JP2008026064A - 圧力センサ - Google Patents

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Abstract

【課題】圧力を正確に測定することができる圧力センサを提供すること。
【解決手段】受ける圧力に応じて変化する圧電振動片32の周波数を検出することで、圧力を測定するようにした圧力センサ10であって、圧電振動片32は、開口部40を有するパッケージ30内に収容されており、パッケージ30の開口部40は、パッケージ40の外側から内側に水蒸気が透過することを抑制し、かつ、通気性を有する被覆シート60で覆われていることを特徴とする圧力センサ。
【選択図】図2

Description

本発明は、圧電振動片を利用した圧力センサに関する。
圧力変化に対応して周波数が変化する圧電振動片の性質を利用して、従来から、圧力センサが用いられている。
図6は、従来の圧電振動片を利用した圧力センサの概略斜視図である(例えば、特許文献1参照)。
この図に示されるように、従来の圧力センサ1は、一対の振動腕2,2を支持する基部3を有する音叉型の圧電振動片4と、この圧電振動片4と電気的に接続された端子5,5とを備えている。
そして、端子5,5を通じて圧電振動片4に一定の駆動電圧を印加すると、振動腕2,2が互いに接近・離間する方向に振動し、この振動に基づく所定の周波数を電気信号として取り出すことができる。
この際、圧電振動片4が晒されている気体圧力が変化すると、この圧力の変化に応じて圧電振動片4の周波数は変化する。そこで、この変化した周波数を検出することで、圧力が測定できるようになっている。
特開平1−244324号公開特許公報
ところで、このような圧力センサ1は周辺環境の圧力を測定するために、大気に晒されている。ところが、圧電振動片4は、大気中の湿気によっても周波数が変化してしまう。このため、圧力に対応して変化した周波数を検出しようとしても、この湿気による周波数の変化が加味されて、周辺環境の圧力を正確に測定することができないという問題がある。
本発明は、圧力を正確に測定することができる圧力センサを提供することを目的とする。
上述の目的は、第1の発明によれば、受ける圧力に応じて変化する圧電振動片の周波数を検出することで、前記圧力を測定するようにした圧力センサであって、前記圧電振動片は、開口部を有するパッケージ内に収容されており、前記パッケージの前記開口部は、前記パッケージの外側から内側に水蒸気が透過することを抑制し、かつ、通気性を有する被覆シートで覆われている圧力センサにより達成される.
第1の発明の構成によれば、圧電振動片はパッケージに収容されているが、このパッケージの開口部は被覆シートで覆われ、被覆シートは通気性を有するため、パッケージの外側の気圧と内側の気圧とを同じにすることができる。このため、圧電振動片は、たとえパッケージ内に収容されていても、周辺環境と同じ圧力を受けることになり、この圧力に応じた周波数変化を検出して、周辺環境の圧力を測定できる。
そして、この被覆シートはパッケージの外側から内側に水蒸気が透過することを抑制しているため、パッケージ内に湿気が入ることを抑えて、圧電振動片の湿気による周波数変動を有効に防止し、正確な圧力を測定できる。
したがって、圧力を正確に測定することができる圧力センサを提供することができる。
第2の発明は、第1の発明の構成において、前記被覆シートは、その厚み方向に変位可能なように、撓ませた状態で前記開口部を覆うようになっていることを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、被覆シートは、その厚み方向に変位可能なように、撓ませた状態で開口部を覆うようになっている。このため、被覆シートは、受ける圧力に対応してパッケージの内側あるいは外側に変位し、パッケージ内の体積を変化させることになる。したがって、被覆シートは、その通気性だけでなく、パッケージ内の体積を変化させることによっても、パッケージ内の圧力を調整し、周辺環境の圧力を素早く測定できる。
第3の発明は、第1または第2の発明の構成において、前記パッケージの内側には、吸湿材が設けられていることを特徴とする。
第3の発明の構成によれば、パッケージの内側には、吸湿材が設けられているため、パッケージ内に湿気が入ったとしても、この吸湿材により湿気をとることができる。
第4の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記パッケージは、全体が略四角形体からなり、前記圧電振動片の主面と対向する面が前記開口部となっている表面実装型であることを特徴とする。
第4の発明の構成によれば、パッケージは、全体が略四角形体からなる表面実装型であるため、圧力センサの低背化を図ることができる。そして、このような表面実装型であって、圧電振動片の主面と対向する面が開口部であるため、開口部が湿気の入り易い大きな面積を有していても、第1ないし第3の発明と同様の作用によって、パッケージ内の湿度を下げることができる。
第5の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記パッケージは、全体が略円柱体からなり、前記圧電振動片の側面と対向する面が前記開口部となっているシリンダー型であることを特徴とする。
第5の発明の構成によれば、パッケージは、全体が略円柱体からなり、圧電振動片の側面と対向する面が開口部となっているシリンダー型であるため、開口部は圧電振動片の側面に対応した小さな外形となっている。したがって、被覆シートを設ける面積が小さくて済み、また、外部から水蒸気が侵入する間口が狭くなって、パッケージ内の湿気をより有効に防止できる。
第6の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記パッケージは、全体が略四角形体からなる表面実装型であって、蓋体により封止されており、前記蓋体の一部に前記開口部が形成されていることを特徴とする。
第6の発明の構成によれば、圧力センサの低背化を図った表面実装型であったとしても、開口部は、パッケージを封止する蓋体の一部に形成されているだけなので、被覆シートを設ける面積が小さくて済み、また、外部から水蒸気が侵入する間口が狭くなって、パッケージ内の湿気をより有効に防止できる。
図1ないし図3は、本発明の実施形態に係る圧力センサ10を示しており、図1はその概略平面図、図2は図1のA−A線概略切断断面図、図3は圧力センサ10に用いられる圧電振動片32の概略斜視図である。
なお、図1および図2では、図面が複雑になることを避けるため、後述する励振電極や引出し電極を全て図示していない。また、図1および図3の平行斜線で示す部分は理解の便宜のために図示したもので、断面を表すものではない。
これらの図において、圧力センサ10は、受ける圧力に応じて周波数が変化する圧電振動片32と、この圧電振動片32を収容するようにしたパッケージ30とを備えている。
パッケージ30は、本実施形態の場合、全体が略四角形体からなり、圧電振動片32の主面と対向する面が開口部40や実装面となっている表面実装型であり、圧力センサ10の低背化を図っている。
具体的には、パッケージ30は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後に、焼結して形成されている。この実施形態のパッケージ30は、図2に示すように、下から第1の基板30a、第2の基板30bを重ねて形成されている。
第2の基板30bは、枠状部を残すようにして内側に、厚み方向に貫通した孔を形成することで、第1の基板30aに積層した場合に、パッケージ30の内側に内部空間Sを形成するようにされている。この内部空間Sが圧電振動片32を収容する空間である。
また、第2の基板30bの内側の孔は開口部40ともなり、この開口部40から圧電振動片32をパッケージ30内に挿入するようになっている。すなわち、本実施形態のパッケージ30は、開口部40の外形が圧電振動片32の主面の外形よりも大きく、マウンター等で圧電振動片32の主面を吸着して、圧電振動片32をマウントできるようになっている。
第1の基板30aの内部空間Sに露出した領域には、図1および図2に示すように、実装端子部43,43と電気的に接続されたマウント電極42,42が設けられている。
マウント電極42,42は、図1における右端部付近であって、圧電振動片32の幅方向の両端に、例えば、金または金合金により形成され、このマウント電極42,42の上には、導電性接着剤46,46が塗布されている。
そして、圧電振動片32の主面がパッケージ30の内底(第1の基板30aの内部空間Sに露出した上面)と平行になるようにして、導電性接着剤46,46の上に圧電振動片32が載置されて、導電性接着剤46,46が硬化することにより、圧電振動片32とパッケージ30とが接合されている。
なお、導電性接着剤46には、エポキシ系またはポリイミド系、またはシリコーン系等の接着剤を用いることができるが、本実施形態では、エポキシ系の導電性接着剤等よりも柔軟性を有し、振動の際に発生する応力等の様々な応力を緩和することができるシリコーン系の導電性接着剤を使用している。
圧電振動片32は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができ、本実施形態の場合、小型に形成しても所定の周波数を得ることができるように、音叉型圧電振動片となっている。
すなわち、圧電振動片32は、X軸、Y軸、Z軸からなる直交座標系において、Z軸を中心に時計回りに0度ないし5度の範囲で回転して切り出した水晶Z板を所定の厚みに切断研磨して得られるものを用いており、一対の振動腕35,36と、この振動腕35,36と一体に形成され、一対の振動腕35,36を支持する基部51とを備えている。
基部51は、一対の振動腕35,36を支持すると共に、マウント電極42,42に接合される部分でもあり、図1および図3に示すように、幅方向両端の表裏面に引出電極54,55が形成され、この引出電極54,55とマウント電極42,42とが電気的機械的に接続されている。
一対の振動腕35,36は、基部51から互いに平行に延びるように形成されており、図3に示すように、それぞれに励振電極33,34が設けられている。励振電極33,34は振動腕35,36に駆動電圧を印加して、振動腕35と振動腕36とが互いに接近・離間する方向に振動させるようにしている。
なお、励振電極33,34には、例えばクロムメッキによる下地層の上に金メッキを被覆した構成が適している。
さらに、一対の振動腕35,36は、表裏面のそれぞれに長手方向に沿って延びる長溝24,25が形成されており、幅方向の縦断面が略H型となっている。そして、図3に示すように、長溝24,25内には励振電極33,34が形成され、長溝24内の励振電極33と対向するようにして、振動腕35の側面に励振電極34が形成されており、長溝25内の励振電極34と対向するようにして、振動腕36の側面に励振電極33が形成されている。また、励振電極33は基部51の引出電極54と接続され、励振電極34は、基部51の引出電極55と接続されて、励振電極33と励振電極34とは、互いに異極となっている。これにより、各腕内の電界効率は高まって、クリスタルインピーダンス値(CI値)が低くなるようにしている。
ここで、図1及び図2に示すように、パッケージ30の開口部40は、パッケージ30の外側から内側(内部空間S)に水蒸気が透過することを抑制し、かつ、通気性を有する被覆シート60で覆われている。
この被覆シート60は、パッケージ外部の圧力を圧電振動片32に伝えると共に、内部空間S内を乾燥状態に保持するためのものである。
すなわち、被覆シート60は、図1の平行斜線で示す部分に配置されて、開口部40全体を覆っており、外部から内部空間S内に水蒸気を透過し難くし、かつ、パッケージ30の内側と外側の気圧差がある場合に、その気圧差を無くすべくガス等の気体を透過する性質を備えていればよく、材質としては、その性質を備えた高分子系の素材を用いることができ、具体的には、塩化ビニール等を用いることができる。
具体的には、被覆シート60は、接着剤58を用いて、パッケージ30の開口部40側の端面全周に接合されている。
そして、パッケージ30に接合される際、被覆シート60は、その厚み方向に変位可能なように、撓ませた状態で開口部40を覆うようになっている。
すなわち、被覆シート60は、柔軟性を有しており、図2に示すように、張りつめた状態でパッケージ30に接合されず、表面が波打つように部分的に可撓した状態でパッケージ30に接合されている。これにより、被覆シート60は、受ける圧力に応じてパッケージ30の内側あるいは外側に変位することで、内部空間Sの体積を変化させ、パッケージ30内の圧力を素早く変化させることができる。
したがって、被覆シート60が水蒸気を透過し難くするシートであるため、この被覆シート60を介した気体分子の移動に時間がかかるような場合であっても、素早く圧力を測定できる。
なお、被覆シート60で湿気がパッケージ30内に侵入することを完全に防止することは困難な場合があり、このため、本実施形態では、図2に示すように、パッケージ30の内側に吸湿材62が設けられている。
すなわち、吸湿材62は、パッケージ30内に湿気が入ったとしても、その湿気をとるものであり、例えばシリカゲル等を用いることができる。具体的には、圧電振動片32が振れても、圧電振動片32が接触しない領域に配置され、図2の場合、パッケージ30の第1の基板30a上の隅に固定されている。
本発明の実施形態は以上のように構成されており、パッケージ30の開口部40を覆う被覆シート60は通気性を有するため、圧力センサ10の周辺環境の圧力が変化すると、例えば外部大気が内部空間Sに入ってくる等して、パッケージ30の外側と内側の気圧差を解消し、内部空間S内の圧力を周辺環境と同じにすることができる。このため、圧電振動片32は、パッケージ30が外側で受けた圧力と同じ圧力を受けて、周波数が変化する。そこで、この変化した周波数を検出することで、周辺環境の圧力を測定できる。
そして、この被覆シート60はパッケージ30の外側から内側に水蒸気が透過することを抑制しているため、パッケージ30内に湿気が入ることを抑えて、圧電振動片32の湿気による周波数変動を有効に防止し、正確な圧力を測定できる。
図4は、本発明の上述した実施形態の第1の変形例に係る圧力センサ12の概略縦断面図である。なお、この図では、作図の便宜上、上述した励振電極を図示していない。
この図において、上述した圧力センサ10の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この第1の変形例に係る圧力センサ12が図1ないし図3の圧力センサ10と異なるのは、パッケージ30および被覆シート60についてである。
すなわち、圧力センサ12のパッケージ30は、全体が略円柱体からなり、圧電振動片32の側面と対向する面が開口部40となっているシリンダー型である。
具体的には、パッケージ30は、幅方向の断面が楕円形等でなる円筒状であって、この筒状の長手方向と圧電振動片32の長手方向が沿うようにして、圧電振動片32を収容している。また、この筒状の一方を絶縁部材29で封止すると共に、この絶縁部材29をリード端子26,27が挿通して、端子26,27と引出電極54,55とが電気的に接続されている。
そして、筒状の他方、すなわち、圧電振動片32の先端側(振動腕35,36の先端側)に開口部40を配置して、この開口部40を被覆シート60で覆うようにしている。
本発明の実施形態の第1の変形例は以上のように構成され、パッケージ30は、全体が略円柱体からなり、圧電振動片32の側面と対向する面が開口部40となっているシリンダー型であるため、開口部40は圧電振動片32の側面に対応した小さな外形となっている。したがって、被覆シート60を設ける面積が小さくて済み、また、外部から水蒸気が侵入する間口が狭くなって、パッケージ30内の湿気をより有効に防止できる。
図5は、本発明の上述した実施形態の第2の変形例に係る圧力センサ14の概略斜視図である。
この図において、上述した圧力センサ10,12の説明で用いた符号と同一の符号を付した箇所は共通する構成であるから、重複した説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この第2の変形例に係る圧力センサ14が図1ないし図4の圧力センサ10,12と異なるのは、パッケージ30を封止する構造と被覆シート60との関係についてである。
すなわち、圧力センサ14のパッケージ30は、全体が略四角形体からなる表面実装型であって、蓋体28により封止されており、この蓋体28の一部に開口部40が形成されている。
具体的には、パッケージ30は、図2に示すように、その内側に内部空間Sが形成され、図5に示すように、開口側端面にロウ材59などで金属やガラス等でなる蓋体28を接合して、内部空間S(図2参照)を封止するようにしている。
そして、この蓋体28の一部、本実施形態の場合、蓋体28の中央付近に開口部40を形成して、この開口部40を被覆シート60で覆うようにしている。
本発明の実施形態の第2の変形例は以上のように構成されており、パッケージ30は表面実装型であり低背化を図ることができる。そして、このように圧力センサ14の低背化を図った表面実装型であったとしても、開口部40は、パッケージ30を封止する蓋体28の一部に形成されているだけである。したがって、シリンダー型のパッケージと同様に、被覆シート60を設ける面積が小さくて済み、また、外部から水蒸気が侵入する間口が狭くなって、パッケージ30内の湿気をより有効に防止できる。
本発明は上述の実施形態に限定されない。実施形態や各変形例の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
本発明の実施形態に係る圧力センサの概略平面図。 図1のA−A線概略切断断面図。 本発明の実施形態に係る圧力センサに用いられる圧電振動片の概略斜視図。 本発明の実施形態の第1の変形例に係る圧力センサの概略縦断面図。 本発明の実施形態の第2の変形例に係る圧力センサの概略斜視図。 従来の圧電振動片を利用した圧力センサの概略斜視図。
符号の説明
10,12,14・・・圧力センサ、30・・・パッケージ、32・・・圧電振動片、40・・・開口部、60・・・被覆シート

Claims (6)

  1. 受ける圧力に応じて変化する圧電振動片の周波数を検出することで、前記圧力を測定するようにした圧力センサであって、
    前記圧電振動片は、開口部を有するパッケージ内に収容されており、
    前記パッケージの前記開口部は、前記パッケージの外側から内側に水蒸気が透過することを抑制し、かつ、通気性を有する被覆シートで覆われている
    ことを特徴とする圧力センサ。
  2. 前記被覆シートは、その厚み方向に変位可能なように、撓ませた状態で前記開口部を覆うようになっていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
  3. 前記パッケージの内側には、吸湿材が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の圧力センサ。
  4. 前記パッケージは、全体が略四角形体からなり、前記圧電振動片の主面と対向する面が前記開口部となっている表面実装型であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧力センサ。
  5. 前記パッケージは、全体が略円柱体からなり、前記圧電振動片の側面と対向する面が前記開口部となっているシリンダー型であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧力センサ。
  6. 前記パッケージは、全体が略四角形体からなる表面実装型であって、蓋体により封止されており、
    前記蓋体の一部に前記開口部が形成されている
    ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の圧力センサ。
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JP2011232263A (ja) * 2010-04-29 2011-11-17 Seiko Epson Corp 圧電センサー、圧電センサー素子及び圧電振動片

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