JP2011228591A - 素子収納用パッケージ、およびこれを備えた電子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】素子収納用パッケージであって、上側主面に素子搭載部1aを有する基体1と、素子搭載部1aに搭載される素子5と電気的に接続される配線導体6を有し、基体1の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する枠体3と、断面視形状が上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有し、傾斜面が内側面および外側面の少なくとも一方に設けられ、基体1の素子搭載部1aを取り囲むとともに基体1と枠体3とを接合するように設けられた応力緩和部材2と、枠体3の下面から応力緩和部材2の傾斜面にかけて設けられたフィレット4aを有するとともに、枠体3と応力緩和部材2とを接合する接合材4と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
<素子収納用パッケージの構成、および電子装置の構成>
本実施形態に係る素子収納用パッケージは、図1に示すように、上側主面に素子搭載部1aを有する基体1と、素子搭載部1aに搭載される素子5と電気的に接続される配線導体6を有し、基体1の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する枠体3と、断面視形状が上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有し、該傾斜面が内側面および外側面の少なくとも一方に設けられ、基体1の素子搭載部1aを取り囲むとともに基体1と枠体3とを接合するように設けられた応力緩和部材2と、枠体3の下面から応力緩和部材2の傾斜面にかけて設けられたフィレット4aを有するとともに、枠体3と前記応力緩和部材2とを接合する接合材4と、を備えている。
視形状が、応力緩和部材2の上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有している。
和部材2の上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有している。なお、応力緩和部材2の一側面の垂直な側面では、接合材4がなだらかなフィレット4aを形成するが、応力緩和部材2の他側面の傾斜面では、傾斜面に沿って、接合材4がよりなだらかなフィレット4aを形成することができる。
きる。また、接合材4は、接合材4のフィレット4aで枠体3と応力緩和部材2の側面とを接合しているので、枠体3と応力緩和部材2との接合面の気密封止性を向上させることができる。
ここで、素子収納用パッケージ、およびこれを備えた電子装置の製造方法を説明する。
第2の枠体3bを積層して、約1600℃の温度で同時に焼成することにより、焼成後に、第1の枠体3aと第2の枠体3bが一体化される。
本実施形態に係る素子収納用パッケージでは、応力緩和部材2の断面視形状が、応力緩和部材2の一側面を垂直に、他側面をその上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有しているが、これに限らない。図4に示すように、応力緩和部材2は、断面視形状が応力緩和部材2の内側面および外側面の両側面に、応力緩和部材2の上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有し、傾斜面が円弧状に湾曲している湾曲傾斜面であってもよい。接合材4のなだらかなフィレット4aが、枠体3の下面から応力緩和部材2の傾斜面にかけて形成される。接合材4のなだらかなフィレット4aが、応力緩和部材2の内側面および外側面の両側面の傾斜面に湾曲している湾曲傾斜面に形成されているので、枠体3と応力緩和部材2との接合性を向上することができる。また、枠体3と応力緩和部材2との接合面の気密性を向上することができる。応力緩和部材2の傾斜面の円弧状に湾曲している湾曲傾斜面で、接合材4が保持され、接合材4のなだらかなフィレット4aを形成しやくすることができる。また、応力緩和部材2の傾斜面が、円弧状に湾曲しているので、湾曲傾斜面を介して、接合材4が広がりやすく、短時間で接合材4のなだらかなフィレット4aを形成することができる。
緩和効果を向上させることができる。また、応力緩和部材2は、応力緩和部材2の両側面の傾斜面の少なくも一方に円弧状に湾曲している湾曲傾斜面を有していればよい。なお、応力緩和部材2の湾曲傾斜面は、傾斜面を有する応力緩和部材2の上側をエッチング加工することによって形成することができる。
さらに、図5に示すように、応力緩和部材2が、上面の横幅および下面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有し、応力緩和部材2の両側面の上面側および下面側に傾斜面が円弧状に湾曲している湾曲傾斜面であってもよい。枠体3の下面から応力緩和部材2の傾斜面にかけて、さらに、基体1の上側主面から応力緩和部材2の傾斜面にかけて接合材4のなだらかなフィレット4aが形成される。これによって、接合材4のなだらかなフィレット4aが、応力緩和部材2の上面側および下面側の傾斜面に湾曲している湾曲傾斜面に形成される。すなわち、枠体2の下面から応力緩和部材2の上側の湾曲傾斜面、および基体1の上面から応力緩和部材2の下側の湾曲傾斜面にかけて、接合材4のなだらかなフィレット4aが形成される。応力緩和部材2の下側の湾曲傾斜面と基体1の上面との間に、応力緩和部材2と基体1とを接合するための接合材4のフィレット4aが形成されるので、基体1と応力緩和部材2との接合を強固にし、接合性を向上することができる。また、接合材4のフィレット4aが、基体1側および枠体3側に形成されるため、応力の緩和効果をより向上させることができる。また、基体1および枠体3と応力緩和部材2との接合面の気密性を向上することができる。また、円弧状に湾曲している湾曲傾斜面に形成せず、応力緩和部材2の上面の横幅および下面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面であってもよい。なお、応力緩和部材2の湾曲傾斜面は、傾斜面を有する応力緩和部材2の上側および下側から同時にエッチング加工することによって形成することができる。
本実施形態に係る素子収納用パッケージでは、図2に示すように、応力緩和部材2が、枠状に形成されているが、これに限らない。図6に示すように、応力緩和部材2は、平面視において2つの部分に分割されていてもよい。応力緩和部材2は、2つの部分に分割されることによって、熱膨張又は熱収縮といった熱歪み量を低減することができ、基体1と枠体3との間の熱歪みの緩和効果を向上させることができる。これにより、枠体3にクラック等の破損が発生するのを抑制することができる。また、応力緩和部材2は、2つの部分に分割されているが、これに限らず、熱歪み量をより低減するために、2つ以上の複数の部分に分割されてもよい。
1a 素子搭載部
2 応力緩和部材
3 枠体
3a 第1の枠体
3b 第2の枠体
4 接合材
4a フィレット
5 素子
6 配線導体
7 蓋体
Claims (4)
- 上側主面に素子搭載部を有する基体と、
前記素子搭載部に搭載される素子と電気的に接続される配線導体を有し、前記基体の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有する枠体と、
断面視形状が上面の横幅が狭くなるように側面が傾斜している傾斜面を有し、該傾斜面が内側面および外側面の少なくとも一方に設けられ、前記基体の素子搭載部を取り囲むとともに前記基体と前記枠体とを接合するように設けられた応力緩和部材と、
前記枠体の下面から前記応力緩和部材の前記傾斜面にかけて設けられたフィレットを有するとともに、前記枠体と前記応力緩和部材とを接合する接合材と、
を備えたことを特徴とする素子収納用パッケージ。 - 請求項1の記載の素子収納用パッケージであって、
前記応力緩和部材は、該応力緩和部材の前記傾斜面が湾曲している湾曲傾斜面を有していることを特徴とする素子収納用パッケージ。 - 請求項1又は請求項2に記載の素子収納用パッケージであって、
前記応力緩和部材は、平面視において複数の部分に分割されていることを特徴とする素子収納用パッケージ。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の素子収納用パッケージと、
前記素子収納用パッケージの前記基体の前記素子搭載部に搭載され、前記枠体の前記配線導体に電気的に接続される素子と、
を備えたことを特徴とする電子装置。
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