JP2011203288A - 電気光学装置及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】液晶表示装置等の電気光学装置において、遮光性能を向上させることにより、光リーク電流の抑制を図る。
【解決手段】電気光学装置は、基板(10)上に、半導体層(1a)及びゲート電極(31)を有するトランジスター(30)と、該トランジスターより上層側に形成された有色絶縁膜(14)と、トランジスターより層間絶縁膜(12)を介して下層側に形成された下側遮光膜(11)を備える。ゲート電極は、層間絶縁膜のうち半導体層に重なる部分の脇に開孔されたコンタクトホール(810)の内壁に沿って形成されることにより、下側遮光膜に電気的に接続されている。有色絶縁膜は、ゲート電極のうちコンタクトホールの内壁に沿って形成された部分の表面に沿って形成されている。
【選択図】図5
【解決手段】電気光学装置は、基板(10)上に、半導体層(1a)及びゲート電極(31)を有するトランジスター(30)と、該トランジスターより上層側に形成された有色絶縁膜(14)と、トランジスターより層間絶縁膜(12)を介して下層側に形成された下側遮光膜(11)を備える。ゲート電極は、層間絶縁膜のうち半導体層に重なる部分の脇に開孔されたコンタクトホール(810)の内壁に沿って形成されることにより、下側遮光膜に電気的に接続されている。有色絶縁膜は、ゲート電極のうちコンタクトホールの内壁に沿って形成された部分の表面に沿って形成されている。
【選択図】図5
Description
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置、及び該電気光学装置を備えた、例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
この種の電気光学装置の一例である液晶装置として、例えば投射型表示装置の光変調手段(即ち、ライトバルブ)として用いられるものがある。ライトバルブには光源からの強力な光が入射するが、この際、ライトバルブ内のTFT(Thin Film Transistor)を構成する半導体層に光が照射されると、光リーク電流が生じてしまい、表示画像にフリッカや画素ムラが生じてしまうという問題点がある。このような問題点に対し、例えば特許文献1では、入射光を遮る遮光手段として積層構造に遮光膜が組み込まれている。
しかしながら、この種の電気光学装置では、集積化が進むにつれて基板上の積層構造が複雑化しているため、上述の特許文献1のように、入射光を遮るために遮光膜を形成可能な領域が限定されるなどの制約が大きくなっている。例えば、積層構造のレイアウトの都合上によって、遮光膜と、遮光対象である半導体層との距離が大きくなると、遮光膜の遮光性能が実質的に低下してしまうという技術的問題点がある。
本発明は、例えば上記問題点に鑑みてなされたものであり、画素スイッチング用のトランジスターの遮光性能を向上させることにより、光リーク電流を抑制可能な電気光学装置及び電子機器を提供することを課題とする。
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、基板上に、互いに交差するデータ線及び走査線と、前記データ線及び前記走査線の交差に対応する画素毎に設けられ、半導体層及び、該半導体層にゲート絶縁膜を介して対向するように配置されたゲート電極を有するトランジスターと、前記トランジスターより上層側に、有色の絶縁性材料から形成された有色絶縁膜と、前記トランジスターより層間絶縁膜を介して下層側に形成された下側遮光膜とを備え、前記ゲート電極は、前記基板上で平面的に見て、前記層間絶縁膜のうち前記半導体層に重なる部分の脇において、前記ゲート絶縁膜及び前記層間絶縁膜を貫通するように開孔されたコンタクトホールの内壁に沿って形成されることにより、前記下側遮光膜に電気的に接続されており、前記有色絶縁膜は、前記ゲート電極のうち前記コンタクトホールの内壁に沿って形成された部分の表面に沿って形成されている。
本発明の電気光学装置によれば、例えば、データ線から画素電極へ画像信号が制御され、所謂アクティブマトリックス方式による画像表示が可能となる。画像信号は、データ線及び画素電極間に電気的に接続されたトランジスターがオン又はオフされることによって、所定のタイミングでデータ線からトランジスターを介して画素電極に供給される。画素電極は、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明導電材料からなる透明電極であり、基板上に互いに交差するように設けられたデータ線及び走査線の交差に対応して、基板上において表示領域となるべき領域に例えばマトリックス状に複数設けられている。
トランジスターは、半導体層及びゲート電極を有してなる。ゲート電極は、ゲート絶縁膜を介して対向するように配置されている。ゲート電極は、例えば、基板上で平面的に見て、半導体層のうちチャネル領域に重なるように形成されており、イオンプランテーション法などによって半導体層に不純物を注入する際にマスクとして機能するように設けてもよい。
トランジスターより上層側には、有色の絶縁性材料から形成された有色絶縁膜が配置されている。ここで、有色の絶縁性材料とは、例えば、窒化シリコン(SiN)、アルミナイトライド(AlN)及びダイヤモンドライドカーボン(DLC)などの材料であり、透過する光の強度を減衰可能なものである限りにおいて何ら限定されない。
この種の電気光学装置では、基板上には導電層と絶縁層が互いに積層することにより所定の回路が形成されているが、典型的には、半導体層を上層側から遮光するための遮光膜は層間絶縁膜を介して、トランジスターからある程度離れた距離に形成されている。一方、本発明では、有色絶縁膜自体が絶縁性材料から形成されているため、トランジスターの直上に(即ち、トランジスターに直接的に接触するように)形成することができる。そのため、上述の典型的な電気光学装置の場合に比べて、本発明では遮光機能を発揮する膜(即ち、本発明における有色絶縁膜)とトランジスターとの距離を短く抑えることができるので、遮光性を向上させることができる。
特に本発明では、ゲート電極は半導体層の上下に形成された絶縁膜(即ち、ゲート絶縁膜及び下側絶縁膜)を貫通するようにコンタクトホールの内壁に沿って形成される。そのため、ゲート電極上に形成される有色絶縁膜もまた、コンタクトホールの内壁上にゲート電極を介して形成されるので、ゲート電極と共に、半導体層に対して側面側から入射しようとする光源光を遮光することができる。つまり、側面側からの遮光性を向上させることができるので、より効果的に光リーク電流を抑制することができる。
以上説明したように、本発明によれば、良好な遮光性能を有する電気光学装置を実現することが可能となる。
本発明の電気光学装置の一の態様では、前記半導体層は、(i)前記画素電極に電気的に接続されたソース・ドレイン領域、(ii)前記基板上で平面的に見て、前記ゲート電極に重なるように設けられたチャネル領域、及び(iii)前記ソース・ドレイン領域及び前記チャネル領域間に形成された接合領域を有し、前記コンタクトホールは、前記基板上で平面的に見て、前記接合領域を少なくとも部分的に囲むように前記半導体層に沿って延在して形成されている。
この態様によれば、半導体層は接合領域を有する。接合領域は、具体的には例えば、トランジスターがPNP型トランジスター又はNPN型トランジスター(即ち、Nチャネル型トランジスター又はPチャネル型トランジスター)として形成された場合のPN接合領域を意味する。或いは、トランジスターがLDD構造を有する場合のLDD領域(即ち、イオンプランテーション法等の不純物打ち込みによって半導体層に不純物を打ち込んでなる不純物領域)を意味する。
本願発明者の研究によれば、接合領域に光が照射されると、トランジスターに光リーク電流が生じてしまうことが判明している。従って、上述の如く、接合領域を少なくとも部分的に囲むようにコンタクトホールを形成することによって、コンタクトホールの内壁に沿って有色絶縁膜が形成され、接合領域の遮光を強化することができる。ここで、「少なくとも部分的に囲むように」とは、例えば円状のように完全に閉じた空間として囲む場合だけでなく、その一部が欠けた状態(即ち、一部が開口しているために不完全に閉じた空間として囲む場合)をも含む意味である。その結果、光リーク電流の発生をより効果的に抑制することができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記有色絶縁膜は、前記基板上で平面的に見て、表示光が透過可能な開口領域を規定する非開口領域に重なるように形成されている。
この態様によれば、有色絶縁膜を表示光が透過しない領域である非開口領域にのみ形成されているので、有色絶縁膜は開口領域における表示光の透過率を阻害しない。従って、非開口領域における遮光性を高めつつ、開口領域(即ち、表示光が透過可能な領域)における透過性を高めることができる。そのため、光リーク電流を抑制しつつ、開口率の高く、鮮明な画像表示を実現することができる。
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記有色絶縁膜より上層側に上側遮光膜を備える。
この態様によれば、上側遮光膜によって、半導体層に対して上層側から入射しようとする光源光に対する遮光を強化することができるため、より効果的に光リーク電流の発生を抑制することができる。
本発明の電子機器によれば、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質な画像を表示可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、携帯オーディオプレーヤ、ワードプロセッサ、デジタルカメラ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネル等の各種電子機器を実現できる。
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
以下図面を参照しながら、本発明に係る電気光学装置及びその製造方法、並びに電子機器の各実施形態を説明する。尚、本実施形態では、電気光学装置の一例として、駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリックス駆動方式の液晶装置を挙げる。
先ず、本実施形態に係る液晶装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここに図1は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側からみた平面図であり、図2は、図1のH−H´線断面図である。
図1及び図2において、本実施形態に係る液晶装置では、TFTアレイ基板10及び対向基板20が対向配置されている。TFTアレイ基板10は、例えば、石英基板、ガラス基板、シリコン基板等の透明基板からなり、対向基板20は、例えば、石英基板、ガラス基板等の透明基板からなる。TFTアレイ基板10と対向基板20との間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、複数の画素100cが設けられた領域に対応する、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。
シール材52は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂や熱硬化樹脂、又は紫外線・熱併用型硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。シール材52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(即ち、ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。尚、ギャップ材を、シール材52に混入されるものに加えて若しくは代えて、画像表示領域10a又は画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域に、配置するようにしてもよい。
図1において、シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜53の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側に、サンプリング回路7が額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿ったシール領域の内側に、額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。
TFTアレイ基板10上には、対向基板20の4つのコーナー部に対向する領域に、両基板間を上下導通材107で接続するための上下導通端子106が配置されている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。更に、外部回路接続端子102と、データ線駆動回路101、走査線駆動回路104、上下導通端子106等とを電気的に接続するための引回配線90が形成されている。
図2において、TFTアレイ基板10上には、駆動素子である画素スイッチング用のTFTや走査線、データ線等の配線が作り込まれた積層構造が形成される。この積層構造の詳細な構成については図2では図示を省略してあるが、この積層構造の上に、ITO等の透明材料からなる画素電極9aが、画素毎に所定のパターンで島状に形成されている。
画素電極9aは、後述する対向電極21に対向するように、TFTアレイ基板10上の画像表示領域10aに形成されている。TFTアレイ基板10における液晶層50の面する側の表面、即ち画素電極9a上には、配向膜16が画素電極9aを覆うように形成されている。
対向基板20におけるTFTアレイ基板10との対向面上に、遮光膜23が形成されている。遮光膜23は、例えば対向基板20における対向面上に平面的に見て、格子状に形成されている。対向基板20において、遮光膜23によって非開口領域が規定され、遮光膜23によって区切られた領域が、例えばプロジェクタ用のランプや直視用のバックライトから出射された光を透過させる開口領域となる。尚、遮光膜23をストライプ状に形成し、該遮光膜23と、TFTアレイ基板10側に設けられたデータ線等の各種構成要素とによって、非開口領域を規定するようにしてもよい。
遮光膜23上に、ITO等の透明材料からなる対向電極21が複数の画素電極9aと対向して形成されている。遮光膜23上に、画像表示領域10aにおいてカラー表示を行うために、開口領域及び非開口領域の一部を含む領域に、図2には図示しないカラーフィルタが形成されるようにしてもよい。対向基板20の対向面上における、対向電極21上には、配向膜22が形成されている。
尚、図1及び図2に示したTFTアレイ基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104、サンプリング回路7等に加えて、複数のデータ線6aに所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該液晶装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
次に、本実施形態に係る液晶装置の画素部の電気的な構成について、図3を参照して説明する。ここに図3は、本実施形態に係る液晶装置の画像表示領域を構成するマトリックス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路図である。
図3において、画像表示領域10aを構成するマトリックス状に形成された複数の画素の夫々には、画素電極9a、及びTFT30が形成されている。TFT30は、画素電極9aに電気的に接続されており、液晶装置の動作時に画素電極9aをスイッチング制御する。画像信号が供給されるデータ線6aは、TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
TFT30のゲートに走査線11が電気的に接続されており、液晶装置は、所定のタイミングで、走査線11にパルス的に走査信号G1、G2、…、Gmを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snが所定のタイミングで書き込まれる。画素電極9aを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、対向基板に形成された対向電極との間で一定期間保持される。
液晶層50(図2参照)を構成する液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として液晶装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射される。
ここで保持された画像信号がリークすることを防ぐために、画素電極9aと対向電極21(図2参照)との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70が付加されている。蓄積容量70は、画像信号の供給に応じて各画素電極9aの電位を一時的に保持する保持容量として機能する容量素子である。蓄積容量70の一方の電極は、画素電極9aと並列してTFT30のドレインに接続され、他方の電極は、定電位となるように、電位固定の容量線300に接続されている。蓄積容量70によれば、画素電極9aにおける電位保持特性が向上し、コントラスト向上やフリッカの低減といった表示特性の向上が可能となる。
次に、本実施形態に係る液晶装置のTFTアレイ基板10上の積層構造について図4及び図5を参照して説明する。ここに、図4は、本実施形態に係る液晶装置のTFTアレイ基板10上の積層構造を示す平面図である。図5は、図4のA−A´線断面図である。
尚、図4及び図5では、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。また、図4及び図5では、説明の便宜上、層間絶縁膜43より上層側の構成要素の図示を省略している。
図4において、走査線11はX方向に沿って延びており、ここでは図示しない、データ線6aは、走査線11と互いに交差するように、Y方向に沿って延びている。走査線11及びデータ線6aが互いに交差する箇所の各々には画素スイッチング用のTFT30が設けられている。
走査線11、データ線6a、有色絶縁膜14、上側遮光膜710及びTFT30は、TFTアレイ基板10上で平面的に見て、画素電極9a(図示せず)に対応する各画素の開口領域(即ち、各画素において、表示に実際に寄与する光が透過又は反射される領域)を囲む非開口領域内に配置されている。
図4に示すように、TFT30は、半導体層1a及びゲート電極31を含んで構成されている。半導体層1aは、例えばポリシリコンからなり、Y方向に沿ったチャネル長を有するチャネル領域1a´、データ線側LDD領域1b及び画素電極側LDD領域1c、並びにデータ線側ソース・ドレイン領域1d及び画素電極側ソース・ドレイン領域1eからなる。即ち、TFT30はLDD構造を有している。データ線側ソース・ドレイン領域1d及び画素電極側ソース・ドレイン領域1eは、チャネル領域1a´を基準として、Y方向に沿ってほぼミラー対称に形成されている。データ線側LDD領域1bは、チャネル領域1a´及びデータ線側ソース・ドレイン領域1d間に形成されている。画素電極側LDD領域1cは、チャネル領域1a´及び画素電極側ソース・ドレイン領域1e間に形成されている。
図5に示すように、ゲート電極31は、半導体層1aよりも上層側に配置され、例えばチタンナイトライド(TiN)、タングステンシリサイド(WSi)等の比較的OD値の高い遮光性の導電性材料からなる。尚、ゲート電極31及び半導体層1a間は、本発明に係る「ゲート絶縁膜」の一例としての絶縁膜2によって絶縁されている。
図4に示すように、ゲート電極31は、画素電極側LDD領域1cの両側に沿うように延設された延設部31aを有している。言い換えれば、ゲート電極31は画素電極側LDD領域1cをその両側から部分的に囲むような状態(即ち、いわば逆U字形状)を有している。また、図5に示すように、ゲート電極31は、絶縁膜2及び下地絶縁膜12に開孔されたコンタクトホール810を介して、本発明に係る「下側遮光膜」の一例である走査線11に電気的に接続されている。
コンタクトホール810は、絶縁膜2及び下地絶縁膜12を貫通して、走査線11に達するまで掘られており、コンタクトホール810に形成されたゲート電極31は走査線11に電気的に接続されている。そのため、コンタクトホール810の内壁に沿って形成されたゲート電極31は、3次元的に見て、半導体層1aにおける画素電極側LDD領域1cに沿った、壁状の遮光体として機能する。また、ゲート電極31上に形成されている有色絶縁膜14もまた、コンタクトホール810の内壁に対応するように形成されたゲート電極31の表面に沿って形成されているため、ゲート電極31と同様に壁状の遮光体として機能する。
従って、画素電極側LDD領域1cに対して斜めに入射する入射光を、コンタクトホール810に形成されたゲート電極31及び有色絶縁膜14によって遮ることにより、画素電極側LDD領域1cに対して斜めに入射する入射光に対する遮光性能を強化することができる。この結果、半導体層1aにおける光リーク電流を抑制し、画像表示におけるフリッカや画素ムラを低減することができる。
尚、コンタクトホール810を画素電極側LDD領域1cの片側(即ち、図5中の左側又は右側)のみに設けて、ゲート電極31を画素電極側LDD領域1cの片側のみに形成してもよい。この場合にも画素電極側LDD領域1cに対して斜めに入射する入射光に対する遮光性能を相応に強化することができる。但し、遮光性能を強化するという観点からは、本実施形態のように、画素電極側LDD領域1cの両側にゲート電極31を形成することが望ましい。
本実施形態では特に、有色絶縁膜14はゲート電極31に直接的に接触するように設けられている。このように、遮光対象であるトランジスターに対して極めて近い距離に遮光膜たる有色絶縁膜14を配置することができるため、有色絶縁膜14は良好な遮光性能を発揮することができる。
ここで、本願発明者は、TFT30の動作時に、画素電極側LDD領域1cにおいて、データ線側LDD領域1bに比べて光リーク電流が相対的に発生しやすいと結論づけている。即ち、TFT30の動作時に、画素電極側LDD領域1cに光が照射された場合には、データ線側LDD領域1bに光が照射された場合よりも、TFT30における光リーク電流が発生しやすいと結論づけている。従って、上述の如く、ゲート電極31及び有色絶縁膜14を形成することによって、光リーク電流が相対的に生じ易い画素電極側LDD領域1cに対する遮光性能を高めることができ、TFT30に流れる光リーク電流を効果的に低減できる。
図5に示すように、走査線11は、半導体層1aよりも下地絶縁膜12を介して下層側に配置されており、例えばタングステン(W)、チタン(Ti)、チタンナイトライド(TiN)等の高融点金属材料等の遮光性の導電材料からなる。走査線11は、TFTアレイ基板10上で平面的に見て、X方向に沿うように、ストライプ状にパターニングされた本線部11xと、該本線部11xからY方向に沿って延在する延在部11yとを有している。
図4に示すように、走査線11は、TFT30のチャネル領域1a´、データ線側LDD領域1b及び画素電極側LDD領域1c、並びにデータ線側ソース・ドレイン領域1d及び画素電極側ソース・ドレイン領域1eに対向する領域を含むように形成されている。従って、走査線11によって、TFTアレイ基板10における裏面反射や、複板式のプロジェクタ等で他の液晶装置から発せられ合成光学系を突き抜けてくる光などの、戻り光に対してTFT30のチャネル領域1a´を殆ど或いは完全に遮光できる。即ち、走査線11は、走査信号を供給する配線として機能すると共に戻り光に対するTFT30の遮光膜として機能することが可能である。従って、液晶装置の動作時に、TFT30における光リーク電流は低減され、コントラスト比を向上させることができ、高品位の画像表示が可能となる。
図5に示すように、上側遮光膜710は、TFTアレイ基板10上のTFT30よりも、有色絶縁膜14を介して上層側に配置されており、ゲート電極31と同じ材料、例えばチタンナイトライド(TiN)、タングステンシリサイド(WSi)等の比較的OD値の高い遮光性の導電材料からなる。
図4及び図5では図示を省略しているが、ゲート電極31及び有色絶縁膜14の上層側には層間絶縁膜42を介して、データ線側ソース・ドレイン領域1dと、コンタクトホール81を介して、電気的に接続されている中継電極720と、画素電極側ソース・ドレイン領域1eと、コンタクトホール83を介して、電気的に接続されている中継電極730とが形成されている。
このような中継電極720及び730を設けることによって、該中継電極720及び730の上層側に配置される、例えばデータ線6aや画素電極9a等と、半導体層1aとの間における電気抵抗を低減したり、断線を防止することができる。
以上説明したように、このような積層構造を有する液晶装置では、半導体層1aの遮光性を良好に確保することができるため、半導体層1aにおける光リーク電流の発生を効果的に抑制することができる。特に、トランジスター30に対して極めて近い距離に有色絶縁膜14を設けることができるため、従来の液晶装置に比べて遮光性を高く設定することができ、光リーク電流が少なく、高品位な画像表示を実現することができる。
<製造方法>
次に、図6及び図7を参照しながら、上述した本実施形態の液晶装置の製造方法を説明する。図6及び図7は、製造方法の各工程における図5に示す断面の構成を、順を追って示す工程断面図である。
次に、図6及び図7を参照しながら、上述した本実施形態の液晶装置の製造方法を説明する。図6及び図7は、製造方法の各工程における図5に示す断面の構成を、順を追って示す工程断面図である。
図6(a)において、例えばシリコン基板、石英基板、ガラス基板等の基板10を用意する。ここで、好ましくはN2(窒素)等の不活性ガス雰囲気下、約850〜1300℃、より好ましくは1000℃の高温で熱処理し、後に実施される高温プロセスにおいて基板10に生じる歪みが少なくなるように前処理しておく。
このように処理された基板10の全面に、例えば、Ti、Cr、W、Ta、Mo及びPd等の金属や金属シリサイド等の金属合金膜を、スパッタリング法などにより、100〜500nm程度の膜厚、好ましくは約200nmの膜厚の遮光層を形成した後、例えばフォトリソグラフィ法及びエッチング処理により、図4に示したようなパターンの走査線11を形成する。
走査線11の上に、例えば、常圧又は減圧CVD法等により窒化シリコン膜、酸化シリコン膜等からなる下地絶縁膜12を形成する。そして、下地絶縁膜12の上に、半導体層1aとなるポリシリコン膜を固相成長させ、例えばフォトリソグラフィ法及びエッチング処理を施すことにより、図4に示した所定パターンを有する半導体層1aを形成する。
続いて、図6(b)に示すように、半導体層1a上にゲート絶縁膜となる絶縁膜2を形成し、絶縁膜2及び下地絶縁膜12を貫通するようにコンタクトホール810を開孔する。コンタクトホール810は、下層側に形成された走査線11に達するまで掘り、コンタクトホール810の内壁に沿って埋めるようにゲート電極31を形成することによって、ゲート電極31を走査線11に電気的に接続する。このとき、ゲート電極31は、3次元的に見て、半導体層1aにおける画素電極側LDD領域1cに沿った、壁状の遮光体として機能するように形成される。尚、ゲート電極31は、例えば、チタンナイトライド(TiN)、タングステンシリサイド(WSi)等の比較的OD値の高い遮光性の導電材料から形成するとよい。
続いて、図6(c)に示すように、ゲート電極31上に層間絶縁膜13をベタ状に形成する。そして、表示光が透過可能な開口領域として形成されるべき領域に層間絶縁膜13が残存するように、層間絶縁膜13上にレジスト41を形成する。
続いて、図6(d)に示すように、図6(c)において形成されたレジスト41をマスクとしてエッチングにより層間絶縁膜13をパターニングし、残存したレジスト41を洗浄液にて除去する。その結果、沿う間絶縁膜13は、開口領域になるべき領域にのみ形成される。
続いて、図7(e)に示すように、ゲート電極31及び層間絶縁膜13上を覆うようにベタ状に有色絶縁膜14を形成する。有色絶縁膜14は有色の絶縁性材料、例えば、窒化シリコン(SiN)、アルミナイトライド(AlN)及びダイヤモンドライドカーボン(DLC)などの材料から形成するとよい。
続いて、図7(f)に示すように、これらの積層構造に対してCMP(化学機械研磨)を施すことにより、表面を平坦化する。ここで、CMPは、開口領域に形成された層間絶縁膜13の表面に形成された有色絶縁膜14が除去できる程度に十分に施される。その結果、有色絶縁膜は、表示光が透過できない非開口領域にのみ残存するように形成される。このように形成された有色絶縁膜14は、コンタクトホール810の内壁に対応するように形成されたゲート電極31の表面に沿って形成されているため、ゲート電極31と同様に壁状の遮光体として機能する。
続いて、図7(g)に示すように、有色絶縁膜14上には上側遮光膜710を形成することにより、上方からの入射光に対して半導体層1aの遮光性能を強化すると共に、層間絶縁膜15が形成される。層間絶縁膜15上には画素電極9a等が適宜形成され、上述の液晶装置が完成する。
<電子機器>
次に、図8を参照しながら、上述した液晶装置を電子機器の一例であるプロジェクタに適用した場合を説明する。上述した液晶装置は、プロジェクタのライトバルブとして用いられている。図8は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
次に、図8を参照しながら、上述した液晶装置を電子機器の一例であるプロジェクタに適用した場合を説明する。上述した液晶装置は、プロジェクタのライトバルブとして用いられている。図8は、プロジェクタの構成例を示す平面図である。
図8に示すように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106及び2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。
液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gの構成は、上述した液晶装置と同等の構成を有しており、画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、RおよびBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
ここで、各液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gによる表示像について着目すると、液晶パネル1110R、1110Bによる表示像は、液晶パネル1110Gによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
尚、液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
尚、図8を参照して説明した電子機器の他にも、モバイル型のパーソナルコンピュータや、携帯電話、液晶テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
1a…半導体層、2…絶縁膜、11…走査線、6a…データ線、10…TFTアレイ基板、12…下地絶縁膜、14…有色絶縁膜、31…ゲート電極、41、42、43…層間絶縁膜、50…液晶層、710…上側遮光膜、810…コンタクトホール
Claims (5)
- 基板上に、
互いに交差するデータ線及び走査線と、
前記データ線及び前記走査線の交差に対応する画素毎に設けられ、半導体層及び、該半導体層にゲート絶縁膜を介して対向するように配置されたゲート電極を有するトランジスターと、
前記トランジスターより上層側に、有色の絶縁性材料から形成された有色絶縁膜と、
前記トランジスターより層間絶縁膜を介して下層側に形成された下側遮光膜と
を備え、
前記ゲート電極は、前記基板上で平面的に見て、前記層間絶縁膜のうち前記半導体層に重なる部分の脇において、前記ゲート絶縁膜及び前記層間絶縁膜を貫通するように開孔されたコンタクトホールの内壁に沿って形成されることにより、前記下側遮光膜に電気的に接続されており、
前記有色絶縁膜は、前記ゲート電極のうち前記コンタクトホールの内壁に沿って形成された部分の表面に沿って形成されていることを特徴とする電気光学装置。 - 前記半導体層は、(i)前記画素電極に電気的に接続されたソース・ドレイン領域、(ii)前記基板上で平面的に見て、前記ゲート電極に重なるように設けられたチャネル領域、及び(iii)前記ソース・ドレイン領域及び前記チャネル領域間に形成された接合領域を有し、
前記コンタクトホールは、前記基板上で平面的に見て、前記接合領域を少なくとも部分的に囲むように前記半導体層に沿って延在して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の電気光学装置。 - 前記有色絶縁膜は、前記基板上で平面的に見て、表示光が透過可能な開口領域を規定する非開口領域に重なるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の電気光学装置。
- 前記有色絶縁膜より上層側に上側遮光膜を備えることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置。
- 請求項1から4のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備することを特徴とする電子機器。
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JP2010067540A JP2011203288A (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 電気光学装置及び電子機器 |
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WO2017086116A1 (ja) * | 2015-11-18 | 2017-05-26 | ソニー株式会社 | 半導体装置および投射型表示装置 |
US11520198B2 (en) | 2020-10-27 | 2022-12-06 | Seiko Epson Corporation | Electro-optical device and electronic apparatus |
-
2010
- 2010-03-24 JP JP2010067540A patent/JP2011203288A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
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JP2014137526A (ja) * | 2013-01-18 | 2014-07-28 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置用基板、電気光学装置、および電子機器 |
WO2017086116A1 (ja) * | 2015-11-18 | 2017-05-26 | ソニー株式会社 | 半導体装置および投射型表示装置 |
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