JP2011243833A - 洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回転テーブル3の上面に対向する位置に強制給気手段5を設け、回転テーブル3の外周を囲繞し回転テーブル3の上面と同じ高さ位置またはその上面より低い位置に環状排気手段7を配設し、環状排気手段7から吸引排気することにより、洗浄チャンバー2内において強制給気手段5から環状排気手段7に向かうダウンフロー100を発生させ、ダウンフロー100を利用して洗浄時に飛散したミスト状の洗浄水及び洗浄屑を効果的に環状排気手段7から排気し、ミスト等の被洗浄物Wの表面への再付着を防ぐ。
【選択図】図2
Description
2;洗浄チャンバー
20:開閉カバー 200:天井壁 201:側壁
202:底壁
3:回転テーブル 30:保持部
4:洗浄液供給手段 40:回転軸 41:アーム部 42:ノズル
5:強制給気手段 50:フィルタ 51:ファン 52:通気孔
6:操作部
7:環状排気手段 70、70a、70b、70c:吸引口
71a、71b、・・・、71h:吸引口
8:排出口 9:ダクト
100:ダウンフロー
W:被洗浄物
Claims (2)
- 被洗浄物を上面に保持して回転する回転テーブルと、該回転テーブルに保持された被洗浄物に向けて洗浄液を噴射する洗浄液供給手段とを有し、天井壁、側壁及び該回転テーブルの上面よりも下方に位置する底壁によって囲まれた洗浄チャンバーの内部に該回転テーブル及び該洗浄液供給手段が収容されて構成される洗浄装置であって、
該回転テーブルの外周を囲繞し、該回転テーブルの上面と同じ高さ位置又は該上面より低い位置で上下方向に貫通した吸引口を有する環状排気手段と、該回転テーブルの上面に対向する位置に設けられた強制給気手段とを備え、
該洗浄チャンバー内には、該強制給気手段から給気され該環状排気手段から吸引排気されることによって、該チャンバー内が大気圧よりも気圧が高い状態で上方から下方へ流れるダウンフローが形成され、該環状排気手段全周に渡り均等に吸引排気されることを特徴とする、
洗浄装置。 - 前記環状排気手段の吸引口は、環状に等間隔に形成された複数個の孔からなり、
該複数個の孔は、前記洗浄チャンバーを構成する前記側壁又は前記底壁に配設された排出口に連通され、
該排出口は、前記回転テーブルの上面よりも下方に位置し、外部のダクトに接続され、
該複数個の孔は、該排出口に近づくにつれて開口部が小さくなるようにそれぞれが形成され、
該洗浄チャンバー内の前記ダウンフローは、該環状排気手段全周に渡り均等に吸引排気される、
請求項1記載の洗浄装置。
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