JP2011222835A - 集積回路の製造、設計方法、およびプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本製造方法では、対象経路上のトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値により閾値を算出し、算出された閾値と目標閾値との差を算出し、トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出し、対象経路上のトランジスタのゲート長を変更量だけ縮小し、ゲート長が縮小されたトランジスタを含む回路の設計情報から回路が製造される。
【選択図】図8
Description
ステップが実行される。さらに、対象経路上のトランジスタのゲート長を変更量だけ縮小する寸法変更ステップと、ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路の設計情報から、回路を製造するステップと、が実行される。
図1は、トランジスタの周辺レイアウト情報のパラメータとトランジスタの特性の関係を例示する図である。ここで、トランジスタの周辺レイアウト情報のパラメータとしては
、例えば、活性領域幅、あるいは、SD(ソース・ドレイン)幅とも呼ばれるゲートからSD領域の末端までの距離を用いることができる。図1は、トランジスタのオン電流および閾値がSD幅に対してとる値をプロットしたものである。
(1)「クリティカル・パス(critical path) 」すなわち「速度パス(speed path)」を識別する。
(2)識別したクリティカル・パス上の素子(回路素子ともいう)または要素についてレイアウト分析を行い、閾値が標準のトランジスタに比べて深い(大きい)トランジスタを抽出する。
(3)閾値が標準のトランジスタに比べて深い(大きい)トランジスタを対象にゲート長を細らせるようにレイアウトを変更する。
(4)変更したレイアウトにしたがって、集積回路を製造する。
、すなわち消費電力の増加をできるだけ抑えながら、回路の動作速度を高めた集積回路を製造することができる。
図6に、集積回路の設計工程で使用される設計支援装置10のハードウェア構成を例示する。設計支援装置10は、CPU11、主記憶装置12、外部記憶装置13、表示装置14、入力装置15、ドライブ装置16を有する。
る。静電パッドは、平面パッドを指等でなぞるユーザ操作を検知し、ユーザ操作に応じてディスプレイ上のカーソルの位置と移動状態とを制御するために使用される装置である。例えば、平面パッド下の電極静電容量の変化によって、ユーザの指の動きが検知される。
図7に、論理設計後のデータの例を示す。図3の論理設計後のデータは、パスPAと、パスPBという2つの経路を含む集積回路の部分を含む。
図8は、集積回路の論理設計およびレイアウト設計後の設計検証時および特性調整時の処理のフローチャートの例である。設計支援装置10のCPU11は、主記憶装置12に展開されたコンピュータプログラムにより図8の処理を実行する。この処理では、設計支援装置10には、図7で例示される、配線の属性を含む、集積回路の接続関係を記述した
設計データ、及びレイアウトデータが入力される。
セットアップのスラック値=min(DB-DA) + T − C
により得られる。ここで Tはクロック周期、Cは定数である。ただし、パスPA、PB
は例示あり、上記スラック値は、2点間の複数のパスそれぞれに計算される。以下の説明でも、典型例として、パスPA、PBを用いた説明がなされるが、スラック値は、2点間の複数のパスそれぞれに計算されるものとする。
さらに、フリップフロップFF1からFF2に至るパスのホールドのスラック値は、パスPAの最大遅延時間Da_minと、パスPBの最小遅延時間Db_maxを用いて次式より得られる。
次に、設計支援装置10は、スラック値が基準値未満か否かを判定する(S22)。そして、スラック値が基準値未満の場合、設計支援装置10は、当該2点間をクリティカル・パスとして記録する(S23)。
情報とレイアウト情報の照合を実行すればよい。例えば、設計データ中のレイアウトパターンは、接続情報とセルライブラリから、生成される。このレイアウトパターン生成時に、接続情報と、レイアウトパターンの関係を記録しておけばよい。そして、接続情報で定義された素子に該当するレイアウトパターンを取得すればよい。
。これらのパラメータの抽出にあたっては、ゲート層、活性層、DSLライナー層、コンタクト層などのレイヤごとのレイアウトデータを論理処理することで抽出することができる。レイアウトデータは、設計パターンデータなどとも呼ばれ、多角形、幅つき線等の図形によって回路、あるいは、素子の形状を指定したデータである。なお、図11は、単一のトランジスタではなく、4つのゲートG1−G4に対応する4つのトランジスタTR1−TR4が含まれている。
性領域に対応するレイヤ番号の図形をサブトラクトする。
[数1]
Vth = f(LG,WG,WSD,WDSLX,WDSLY,DG, ・・・・)
;
ここで、fは、ゲート長LG,ゲート幅WG,ソース・ドレイン幅WSD,ストレスライナー膜DSLの被り量(WDSLX、WDSLY)、隣接ゲートまでのスペース(DG)、コンタクト数、コンタクト・ゲート間距離などの多項式で例示される。多項式は、定数の項、各パラメータの1次以上の項、あるいは、異なるパラメータの1次以上の因子を乗算した項を含むようにすればよい。
δVth =g(WSD,WDSLX,WDSLY,・・・・);
ここで、gは、ゲート長LG,ゲート幅WGを除く、周辺レイアウト情報のパラメータの多項式で表すことができる。δVthの係数の決定手順も、数2のと同様である。
ΔVth = h (Lg, W, SD)
このステップでは、予めゲート長ごとにサイジングの上限を設定することで、異常にゲート長が小さくなってしまうことを避けることができる。
当然プロセス工程も増えるのでコストが増大する。しかし、本実施例による手法では同じマスク上でゲート長のみを変更しているだけなので、追加のコストは発生しない。
、ボンディング等の工程を経て、半導体装置が製造される(P3A)。
コンピュータその他の機械、装置(以下、コンピュータ等)に上記いずれかの機能を実現させるプログラムをコンピュータ等が読み取り可能な記録媒体に記録することができる。そして、コンピュータ等に、この記録媒体のプログラムを読み込ませて実行させることにより、その機能を提供させることができる。
12 主記憶装置
13 外部記憶装置
14 表示装置
15 入力装置
16 ドライブ装置
17 記憶媒体
FF1、FF2 フリップフロップ
G1,G2,G3,G4 ゲート
SD 活性領域
Claims (10)
- 回路に含まれる回路素子の第1信号伝搬特性と前記回路素子間を接続する伝送路の第2信号伝搬特性とにしたがって、前記回路内の経路の信号伝搬時間を算出する伝搬時間算出ステップと、
前記信号伝搬時間が所定の基準を満たさない経路を対象経路として選択する選択ステップと、
前記対象経路上のトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記対象経路上のトランジスタのゲート長を前記変更量だけ縮小する寸法変更ステップと、
前記ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路の設計情報に基づいて、集積回路を製造するステップと、を実行する集積回路の製造方法。 - 前記経路の存在領域を指定する領域情報または前記設計パターンの形状を定義する形状情報を複数に分類する分類情報にしたがって前記存在領域内の経路または指定された分類の設計パターンの形状情報を前記選択ステップの処理対象から除外するステップをさらに実行する請求項1に記載の集積回路の製造方法。
- コンピュータが、回路に含まれる回路素子の第1信号伝搬特性と前記回路素子間を接続する伝送路の第2信号伝搬特性とにしたがって、前記回路内の経路の信号伝搬時間を算出する伝搬時間算出ステップと、
前記信号伝搬時間が所定の基準を満たさない経路を対象経路として選択するステップと、
前記対象経路上のトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記対象経路上のトランジスタのゲート長を前記変更量だけ縮小するステップと、を実行する集積回路の設計方法。 - コンピュータに、回路に含まれる回路素子の第1信号伝搬特性と前記回路素子間を接続する伝送路の第2信号伝搬特性とにしたがって、前記回路内の経路の信号伝搬時間を算出する伝搬時間算出ステップと、
前記信号伝搬時間が所定の基準を満たさない経路を対象経路として選択するステップと、
前記対象経路上のトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記対象経路上のトランジスタのゲート長を前記変更量だけ縮小するステップと、を実行させるためのプログラム。 - セルライブラリに含まれるトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記セルライブラリに含まれるトランジスタのゲート長を前記変更量だけ変更するステップと、
前記ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路素子の設計パターン形状を前記目標閾値または前記閾値と目標閾値との差に対応づけて新たなセルライブラリとして保存するステップと、
前記セルライブラリまたは新たなセルライブラリの少なくとも1つの要求を受けて、セルライブラリを要求側に提供するステップと、
前記提供されたセルライブラリを基に設計された設計情報に基づいてら、集積回路を製造するステップと、を実行する、集積回路の製造方法。 - コンピュータが、セルライブラリに含まれるトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記セルライブラリに含まれるトランジスタのゲート長を前記変更量だけ変更するステップと、
前記ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路素子の設計パターン形状を前記目標閾値または前記閾値と目標閾値との差に対応づけて新たなセルライブラリとして保存するステップと、
前記セルライブラリまたは新たなセルライブラリの少なくとも1つの要求を受けて、セルライブラリを要求側に提供するステップと、を実行する、集積回路の設計方法。 - 回路に含まれる回路素子の第1信号伝搬特性と前記回路素子間を接続する伝送路の第2信号伝搬特性とにしたがって、前記回路内の経路の信号伝搬時間を算出する伝搬時間算出ステップと、
前記信号伝搬時間が所定の基準を満たさない経路を対象経路として選択する選択ステッ
プと、
前記対象経路上のトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記対象経路上のトランジスタのゲート長を前記変更量だけ縮小する寸法変更ステップと、
前記ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路の設計情報に基づいて、集積回路を製造するステップと、を実行し、
前記集積回路を製造するステップでは、前記ゲート長が変更される前のトランジスタを含む回路に指定されていたチャンネル不純物の濃度を所定の増分値だけ増加させた濃度で、チャンネル不純物が注入される集積回路の製造方法。 - 前記関数関係は、前記パラメータの値と前記トランジスタの閾値との関係を近似する多項式、または前記パラメータの値と前記パラメータの値を有するトランジスタの閾値との関係を対応付けるテーブルによって定義される請求項1、2、5、または7に記載に集積回路の製造方法。
- 前記関数関係は、ゲートの寸法に関連したパラメータのそれぞれの値に応じて決定されるそれぞれの第2の関数関係を有し、前記第2の関数関係は、ゲートの寸法に関連したパラメータ以外のパラメータと、基準の閾値に対する前記トランジスタの閾値の差分値との関係が対応づけられている請求項1、2、5、7、または8に記載の集積回路の製造方法。
- コンピュータに、セルライブラリに含まれるトランジスタの設計パターン形状の少なくとも一部を特徴づけるパラメータの値を抽出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記パラメータと前記トランジスタの閾値との関数関係にしたがって、前記抽出されたパラメータの値により前記閾値を算出するステップと、
前記算出された閾値と目標閾値との差を算出するステップと、
経験値または実験値に基づいて決定された、前記トランジスタの閾値とゲート長との関数関係にしたがって、前記閾値と目標閾値との差に対応するゲート長の変更量を算出するステップと、
前記セルライブラリに含まれるトランジスタのゲート長を前記変更量だけ変更するステップと、
前記ゲート長が変更されたトランジスタを含む回路素子の設計パターン形状を前記目標閾値または前記閾値と目標閾値との差に対応づけて新たなセルライブラリとして保存するステップと、
前記セルライブラリまたは新たなセルライブラリの少なくとも1つの要求を受けて、セルライブラリを要求側に提供するステップと、を実行させるためのプログラム。
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