JP2011247782A - 試験装置及びタイミング調整方法 - Google Patents

Abstract

【課題】精度の高いキャリブレーションを行なうための試験装置を提供する。
【解決手段】入出力端に入力された入力信号を検出する入力部、および、出力信号を入出力端から出力する出力部をそれぞれ有し、被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、それぞれの入出力部において、入力部が入力信号を検出する入力タイミングを調整するタイミング調整部と、それぞれの入出力部における入力タイミングを調整する場合に、複数の入出力部のそれぞれの入出力端を電気的に接続する接続部とを備え、タイミング調整部は、それぞれの入力部における入力タイミングを調整する場合に、他の複数の入出力部の出力部に入力調整信号を順次出力させ、それぞれの出力部が出力した入力調整信号を当該入力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該入力部における入力タイミングを調整する入力調整機能を有する試験装置。
【選択図】図２

Description

本発明は、試験装置及びタイミング調整方法に関する。

従来、被試験デバイスを試験する試験装置のピンのタイミング補正は、キャリブレーション用ボードを使って実行されている。キャリブレーション用ボードは、複数のピンの配線をボード上で互いに接続して、各ピンから出力する信号を、他のピンで測定させる。これにより、各ピンにおける信号出力タイミングおよび信号測定タイミングのバラツキを検出して、タイミング補正を行なう（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１ 特開２００４−１５７１２９号公報

キャリブレーション用ボードは、各ピンを等長配線で接続することにより行なう。しかし、各ピンを等長配線で接続することは難しく、配線長のバラツキにより、タイミング補正に誤差が生じてしまう。例えば、キャリブレーション用ボード上では、各ピンからの配線を共通の導電パターンに接続することで、各配線を接続する。しかし、導電パターンに対して対角に接続される配線対と、隣接して接続される配線対とでは、導電パターンにおける信号の伝達経路長が異なることから、各ピン間の配線長にはばらつきがある。このため等長配線を前提としたキャリブレーションの精度が低下する。

上記課題を解決するために、本発明の第１の態様においては、被試験デバイスを試験する試験装置であって、入出力端に入力された入力信号を検出する入力部、および、出力信号を入出力端から出力する出力部をそれぞれ有し、被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、それぞれの入出力部において、入力部が入力信号を検出する入力タイミングを調整するタイミング調整部と、それぞれの入出力部における入力タイミングを調整する場合に、複数の入出力部のそれぞれの入出力端を電気的に接続する接続部とを備え、タイミング調整部は、それぞれの入力部における入力タイミングを調整する場合に、他の複数の入出力部の出力部に入力調整信号を順次出力させ、それぞれの出力部が出力した入力調整信号を当該入力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該入力部における入力タイミングを調整する入力調整機能を有する試験装置が提供される。

なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。

試験装置２００の機能構成例を、被試験デバイス３００とあわせて示すブロック図である。 ドライバ回路１００における出力タイミングおよび入力タイミングを調整する場合の、試験装置２００の構成例を示す。 接続部５０及び配線５２、５４、５６、５８を拡大して示す。 本実施形態にかかるタイミング調整部４００の基準調整機能を示すタイミング図である。 本実施形態にかかるタイミング調整部４００の入力調整機能を示すタイミング図である。 本実施形態にかかるタイミング調整部４００の出力調整機能を示すタイミング図である。

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

図１は、試験装置２００の機能構成例を、被試験デバイス３００とあわせて示すブロック図である。試験装置２００は、半導体回路等の被試験デバイス３００を試験する装置であって、パターン発生部１１０、ドライバ回路１００、タイミング調整部４００、及び、判定部１２０を備える。被試験デバイス３００は、ソケットボード等に載置されてよい。

パターン発生部１１０は、所定の論理パターンを有するパターンデータを発生してドライバ回路１００に供給する。例えば、パターン発生部１１０は、使用者等により予め与えられるデータまたはアルゴリズムに基づいて、当該パターンデータを発生する。パターン発生部１１０は、被試験デバイス３００の内部回路に所定の動作を行わせる論理パターンを有するパターンデータを発生してよい。

ドライバ回路１００は、被試験デバイス３００の複数の入出力ピンに対応して複数の入出力部を有する。それぞれの入出力部は、パターン発生部１１０から与えられるパターンデータに応じた論理パターンのパターン信号を、予め定められた出力タイミングで被試験デバイス３００における試験対象の各ピンに供給する。また、それぞれの入出力部は、被試験デバイス３００における試験対象の各ピンが出力する応答信号の、予め定められた入力タイミングにおける論理値を測定する。

タイミング調整部４００は、ドライバ回路１００におけるそれぞれの入出力部の、出力タイミングおよび入力タイミングを調整する。より具体的には、タイミング調整部４００は、それぞれの入出力部から被試験デバイス３００（またはソケットボード等）までの配線長、および、それぞれの入出力部の応答速度等のバラツキを相殺するように、出力タイミングおよび入力タイミングを調整する。

判定部１２０は、被試験デバイス３００の良否を判定する。判定部１２０は、パターン信号に応じて被試験デバイス３００が出力する応答信号に応じて、被試験デバイス３００の良否を判定する。例えば判定部１２０は、応答信号の論理パターンと、所定の期待値パターンとを比較することで、被試験デバイス３００の良否を判定する。

図２は、ドライバ回路１００における出力タイミングおよび入力タイミングを調整する場合の、試験装置２００の構成例を示す。図２においては、パターン発生部１１０および判定部１２０を省略する。また図２においては、ドライバ回路１００の一部として、被試験デバイス３００と信号を受け渡す複数の入出力部１０、２０、３０、４０を示す。また、タイミング調整部４００の一部として、複数の入出力部１０、２０、３０、４０に対応して設けられる、複数の第１可変遅延回路１６、２６、３６、４６、および、複数の第２可変遅延回路１８、２８、３８、４８を示す。

また、試験装置２００は、ドライバ回路１００における出力タイミングおよび入力タイミングを調整する場合に、ソケットボード等に代えてドライバ回路１００に接続されるキャリブレーション用ボード５００を備える。キャリブレーション用ボード５００には、それぞれの入出力部１０、２０、３０、４０の入出力端１１、２１、３１、４１を、配線５２、５４、５６、５８を介して電気的に接続する接続部５０が設けられる。

複数の入出力部１０、２０、３０、４０は、それぞれの入出力端１１、２１、３１、４１に入力された入力信号（被試験デバイス３００の試験時においては応答信号）を検出する入力部１２、２２、３２、４２、および、出力信号（被試験デバイス３００の試験時においてはパターン信号）を入出力端１１〜４１から出力する出力部１４、２４、３４、４４をそれぞれ有する。複数の入出力部１０、２０、３０、４０は、それぞれドライバ回路１００のピンＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４に対応する。入力部１２、２２、３２、４２は、それぞれコンパレータＣＰ_１、ＣＰ_２、ＣＰ_３、ＣＰ_４を有してよい。出力部１４、２４、３４、４４は、それぞれドライバＤＲ_１、ＤＲ_２、ＤＲ_３、ＤＲ_４を有してよい。

第２可変遅延回路１８、２８、３８、４８は、試験装置２００におけるタイミング発生器から与えられるストローブ信号を遅延させて入力部１２、２２、３２、４２に入力する。入力部１２、２２、３２、４２は、入力されるストローブ信号の各エッジタイミングで入力信号の論理値を検出する。タイミング調整部４００は、第２可変遅延回路１８、２８、３８、４８における遅延量を制御することで、入力部１２、２２、３２、４２が入力信号の論理値を検出する入力タイミングを調整する。

第１可変遅延回路１６、２６、３６、４６は、タイミング発生器から与えられるタイミング信号を遅延させて出力部１４、２４、３４、４４に入力する。出力部１４、２４、３４、４４はタイミング信号の各エッジタイミングを基準として出力信号を出力する。タイミング調整部４００は、第１可変遅延回路１６、２６、３６、４６における遅延量を制御することで、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４が出力信号を出力する出力タイミングを調整する。

接続部５０は、それぞれの入出力部１０、２０、３０、４０における入力タイミングおよび出力タイミングを調整する場合に、複数の入出力部１０、２０、３０、４０のそれぞれの入出力端１１、２１、３１、４１を電気的に接続する。つまり、ピンＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４のキャリブレーションを行なう場合に、接続部５０は各ピンの入出力端１１、２１、３１、４１どうしを配線５２、５４、５６、５８によって電気的に接続する。

配線５２、５４、５６、５８は長さが等しくなるように設計される。つまり、複数のピンＰ_１、Ｐ_２、Ｐ_３、Ｐ_４は、共通の接続部５０に接続されており、各ピンの入出力端１１、２１、３１、４１から接続部５０までの配線長は等しい。

また、本実施形態において、配線５２、５４、５６、５８と接続部５０との接点は、接続部５０を中心にして等間隔で配置されてよい。つまり、当該接点は、接続部５０を中心に回転対称となるように配置されてよい。

図３は、接続部５０及び配線５２、５４、５６、５８を拡大して示す。接続部５０の内部において、ピンＰ_１から出力しピンＰ_４へ入力する信号が通過する経路６２、及び、ピンＰ_１から出力しピンＰ_３へ入力する信号が通過する経路６４が示されている。経路６４の長さは接続部５０の直径（または対角線）と略等しいのに対して、経路６２の長さは接続部５０の直径よりも短く、接続部５０の内部において、経路６２と経路６４はわずかに長さが異なる。

つまり、接続部５０の直径（または対角線）方向に配置されたピンＰ_１及びＰ_３を結ぶ配線長は隣り合って配置されたピンＰ_１及びＰ_４を結ぶ配線長に比べてわずかに長い。したがって、各ピンどうしを結ぶ配線長にばらつきが生じ、等長配線を前提としたタイミング調整を行っても、各ピン間にスキューが残留する。そこで、本実施形態において、タイミング調整部４００は、当該配線長のバラツキによるスキューを改善するべく各ピンの入出力タイミングを調整する。

本実施形態において、タイミング調整部４００は、基準調整機能、入力調整機能、及び出力調整機能を備える。基準調整機能は、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを、予め定められたいずれかの入力部１２、２２、３２、４２を基準に調整する。この場合、いずれかの入力部１２、２２、３２、４２を基準にして出力タイミングを調整するので、接続部５０における経路長のバラツキによる出力タイミングのバラツキは残留する。

より具体的には、タイミング調整部４００は、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４に、所定のタイミングでエッジを有する基準調整信号を順次出力させる。そして、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４が基準調整信号を出力してから、予め定められた基準入力部が当該基準調整信号のエッジを検出するまでの時間に基づいて、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整する。当該時間は、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４が基準調整信号のエッジを出力してから、基準入力部が当該基準調整信号のエッジを検出するまでの時間から計測できる。

ここで、いずれかの入力部１２、２２、３２、４２が、基準入力部として機能してよい。本実施形態では、入力部２２を基準入力部とする。

入力調整機能は、各ピンＰ_１からＰ_４におけるそれぞれの入力部１２、２２、３２、４２における入力タイミングを、他の３つのピンにおける全ての出力部１４、２４、３４、４４を用いて調整する。例えば、入力部１２における入力タイミングを調整する場合、他のピンにおける出力部２４、３４、４４から順次信号を出力して、入力部１２で各信号のエッジを検出する検出タイミングの平均を計測する。

検出タイミングは、入力部１２がストローブ信号の各エッジにおいて検出する論理値が遷移したときの、ストローブ信号のエッジ番号により規定されてよい。同様に、他の入力部２２、３２、４２についても当該平均を計測する。そして、当該平均の、複数の入力部１２、２２、３２、４２におけるバラツキを小さくするように、それぞれの入力部１２、２２、３２、４２における入力タイミングを調整する。この場合、検出タイミングの平均を用いて入力タイミングを調整するので、接続部５０における経路長のバラツキによるスキューも低減できる。

出力調整機能は、各ピンＰ_１からＰ_４におけるそれぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを、他の３つのピンにおける全ての入力部１２、２２、３２、４２を用いて調整する。例えば、出力部１４における出力タイミングを調整する場合、出力部１４から信号を出力させ、他のピンにおける入力部２２、３２、４２が信号を検出する検出タイミングの平均を計測する。同様に、他の出力部２４、３４、４４についても当該平均を計測する。そして、当該平均の、複数の出力部１４、２４、３４、４４におけるバラツキを小さくするように、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整する。この場合、検出タイミングの平均を用いて出力タイミングを調整するので、接続部５０における経路長のバラツキによるスキューも低減できる。

タイミング調整部４００は、入力調整機能によりそれぞれの入力部１２、２２、３２、４２における入力タイミングを調整してから、出力調整機能によりそれぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整してよい。つまり、本実施形態にかかる入力調整機能によりスキューが改善された入力部１２、２２、３２、４２を使って、出力部１４、２４、３４、４４を調整することにより出力部１４、２４、３４、４４のスキューが改善される。

タイミング調整部４００は、基準調整機能、入力調整機能、及び出力調整機能をこの順番で実行してよい。これにより、簡易に実行できる基準調整機能によりそれぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを概ね調整してから、比較的に時間のかかる入力調整機能および出力調整機能により、接続部５０における経路長の差異等の微小なバラツキを低減することができる。このため、効率よく出力タイミングおよび入力タイミングを調整することができる。

また、タイミング調整部４００は、入力調整機能及び出力調整機能の組み合わせを繰り返して実行してもよい。つまり、タイミング調整部４００は、入力調整機能および出力調整機能を交互に複数回ずつ繰り返して実行してよい。これにより、経路長のバラツキによる入出力タイミングのスキューを更に低減することができる。

なお、基準調整機能においては、それぞれの入力部１２、２２、３２、４２における入力タイミングを、予め定められたいずれかの出力部１４、２４、３４、４４を基準に調整してもよい。この場合、タイミング調整部４００は、基準調整機能、出力調整機能、及び入力調整機能をこの順番で実行する。以下では、基準調整機能において、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整する例を用いて、タイミング調整部４００の動作を説明する。

図４は本実施形態にかかるタイミング調整部４００の基準調整機能を示すタイミング図である。なお本例では、経路６２のように接続部５０において隣接する接点を介するピン間の信号伝達時間を図４の横軸における５カウントとし、経路６４のように接続部５０において対角の接点を介するピン間の信号伝達時間を図４の横軸における６カウントとする。

本例では、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４の出力タイミングを、基準入力部として機能する入力部２２を用いて調整する。ただし、入力部２２に対応する出力部２４の出力タイミングは、入力部２２では直接計測することができないので、他の入力部の入力タイミングを、入力部２２の入力タイミングに合わせてから、当該入力部を用いて出力部２４の出力タイミングを調整する。

本例のステップ１では、入力部２２および入力部３２の入力タイミングを合わせる。より具体的には、タイミング調整部４００は、いずれかの出力部（本例では出力部１４）から基準調整信号を出力させる。そして、基準入力部として機能する入力部２２とは異なるいずれかの入力部（本例では入力部３２）が当該基準調整信号を検出するタイミングに応じて、当該入力部２２における入力タイミングを調整する。例えば、出力部１４が基準調整信号を出力してから、入力部２２および入力部３２が当該基準調整信号を検出するまでの時間が、それぞれ予め定められた基準値となるように、各ストローブ信号の遅延量を調整する。

出力部１４および入力部２２は、接続部５０において隣接する接点を介して接続されるのに対して、出力部１４および入力部３２は、接続部５０において対角の接点により接続される。このため、等長配線を前提とした当該タイミング調整を行っても、入力部３２が信号を検出するタイミングは、入力部２２が信号を検出するタイミングに対して、図４の横軸における１カウント分の遅延ΔＣＰを有する。

ステップ２において、タイミング調整部４００は、基準入力部として機能する入力部２２とは異なる入出力部１０、３０、４０における出力部１４、３４、４４から基準調整信号を順次出力させ、入力部２２がそれぞれの基準調整信号のエッジを検出するタイミングに応じて、出力部１４、３４、４４における出力タイミングを調整する。例えば、各出力部１４、３４、４４が基準調整信号のエッジを出力してから、入力部２２がそれぞれの基準調整信号のエッジを検出するまでの時間が、上述した基準値となるように、それぞれの出力部１４、３４、４４に対するタイミング信号の遅延量を調整する。

出力部１４および出力部３４は入力部２２に対して、接続部５０において隣接する接点により接続されるのに対して、出力部４４は入力部２２に対して、接続部５０において対角方向の接点により接続される。このため、等長配線を前提とした当該タイミング調整を行っても、出力部１４および出力部３４が信号を出力するタイミングは、出力部４４が信号を出力するタイミングに対して、図４の横軸における１カウント分の遅延を有する。

ステップ３において、基準入力部として機能する入力部２２と同一の入出力部２０における出力部２４から基準調整信号を出力させ、入力タイミングを調整した入力部３２が当該基準調整信号を検出するタイミングに応じて、出力部２４における出力タイミングを調整する。例えば、出力部２４が基準調整信号のエッジを出力してから、入力部３２が基準調整信号のエッジを検出するまでの時間が、上述した基準値となるように、出力部２４に対するタイミング信号の遅延量を調整する。

上述したように、入力部３２が信号を検出するタイミングは、入力部２２が信号を検出するタイミングよりも１カウント分遅延して調整されているので、上述したタイミング調整を行っても、出力部２４が信号を出力するタイミングは、出力部１４および出力部３４が信号を出力するタイミングよりも１カウント分の遅延を有する。このため、本例の基準調整機能を実行した場合でも、経路長のばらつきによる出力部１４、２４、３４、４４のスキューΔＤＲとして、２カウント分が残留する。

ところで、ステップ１から３はこの順番で実行されなくとも、ステップ１が最後とならなければ、いずれの順番で実行してもよい。例えば、ステップ２を最初に実行して基準の入力部２２により出力部１４、３４、４４の出力タイミングを調整した後、ステップ１を実行していずれかの出力部（例えば出力部１４）により、基準の入力部２２および他のいずれかの入力部の入力タイミングを合わせる。そして、ステップ３を実行して、当該他の入力部を用いて、基準の入力部２２に対応する出力部２４の出力タイミングを調整してよい。また、ステップ１を最初に実行して出力部１４により基準の入力部２２および他のいずれかの入力部の入力タイミングを合わせた後、ステップ３およびステップ２をこの順番で実行してもよい。

図５は本実施形態にかかるタイミング調整部４００の入力調整機能を示すタイミング図である。ここで、入力調整機能とは、タイミング調整部４００が、それぞれの入力部１２、２２、３２、４２における入力タイミングを調整する場合に、他の複数の入出力部１０、２０、３０、４０の出力部１４、２４、３４、４４に入力調整信号を順次出力させ、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４が出力した入力調整信号を、調整対象の入力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該入力部における入力タイミングを調整する機能を指す。ここで、入力調整信号とは、入力部１２、２２、３２、４２の入力タイミングを調整するための論理値がＬ論理からＨ論理に立ち上がるエッジを有する信号を指す。

例えば、タイミング調整部４００は、入力部１２を含む入出力部１０以外の他の複数の入出力部２０、３０、４０の出力部２４、３４、４４から、上記基準調整機能で調整された各タイミングで入力調整信号を順次出力させる。そして、それぞれの出力部２４、３４、４４が出力した入力調整信号のエッジを入力部１２が検出する検出タイミングの平均を算出し、その平均に基づいて入力部１２の入力タイミングを調整してよい。

また、タイミング調整部４００は、それぞれの出力部２４、３４、４４が出力した入力調整信号を、入力部１２が検出する検出タイミングが、予め定められたタイミングとなるように、それぞれの出力部２４、３４、４４毎に入力部１２の入力タイミングを設定してよい。そして、タイミング調整部４００は、それぞれの出力部２４、３４、４４毎に入力部１２に設定した入力タイミングの設定データの平均値を、入力部１２の入力タイミングの設定データとしてもよい。

本例では、出力部２４が入力調整信号を出力してから入力部１２が当該入力調整信号を検出するまでの時間が５カウント、出力部２４が入力調整信号を出力してから入力部１２が当該入力調整信号を検出するまでの時間が６カウント、出力部４４が入力調整信号を出力してから入力部１２が当該入力調整信号を検出するまでの時間が５カウントとなる。そして、それぞれの出力部２４、３４、４４の出力タイミングは、図５に示すようなバラツキを有するので、入力部１２の入力タイミングは、それぞれの出力部２４、３４、４４毎に、図５に示す位置に調整される。

上述したようにタイミング調整部４００は、出力部２４、３４、４４毎に入力部１２に設定した３つの設定データの平均を算出し、それを入力部１２の設定データ値としてよい。こうして調整された入力部１２の入力タイミングを図５において平均ＣＰ_１で示す。

残りの入力部２２、３２、４２についても同様に、タイミング調整部４００は、設定データまたは検出タイミングの平均を用いて、入力タイミングを調整する。例えば入力部２２の入力タイミングを調整する場合、タイミング調整部４００は、入力部２２を含む入出力部２０以外の他の複数の入出力部１０、３０、４０の出力部１４、３４、４４から上記基準調整機能で調整された各タイミングで入力調整信号を順次出力させる。そして、それぞれの出力部１４、３４、４４が出力した入力調整信号を、入力部２２が検出する検出タイミングの平均を算出し、その平均に基づいて入力部２２の入力タイミングを調整する。入力部３２、４２についても同様であるので、説明を省略する。

図５に示すように、本実施形態にかかるタイミング調整部４００の入力調整機能によれば、１カウント分のバラツキを有する配線を用いた入力タイミング調整において、入力部１２、２２、３２、４２の入力タイミングのスキューΔＣＰ'を（平均ＣＰ_４−平均ＣＰ_２）＝２／３カウント分に抑えることができた。

図６は、本実施形態にかかるタイミング調整部４００の出力調整機能を示す。ここで、出力調整機能とは、タイミング調整部４００が、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整する場合に、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４に出力調整信号を出力させ、他の複数の入出力部１０、２０、３０、４０における入力部１２、２２、３２、４２が出力調整信号を検出する検出タイミングの平均に基づいて、それぞれの出力部１４、２４、３４、４４における出力タイミングを調整する機能を指す。ここで、出力調整信号とは、出力部のタイミングを調整するための論理値がＬ論理からＨ論理に立ち上がるエッジを有する信号を指す。

例えば、出力部１４の出力タイミングを調整する場合、タイミング調整部４００は、出力部１４に出力調整信号を出力させ、出力部１４を含む入出力部１０以外の入出力部２０、３０、４０の入力部２２、３２、４２に当該出力調整信号を検出させる。本例では、それぞれの入力部１２、２２、３２、４２の入力タイミングは、図５に関連して説明した入力調整機能により既に調整されている。

そして、タイミング調整部４００は、それぞれの入力部２２、３２、４２が出力調整信号を検出する検出タイミングの平均を算出し、その平均に基づいて出力部１４の出力タイミングを調整する。また、タイミング調整部４００は、それぞれの入力部２２、３２、４２について、出力調整信号を検出する検出タイミングが予め定められたタイミングとなるように、それぞれの入力部２２、３２、４２毎に、出力部１４の出力タイミングを調整してもよい。

図６では、それぞれの入力部２２、３２、４２毎に調整した出力部１４の出力タイミングを示す。タイミング調整部４００は、それぞれの入力部２２、３２、４２に対して調整された出力部１４の出力タイミングの設定データの平均を算出し、その平均に基づいて出力部１４の出力タイミングを調整してよい。

本例では、出力部１４が出力調整信号を出力してから入力部２２が当該出力調整信号を検出するまでの時間が５カウントであり、出力部１４が出力調整信号を出力してから入力部３２が当該出力調整信号を検出するまでの時間が６カウントであり、出力部１４が出力調整信号を出力してから入力部４２が当該出力調整信号を検出するまでの時間が５カウントとなる。また、入力部２２、３２、４２の入力タイミングは、図６に示すようなバラツキを有するので、出力部１４の出力タイミングは、図６に示す位置に調整される。

上述したようにタイミング調整部４００は、入力部２２、３２、４２に対して設定した出力部１２の出力タイミングの設定データの平均を算出し、設定データの平均により出力部１４の出力タイミングを調整する。こうして調整された出力部１４の出力タイミングを図６において平均ＤＲ_１で示す。

残りの出力部２４、３４、４４についても同様に、設定データまたは検出タイミングの平均を用いて、入力タイミングを調整する。図６に示すように、本実施形態にかかるタイミング調整部の出力調整機能によれば、配線長のばらつきによる出力部１４、２４、３４、４４のスキューΔＤＲ'を（平均ＤＲ_２−平均ＤＲ_４）＝２／９カウント分に抑えることができた。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。

１０、２０、３０、４０・・・入出力部、１１、２１、３１、４１・・・入出力端、１２、２２、３２、４２・・・入力部、１４、２４、３４、４４・・・出力部、１６、２６、３６、４６・・・第１可変遅延回路、１８、２８、３８、４８・・・第２可変遅延回路、５０・・・接続部、５２、５４、５６、５８・・・配線、６２、６４・・・経路、１００・・・ドライバ回路、１１０・・・パターン発生部、１２０・・・判定部、２００・・・試験装置、３００・・・被試験デバイス、４００・・・タイミング調整部、５００・・・キャリブレーション用ボード

Claims (8)

1. 被試験デバイスを試験する試験装置であって、
   入出力端に入力された入力信号を検出する入力部、および、出力信号を前記入出力端から出力する出力部をそれぞれ有し、前記被試験デバイスと信号を受け渡す複数の入出力部と、
   それぞれの入出力部において、前記入力部が前記入力信号を検出する入力タイミングを調整するタイミング調整部と、
   それぞれの前記入出力部における前記入力タイミングを調整する場合に、前記複数の入出力部のそれぞれの前記入出力端を電気的に接続する接続部と
   を備え、
   前記タイミング調整部は、それぞれの前記入力部における前記入力タイミングを調整する場合に、他の複数の前記入出力部の前記出力部に入力調整信号を順次出力させ、それぞれの前記出力部が出力した前記入力調整信号を当該入力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該入力部における前記入力タイミングを調整する入力調整機能を有する試験装置。
2. 前記タイミング調整部は、それぞれの前記出力部が前記出力信号を出力する出力タイミングを調整する場合に、それぞれの前記出力部に出力調整信号を出力させ、当該出力部が出力した前記出力調整信号を他の複数の前記入出力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該出力部における前記出力タイミングを調整する出力調整機能を更に有する
   請求項１に記載の試験装置。
3. 前記タイミング調整部は、前記入力調整機能によりそれぞれの前記入力部における前記入力タイミングを調整してから、前記出力調整機能によりそれぞれの前記出力部における前記出力タイミングを調整する
   請求項２に記載の試験装置。
4. 前記タイミング調整部は、前記入力調整機能によりそれぞれの前記入力部における前記入力タイミングを調整する前に、それぞれの前記出力部に基準調整信号を順次出力させ、それぞれの前記出力部が前記基準調整信号を出力してから予め定められた基準入力部が当該基準調整信号を検出するまでの時間に基づいて、それぞれの前記出力部における前記出力タイミングを調整する基準調整機能を更に有する
   請求項３に記載の試験装置。
5. いずれかの前記入力部が、前記基準入力部として機能する
   請求項４に記載の試験装置。
6. 前記タイミング調整部は、前記基準調整機能を実行する場合に、
   前記基準入力部として機能する前記入力部とは異なる前記入出力部における前記出力部から前記基準調整信号を順次出力させ、前記基準入力部がそれぞれの前記基準調整信号を検出するタイミングに応じて、当該出力部における前記出力タイミングを調整し、
   前記出力タイミングを調整したいずれかの前記出力部から前記基準調整信号を出力させ、前記基準入力部として機能する前記入力部とは異なる前記入力部が当該基準調整信号を検出するタイミングに応じて、当該入力部における前記入力タイミングを調整し、
   前記基準入力部として機能する前記入力部と同一の前記入出力部における前記出力部から前記基準調整信号を出力させ、前記入力タイミングを調整した前記入力部が当該基準調整信号を検出するタイミングに応じて、当該出力部における前記出力タイミングを調整する
   請求項５に記載の試験装置。
7. 前記タイミング調整部は、前記入力調整機能および前記出力調整機能を交互に複数回ずつ繰り返して実行する
   請求項２から６のいずれか一項に記載の試験装置。
8. 入出力端に入力された入力信号を検出する入力部、および、出力信号を前記入出力端から出力する出力部をそれぞれ有する複数の入出力部を用いて被試験デバイスを試験する試験装置において、それぞれの入出力部が前記入力信号を検出する入力タイミングを調整するタイミング調整方法であって、
   前記複数の入出力部のそれぞれの前記入出力端を電気的に接続する接続段階と、
   それぞれの前記入力部における前記入力タイミングを調整する場合に、他の複数の前記入出力部の前記出力部に入力調整信号を順次出力させ、それぞれの前記出力部が出力した前記入力調整信号を当該入力部が検出する検出タイミングの平均に基づいて、当該入力部における前記入力タイミングを調整する入力調整段階と
   を備えるタイミング調整方法。

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