JP2011195439A - 黒鉛電極 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭素から成る電極であって、当該電極は、異なる固有熱伝導率を有する、少なくとも2つの異なる領域から成り、外側の領域(A)は電極の基礎部分を形成し、1つまたは複数の内側領域を支持し、最も内側の領域(B)は上方で、領域(A)から突出し、領域(A)よりも低い固有熱伝導率を有している、ことを特徴とする電極
【選択図】図1
Description
析出のために、従来技術の電極が使用された(図2)。使用されている電極は、80W/(m*K)の固有熱伝導率を備えた高純度の電気黒鉛から成る。全長(L)は118mmであり、円柱部分の長さ(L1)は72mmである。円錐角(α)は32°であり、直径(D)は65mmである。冷却体を有していない電極が使用された。
析出のために、従来技術の電極が使用された(図2)。使用されている電極は、150W/(m*K)の固有熱伝導率を備えた高純度の電気黒鉛から成る。全長(L)は118mmであり、円柱部分の長さ(L1)は72mmである。円錐角(α)は32°であり、直径(D)は65mmである。冷却体を有していない電極が使用された。
析出のために、はめ込み部分と冷却体とを有する、本発明の電極が使用された(図1)。使用されている電極の領域(A)は、135W/(m*K)の固有熱伝導率を備えた高純度の電気黒鉛から成る。内側領域(B)には、50W/(m*K)の固有熱伝導率を備えた高純度の電気黒鉛が使用された。
全長(L):118mm、円柱状部分の長さ(L1):72mm、円錐角度(α):32°、直径(D):65mm、はめ込み部分長さ(LE):46mm、はめ込み部分直径(D1):37mm、はめ込み部分直径(D2):22mm、冷却体直径(D3):25mm、冷却体直径(D4):45mm、冷却体長さ(LK):50mm
Claims (10)
- 炭素から成る電極であって、
当該電極は、異なる固有熱伝導率を有する、少なくとも2つの異なる領域から成り、
外側の領域(A)は電極の基礎部分を形成し、1つまたは複数の内側領域を支持し、
最も内側の領域(B)は上方で、領域(A)から突出し、領域(A)よりも低い固有熱伝導率を有している、
ことを特徴とする電極。 - 前記最も内側の領域が最も低い固有熱伝導率を有しており、当該最も内側の領域が完全にまたは部分的に、より高い熱伝導率を有する領域によって包囲されるように、前記複数の異なる領域が配置されている、請求項1記載の電極。
- 前記内側領域(B)は、取り外し可能または交換可能なはめ込み部分として構成されている、請求項1から2までのいずれか1項記載の電極。
- 前記領域(B)は円錐形の差し込み接続部によって、前記外側領域内に接続されている、請求項3記載の電極。
- 前記複数の領域は共通の、熱的および電気的な接触接続部を有している、請求項1から4までのいずれか1項記載の電極。
- 最も低い熱伝導率を有する前記最も内側の領域は、フィラメントロッドを収容するための装置を有している、請求項1から5までのいずれか1項記載の電極。
- 前記電極の基礎部分には冷却体が結合されている、請求項1から6までのいずれか1項記載の電極。
- 前記電極は、異なる熱伝導率を有する、純度の高いまたは極めて純度の高い電気黒鉛から成る、請求項1から7までのいずれか1項記載の電極。
- 前記使用されている炭素材料は、1つまたは複数の以下のパラメータ:
a.)20〜200W/(m*k)の固有熱伝導率、
b.)30〜5μOhm*mの固有電気抵抗、
c.)10〜200μmの粗さ曲線の全体の高さRtおよび8〜160μmの平均粗さ深さRzでの、1〜20μmの表面粗さRaの算術平均値、
d.)40〜250MPaの耐圧性、
e.)10〜100MPaの曲げ強さ、
f.)1〜20GPaの弾性率、
g.)20〜1000℃の温度領域における、2*10−6〜10*10−61/Kの線形熱膨張係数、
h.)5〜25%の開放多孔性
を有している
請求項1から8までのいずれか1項記載の電極。 - シリコンロッド表面で、気相から純度の高い単体ケイ素を析出させることによって、多結晶シリコンを製造する方法であって、
前記シリコンロッドを反応器内で、請求項1から9までのいずれか1項または複数項記載の電極によって保持する、
ことを特徴とする、多結晶シリコンの製造方法。
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