタのしきい電圧VTの差である。また、センスアンプは、増幅動作の初期にはVDD/2という低電圧で動作するので、しきい電圧VTばらつきの増大とともに高速動作がますます困難になる。このオフセット電圧は、MOSトランジスタのチャンネル内の不純物を減らすことで低減することが知られている。また、不純物を低減することによりMOSトランジスタのしきい電圧VTが小さくなるので、低電圧でもMOSを高速に動作させることができる。この結果、センスアンプも低電圧のもとでも高速に動作させることができる。しかし、しきい電圧VTが小さくなるとサブスレショルド電流が増加するため、データ保持時の電力が増加するという問題がある。本明細書では、サブスレショルド電流とリーク電流を同じ意味で使用している。
オフセット電圧低減、高速センス動作、低電力データ保持を同時に実現するセンスアンプSAの例が、特許文献1に記載されている。特許文献1に記載のSAならびにその関連回路を図27に示す。SA116は、4個のNMOSトランジスタ(Q1、Q2、Q3、Q4)からなるNMOSアンプ(NSA119)、2個の交差結合されたNMOSトランジスタ(Q7、Q8)からなるNMOSラッチ(NL118、一種の交差結合型アンプ)と、2個の交差結合されたPMOSトランジスタ(Q5、Q6)からなるPMOSアンプ(PSA117)で構成されている。NSA119は、交差結合されたQ1とQ2のそれぞれのドレインにはQ3とQ4が接続されている。このSA116の特長は、Q1とQ2のしきい電圧VTが他よりも小さく設定されていることにある。前述したように、しきい電圧VTの小さなMOSはオフセット電圧が小さいので、NSA119でセンス動作を行うことにより、低電圧でも安定かつ高速なセンス動作が可能になる。データ保持時は、NSA119は非活性とし、NL118でデータ保持をすることにより、データ保持電力の低減を可能にする。
以下の分析は、本発明により与えられる。
しかしながら、特許文献1に記載のセンスアンプSA116は、これまで伝統的に使われてきたNL118とPSA117から成るSAに比べて、付加したNSA119の分だけセンスアンプ全体の面積が大きくなるという問題がある。また、付加した分だけビット線長が長くなるので、ビット線の寄生容量が増加し信号量が減少するという課題がある。
本発明の第1の側面による半導体装置は、複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルに接続されたビット線対と、前記ビット線対に接続されたセンスアンプ回路であって、前記センスアンプ回路は、制御電極が前記ビット線対の一方に接続された第1のトランジスタと、制御電極が前記ビット線対の他方に接続された第2のトランジスタと、前記第1のトランジスタに直列に接続された第3のトランジスタと、前記第2のトランジスタに直列に接続された第4のトランジスタと、第3及び第4のトランジスタの制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、前記制御回路部は、前記センスアンプ回路が前記ビット線対の電位差を増幅する第1の期間において、第3及び第4のトランジスタが第1の電流供給能力を有するように制御電圧を制御し、ビット線対間の電位差を保持する第2の期間において、第3及び第4のトランジスタが導通し、かつ、前記第1の電流供給能力と異なる第2の電流供給能力を有するように前記制御電圧を制御する。
本発明の第2の側面による半導体装置は、複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルに接続されたビット線対と、前記ビット線対に接続されたセンスアンプ回路であって、前記センスアンプ回路は、制御電極が前記ビット線対の一方に接続された第1のトランジスタと、制御電極が前記ビット線対の他方に接続された第2のトランジスタと、前記第1のトランジスタに直列に接続された第3のトランジスタと、前記第2のトランジスタに直列に接続された第4のトランジスタと、第3及び第4のトランジスタの制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、前記制御回路部は、第1の期間において、前記センスアンプ回路が前記ビット線対の電位差を増幅するように、前記制御回路部の制御電圧を制御し、増幅した前記ビット線対の電位差を保持する第2の期間において、前記制御回路部の制御電圧により、第3及び第4のトランジスタのサブスレショルド電流を制御して、前記ビット線対の電位差を復元可能な電位差以上になるようにする。
本発明によれば、センスアンプの面積を小さくし、動作が安定した半導体装置を提供することができるという効果が得られる。その理由は、第2の期間において、ビット線対間の電位差を保持するのに、従来は、NMOSラッチ(NL)を使用していたが、本発明では、第1、第2、第3、及び第4のトランジスタで構成されるNMOSアンプ(NSA)を用いて、第2の期間での低リーク電流データ保持が可能なように、第3及び第4の制御電極の制御電圧を制御するようにしたから、NMOSラッチ(NL)をなくすことができるようになり、センスアンプの面積を小さくすることが可能になったからである。また、センスアンプの面積が小さくなったことで、ビット線長を短くすることができ、ビット線の寄生容量が減少して信号量が増加し、安定した動作が可能になった。
本発明の実施形態について、必要に応じて図面を参照して説明する。なお、実施形態の説明において引用する図面及び図面の符号は実施形態の一例として示すものであり、それにより本発明による実施形態のバリエーションを制限するものではない。本発明の実施形態を、図1、図2を必要に応じて参照して説明する。
本発明の第1の側面による半導体装置は、図1、図2に示すように、複数のメモリセルと、前記複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルMCに接続されたビット線対BLT、BLBと、ビット線対に接続されたセンスアンプ回路SA8であって、センスアンプ回路SA8は、制御電極がビット線対の一方BLBに接続された第1のトランジスタ16と、制御電極がビット線対の他方BLTに接続された第2のトランジスタ17と、第1のトランジスタ16に直列に接続された第3のトランジスタ18と、第2のトランジスタ17に直列に接続された第4のトランジスタ19と、第3及び第4のトランジスタ18、19の制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、制御回路部は、センスアンプ回路SA8がビット線対BLT、BLBの電位差を増幅する第1の期間において、第3及び第4のトランジスタ18、19が第1の電流供給能力を有するように制御電圧SAN1を制御し、ビット線対間の電位差を保持する第2の期間において、第3及び第4のトランジスタ18、19が導通し、かつ、第1の電流供給能力と異なる第2の電流供給能力を有するように制御電圧SAN1を制御する。
本発明の第1の側面による半導体装置において、図1の第1、第2、第3、及び第4のトランジスタからなるNMOSアンプNSA10で、第1の期間で増幅を行う。増幅時には、第3のトランジスタ18、第4のトランジスタ19はオンする必要があり、制御回路部が、第3、第4のトランジスタのゲートに供給する制御電圧SAN1はVDDである。その後、第2の期間においては、リーク電流を少なく抑えるため、制御電圧SAN1をVHに落としている。すなわち、第2の電流供給能力を第1の電流供給能力より低くすることで、リーク電流を抑えている。但し、低くするレベルは、データ保持が可能なレベルまでにしている。また、従来技術では、データ保持をするのに、NMOSラッチ(NL118)を用いていたが、本実施形態では、NMOSアンプNSA10を用いて、代替できるようになったため、NMOSラッチ(NL118)を無しの構成にすることが可能となり、センスアンプSA8を小面積化することが可能になった。
本発明の第2の側面による半導体装置は、図1、図2に示すように、複数のメモリセルと、複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルMCに接続されたビット線対BLT、BLB、ビット線対に接続されたセンスアンプ回路SA8であって、センスアンプ回路SA8は、制御電極がビット線対の一方BLBに接続された第1のトランジスタ16と、制御電極がビット線対の他方BLTに接続された第2のトランジスタ17と、第1のトランジスタ16に直列に接続された第3のトランジスタ18と、第2のトランジスタ17に直列に接続された第4のトランジスタ19と、第3及び第4のトランジスタ18、19の制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、制御回路部は、第1の期間において、センスアンプ回路がビット線対BLT、BLBの電位差を増幅するように、制御回路部の制御電圧SAN1を制御し、増幅したビット線対の電位差を保持する第2の期間において、制御回路部の制御電圧VHにより、第3及び第4のトランジスタ18、19のサブスレショルド電流を制御して、ビット線対の電位差を復元可能な電位差以上になるようにする。
本発明の第2の側面による半導体装置において、図1の第1、第2、第3、及び第4のトランジスタからなるNMOSアンプNSA10で、第1の期間で増幅を行う。その後、第2の期間においては、NMOSアンプNSA10を非活性にしてしまうと、第1の期間で、低電位側になったビット線の電位が、0Vから上昇し、ビット線間の電位差がなくなってしまい、データ保持ができない。そこで、本発明では、第2の期間において、制御回路部の制御電圧VHを適切に制御して、第3、第4のトランジスタ18、19のサブスレショルド電流がある程度流れるようにし、ビット線対間の電位差が、復元できる電位差以上を保持するようにしている。減衰したビット線対間の電位は、例えば、共通I/O線に読み出すまでに、制御回路部の制御電圧をVHからVDDに戻すことにより、復元することができる。このように、本実施形態では、NMOSアンプNSA10を用いて、第2の期間のリーク電流を抑えて、なおかつ、ビット線対間の電位差を保持することができるようになったため、NMOSラッチNL118を無しの構成にすることが可能となり、センスアンプSA8を小面積化することが可能になった。
以下、実施例について、図面を参照して詳しく説明する。
[実施例1の構成]
図24は、DRAM全体を表すブロック図である。まず、図24を参照して、DRAM全体の構成を説明する。クロックパッド11a、11bはそれぞれ外部クロック信号CK、/CKが供給されるパッドであり、クロックイネーブルパッド11cはクロックイネーブル信号CKEが入力されるパッドである。供給された外部クロック信号CK、/CK及びクロックイネーブル信号CKEは、クロック発生回路21に供給される。本明細書において信号名の先頭に「/」が付されている信号は、対応する信号の反転信号又はローアクティブな信号であることを意味する。したがって、外部クロック信号CK、/CKは互いに相補の信号である。クロック発生回路21は内部クロック信号ICLKを生成する回路であり、生成された内部クロック信号ICLKは、半導体チップの各種回路ブロックに供給される。
図24は、DRAM全体を表すブロック図である。まず、図24を参照して、DRAM全体の構成を説明する。クロックパッド11a、11bはそれぞれ外部クロック信号CK、/CKが供給されるパッドであり、クロックイネーブルパッド11cはクロックイネーブル信号CKEが入力されるパッドである。供給された外部クロック信号CK、/CK及びクロックイネーブル信号CKEは、クロック発生回路21に供給される。本明細書において信号名の先頭に「/」が付されている信号は、対応する信号の反転信号又はローアクティブな信号であることを意味する。したがって、外部クロック信号CK、/CKは互いに相補の信号である。クロック発生回路21は内部クロック信号ICLKを生成する回路であり、生成された内部クロック信号ICLKは、半導体チップの各種回路ブロックに供給される。
コマンドパッド12a〜12eは、それぞれロウアドレスストローブ信号/RAS、カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号/WE、チップセレクト信号/CS、及びオンダイターミネーション信号ODTが供給されるパッドである。これらのコマンド信号は、コマンドデコーダ31に供給される。
アドレスパッド13_0−13_nは、アドレス信号ADDが供給されるパッドであり、供給されたアドレス信号ADDは、不図示のアドレス入力回路を介してロウ系制御回路41、カラム系制御回路51、コマンドデコーダ31、モードレジスタ61に供給される。より具体的には、通常動作モード時には、ロウアドレスについてはロウ系制御回路41に供給され、カラムアドレスについてはカラム系制御回路51に供給される。また、モードレジスタセットにエントリしている場合には、アドレス信号ADDはモードレジスタ61に供給され、これによってモードレジスタの内容が更新される。
コマンドデコーダ31は、内部クロックICLKに同期して、コマンド信号及びアドレス信号の一部の保持、デコード及びカウントなどを行うことによって、各種内部コマンドICMDを生成する回路である。生成された内部コマンドICMDは、制御ロジック32を介して半導体チップの各種回路ブロックに供給される。
制御ロジック32は、コマンドデコーダ31から供給される内部コマンドICMDとモードレジスタ61の出力とに応じえ、内部クロック信号ICLKに同期して各種回路ブロックの動作を制御する。
ロウ系制御回路41の出力は、Xデコーダ71に供給される。Xデコーダ71は、メモリセルアレイ70に含まれるいずれかのワード線WLを選択する回路である。メモリセルアレイ70内においては、複数のワード線WLと複数のビット線BLが交差しており、その交点にはメモリセルMCが配置されている。ビット線BLは、対応するセンスアンプSAに接続されている。
カラム系制御回路51の出力は、カラムデコーダ72に供給される。カラムデコーダ72は、複数のセンスアンプSAのいずれかのセンスアンプSAを選択する回路である。カラムデコーダ72によって選択されたセンスアンプSAは、I/O線IOを介してデータアンプ73に接続される。データアンプ73は、リード動作時においてはセンスアンプSAによって増幅されたリードデータRDをさらに増幅し、リードライトバスRWBS1を介してこれをラッチ回路74に供給する。一方、ライト動作時においては、リードライトバスRWBS1を介してラッチ回路74から供給されるライトデータWDを増幅し、これをメモリセルアレイ70に供給する。
ラッチ回路74は、データアンプ73とデータ入出力部75との間で入出力データのパラレル/シリアル変換を行うパラレルシリアル変換回路であり、リード動作時においては、データアンプ73から供給されるリードデータRDを、リードライトバスRWBS2を介してデータ入出力部75に供給する。一方、ライト動作時においては、データ入出力部75からリードライトバスRWBS2を介して入力されるデータをデータアンプに供給する。
タイミング制御部90は、データの入出力タイミングを制御するDLL(Delay Locked Loop)回路を含み、読み出し動作時には、制御ロジック32から供給されるリードコマンドRCMD、外部クロック信号CK、/CKに応じて、データ入出力部75におけるデータの読み出しタイミングを制御する読み出しタイミング信号RCKを出力すると同時に、データストローブパッドDQSを介して、外部にデータストローブ信号を出力する。一方、書き込み動作時には、制御ロジック32から供給されるライトコマンドWCMD、外部クロック信号CK、/CK、及び外部からデータストローブパッドDQSを介して供給されるデータストローブ信号DQSに応じて、データ入出力部75におけるライトデータの取り込みタイミングを制御する書き込みタイミング信号WCKをデータ入出力部に供給する。
次に、図25は、図24におけるメモリセルアレイ70と、センスアンプSA、Xデコーダ71の部分を、より詳細に説明したブロック図である。ここで、メモリセルアレイは、折り返し型ビット線方式を用いている。センスアンプSAは、不図示のYデコーダにより選択される。いわゆる開放ビット線方式でも同様の構成が可能である。
次に、図1は、図25のメモリセルアレイ内の一対のビット線部分を切り出したもので、図25のAの部分の回路図である。
本発明の半導体装置のセンスアンプSA8は、増幅用の交差結合された2個のMOSトランジスタQ1、Q2のそれぞれのソースに直列に、十分大きなしきい電圧VTのMOSトランジスタQ3、Q4を接続したことに特徴がある。ビット線対BLT、BLBには複数のメモリセルMCが接続され、それぞれのメモリセルは、情報を記憶するメモリセル容量Csと選択トランジスタQsで構成されている。図1のメモリセルMCは、それらの複数のメモリセルうちの一つを示している。Csの電極の一端は電圧VDD/2に固定され、他端には0VあるいはVDDに対応した2値の情報が記憶されている。
また、ビット線BLT、BLBには、それぞれ、ビット線容量CBが存在している。メモリセル容量Csを読み出した信号電圧の信号を弱めるので、なるべく、ビット線を短くして、読み出した信号電圧が弱めないようにすることが求められている。
また、読み出し動作の前に、ビット線対BLT、BLBを、VDD/2の電位にプリチャージするためのプリチャージ回路EQが、ビット線対に接続されている。プリチャージ回路は、制御信号BLPによりオン/オフを制御している。
尚、ここでは、ビット線をVDD/2レベルにプリチャージする、いわゆるVDD/2ビット線プリチャージ方式を前提としているが、この方式は、低電力・低雑音、しかも微小信号を弁別するのに特別な参照回路が必要でないなどの利点がある。また、VPPは、full writeとfull readのために必要な昇圧ワード線電圧である。すなわち、メモリセルMC内の選択トランジスタQsのしきい電圧VTの影響を受けずにメモリセルMC内にVDDを書き込み、あるいはメモリセルからの読み出し信号を十分得るために必要な昇圧電圧である。VPPはPMOSトランジスタの基板電圧としても使われる。また、VBBはNMOSトランジスタの基板電圧である。
図25における制御信号SHRR、SHRLは、センスアンプSA8とメモリセルMCとの電気的な接続、非接続を制御するための制御信号である。図1においては、制御信号SHRRは、SHRR信号がHighのとき、メモリセルMCと、センスアンプSAは電気的に接続される。一方、メモリセルMCを非選択にしたい場合は、SHRR信号をLowにし、センスアンプSAと非接続にすればよい。
また、ビット線BLT、BLBには、センスアンプSA8が、図1のように接続される。ここで、センスアンプSA8は、NMOSアンプ(以後、NSA)10と、PMOSアンプ(以後PSA)9により構成される。制御電圧SAN1、制御電圧SAP3を生成する制御回路部は、図24の制御ロジック32に配置され、図2に示すような制御電圧を出力する。
NSA10は、しきい電圧VTの小さな2個のNMOSトランジスタQ1、Q2と、しきい電圧VTが大きな2個のNMOSトランジスタQ3、Q4から構成される。NMOSトランジスタQ1、Q2、Q3、Q4の基板電圧には、VBBが供給されている。ここで、Q2のゲートは、ビット線BLTと接続され、Q1のゲートは、ビット線BLBと接続されている。また、Q3は、Q1と直列に接続され、Q4は、Q2と直列に接続されている。より詳細には、Q1のソースにQ3のドレインが接続され、Q2のソースにQ4のドレインが接続されている。また、Q1のドレインとQ2のゲートが接続され、Q2のドレインとQ1のゲートが接続されており、Q1、Q2は、図1のように交差結合されている。Q3、Q4のソースは、共通で、接地電位に接続されている。Q3とQ4のゲートには、制御回路部から供給される制御電圧SAN1によって、Q3、Q4の電流供給能力を制御している。
次に、SA8におけるPSA9は、2個のPMOSトランジスタQ5、Q6から構成される。このPSA9は、図27に示す従来技術のセンスアンプにおけるPSAと同じである。Q6のゲートが、ビット線BLTに接続され、Q5のゲートが、ビット線BLBに接続される。また、Q5のドレインとQ6のゲートが接続され、Q6のドレインとQ5のゲートが接続されており、Q5、Q6は、図1のように交差結合されている。Q5、Q6のソースには、制御回路部から供給される制御電圧SAP3によって、Q5、Q6の導通、非導通を制御している。
また、Y選択スイッチ回路(以後、YSW)15は、ビット線対BLT、BLBの電位差を共通I/O線(IOT、IOB)に読み出すための回路である。アドレス信号によってY選択線YSを選択すれば、共通I/O線(IOT、IOB)に、増幅されたビット線対の電位差を取り出すことができる。また、書き込み時には、逆に、共通I/O線(IOT、IOB)に電位を与え、YSWを通じて、ビット線対の電位に、書き込みを行う。
次に、制御回路部が出力する制御電圧SAN1の中で、データ保持期間に設定するVH電圧は、Q3、Q4の電流供給能力を制御するための電圧であり、高精度な電圧の生成が求められる。図23に、VH電圧を生成する中間電位発生回路を示す。この回路は、図24の制御ロジック32に配置され、制御回路部に電圧VHを供給している。
以下、図23の回路の構成について、説明する。図23は、中間電位発生回路であり、ビット線電圧モニタ回路MBLと2個のオペアンプOP1、OP2から構成される。MBLはビット対線BLT、BLBのうちの一方の電圧に関連したモニタ電圧をモニタするための回路であり、センスアンプと同じMOSトランジスタで構成される。図23のMBLは、データ保持期間における図1のセンスアンプSA8を模擬した回路構成になっており、低電位側のビット線電圧をモニタ電圧とし、そのモニタ電圧をモニタできるようにしている。このMBLはPMOSアンプPSA9のレプリカ回路(以後、PR)とNMOSアンプNSA10のレプリカ回路(以後、NR)から構成される。PRはPMOSアンプPSA9内のMOSトランジスタQ6と同じ特性を持ったトランジスタであるQ6Rで構成され、そのゲートとソースはVDDに、ドレインはノードN5に接続される。NRはNMOSアンプNSA10内の2つのMOSトランジスタQ2、Q4と、それぞれ同じ特性を持ったトランジスタQ2R、Q4Rを用いて構成される。Q2RのドレインはノードN5に、ゲートはVDDに、ソースはQ4Rのドレインと接続される。Q4RのゲートはノードN6に、ソースはVSSに接続される。
[実施例1の動作]
次に、実施例1の動作について、図1、図2を適宜、参照しながら説明する。
次に、実施例1の動作について、図1、図2を適宜、参照しながら説明する。
図2は、実施例1のセンスアンプの動作タイミング図である。動作時間は、動作内容により、3つの期間に分けることができる。図2に示すように、最初の期間は、信号Vsをビット線BLTに読み出す期間、次は、ビット線電位差を増幅する期間、最後は、データを保持する期間である。ここで、ビット線電位差を増幅する期間を、第1の期間、データを保持する期間を第2の期間とも呼ぶことにする。
従来のように、プリチャージ回路EQによってビット線対BLT、BLBはビット線の最大電圧VDDの半分であるVDD/2にプリチャージされる。
次に、図2の最初の期間である信号Vsをビット線BLTに読み出す期間の動作について説明する。ワード線WLにVDD以上のパルス電圧VPPが印加されて、メモリセルMCから記憶情報に応じてVDD/2を中心に正負の微小信号がBLT上に出力される。例えば、ビット線BLT上で、フローティング電圧VDD/2に負側の読み出し信号Vsが重畳した場合を考える。ここで、読み出し信号Vsは、式(1)で与えられる。
Vs=CsVDD/{2(Cs+CB)} 式(1)
ここで、CBはビット線容量、Csはメモリセル容量である。式(1)からわかるように、ビット線容量CBが小さいほうが、読み出し信号Vsは大きな値になり、動作が安定し、以後の増幅の動作も高速になるので、ビット線容量CBを小さくすることが求められている。
Vs=CsVDD/{2(Cs+CB)} 式(1)
ここで、CBはビット線容量、Csはメモリセル容量である。式(1)からわかるように、ビット線容量CBが小さいほうが、読み出し信号Vsは大きな値になり、動作が安定し、以後の増幅の動作も高速になるので、ビット線容量CBを小さくすることが求められている。
次に、図2の第1の期間の動作について、説明する。まず、図1のQ3とQ4のゲートに供給される制御電圧SAN1が十分高い場合に、正しく信号が増幅される条件を考える。まず、交差結合されたQ1、Q2から構成される交差結合された対MOSトランジスタで、ゲート電圧のより高いQ1がオンし始める。すなわち、VGS(Q1)>VT(Q1)の条件になるので、Q1はオンになりNSAは増幅を開始する。図2に、Q1、Q2に、しきい電圧VTが小さいMOSトランジスタを使用した場合のビット線電位BLT、BLBを実線で、Q1、Q2に、しきい電圧VTが大きいMOSトランジスタを使用した場合のビット線電位BLT、BLBを破線で示している。図2からわかるように、しきい電圧VTが小さいQ1、Q2のほうが、増幅動作は高速に行われる。また、Q1のしきい電圧VT、すなわちVT(Q1)は低いほど、VDD電圧を低くしても、動作する。また、しきい電圧VTが小さいので、しきい電圧VTのばらつきを小さくすることができる。従って、Q1とQ2のしきい電圧VTの差であるオフセット電圧も小さくすることができ、安定動作をさせることが可能になる利点がある。このような理由により、実施例1では、Q1、Q2に、しきい電圧VTの小さいMOSトランジスタを使用している。従来技術である図27においても、同様の理由で、Q1、Q2に、しきい電圧VTの小さいMOSトランジスタを使用していた。ここで、Q1、Q2に、しきい電圧VTの小さいMOSトランジスタを使用した場合、しきい電圧VTが小さい分だけビット線の高レベル側BLBの電位が低下する。しかしながら、後述するが、この低下分は、PSA9をオンすると、低下したビット線電圧はVDDにまで回復する。
尚、Q3とQ4のゲートに供給される制御電圧SAN1がVDDになるまでは、すなわち、第1の期間に入るまでは、NSA10は非活性状態なので、増幅用MOSトランジスタであるQ1、Q2のしきい電圧VTが小さくても、非活性時のリーク電流が増えることはない。
ここで、Q1とQ2のしきい電圧VTを小さくする場合には、Q1とQ2のソースを分離し、それぞれのソースにQ3とQ4を独立に付加したほうが好ましい。その理由は、もし、Q1とQ2のソースを直接接続し、Q1とQ2のしきい電圧VTを小さくした場合、それらのリーク電流によって、それぞれのソースを介してビット線BLT、BLBが干渉・導通し差動信号成分Vsが減衰する傾向があるからである。
尚、実施例1で使用する内部電源電圧VDD/2、VKK、VBB、VH、VREFは、通常VDDをもとにチップ内部で発生されるが、これらの内部電圧はチップの消費電力にVDDほどには影響を与えない。DRAMでは多数のビット対線が同時にVDD振幅で駆動されるので、チップの消費電力を低減するには、このビット線の充放電電力を減らす、すなわちVDDを低減することが、重要である。従って、実施例1では、増幅作用をするQ1、Q2にしきい電圧VTの小さいMOSトランジスタを使用することにより、VDDが低電圧でも動作することが可能になり、低消費電力化を実現している。
次に、第1の期間の開始から所定の時間後に、PSA9のQ5、Q6のソースに供給される制御回路部の制御電圧SAP3が、図2に示すように、VDD/2からVDDになることにより、Q5、Q6は、非導通状態から導通状態になる。導通状態になったPSA9、NSA10により、ビット線対のラッチ動作が行われ、高電位側のビット線BLBの電位はVDDに、低電位側のビット線BLTの電位は0になる。従来技術の図27のSA116では、このラッチ動作は、PSA117及びNL118で行っていた。一方、実施例1では、従来技術でのNL118の機能を、NSA10で代替している。それにより、実施例1では、従来技術のNMOSラッチ回路NL118を無くしても、ラッチ動作をさせることが可能になり、センスアンプの小面積化を実現している。
次に、第2の期間の動作について、説明する。増幅されたビット線対の電位差は、共通I/O線で読み出すまでの間、データを保持しなければならない。一方、データ保持を行う第2の期間において、消費電力低減のため、リーク電流をなるべく小さくすることが求められる。従来技術の図27の回路では、データ保持期間に、NSA119を非活性化状態に制御することにより、リーク電流を小さくしている。
図1の実施例1において、第2の期間で、SAN1がVDDである場合、Q2にはSAP3とQ6経由でリーク電流が流れ続ける。Q2のしきい電圧VTが小さいからである。一方、ビット線BLBはVDDなのでQ1とQ3は導通するが、ビット線BLTは0VなのでQ1、Q3には電流は流れない。ワード線電圧のパルスの幅が十分短い場合、このリーク電流の流れる期間は短く実効的なリーク電流は小さくなり問題はない。しかし、それが長い場合、すなわちビット線上に増幅したデータを長時間保持する場合、このリーク電流が問題になる場合がある。同じワード線上の多数のビット線対のそれぞれのアンプNSA10に同時にこのようなリーク電流が流れ続けるからである。一般に、MOSトランジスタのリーク電流は、そのゲート・ソース間電圧が低いほど、しきい電圧VTが大きいほど、あるいはそのチャンネル幅が小さいほど小さくなる。従って、Q4を付加し、Q4のこれらのパラメータを制御することによって、Q2のリーク電流を、データを保持するのに必要なリーク電流程度に小さく抑えることができる。このためには、Q4のゲート電圧を低い電圧VHに変えることが必要である。
Q4のソースは0Vの固定電圧なので、Q4はゲート電圧、しきい電圧VT、ならびにそのチャンネル幅で決まるリーク電流からなる定電流源となる。このリーク電流とQ2のリーク電流が等しくなるように、Q2のソースであるノードN2の電位はδだけ持ち上がる。Q2のゲート・ソース間ならびに基板・ソース間にδだけ逆バイアスが加わるからQ2のリーク電流はQ4のそれと等しくなるように減少する。従って、VHを低くするほど、Q4のしきい電圧VTをQ2のしきい電圧VTより大きくするほど、あるいはQ4のチャンネル幅をQ2のそれよりも小さくするほど、Q2のリーク電流は小さくなる。このように、2個のMOSトランジスタを縦に接続するとリーク電流を低減できる。この低減効果をスタッキング効果と呼ぶ。
前述のスタッキング効果により、接地側には、リーク電流の少ないトランジスタを配置したほうが、全体のリーク電流を小さくできる。従って、実施例1のNSA10は、図27の従来技術のNSA119に比べ、リーク電流を少なくすることができるトランジスタ配置になっている。
ビット電位差を増幅する期間である第1の期間においてQ3、Q4は、導通状態であるが、データを保持する期間である第2の期間においても、Q3、Q4は、サブスレショルド電流を流すという意味では、非導通ではない。このような理由により、第2の期間においてサブスレショルド電流が流れる状態も、本明細書では、導通と言うことにする。また、第1の期間におけるQ3、Q4の電流供給能力を第1の電流供給能力、第2の期間におけるQ3、Q4の電流供給能力を第2の電流供給能力と言うことにする。実施例1では、第2の電流供給能力は、第1の電流供給能力より低くなる。
図1の実施例1では、Q3にサブスレショルド電流が流れることにより、低電位側のビット線BLTの電位が上昇するのを防いでいる。第2の期間におけるリーク電流を抑えるため、VHを低くしていくと、あるところから、低電位側のビット線BLTの電位が上昇する。この電位の増加量は、Q5の流す電流供給能力と、Q3が流す電流供給能力の関係により、バランスがとれる状態になったところで、落ち着く。従って、Q3が流す電流供給能力を適切に制御することで、ビット線対の電位差をある電位差以上に保持させることができる。ビット線間の電位差は狭まるが、共通I/O線に読み出す直前で、制御電圧SAN1にパルスを与えるなどして、ビット線間の電位差を復元することができる。すなわち、第2の期間のビット線対間の電位は、復元できる電位差を保持できていればよい。
図2の例では、SAN1にVDDを加えたが、最初に比較的低い電圧、例えばデータ保持期間と同じVHを加え、その後にVDDを加えるといった2段増幅にすることもできる。このような2段増幅は、ビット線間に容量の不平衡がある場合に有効である。たとえば、上述したVDD/2ビット線プリチャージ方式では、メモリセル容量Csだけの不平衡があるが、このような不平衡は増幅の初期に雑音として作用する。しかし、VHを低くしてビット線を徐々に放電し、ある程度増幅してからVDDを印加すれば、低雑音で高速に増幅することができる。雑音が小さくなる分だけ信号電圧を小さくでき、結果として、Csを小さくできるので、安価なDRAMが実現される。また、ビット線電圧BLBの低下が抑制されるので動作電流を低減できる。
上述したように、VTは小さいのでNMOSアンプNSAの交差結合したMOSトランジスタQ1、Q2のVTばらつきが小さくなる利点に加え、Q3とQ4が接続されているので、以下の理由により、VTばらつきの影響はさらに小さくなる。すなわち、ノードN1(Q1のソース)とノードN2(Q2のソース)のプリチャージ時の電圧は、それぞれVDD/2−VT(Q1)とVDD/2−VT(Q2)となる。したがって、Q3とQ4がオンした場合、Q1とQ2にVTの差があっても、交差結合したMOSトランジスタQ1、Q2のVTが相殺されて、同時に動作し始める。従来は、交差結合したMOSトランジスタのソース電圧は固定なので、Q1、Q2のVT差が動作タイミングの差となり、実効的に雑音が発生していた。
図3は、増幅時における実際のシミュレーション動作波形で、VDD=1Vの例である。ここで、MOSトランジスタのデバイス寸法は、W/L(Q1、Q2)=1.79μm/0.17μm、W/L(Q3、Q4)=0.46μm/0.13μm、W/L(Q5、Q6)=0.52μm/0.14μmであり、VPP=2.5V、VKK=VBB=−0.3V、VT(Q1、Q2)=0.16V、VT(Q3、Q4)=0.46V、VT(Q5、Q6)=−0.58V、CB=73fF、CS=25fFである。ここでVTは、いわゆる外挿の値で、通常は定電流(nA/μm)で定義したVTに0.3V程度を加えた値になる。
また図4は、増幅完了後のデータ保持期間に、SAN1電圧を1.0VからVHに低下させた場合のビット線電圧差を図4の(A)に示し、データ保持時のリーク電流を図4の(B)に示している。図3と同じ動作条件である。図4の(A)、(B)から、例えば、VHを0.1Vに低下させると、0.4V程度以上の大きなVHに比べて、1Vのビット線電圧差を保持しながらリーク電流を2桁以上低減できることがわかる。さらには、VH電源電圧の不必要なVH=0Vでは、リーク電流の低減効果はさらに著しくなる。ここで、VHを0V以下に下げていくとビット線電圧差が急激に減少し始めるのは、0V側に押さえ込まれていたビット線BLTがVDD側に向かって、浮き上がるためである。これは、前述のように、NSAのQ3、Q4の電流駆動能力が低下することによる。このような領域でも、ビット線電圧差が0.1V程度までありさえすれば、高精度なVH発生回路があれば安定なDRAM動作は可能である。ビット線電圧差が0.1Vになるのは、図4の(A)で表示されたグラフの外側であるが、VH=−0.1V程度に対応している。このように小さなビット線電圧差でも、SAN1をVDDに復帰させると、保持情報はVDD=1Vまで正しく復帰する。前述したように、NSAのオフセット電圧は0.1V以下と十分小さいからである。
図4の(A)、図4の(B)からわかるように、リーク電流などの特性が、VHに極めて敏感なので、高精度のVH電圧を発生する中間電位発生回路が必要になる。図23の中間電位発生回路の動作について、以下に説明する。図23の回路は、低電位側のビット線電圧に関連したモニタ電圧が、所望の電圧VREFになるようなVH電圧を出力する回路である。OP1は低電位側のビット線電圧に相当するノードN5が、所望の電圧VREFになるようにMBLを制御する。OP1の出力であるノードN6の電圧VHは、OP2の入力となる。OP2は、ボルテージフォロワ回路であり、OP1の出力と同じVHを出力する。このように、ビット線電圧に関連したモニタ電圧をモニタしながらVHを発生するため精度を向上することができる。また、温度変化などによりMOSトランジスタのしきい電圧VTが変化しても、変化に対応してVHも変化するので、データ保持期間中のデータを安定に保持できる。この回路構成は、高電位側ビット線電圧がVDD、低電位側ビット線電圧がVREF、すなわち、ビット線電圧差がVDD−VREFとなるようにVHを発生する。例えば、図3と同じ条件でVREFを0.9Vにすれば、ビット線電圧差は0.1Vであり、その時のVHは前述したように−0.1Vとなる。その他のセンスアンプの構成例においても、同様に、所要特性が得られるようにMBLの構成を変えればよい。このように、低電位側のビット線電圧をVREFに設定することにより、復元可能なビット線電位差を確保する限界まで、リーク電流を抑えることが可能になる。
本発明の実施例1の半導体装置は、様々に変形することができる。
[実施例1の変形例1]
図18は、図1の実施例1を例に、データ保持期間中にビット線対BLT、BLBに保持されているデータを共通I/O線であるIOT、IOBに読み出す場合あるいは書き込む場合のY選択スイッチYSWの回路図である。また、図19、図20は、制御タイミング関係を示した図である。読み出す場合には、図19のように、SAN1を再度VDDにすれば高速に共通I/O線にデータを差動に取り出せる。書き込む場合には、VDDの差動電圧をIOTとIOBに印加した後、SAN1とYSを制御する。図19のように、SAN1とYSの制御タイミングを読み出す場合と書き込む場合とで同じにすれば制御回路を簡単化できる。書き込み時において、通常、YSを活性化している期間だけでは、メモリセルMCの記憶ノードの電位を十分に放電あるいは充電することが難しいため、SAN1パルスの印加が必要になる。もし、センスアンプSAを構成するMOSトランジスタの駆動電流がYSWを構成するMOSトランジスタの駆動電流よりも大きくなり、情報を書き込めない場合には、図20のようにYSを先に駆動してからSAN1を再度VDDにしても良い。
図18は、図1の実施例1を例に、データ保持期間中にビット線対BLT、BLBに保持されているデータを共通I/O線であるIOT、IOBに読み出す場合あるいは書き込む場合のY選択スイッチYSWの回路図である。また、図19、図20は、制御タイミング関係を示した図である。読み出す場合には、図19のように、SAN1を再度VDDにすれば高速に共通I/O線にデータを差動に取り出せる。書き込む場合には、VDDの差動電圧をIOTとIOBに印加した後、SAN1とYSを制御する。図19のように、SAN1とYSの制御タイミングを読み出す場合と書き込む場合とで同じにすれば制御回路を簡単化できる。書き込み時において、通常、YSを活性化している期間だけでは、メモリセルMCの記憶ノードの電位を十分に放電あるいは充電することが難しいため、SAN1パルスの印加が必要になる。もし、センスアンプSAを構成するMOSトランジスタの駆動電流がYSWを構成するMOSトランジスタの駆動電流よりも大きくなり、情報を書き込めない場合には、図20のようにYSを先に駆動してからSAN1を再度VDDにしても良い。
[実施例1の変形例2]
図16はNMOSアンプNSAの他の実施例であり、図27の従来技術のNSA119と同じ回路構成である。この実施例1の変形例2は、図1において、図1のNSA10を図16のNSA85で置き換え、他は図1と同じにした構成である。図1のNSA10では、センス時にノードN1とN2の電位がそれぞれQ3、Q4のドレイン・ソース間電圧だけ、接地電圧VSSよりも高くなるため、その分、Q1とQ2のゲート・ソース間電圧が低くなっていた。一方、図16において、Q1とQ2のソースは接地電圧VSSで、0Vのため、Q1、Q2のゲート・ソース間電圧が図1のNSA10に比べて大きくなるので、図1のセンスアンプより高速に増幅することができる。
図16はNMOSアンプNSAの他の実施例であり、図27の従来技術のNSA119と同じ回路構成である。この実施例1の変形例2は、図1において、図1のNSA10を図16のNSA85で置き換え、他は図1と同じにした構成である。図1のNSA10では、センス時にノードN1とN2の電位がそれぞれQ3、Q4のドレイン・ソース間電圧だけ、接地電圧VSSよりも高くなるため、その分、Q1とQ2のゲート・ソース間電圧が低くなっていた。一方、図16において、Q1とQ2のソースは接地電圧VSSで、0Vのため、Q1、Q2のゲート・ソース間電圧が図1のNSA10に比べて大きくなるので、図1のセンスアンプより高速に増幅することができる。
[実施例1の変形例3]
図21は、データ線に保持されているビット線電圧BLT、BLBを、Y選択スイッチYSW内のMOSトランジスタQ9、Q10のゲートを介して直接、共通I/O線であるRIOT、RIOBに取り出す、所謂ダイレクトセンス方式を用いた回路例である。その動作波形を図22に示す。ダイレクトセンス方式を用いることにより、読み出し時にSAN1を再度活性化する必要がなくなるため、データを高速に共通I/O線であるRIOT、RIOBに出力できる。書き込みは、YSW内のMOSトランジスタQ13、Q14を介して、ビット線に保持されている読み出し情報を反転させ、共通I/O線であるWIOT、WIOBに印加された書き込み情報で置き換えることによって行われる。図21のように、共通I/O線を読み出し用RIOT、RIOBと書き込み用WIOT、WIOBとに分離することで、共通I/O線の負荷容量が小さくなるので、分離しない場合と比べて読み出し情報を高速に共通I/O線に出力できる。
図21は、データ線に保持されているビット線電圧BLT、BLBを、Y選択スイッチYSW内のMOSトランジスタQ9、Q10のゲートを介して直接、共通I/O線であるRIOT、RIOBに取り出す、所謂ダイレクトセンス方式を用いた回路例である。その動作波形を図22に示す。ダイレクトセンス方式を用いることにより、読み出し時にSAN1を再度活性化する必要がなくなるため、データを高速に共通I/O線であるRIOT、RIOBに出力できる。書き込みは、YSW内のMOSトランジスタQ13、Q14を介して、ビット線に保持されている読み出し情報を反転させ、共通I/O線であるWIOT、WIOBに印加された書き込み情報で置き換えることによって行われる。図21のように、共通I/O線を読み出し用RIOT、RIOBと書き込み用WIOT、WIOBとに分離することで、共通I/O線の負荷容量が小さくなるので、分離しない場合と比べて読み出し情報を高速に共通I/O線に出力できる。
実施例2の構成は、図1のセンスアンプを、図5のセンスアンプSA26に置き換えたものである。図5のセンスアンプSA26は、図1のセンスアンプSA8を構成するMOSトランジスタを、NMOSトランジスタからPMOSトランジスタに、またPMOSトランジスタからNMOSトランジスタへと入れ替えたものである。従って、MOSトランジスタと駆動法において図1の実施例とは相補関係にある。制御電圧SAP1、制御電圧SAN3を生成する制御回路部は、図24の制御ロジック32に配置され、図6に示すような電圧を出力する。動作の動作タイミング図を図6に示す。PSA27を駆動して信号VsをVDD側に増幅し、その後にNSA28をオンにすれば、最終的にビット線対BLT、BLBの電圧差はVDDに増幅される。実施例2は、PMOSトランジスタにしたほうが、リーク電流が小さいならば、データ保持時のリーク電流を効果的に低減できる。
本発明の実施例2の半導体装置は、様々に変形することができる。
[実施例2の変形例]
図17はPMOSアンプPSAの他の実施例であり、図16のNSA85を構成するNMOSトランジスタをPMOSトランジスタに入れ替えたものである。また、図16の制御電圧SAN1は、図17では、制御電圧SAP1に置き換わっている。実施例2の変形例は、図5において、図5のPSA27を、図17のPSA91に置き換え、他は図5と同じにした構成である。実施例2の変形例の効果は、実施例1の変形例2と同様に、Q1、Q2のゲート・ソース間電圧の絶対値を大きくとれるため、図5のセンスアンプより高速に増幅することができることである。また、実施例2の変形例の動作タイミング図は、図6と同様である。
図17はPMOSアンプPSAの他の実施例であり、図16のNSA85を構成するNMOSトランジスタをPMOSトランジスタに入れ替えたものである。また、図16の制御電圧SAN1は、図17では、制御電圧SAP1に置き換わっている。実施例2の変形例は、図5において、図5のPSA27を、図17のPSA91に置き換え、他は図5と同じにした構成である。実施例2の変形例の効果は、実施例1の変形例2と同様に、Q1、Q2のゲート・ソース間電圧の絶対値を大きくとれるため、図5のセンスアンプより高速に増幅することができることである。また、実施例2の変形例の動作タイミング図は、図6と同様である。
実施例3の構成は、図1のセンスアンプSA8を、図7のセンスアンプSA38に置き換えたものである。より低いVDDで動作するように、MOSトランジスタQ3、Q4のしきい電圧VTも小さな値にしている。すなわち、NSA40を構成する4つのMOSトランジスタを全て、周辺回路部のトランジスタのしきい電圧より絶対値が小さなトランジスタを使用している。周辺回路部のトランジスタとは、例えば、プリチャージ回路EQで使用されるMOSトランジスタ、Y選択スイッチYSWの内部で使用されるMOSトランジスタ97、98、制御電圧SHRRでオン/オフされるMOSトランジスタ6、7などである。また、Q3、Q4のソースは共通接続されている。このような小さなしきい電圧VTを使用する場合、NSA40の非活性期間に、Q3、Q4のMOSトランジスタを十分にオフにしなければならない。そのためには、それらのゲート電圧SAN1あるいはソース電圧SAN’のレベル設定に工夫が必要である。
図8は、非活性期間にSAN1の電圧値を負電圧であるVKKにし、SAN’の電圧値を0Vに設定している。すなわち、SAN’は、接地電源である。活性時には、Q3、Q4がオンとなるように、SAN1を適当な正電圧VDDに設定する。データ保持期間中には、センスアンプSAのリーク電流を減らすためにSAN1を適当な値VHに低下させる。ここで、VHを0Vに設定すれば、特別な電源電圧が不要なのでより設計しやすくなり、また、低コストで済む利点がある。制御電圧SAN1、制御電圧SAP3を生成する制御回路部は、図24の制御ロジック32に配置され、図8に示すような制御電圧を出力する。
本発明の実施例3の半導体装置は、様々に変形することができる。
[実施例3の変形例]
実施例3の変形例は、図26に示すように、図7に対して、制御電圧SAN2を供給する制御回路SDRVが追加された構成になっている。制御回路SDRVは、図24の制御ロジック32に配置される。SDRVは、二つのNMOSトランジスタと一つのインバータから構成される。SDRVは、図24の制御ロジック32から出力される制御信号SANC’により制御される。制御ロジック32は、コマンドデコーダ31から出力される制御信号ICMDにより制御される。コマンドデコーダ31は,外部から入力されるコマンド信号によりICMDを発生する。
実施例3の変形例は、図26に示すように、図7に対して、制御電圧SAN2を供給する制御回路SDRVが追加された構成になっている。制御回路SDRVは、図24の制御ロジック32に配置される。SDRVは、二つのNMOSトランジスタと一つのインバータから構成される。SDRVは、図24の制御ロジック32から出力される制御信号SANC’により制御される。制御ロジック32は、コマンドデコーダ31から出力される制御信号ICMDにより制御される。コマンドデコーダ31は,外部から入力されるコマンド信号によりICMDを発生する。
次に、実施例3の変形例の動作を説明する。待機状態では、制御ロジック32によってSANC’はLowレベルに保持され、SAN2はVDD/2に保持される。アクティブコマンドが入力された場合は、次にプリチャージコマンドが入力されるまで、制御ロジック32によってSANC’はHighレベルに駆動・保持され、SAN2は接地電圧に駆動・保持される。プリチャージコマンドが入力された場合は,制御ロジック32によってSANC’はLowレベルに駆動され、SAN2はVDD/2に駆動される。リフレッシュコマンドが入力された場合は,制御ロジック32によって一旦SANC’はHighレベルに駆動され、SAN2は接地電圧に駆動される。その後、メモリセルデータの増幅・再書き込みが終了した後にSANC’は再度Lowレベルに駆動され,SAN2はVDD/2に駆動される。図9は、実施例3の変形例の動作を、上述の図8にしめした実施例3の動作と比較するための図である。図9では、非活性化期間にSAN1の電圧値を0V、SAN2の値を適当な正電圧VDD/2に設定している。その結果、図8のようにSAN1を負電圧VKKに設定する必要がなくなるため、SAN1を駆動する回路を簡単にできる利点がある。ここで、データ保持期間中はSAN1とSAN2の電圧は0Vで、かつNSA内のすべてのMOSトランジスタのしきい電圧VTは小さいので、リーク電流がかなり流れようとするが、これは前述したスタッキング効果で低減される。さらに、センスアンプのNSA40をオフにするタイミング以降ではリーク電流は完全にカットできる利点がある。SAN2はVDD/2に復帰させるので、Q3とQ4のゲート・ソース間に十分な逆バイアスが加わるからである。
尚、図9の例では、増幅時にSAN2とSAN1の駆動タイミングを同じにしたが、図10のように、SAN2を0Vにし、その後にSAN1を適当な正電圧VDDにすることで2段増幅することもできる。上述したようにビット線間の容量不平衡による雑音を抑制することができる。また、この制御では、VDD/2とVDDだけで増幅動作が可能で、SAN1をVHにする必要が無いので、VHを発生する回路は不要となり、低コストで済む利点がある。さらに、図10に示すように、SAN2に加えてSAP3を変化させるように構成することもできる。
1.0Vよりも低い、例えば0.5VのVDDでセンスアンプを動作させる場合には、従来技術の図27の構成ではしきい電圧VTの大きいPMOSアンプPSA117が動作しなくなるため、NMOSアンプNSA119の極性を変えた、しきい電圧VTの小さいPMOSアンプの追加が新たに必要になる。そのセンスアンプは全部で12個のMOSトランジスタが必要である。このため、0.5VのVDDでセンスアンプ動作させるためにはセンスアンプの面積がさらに増加するという課題が生じる。
実施例4の構成は、図1におけるセンスアンプ8を図11に示すセンスアンプ52で置き換えたものであり、12個よりも少ない10個のMOSトランジスタで構成されている。実施例4では、以下に説明するように、図11のセンスアンプSA52で、0.5V動作と低リーク電流を両立している。制御電圧SAN1、制御電圧SAP3、制御電圧SAP4を生成する制御回路部は、図24の制御ロジック32に配置される。
図11のセンスアンプSAは、図7と同じ回路構成のセンスアンプに、小さなしきい電圧VTのPMOSトランジスタから成るPSA54を追加してセンスアンプを構成している。MOSトランジスタ数は全部で10個である。制御電圧SAP3は、PMOSラッチPL53が非活性状態のときはVDD/2に、活性時にはVDDに設定される。増幅動作は、すべてのMOSトランジスタが小さなしきい電圧VTから成るNSA55とPSA54で行うため、低電圧でも高速に増幅できる。データ保持期間中は、PSA54を非活性化し、NSA55とPL53を用いて図1の構成と同じようにデータを保持する。したがって、データ保持時のリーク電流特性は、図4と同じになる。
実施例5の構成は、図1におけるセンスアンプ8を図12に示すセンスアンプSA67で置き換えたものである。図12に示すセンスアンプSA67は、同じ回路構成のNSAとPSAでセンスアンプを構成している。センスアンプSA67のすべてのMOSトランジスタのしきい電圧VTは、センスアンプを制御する回路を構成するMOSトランジスタのしきい電圧VTよりも小さいことが特徴である。このため、VDDを低くできる。また、MOSトランジスタ数は全部で8個なので、実施例4と比べセンスアンプの面積を小さくできる。制御電圧SAN1、制御電圧SAP5を生成する制御回路部は、図24の制御ロジック32に配置される。
図13に動作タイミング図を示す。SAN1には図8に示した電圧が印加され、またSAP5にはVDDよりも高い電圧VPPから0Vに変化する電圧が印加され、さらに共通ソースSAN’を0V、共通ソースSAP’をVDDに設定している。明らかに、非活性時には、Q3とQ4、ならびにQ3’とQ4’はゲート・ソース間が逆バイアスされるので、NSA69とPSA68にリーク電流は流れない。第1の期間におけるVDDまでの増幅動作はこれまでの説明と同様である。データ保持期間中には、前述したように、リーク電流を減らすためにSAN1を適当な値VHに低下させている。
図14は、VDD=0.5Vにおける実際のシミュレーション動作波形である。VTは、VT(Q1−Q4)=0.16V、VT(Q1’−Q4’)=−0.14Vと小さく、またMOSトランジスタのデバイス寸法は、W/L(Q3、Q4)=0.46μm/0.17μm、W/L(Q1’、Q2’)=0.64μm/0.14μm、W/L(Q3’、Q4’)=0.46μm/0.14μmである。他のパラメータは図3と同様である。
図14から、VDDが0.5Vでも、高速にVDDレベルにまで増幅されていることがわかる。データ保持期間が始まると、低レベル側のビット線BLTのレベルは徐々に持ち上がり、ついには0.2Vまでに達して停止するようになる。それでも他方のビット線BLBの電圧レベルは0.5Vに保持されるから、ビット線電圧差は0.3Vに保持されている。図15の(A)にVH対ビット線電圧差を、図15の(B)にVH対リーク電流を示した。実施例5のセンスアンプのリーク電流は、実施例4に示したセンスアンプよりも大きくなる。しかし、ワード線電圧のパルスの幅が十分短い場合、このリーク電流の流れる期間は短く実効的なリーク電流は小さくなり問題はない。それが長い場合、すなわちビット線上に増幅したデータを長時間保持する場合においても、例えば、VH=0Vにすることで、リーク電流を約1/3に低減することもできる。
尚、BLTのレベルが徐々に持ち上がるのは、SAN1をVHで駆動することにより、Q1とQ3が流せる電流量と、Q1’とQ3’が流せる電流量の差が小さくなるからである。SAN1がVDD、SAP5が0Vに駆動される場合は、Q1、Q3、Q3’がオン、Q1’がオフ状態となっている。このため、Q1とQ3が流せる電流は、Q1’とQ3’が流せる電流量よりも十分に大きいので,BLTは0Vに固定される。一方、SAN1がVHに駆動される場合、Q3の電流駆動能力は、SAN1がVDDに駆動される場合に比べて減少する。この場合、Q3に流れる電流は、サブスレショルド電流である。このため、Q1とQ3が流せる電流量と、Q1’とQ3’が流せる電流量の差が小さくなるので、BLTは、Q1とQ3が流せる電流量とQ1’とQ3’が流せる電流量がつりあう0.2Vまで上昇する。このようにBLTのレベルが持ち上がるような場合には、データ保持期間が終了する直前にSAN1を再度VDDにすればメモリセルに十分な信号が書き込まれる。
本発明は、半導体記憶装置のセンスアンプに利用可能である。
なお、本発明の全開示(請求の範囲を含む)の枠内において、さらにその基本的技術思想に基づいて、実施形態ないし実施例の変更・調整が可能である。また、本発明の請求の範囲の枠内において種々の開示要素の多様な組み合わせないし選択が可能である。すなわち、本発明は、請求の範囲を含む全開示、技術的思想にしたがって当業者であればなし得るであろう各種変形、修正を含むことは勿論である。
VT:MOSトランジスタのしきい電圧
BLT、BLB:ビット線
BLP、SAN1、SAN2、SAN3、SAP1、SAP3、SAP4、SAP5:制御電圧
CB:ビット線容量
Cs:メモリセル容量
EQ:プリチャージ回路
IOT、IOB、RIOT、RIOB、WIOT、WIOB:共通I/O線
MA:メモリアレー
MC:メモリセル
N1、N2、N1’、N2’、N5、N6:ノード
NL:NMOSラッチ
NSA:NMOSアンプ
OP1、OP2:オペアンプ
PL:PMOSラッチ
PSA:PMOSアンプ
Q1、Q2、Q3、Q4、Q5、Q6、Q7、Q8、Q1’、 Q2’、 Q3’、 Q4’、Qs:MOSトランジスタ
NR、PR:レプリカ回路
MBL:ビット線電圧モニタ回路
SA:センスアンプ
VDD:電源電圧
VBB、VH、VH’、VKK、VREF:内部電源電圧
VPP:昇圧電圧
VSS:接地電圧
Vs:読み出し信号
WL、WL1:ワード線
XD:Xデコーダ
YS、YR、YW:Y選択線
YSW:Y選択スイッチ
11a、11b:クロックパッド
11c:クロックイネーブルパッド
12a、12b、12c、12d、12e:コマンドパッド
13_0−13_n:アドレスパッド
21:クロック発生回路
31:コマンドデコーダ
32:制御ロジック
41:ロウ系制御回路
51:カラム系制御回路
61:モードレジスタ
70:メモリセルアレイ
71:Xデコーダ
72:カラムデコーダ
73:データアンプ
74:ラッチ回路
75:データ入出力部
90:タイミング制御部
8、26、38、52、67、116、130:SA(センスアンプ)
9、27、39、54、68、91、117、131:PSA(PMOSアンプ)
10、28、40、55、69、85、119、132:NSA(NMOSアンプ)
53:PL(PMOSラッチ)
118:NL(NMOSラッチ)
2、6、7、18、19、35、36、48、49、88、89、97、98、101、102、103、104、105、106、111、114、115、123、124、127、128、139、140:NMOSトランジスタ
20、22、33、34、46、47、65、66、94、95、125、126、137、138、141:PMOSトランジスタ
16、17、42、43、44、45、56、57、58、59、77、78、79、80、86、87、121、122、133、134、135、136:VTが小さいNMOSトランジスタ
29、30、60、62、63、64、81、82、83、84、92、93:VTが小さいP型MOSトランジスタ
1、109:メモリセル
3、110:メモリセル容量
4、5、112、113:ビット線容量
15、96、100、120:YSW(Y選択スイッチ)
23:NMOSトランジスタのシンボル
24:PMOSトランジスタのシンボル
25:VTが小さいNMOSトランジスタのシンボル
37:VTが小さいPMOSトランジスタのシンボル
50:インバータ
142、143:オペアンプ
BLT、BLB:ビット線
BLP、SAN1、SAN2、SAN3、SAP1、SAP3、SAP4、SAP5:制御電圧
CB:ビット線容量
Cs:メモリセル容量
EQ:プリチャージ回路
IOT、IOB、RIOT、RIOB、WIOT、WIOB:共通I/O線
MA:メモリアレー
MC:メモリセル
N1、N2、N1’、N2’、N5、N6:ノード
NL:NMOSラッチ
NSA:NMOSアンプ
OP1、OP2:オペアンプ
PL:PMOSラッチ
PSA:PMOSアンプ
Q1、Q2、Q3、Q4、Q5、Q6、Q7、Q8、Q1’、 Q2’、 Q3’、 Q4’、Qs:MOSトランジスタ
NR、PR:レプリカ回路
MBL:ビット線電圧モニタ回路
SA:センスアンプ
VDD:電源電圧
VBB、VH、VH’、VKK、VREF:内部電源電圧
VPP:昇圧電圧
VSS:接地電圧
Vs:読み出し信号
WL、WL1:ワード線
XD:Xデコーダ
YS、YR、YW:Y選択線
YSW:Y選択スイッチ
11a、11b:クロックパッド
11c:クロックイネーブルパッド
12a、12b、12c、12d、12e:コマンドパッド
13_0−13_n:アドレスパッド
21:クロック発生回路
31:コマンドデコーダ
32:制御ロジック
41:ロウ系制御回路
51:カラム系制御回路
61:モードレジスタ
70:メモリセルアレイ
71:Xデコーダ
72:カラムデコーダ
73:データアンプ
74:ラッチ回路
75:データ入出力部
90:タイミング制御部
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9、27、39、54、68、91、117、131:PSA(PMOSアンプ)
10、28、40、55、69、85、119、132:NSA(NMOSアンプ)
53:PL(PMOSラッチ)
118:NL(NMOSラッチ)
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16、17、42、43、44、45、56、57、58、59、77、78、79、80、86、87、121、122、133、134、135、136:VTが小さいNMOSトランジスタ
29、30、60、62、63、64、81、82、83、84、92、93:VTが小さいP型MOSトランジスタ
1、109:メモリセル
3、110:メモリセル容量
4、5、112、113:ビット線容量
15、96、100、120:YSW(Y選択スイッチ)
23:NMOSトランジスタのシンボル
24:PMOSトランジスタのシンボル
25:VTが小さいNMOSトランジスタのシンボル
37:VTが小さいPMOSトランジスタのシンボル
50:インバータ
142、143:オペアンプ
Claims (13)
- 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルに接続されたビット線対と、
前記ビット線対に接続されたセンスアンプ回路であって、
前記センスアンプ回路は、
制御電極が前記ビット線対の一方に接続された第1のトランジスタと、
制御電極が前記ビット線対の他方に接続された第2のトランジスタと、
前記第1のトランジスタに直列に接続された第3のトランジスタと、
前記第2のトランジスタに直列に接続された第4のトランジスタと、
第3及び第4のトランジスタの制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、
前記制御回路部は、前記センスアンプ回路が前記ビット線対の電位差を増幅する第1の期間において、第3及び第4のトランジスタが第1の電流供給能力を有するように制御電圧を制御し、
ビット線対間の電位差を保持する第2の期間において、第3及び第4のトランジスタが導通し、かつ、前記第1の電流供給能力と異なる第2の電流供給能力を有するように前記制御電圧を制御することを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の電流供給能力が、前記第1の電流供給能力より、低いことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のトランジスタのしきい電圧は、前記第3及び第4のトランジスタのしきい電圧より絶対値が小さいことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1、第2、第3、及び第4のトランジスタのしきい電圧は、周辺回路部のトランジスタのしきい電圧より絶対値が小さいことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記制御回路部は、前記第1の期間及び第2の期間以外で、第3及び第4のトランジスタのゲートとソース間の電圧が逆バイアスになるように制御することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記制御回路部は、前記ビット線対の一方又は他方の電圧に関連したモニタ電圧を発生するビット線モニタ回路と、前記第2の期間において前記モニタ電圧に応じた電圧を前記第3及び第4のトランジスタの前記制御電極に前記制御電圧として供給する中間電位発生回路と、を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記制御回路部は、前記第2の期間において、前記制御電圧を零電位にすることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1及び第2のトランジスタの夫々は、制御電極、第1、及び、第2の電極を含み、
前記第3及び第4のトランジスタの夫々は、第3及び第4の電極を含み、
前記第1のトランジスタの前記第1の電極は、前記第3のトランジスタの前記第3の電極と接続され、
前記第2のトランジスタの前記第1の電極は、前記第4のトランジスタの前記第3の電極と接続され、
前記第1のトランジスタの前記第2の電極は、前記第2のトランジスタの前記制御電極と接続され、
前記第2のトランジスタの前記第2の電極は、前記第1のトランジスタの前記制御電極と接続され、
前記第3及び第4のトランジスタの前記第4の電極がが、第1の電源に共通に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第1及び第2のトランジスタの夫々は、制御電極、第1、及び、第2の電極を含み、
前記第3及び第4のトランジスタの夫々は、第3及び第4の電極を含み、
前記第1のトランジスタの前記第1の電極は、前記第3のトランジスタの前記第3の電極と接続され、
前記第2のトランジスタの前記第1の電極は、前記第4のトランジスタの前記第3の電極と接続され、
前記第1のトランジスタの前記制御電極は、前記第4のトランジスタの前記第4の電極と接続され、
前記第2のトランジスタの前記制御電極は、前記第3のトランジスタの前記第4の電極と接続され、
前記第1及び第2のトランジスタの前記第2の電極が、第1の電源に接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 複数のメモリセルと、
前記複数のメモリセルのうちの関連する複数個のメモリセルに接続されたビット線対と、
前記ビット線対に接続されたセンスアンプ回路であって、
前記センスアンプ回路は、
制御電極が前記ビット線対の一方に接続された第1のトランジスタと、
制御電極が前記ビット線対の他方に接続された第2のトランジスタと、
前記第1のトランジスタに直列に接続された第3のトランジスタと、
前記第2のトランジスタに直列に接続された第4のトランジスタと、
第3及び第4のトランジスタの制御電極に制御電圧を供給する制御回路部と、を含み、
前記制御回路部は、第1の期間において、前記センスアンプ回路が前記ビット線対の電位差を増幅するように、前記制御回路部の制御電圧を制御し、
増幅した前記ビット線対の電位差を保持する第2の期間において、前記制御回路部の制御電圧により、第3及び第4のトランジスタのサブスレショルド電流を制御して、前記ビット線対の電位差を復元可能な電位差以上になるようにすることを特徴とする半導体装置。 - 前記ビット線対に保持された電位差を共通I/O線対に読み出し、あるいは、共通I/O線対の電位差を前記ビット線対に書き込むY選択スイッチ回路をさらに含み、
前記制御回路部の制御電圧を第1の期間の電位に戻した後、前記Y選択スイッチ回路を導通して、前記ビット線対の電位差を共通I/O線対に読み出し、
前記共通I/O線対に書き込むデータに対応した電位差を与え、前記制御回路部の制御電圧を第1の期間の電位に戻した後、前記Y選択スイッチ回路を導通して、前記共通I/O線対の電位差を前記ビット線対に与えることにより書き込みを行うことを特徴とする請求項1又は10に記載の半導体装置。 - 前記ビット線対に保持された電位差を共通I/O線対に読み出し、あるいは、共通I/O線対の電位差を前記ビット線対に書き込むY選択スイッチ回路をさらに含み、
前記制御回路部の制御電圧を第1の期間の電位に戻した後、前記Y選択スイッチ回路を導通して、前記ビット線対の電位差を共通I/O線対に読み出し、
前記共通I/O線対に書き込むデータに対応した電位差を与え、前記Y選択スイッチ回路を導通した後、前記制御回路部の制御電圧を第1の期間の電位に戻し、前記共通I/O線対の電位差を前記ビット線対に与えることにより書き込みを行うことを特徴とする請求項1又は10に記載の半導体装置。 - 共通I/O線対が、読み出し用I/O線対と書き込み用I/O線対に分離され、
前記読み出し用I/O線対に接続された読み出し用Y選択スイッチ回路と、
前記書き込み用I/O線対に接続された書き込み用Y選択スイッチ回路と、をさらに含み、
前記読み出し用Y選択スイッチ回路を導通し、前記ビット線対の電位差を前記読み出し用I/O線対に読み出し、
前記書き込み用I/O線対に、書き込むデータに対応した電位差を与え、前記制御回路部の制御電圧を第1の期間の電位に戻した後、前記書き込み用Y選択スイッチ回路を導通して、前記書き込み用I/O線対の電位差を前記ビット線対に与えることにより書き込みを行うことを特徴とする請求項1又は10に記載の半導体装置。
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20130806 |