JP2011232263A5 - 圧電センサー、センサー素子及び振動片 - Google Patents

Claims (12)

1. 基部と、前記基部から並んで延出する１対の振動腕とを有する振動片と、
   内部に固定面を有し、前記振動腕の主面が前記固定面と沿うように前記基部を支持し、前記内部と外部とを連通しているパッケージとを備え、
   前記主面を含む面の拡がる方向に前記振動腕を振動させたとき、前記主面と前記固定面との間に被測定流体の速度分布が生じることを特徴とするセンサー素子。
2. 前記主面と前記固定面との距離が２００μｍ以下の範囲にあることを特徴とする請求項１に記載のセンサー素子。
3. 前記基部が前記固定面側に支持されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のセンサー素子。
4. 前記パッケージが、前記基部を支持しているベースと、前記ベースに接合されて前記内部を画定するリッドとを有し、前記リッドが前記固定面を有していることを特徴とする請求項１又は２に記載のセンサー素子。
5. 前記振動片が音叉型圧電振動片であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のセンサー素子。
6. 前記振動腕が、その延出方向に交差して拡がり、かつ前記パッケージ内部の第２固定面に沿って配置されている端面を有し、
   前記主面を含む面の拡がる方向に前記振動腕を振動させたとき、前記端面と前記第２固定面との間に被測定流体の速度分布が生じることを特徴とする請求項５に記載のセンサー素子。
7. 前記第２固定面は、前記振動腕を囲繞するように前記基部に結合していることを特徴とする請求項６に記載のセンサー素子。
8. 前記振動片が双音叉圧電振動片であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のセンサー素子。
9. 前記パッケージ内部に前記振動片と同一の第２振動片を更に有し、前記第２振動片が、その振動腕をその主面を含む面の拡がる方向に振動させたとき、前記パッケージ内部の壁面との間で被測定流体の速度分布が生じないように、前記パッケージ内壁面から離隔して配置されていることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか一項に記載のセンサー素子。
10. 基部と、前記基部から並んで延出する１対の振動腕と、前記振動腕を囲繞するように前記基部に結合された外枠とを有し、
    前記振動腕が、その延出方向に交差して拡がる端面を有し、
    前記外枠が、前記端面と対向し、かつ前記端面に沿う方向に拡がっている内側面を有し、前記主面を含む面の拡がる方向に前記振動腕を振動させたとき、前記端面と前記内側面との間で被測定流体が速度分布を生じることを特徴とする振動片。
11. 請求項１乃至８のいずれか一項に記載のセンサー素子と、前記センサー素子の振動片のＣＩ値を検出する電気回路とを備えることを特徴とする圧電センサー。
12. 請求項９記載のセンサー素子と、前記センサー素子の振動片のＣＩ値と第２振動片のＣＩ値との差分を検出する電気回路とを備えることを特徴とする圧電センサー。