JP4786986B2 - 電子部品 - Google Patents

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Description

電子部品内のリードフレーム上へ複数の素子をマウントする方法と、各素子の端子の接続方法に関する。より詳細には、上記複数の素子がセンサであり、位置検出や回転検出など様々な用途に使われる電子部品に関する。
近年、様々なセンサがあらゆるところで用いられるようになっている。
例えば、デジタルカメラの手ブレ補正機構では、瞬時に高精度な位置検出を行う必要があり、それと同時に機器全体の小型化の要求が強いので、センサ自体の小型化が要求されている。さらには、長寿命化、埃や油(グリース)などの影響を受けにくいなど様々な要求がある。
上記のような要求をみたすために、磁気センサを用いた位置検出方法などが知られている。例えば、特許文献1等に記載されている方法をアレンジして行うことができる。つまり、特許文献1の図3で示されるように、可動部に磁石を内包させ、その移動を複数の磁気センサを用いて検出する方法である。
ここで、複数個の磁気センサを用いて、位置検出を行う原理と構成を説明する。
図2は、従来のホールセンサを用いた位置検出センサの端子接続図である。図3は、ホールセンサを用いた位置検出方法を説明するための概略図である。
図3に示すように、規定の間隔を隔てて配置された2個のホールセンサ11、12に対向して配置された永久磁石23の側方移動による磁束密度の変化に応じて、2個のホールセンサ11、12のホール出力電圧がそれぞれ変化する。そのホール出力電圧の差を、図2で示すように差動信号処理回路21により処理することで、永久磁石23の位置検出を行うことができる。
図2に示した従来のホールセンサを用いた位置センサは、2個のホールセンサ11、12を有するホールセンサの駆動・処理回路を備えている。第1のホールセンサ11は、正極入力端子11aと負極入力端子11cと、正極出力端子11bと負極出力端子11dとからなる。また、第2のホールセンサ12は、正極入力端子12aと負極入力端子12cと、正極出力端子12bと負極出力端子12dとからなる。
第1のホールセンサ11の正極入力端子11aと、第2のホールセンサ12の正極入力端子12aとを接続し、第1のホールセンサ11の負極入力端子11cと、第2のホールセンサ12の負極入力端子12cとを接続して駆動回路の入力端子とする。
第1のホールセンサ11の正極出力端子11bと負極出力端子11dは、差動信号処理回路21の第1の差動増幅器21aに接続され、第2のホールセンサ12の正極出力端子12bと負極出力端子12dは、差動信号処理回路21の第2の差動増幅器21bに接続される。第1の差動増幅器21aと第2の差動増幅器21bの出力信号は、第3の差動増幅器21cに接続される。
このような駆動・処理回路によって、第3の差動増幅器21cから第1のホールセンサ11と第2のホールセンサ12のホール出力電圧の差が得られ、その値は、永久磁石23の位置に対応したものになる。
特開2002−287891号公報
しかし、特許文献1に記載の手法では、センサをばらばらに配置しているので、センサ全体のサイズが大きくなる。また、センサをばらばらに配置しているので、センサ1つずつの配置誤差が重畳し、高精度な位置検出に適していない。また、高精度に位置検出を行うには、センサどうしの特性が類似のものを選ぶ必要がある。さらにセンサをばらばらに配置しているので、配線の引き回しが複雑になる。
また、図2に示す2個のホールセンサを、例えばリードフレームにマウントして、各ホールセンサの各端子をリードフレームにワイヤボンディングしようとすると、一部の配線が交差してしまい、これを回避するような配線の引き回しができず、結局、その実現は困難であった。
上記のような問題は、位置センサのみならず、回転を検知するセンサなど他のセンサにも共通の問題となっている。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、小型で、複数の素子を高精度に実装可能で、複数の素子間の特性がほぼ均一で、配線の引き回しが容易な、電子部品を提供することにある。
また、位置検出や回転検出のセンサだけに限らず、小型で、複数の素子を高精度に実装可能で、複数の素子間の特性がほぼ均一で、配線の引き回しが容易な、電子部品を提供することにもある。
本発明は、このような目的を達成するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、1つのパッケージ内のリードフレームのダイパッド上に搭載され、かつワイヤボンドされた長方形または正方形の第1及び第2のホールセンサを有する電子部品において、ワイヤ配線同士の交差を回避して該ワイヤ配線の引き回しを可能とするために、前第1及び第2のホールセンサの各々の厚み方向以外の各辺が、少なくともパッケージの外形の厚さ方向以外辺に対して、平行または垂直以外の角度となるように回転されて配置され、かつ前記第1及び第2のホールセンサが、該第1及び第2のホールセンサの正極入力端子同士が対向するように前記リードフレームの前記ダイパッドにマウントされ、前記第1及び第2のホールセンサの各々の前記正極入力端子が、前記リードフレーム上の共通の正極入力電極に直接接続されるとともに、前記第1及び第2のホールセンサの角部に配置された各々の負極入力端子が、前記リードフレーム上の共通の負極入力電極に直接接続されるように、前記各々の入力端子と前記各々の入力電極とがワイヤボンドされていることを特徴とする。
磁気式センサとしては、ホールセンサの他にも磁気抵抗効果素子など様々なものが適用可能である。
本発明によれば、電子部品が位置検出や回転検出のセンサの場合は特に、また、それ以外の電子部品においても、小型で、複数の素子を高精度に実装可能で、配線の引き回しが容易な、電子部品を提供することが可能になる。
また、基板上に多数形成された素子の中で隣り合った位置、もしくは近隣の位置にあるものから選択して組み立てることにより、複数の素子間の特性がほぼ均一なものを一体化して供給することが可能となり、様々な用途において好適に対応可能となる。
以下、図面を参照して本発明の実施例について説明する。各図面の説明において、先行する図面と共通するものについては重複説明を省略する。
前述のとおり、本発明の電子部品は様々な用途に用いられる種々の電子部品に関するものであるが、本実施例では、複数個の素子を2個のホールセンサとし、電子部品を位置検出センサとしたもので説明を行う。
図1は基板上に成膜された半導体薄膜に多数形成されたホールセンサの概略図で、31は基板、32、33、34は基板上に形成されたホールセンサ、35はホールセンサの一方の端子対方向を示す矢印、36はホールセンサの他方の端子対方向を示す矢印である。本実施例における位置検出素子に用いる2個のホールセンサの一方に、ホールセンサ32を選択した場合、他方に、ホールセンサ32と隣り合う位置にあるホールセンサ33を選択する。万が一、ホールセンサ33が不良ホールセンサであった場合は、ホールセンサ33の次にホールセンサ32に近い位置にあるホールセンサ34を選択する。このように、本実施例における位置検出素子に用いる2個のホールセンサを、感磁部を形成する半導体薄膜の結晶性や電極の特性がほぼ同一の隣り合う位置にあるホールセンサ、もしくは近隣にあるホールセンサを選択的に用いることによって、2個の電気的・磁気的な特性をほぼ同一にし、高精度な位置検出を行うことができる。
図4は、本実施例の電子部品に用いる2個のホールセンサをリードフレームのダイパッド上へ搭載し、ワイヤーボンディングしたときの概略図である。本実施例は、図1で示した、ホールセンサの一方の端子対方向35と他方の端子対方向36の電気的・磁気的特性が異なる場合、つまりどちらの端子対を入力端子、もしくは出力端子にするかが決定している場合(今回は図1中の端子対方向35を入力端子方向とする)を示している。57は第1のホールセンサ、58は第2のホールセンサ、51は正極入力電極、52は負極入力電極(ダイパッド、グラウンド端子)、53は第1のホールセンサの正極出力電極、54は第1のホールセンサの負極出力電極、55は第2のホールセンサの正極出力電極、56は第2のホールセンサの負極出力電極、59はパッケージの外形を示す。
斜線の入っている端子対が、図1中の端子対方向35の端子対である。本実施例においては、一部の各電極が長方形または正方形の基板の角部に配置されている。
基板上に成膜された半導体薄膜の結晶が異方性の場合、もしくは、入力抵抗と出力抵抗が異なる場合など、ホールセンサの一方の端子対方向35と他方の端子対方向36の電気的・磁気的特性が異なる場合は、図4で示すように、第1のホールセンサ57と第2のホールセンサ58を、当該センサ57,58の厚さ方向以外の各辺がパッケージ59の厚さ方向以外の各辺に対して、平行もしくは垂直の状態から、それ以外の角度となるように、当該センサ57,58が形成する平面上で、時計回りに45度回転し、リードフレームのダイパッド52に搭載し、ワイヤーボンディングを行う。
このように、第1のホールセンサ57と第2のホールセンサ58を時計回りに45度回転してリードフレームのダイパッド52に搭載することによって、第1のホールセンサ57および第2のホールセンサ58の正極入力端子同士を対向させることができ、その結果、図2で示したように回転せずにリードフレームのダイパッド42に搭載しようとしたときには困難であったワイヤーボンディングを可能にすることができる。すなわち、1つのパッケージ内で2個のホールセンサの第1のホールセンサの正極入力端子と第2のホールセンサの正極入力端子を同電極に接続し、第1のホールセンサの負極入力端子と第2のホールセンサの負極入力端子を同電極に接続して該電子部品の入力端子とすることができる。よって、電子部品の電極数を減らし素子の小型化を実現し、配線の引き回しが容易になる。また、2個のホールセンサを1つのパッケージ内に収納することにより、2つのホールセンサの位置関係は、プリント基板上に電子部品を配置する精度ではなく、素子をリードフレーム上に配置する精度で実装できることになるので、一般的に高精度でお互いの位置関係を決めることができるようになる。
図5は、本発明の電子部品に用いられる複数の端子を備えた素子の概略図である。61は複数の端子を備えた素子、62は正極入力端子、63は負極入力端子である。図5では、簡単のために他の端子は省略している。前記複数の端子を備えた素子61はホールセンサのように、正極入力端子と負極入力端子を入れ替えることができない素子である。図6は電子部品に用いられる複数の端子を備えた電気的素子61を、リードフレームのダイパッド上へ2個搭載し、ワイヤーボンディングしたときの概略図である。71は正極入力電極、72は負極入力電極(ダイパッド)、73は第1の複数の端子を備えた素子、74は第2の複数の端子を備えた素子、75は電子部品のパッケージ外形を示してある。図6で示すように、各素子73,74が形成する平面上で、第1の複数の端子を備えた素子73を時計回りに45度回転し、第2の複数の端子を備えた素子74を反時計回りに135度回転しリードフレームのダイパッド72に搭載することによって、各素子の正極入力端子同士を対向させて、ワイヤーボンディングを行うことができる。
上記方法をとることによって、正極入力端子と負極入力端子を入れ替えることができず配線が困難であった素子でも、ワイヤーボンディングを容易に実現可能にし、パッケージ内で第1の複数の端子を備えた素子の正極入力端子と第2の複数の端子を備えた素子の正極入力端子を同電極に接続し、第1の複数の端子を備えた素子の負極入力端子と第2の複数の端子を備えた素子の負極入力端子を同電極に接続して該電子部品の入力端子とすることができる。よって、電子部品の電極数を減らし素子の小型化を実現し、配線の引き回しが容易になる。また、2個の素子を1つのパッケージ内に収納することにより、2つの素子の位置関係は、プリント基板上に電子部品を配置する精度ではなく、素子をリードフレーム上に配置する精度で実装できることになるので、一般的に高精度でお互いの位置関係を決めることができるようになる。
上記のように、素子を回転させてリードフレーム上に搭載する方法を用いる事により、ホールセンサに限らず様々な素子の同機能を有する端子を共有化することが可能になる。
また、本実施例では素子を2個含む電子部品で説明を行ったが、当然、素子の数は2個である必要はなく、3個でも4個でも複数個であれば同様な効果を有する。
また、本実施例では素子をホールセンサとした電子部品で説明を行ったが、素子はホールセンサに限定されるものではなく、LEDや光ディテクタ、温度センサなどとしても同様な効果を有する。
また、本実施例では素子を45度もしくは135度回転させてリードフレームに配置する説明を行ったが、リードフレームに素子を配置する際の回転角度は、電極の位置により適宜調整可能である。
基板上に成膜された半導体薄膜に多数形成されたホールセンサの概略図である。 従来のホールセンサを用いた位置検出センサの端子接続図である。 ホールセンサを用いた位置検出方法を説明するための概略図である。 本発明の電子部品に用いる2個のホールセンサをリードフレームのダイパッド上へ搭載し、ワイヤーボンディングしたときの概略図である。 本発明の電子部品に用いられる複数の端子を備えた素子の概略図である。 本発明の電子部品に用いられる複数の端子を備えた素子を、リードフレームのダイパッド上へ2個搭載し、ワイヤーボンディングしたときの概略図である。
符号の説明
11 第1のホールセンサ
12 第2のホールセンサ
11a、12a 正極入力端子
11b、12b 正極出力端子
11c、12c 負極入力端子
11d、12d 負極出力端子
21 差動信号処理回路
21a,21b,21c 差動増幅器
23 永久磁石
31 基板
32、33、34 ホールセンサ
35 ホールセンサの一方の端子対方向を示す矢印
36 ホールセンサの他方の端子対方向を示す矢印
51 正極入力電極
52 負極入力電極
53 第1のホールセンサの正極出力電極
54 第1のホールセンサの負極出力電極
55 第2のホールセンサの正極出力電極
56 第2のホールセンサの負極出力電極
57 第1のホールセンサ
58 第2のホールセンサ
59 パッケージ外形
61 複数の端子を備えた素子
62 正極入力端子
63 負極入力端子
71 正極入力電極
72 負極入力電極
73 第1の複数の端子を備えた素子
74 第2の複数の端子を備えた素子
75 電子部品のパッケージ外形

Claims (1)

  1. 1つのパッケージ内のリードフレームのダイパッド上に搭載され、かつワイヤボンドされた長方形または正方形の第1及び第2のホールセンサを有する電子部品において
    ワイヤ配線同士の交差を回避して該ワイヤ配線の引き回しを可能とするために、前第1及び第2のホールセンサの各々の厚み方向以外の各辺が、少なくともパッケージの外形の厚さ方向以外辺に対して、平行または垂直以外の角度となるように回転されて配置され、かつ前記第1及び第2のホールセンサが、該第1及び第2のホールセンサの正極入力端子同士が対向するように前記リードフレームの前記ダイパッドにマウントされ、
    前記第1及び第2のホールセンサの各々の前記正極入力端子が、前記リードフレーム上の共通の正極入力電極に直接接続されるとともに、前記第1及び第2のホールセンサの角部に配置された各々の負極入力端子が、前記リードフレーム上の共通の負極入力電極に直接接続されるように、前記各々の入力端子と前記各々の入力電極とがワイヤボンドされていることを特徴とする電子部品。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN206558553U (zh) * 2014-10-03 2017-10-13 旭化成微电子株式会社 霍尔传感器以及镜头模块
JP2019070563A (ja) * 2017-10-06 2019-05-09 株式会社デンソー 電流センサ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5795685A (en) * 1980-12-05 1982-06-14 Toshiba Corp Resin sealed type semiconductor magnetic sensitive device
JPS58171683A (ja) * 1981-12-08 1983-10-08 Denki Onkyo Co Ltd 磁気センサ装置
JPS62208683A (ja) * 1986-03-07 1987-09-12 Seiko Instr & Electronics Ltd 磁気センサ
JPH0382358A (ja) * 1990-03-13 1991-04-08 Murata Mfg Co Ltd 磁電変換装置
JP3264962B2 (ja) * 1992-02-06 2002-03-11 旭化成株式会社 磁電変換素子の製造方法
JPH11237395A (ja) * 1998-02-23 1999-08-31 Honda Motor Co Ltd 回転センサ及び回転センサ用磁気検出ic
JP2000252547A (ja) * 1999-02-26 2000-09-14 Victor Co Of Japan Ltd ホール素子
JP4948719B2 (ja) * 2001-08-27 2012-06-06 旭化成エレクトロニクス株式会社 磁電変換素子を用いた変位検出装置
JP4315759B2 (ja) * 2002-07-25 2009-08-19 旭化成エレクトロニクス株式会社 ポインティングデバイス用磁気センサ

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