JP2011203173A - ホール素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係るホール素子では、前記第1のホール素子および前記第2のホール素子が1チップ内に形成される。また、適正なレイアウトによりチップサイズを縮小することができる。これにより、パッケージサイズを小さくすることができる。さらに、本発明に係るホール素子では、前記第1のホール素子および前記第2のホール素子がリソグラフィーにより同一チップに同時に形成されるので、前記第1のホール素子と前記第2のホール素子との間のギャップ精度を向上させることができる。
【選択図】図3
Description
23 多極磁石
24 磁石
33、34、35、36、37、38、43、44、45、46、63、64、65、66、67、68 電極パッド
39、49、69 基板
51 GaAs基板
52 活性層
54 保護膜
55 コンタクトホール
56 電極パターン
Claims (4)
- 位置検出装置に用いられるホール素子であって、
前記ホール素子は、同一基板上に第1のホール素子と第2のホール素子とを備え、
前記第1のホール素子と前記第2のホール素子とは、共通の電源入力端子および共通のGND端子に対して接続されることを特徴とするホール素子。 - 前記第1のホール素子と前記第2のホール素子とは、前記共通の電源入力端子および前記共通のGND端子に対し並列に接続されることを特徴とする請求項1に記載のホール素子。
- 前記第1のホール素子と前記第2のホール素子とは、化合物半導体から成ることを特徴とする請求項1または2に記載のホール素子。
- 前記位置検出装置は、直線的に移動する磁石を備え、
前記第1のホール素子に前記共通の電源入力端子から信号が入力される方向は、前記第1のホール素子および前記第2のホール素子が形成される基板上の面において、前記磁石が移動する方向に沿った軸に対し反時計回りに45度傾斜し、
前記第2のホール素子に前記共通の電源入力端子から信号が入力される方向は、前記第1のホール素子および前記第2のホール素子が形成される基板上の面において、前記磁石が移動する方向に沿った軸に対し時計回りに45度傾斜していることを特徴とする請求項1ないし3の何れかに記載のホール素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010072175A JP5879025B2 (ja) | 2010-03-26 | 2010-03-26 | ホール素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011203173A true JP2011203173A (ja) | 2011-10-13 |
JP5879025B2 JP5879025B2 (ja) | 2016-03-08 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP5879025B2 (ja) |
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