JP2015222745A - 洗浄装置及び加工装置 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 152
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 58
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 58
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 17
- 239000012530 fluid Substances 0.000 abstract 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 18
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 6
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】洗浄テーブル(5)より下方で洗浄ハウジング(3)に接続した排気手段と、洗浄ハウジングの開口(3a)から洗浄液が飛散するのを防ぐエアーカーテン生成手段(19,21)と、を備える洗浄装置(1)であって、エアーカーテン生成手段は、洗浄ハウジングの開口の近傍に配設され、開口から洗浄ハウジング内へ斜め下向きにエアー(A,B)を噴射する第一の噴射口(19a)及び第二の噴射口を備え、第一の噴射口と第二の噴射口とは、平面視で洗浄テーブルを挟む位置に位置付けられ、洗浄テーブルの回転方向(R)と対応する向きにエアーを噴射する構成とした。
【選択図】図1
Description
3 洗浄ハウジング
3a 開口
3b 側壁
5 洗浄テーブル
5a 保持面
7 クランプ
9 スピンドル
11 回転駆動源
13 排気管
15 洗浄ノズル
17 支持アーム
19 エアー噴射ノズル(エアーカーテン生成手段)
19a 噴射口(第一の噴射口)
21 エアー噴射ノズル(エアーカーテン生成手段)
23 エアー供給管
25 開閉バルブ
27 エアー供給源
31 被洗浄物(被加工物)
33 デバイス
35 ダイシングテープ
37 フレーム
A,B エアー
R 回転方向
2 加工装置
4 基台
4a,4b 開口
6 カセット載置台
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵・防滴カバー
14 チャックテーブル
14a 保持面
16 クランプ
18 切削ユニット(加工手段)
20 支持構造
22 切削ユニット移動機構
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動テーブル
28 Y軸ボールネジ
30 Y軸パルスモータ
32 Z軸ガイドレール
34 Z軸移動テーブル
36 Z軸ボールネジ
38 Z軸パルスモータ
40 切削ブレード
42 洗浄ユニット(洗浄手段)
Claims (3)
- 被加工物を保持する回転可能な洗浄テーブルと、該洗浄テーブルに保持された被加工物に洗浄液を噴射する洗浄ノズルと、該洗浄テーブルを収容し上端部に開口が形成された洗浄ハウジングと、該洗浄テーブルより下方で該洗浄ハウジングに接続した排気手段と、該洗浄ハウジングの該開口から洗浄液が飛散するのを防ぐエアーカーテン生成手段と、を備える洗浄装置であって、
該エアーカーテン生成手段は、
該洗浄ハウジングの該開口の近傍に配設され、該開口から該洗浄ハウジング内へ斜め下向きにエアーを噴射する第一の噴射口及び第二の噴射口を備え、
該第一の噴射口と該第二の噴射口とは、平面視で該洗浄テーブルを挟む位置に位置付けられ、該洗浄テーブルの回転方向と対応する向きに該エアーを噴射することを特徴とする洗浄装置。 - 前記エアーカーテン生成手段は、イオン化されたエアーを噴射することを特徴とする請求項1記載の洗浄装置。
- 請求項1又は請求項2記載の洗浄装置を含む洗浄手段と、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工するための加工手段と、該チャックテーブルに保持された加工後の被加工物を該洗浄手段に搬送する搬送手段と、を備えることを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014105836A JP6351374B2 (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 洗浄装置及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014105836A JP6351374B2 (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 洗浄装置及び加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015222745A true JP2015222745A (ja) | 2015-12-10 |
JP6351374B2 JP6351374B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=54785625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014105836A Active JP6351374B2 (ja) | 2014-05-22 | 2014-05-22 | 洗浄装置及び加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6351374B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017135542A1 (ko) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | (주)이오테크닉스 | 웨이퍼 세정 장치 |
KR20210017662A (ko) * | 2019-08-09 | 2021-02-17 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
CN114304998A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-12 | 江西现代职业技术学院 | 一种平面设计展示装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0411728A (ja) * | 1990-04-30 | 1992-01-16 | Seiichiro Sogo | 半導体ウェハの洗浄装置 |
JP2004327613A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄方法および洗浄装置 |
JP2009260094A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンナ洗浄装置および加工装置 |
JP2011243833A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置 |
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2014
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0411728A (ja) * | 1990-04-30 | 1992-01-16 | Seiichiro Sogo | 半導体ウェハの洗浄装置 |
JP2004327613A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄方法および洗浄装置 |
JP2009260094A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | スピンナ洗浄装置および加工装置 |
JP2011243833A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 洗浄装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017135542A1 (ko) * | 2016-02-05 | 2017-08-10 | (주)이오테크닉스 | 웨이퍼 세정 장치 |
KR20210017662A (ko) * | 2019-08-09 | 2021-02-17 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
KR102420346B1 (ko) * | 2019-08-09 | 2022-07-13 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 |
CN114304998A (zh) * | 2022-01-05 | 2022-04-12 | 江西现代职业技术学院 | 一种平面设计展示装置 |
CN114304998B (zh) * | 2022-01-05 | 2023-04-04 | 江西现代职业技术学院 | 一种平面设计展示装置 |
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