JP2011230046A5 - 液体吐出装置及び液体吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板に液体を吐出して均一な膜厚比となる膜を形成する液体吐出装置及び液体吐出方法に関するものである。

そこで、本発明は、基板温調や描画後の乾燥制御機構のような複雑な機構を採用することなく、液体の温度を制御することによって基板に着弾した液体の乾燥速度を均一な状態に近づける液体吐出装置及び液体吐出方法を提供することを目的とするものである。

本発明は、１つ又は複数の液体吐出ヘッドからなるヘッドユニットを備え、前記ヘッドユニットは、複数の液室と、前記各液室に供給された液体をそれぞれ吐出するためのノズルと、を有し、前記ヘッドユニットを基板に対して相対的に走査方向に移動させ、前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を前記基板に吐出する液体吐出装置において、液体を貯留する貯留タンクと、前記貯留タンクと前記複数の液室とを連通する複数の流路と、前記各流路にそれぞれ設けられ、前記各流路を流れる液体に対してそれぞれ温熱又は冷熱を付与する第１の温調部と、前記各液室にそれぞれ設けられ、前記各液室に供給された液体に対してそれぞれ温熱又は冷熱を付与する第２の温調部と、を備えていることを特徴とするものである。

Claims (7)

1. １つ又は複数の液体吐出ヘッドからなるヘッドユニットを備え、前記ヘッドユニットは、複数の液室と、前記各液室に供給された液体をそれぞれ吐出するためのノズルと、を有し、前記ヘッドユニットを基板に対して相対的に走査方向に移動させ、前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を前記基板に吐出する液体吐出装置において、
   液体を貯留する貯留タンクと、
   前記貯留タンクと前記複数の液室とを連通する複数の流路と、
   前記各流路にそれぞれ設けられ、前記各流路を流れる液体に対してそれぞれ温熱又は冷熱を付与する第１の温調部と、
   前記各液室にそれぞれ設けられ、前記各液室に供給された液体に対してそれぞれ温熱又は冷熱を付与する第２の温調部と、を備えていることを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記各第１の温調部及び前記各第２の温調部を制御する制御部をさらに備え、
   前記各第１の温調部における目標温度は、前記各流路を流れる液体に予熱を付与する値に設定され、
   前記各第２の温調部における目標温度は、ノズル列端部のノズルに対応する液室からノズル列中央部のノズルに対応する液室に向かうに連れ、液室内の液体の温度が高くなる値に設定されていることを特徴とする請求項１記載の液体吐出装置。
3. 前記各第１の温調部における目標温度は、前記ノズル列端部のノズルに対応する流路から前記ノズル列中央部のノズルに対応する流路に向かうに連れ、流路を流れる液体の温度が高くなる値に設定されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記各第１の温調部における目標温度は、対応するそれぞれの前記第２の温調部の目標温度と同一の値に設定されていることを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出装置。
5. １つ又は複数の液体吐出ヘッドからなるヘッドユニットを備え、前記ヘッドユニットは、複数の液室と、前記各液室に供給された液体をそれぞれ吐出するためのノズルと、を有し、前記ヘッドユニットを基板に対して相対的に走査方向に移動させ、前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を前記基板に吐出する液体吐出装置において、
   液体を貯留する貯留タンクと、
   前記貯留タンクと前記複数の液室とを連通する流路と、
   前記流路に設けられ、前記流路を流れる液体に対して温熱又は冷熱を付与する第１の温調部と、
   前記各液室にそれぞれ設けられ、前記各液室に供給された液体に対してそれぞれ温熱又は冷熱を付与する第２の温調部と、
   前記第１の温調部及び前記各第２の温調部を制御する制御部と、を備え、
   前記第１の温調部における目標温度は、前記流路を流れる液体に予熱を付与する値に設定され、
   前記各第２の温調部における目標温度は、ノズル列端部のノズルに対応する液室からノズル列中央部のノズルに対応する液室に向かうに連れ、液室内の液体の温度が高くなる値に設定されていることを特徴とする液体吐出装置。
6. 前記第１の温調部における目標温度は、前記複数の第２の温調部における目標温度の値のうち最小値と最大値との間の値に設定されていることを特徴とする請求項５に記載の液体吐出装置。
7. １つ又は複数の液体吐出ヘッドからなるヘッドユニットを備え、前記ヘッドユニットは、複数の液室と、前記各液室に供給された液体をそれぞれ吐出するためのノズルと、を有し、前記ヘッドユニットの前記ノズルから液体を吐出する液体吐出方法において、
   液体を貯留する貯留タンクと前記複数の液室とを連通する複数の流路の各流路を流れる液体に対して予熱を付与し、
   前記予熱が付与された液体を前記各液室に供給し、前記供給された前記各液室内の液体の温度が、ノズル列端部のノズルに対応する液室からノズル列中央部のノズルに対応する液室に向かうに連れて高くなるように、前記各液室内の液体それぞれに温熱又は冷熱を付与することを特徴とする液体吐出方法。