JP2011194575A - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 - Google Patents

液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 Download PDF

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JP2011194575A JP2010060342A JP2010060342A JP2011194575A JP 2011194575 A JP2011194575 A JP 2011194575A JP 2010060342 A JP2010060342 A JP 2010060342A JP 2010060342 A JP2010060342 A JP 2010060342A JP 2011194575 A JP2011194575 A JP 2011194575A
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Kenichi Kitamura
健一 北村
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Abstract

【課題】 インク成分の沈降を抑制して、良好な液体吐出特性を有する液体噴射ヘッド、
液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口40に連通する複数の圧力発生室30と、圧力
発生室30に圧力変化を生じさせてノズル開口40から液体を吐出させる圧力発生手段と
、液体を供給する液体供給路120,160及び液体を回収する液体回収路140,17
0を含み圧力発生室30に連通する循環流路と、循環流路内に設けられて渦流を形成する
渦流形成手段201A,201Bと、を具備する。
【選択図】 図3

Description

本発明は液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関する。
従来、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置では、インクタンクをイン
クジェット式記録ヘッドから離間して設け、このインクタンクとインクジェット式記録ヘ
ッド間でインクを循環させる循環式のインクジェット式記録装置が知られている(例えば
、特許文献1参照)。
特開2009−23289号公報(図3等参照)
しかしながら、特許文献1に記載されたインクジェット式記録装置は、インクを循環さ
せるポンプから距離が離れた流路内では、インクの流速が低下してしまうため、インク成
分の沈降が生じやすいという問題があった。インク成分の沈降は、インクを増粘させてし
まうため、インクの吐出特性の低下の原因となる。
特に、循環流路にフィルターが鉛直方向上向きとなるように設けられている場合は、フ
ィルター上に沈降したインク成分が目詰まりを引き起こし、フィルターの圧力損失が上昇
してノズル側へのインクを供給できない又は吐出特性の低下に影響を及ぼすことが問題と
なっていた。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドを用いた液体噴射装置だけではな
く、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置においても同様に
存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、インク成分の沈降を抑制して、良好な液体吐出特性を
有する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的
とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する複数の圧力
発生室と、該圧力発生室に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を吐出させる圧
力発生手段と、液体を供給する液体供給路及び液体を回収する液体回収路を含み前記圧力
発生室に連通する循環流路と、前記循環流路内に設けられて渦流を形成する渦流形成手段
と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
かかる態様では、渦流形成手段によりヘッド循環流路内の液体を攪拌することができ、
液体成分の沈降を抑制することができる。これにより、液体成分の沈降に起因する液体供
給不良や液体吐出不良を抑制することができる。したがって、良好な吐出特性を有するも
のとすることができる。
本発明の好適な実施態様としては、前記渦流形成手段は、前記循環流路内を流れる液体
によって回転する羽根部材であることが挙げられる。
本発明の好適な実施態様としては、前記渦流手段は、前記循環流路に形成された螺旋状
の溝であることが挙げられる。
前記循環流路にフィルターを具備し、前記渦流形成手段は、前記フィルターの上流側に
設けられるのが好ましい。これによれば、液体成分の沈降によるフィルターの目詰まりを
確実に抑制することができ、圧力発生室への液体供給不良や液体吐出不良などの不具合が
発生するのを抑制することができる。
前記循環流路に気泡が貯留される気泡貯留部を具備し、前記渦流形成手段は、前記気泡
貯留部の上流側に設けられるのが好ましい。これによれば、液体成分の沈降を抑制するこ
とができると共に、ヘッド循環流路に付着した気泡を攪拌により引き剥がして気泡貯留部
へ貯留することができる。これにより、液体成分の沈降に起因する液体供給不良や液体吐
出不良を抑制することができると共に、気泡によるドット抜け等の吐出不良を抑制するこ
とができる。したがって、より良好な吐出特性を有するものとすることができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴と
する液体噴ヘッドユニットにある。
かかる態様では、良好な吐出特性を有する液体噴射ヘッドユニットを実現することがで
きる。
本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射
装置にある。
かかる態様では、良好な吐出特性を有する液体噴射装置を実現することができる。
本発明の他の態様は、上記の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体
噴射装置にある。
かかる態様によれば、良好な吐出特性を有する液体噴射装置とすることができる。
実施形態1の液体噴射装置の概略構成を示す斜視図である。 実施形態1の循環流路の構成を示す模式図である。 実施形態1のヘッドの断面模式図である。 他の実施形態のヘッドの要部拡大模式図である。
本発明の液体噴射ヘッド及び液体噴射装置について、図1〜図3を用いて説明する。本
実施形態のインクジェット式記録装置は、インクジェット式記録装置本体に液体噴射ヘッ
ドを固定し、ノズル列方向に対して直交する方向に記録用紙等の記録媒体を搬送すること
で被記録媒体への印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。図
1に示すインクジェット式記録装置Iは、ヘッドユニット1と、装置本体2、給紙ローラ
ー3と、を備えている。
ヘッドユニット1は、複数のインクジェット式記録ヘッド(以下、ヘッドという)10
0からなるヘッド群(なお、図1中では各ヘッド群を4つのヘッド100により構成する
ようにしている)が保持されたベースプレート18に取り付けられたフレーム部材19を
備えており、このフレーム部材19を介してヘッドユニット1が装置本体2に固定されて
いる。
また、装置本体2には給紙ローラー3が設けられている。給紙ローラー3は、装置本体
2に給紙された紙等の記録シートS(被記録媒体)を第1の方向に搬送し、記録シートS
をヘッド100のインクの吐出面側を通過させる。ここで、第1の方向とは、記録シート
Sとヘッド100との相対的な移動方向をいう。本実施形態では、ヘッドユニット1は装
置本体2に固定されているので、給紙ローラー3により記録シートSが搬送される。
制御部4は、記録シートSに印字される画像を表した印刷データに基づいて、給紙ロー
ラー3に信号を送信して記録シートSの搬送をさせると共に、図示しない配線部材を介し
て各ヘッド100に駆動信号を送信してヘッド100のヘッド本体からインクを吐出させ
る。
また、装置本体2には、インクが貯留されたインク貯留手段5が設けられている。本実
施形態では、詳しくは後述するが、インク貯留手段5には、インクをインク貯留手段5か
ら各ヘッド100に供給するための供給管6と、各ヘッド100からインク貯留手段5へ
インクを回収するための回収管7とが設けられている。すなわち、本実施形態においては
、インク貯留手段5には、供給管6と回収管7とが設けられており、インクは、インク貯
留手段5から供給管6を介して各ヘッド100のヘッド循環流路に供給され、ノズル開口
から噴射されなかったインクは回収管7を介してインク貯留手段5に回収される。このよ
うに、本実施形態では、供給管6、回収管7及び各ヘッド100のヘッド循環流路とから
構成される循環流路により、インク貯留手段5からのインクを循環させることができるよ
うになっている。
このようなインクジェット式記録装置Iでは、給紙ローラー3により第1の方向に記録
シートSが搬送されると共に、ヘッドユニット1のヘッド100によってインクが吐出さ
れて記録シートSに画像等が印刷される。
以下、図2及び図3を用いて循環流路について詳細に説明する。図2は、循環流路の構
成を示す模式図であり、図3(a)はヘッドの断面模式図、図3(b)は、ヘッドの要部
拡大模式図である。なお、図2、図3中、インクの流れについては矢印で示してある。
インクの循環流路は、上述したように、供給管6と、回収管7と、各ヘッド100に形
成されたヘッド循環流路と、から構成される。
図2に示すように、供給管6は、インク貯留手段5に接続された一本の供給幹管61と
、供給幹管61に設けられ、各ヘッド100にインクを供給する供給枝管62とからなる
。回収管7は、インク貯留手段5に接続された一本の回収幹管71と、回収幹管71に設
けられ、各ヘッド100からのインクを回収する回収枝管72とを備える。回収幹管71
とインク貯留手段5との間にはポンプPが介設されており、このポンプPによる負圧によ
り、各ヘッド100のインクが回収管7を経てインク貯留手段5へ回収され、このインク
が再度インク貯留手段5から供給管6を経てヘッド100に供給されることでインクが循
環する構成となっている。
各ヘッド100は、図3に示すように、ノズル開口40及びノズル開口40に連通する
複数の圧力発生室30と、圧力発生室30に連通するマニホールド20が形成されたヘッ
ド本体IIと、ヘッド本体IIと供給枝管62との間のインク供給路(液体供給路)、及
びヘッド本体IIと回収枝管72との間のインク回収路(液体回収路)が形成された流路
部材IIIとからなる。
流路部材IIIは、その上面に設けられた開口であるインク導入口110と、インク導
入口110に連通する第1インク供給路120と、その上面に設けられた開口であるイン
ク排出口150と、インク排出口150に連通する第1インク回収路140とを備える。
そして、第1インク供給路120の下端部及び第1インク回収路140の下端部は接続路
130により接続されている。また、インク導入口110には供給枝管62が接続され、
インク排出口150には回収枝管72が接続されている。この第1インク供給路120、
接続路130、及び第1インク回収路140により上部側ヘッド循環路が構成されている
接続路130には、その下面側に第1インク供給路120に対向するように開口する第
1フィルター口131が設けられており、この第1フィルター口131には第1フィルタ
ー132が設けられている。また、第1フィルター口131には、第1フィルター132
を介して第1フィルター口131に連通すると共に、ヘッド本体IIに接続してヘッド本
体IIにインクを供給する第2インク供給路160が設けられている。第2インク供給路
160は、ヘッド本体IIの上面に設けられた第1開口10を介してヘッド本体IIのマ
ニホールド20に連通する。
マニホールド20は、圧力発生室30、及び各圧力発生室30に設けられインクを吐出
するノズル開口40に連通している。すなわち、マニホールド20は、ノズル開口40に
連通する個別流路としての圧力発生室30が共通して接続する共通流路である。
また、ヘッド本体IIには第2開口50が設けられており、流路部材IIIには、この
第2開口50を介してマニホールド20に連通する第2インク回収路170が設けられて
いる。第2インク回収路170は、接続路130の下面に設けられた開口である第2フィ
ルター口133に第2フィルター134を介して連通する。
ヘッド側供給路160、ヘッド本体IIにおけるインク流路及び第2インク回収路17
0から下部側ヘッド循環路が構成されている。
第1フィルター132及び第2フィルター134は水平に設けられており、それぞれ上
面が上流側循環流路に設けられるように配置されている。この第1フィルター132及び
第2フィルター134は、気泡等によるドット抜けや、インク中のゴミによるノズル詰ま
り等の吐出不良を抑制すべく、インク内の気泡やゴミ等を除去するために設けられている
。この第1フィルター132及び第2フィルター134としては、開口を有するシート状
のものであればよく、例えば、金属を細かく編み込むことで複数の微細孔が形成されたシ
ート状のものや、金属板に微細工を形成したものを用いることができる。
本実施形態では、ヘッド循環流路は、流路部材IIIに設けられる第1インク供給路1
20、第2インク供給路160、接続路130、第1インク回収路140、及び第2イン
ク回収路170から構成される第1ヘッド循環流路と、ヘッド本体IIに設けられるマニ
ホールド20から構成される第2ヘッド循環流路とからなる。
流路部材IIIに設けられる上側ヘッド循環流路内には、渦流を形成する渦流形成手段
である羽根部材201(201A,201B)が設けられている。ここでいうフィルター
の上流側とは、インクを吐出する際の上流側のことを指す。本実施形態では、フィルター
132の上流側、すなわち、第1インク供給路120に、羽根部材201Aが固定されて
おり、フィルター134の上流側、すなわち、接続路130に、羽根部材201Bが固定
されている。
羽根部材201は、流路内に回転自在に支持された回転軸202と、回転軸202に固
定された攪拌羽根203と、回転軸を回転自在に支持する支持部材204とから構成され
、インクの流動により攪拌羽根203が回転するようになっている。具体的には、支持部
材204は中央に貫通部を有しており、回転軸202は支持部材204の貫通部に支持さ
れている。そして、回転軸202の支持部材204を挟んだ両側にはそれぞれ攪拌羽根2
03が設けられており、かかる攪拌羽根203は、インクの流動方向に対して傾斜するよ
うに設けられている。これにより、羽根部材201は、回転軸202に固定される攪拌羽
根203がインクの流動により回転して、渦流を形成することができるようになっている
。これらの羽根部材201は、インク成分の沈降を抑制するために設けられている。羽根
部材201が回転することにより渦流が形成されて、インク成分の沈降によるインクの循
環不良や、フィルター詰まり等を抑制することができる。
攪拌羽根203の形状は特に限定されず、例えば、長方形、矩形、菱形、短冊形、楕円
形等の板状、三角断面を持つ棒状のものが挙げられ、これらはインクの流動方向に対して
ひねりや傾斜を有していてもよい。また、攪拌羽根203の羽根の数も特に限定されるも
のではない。
また、記録ヘッド100のヘッド本体IIには、特に図示していないが、ノズル開口4
0に連通する圧力発生室30に圧力変化を生じさせる圧力発生手段が設けられている。圧
力発生手段によって圧力発生室30に圧力変化を生じさせることでノズル開口40からイ
ンク滴が吐出される。なお、圧力発生手段としては、例えば、圧電材料と電極形成材料と
を交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエーター装置や、電極及び圧
電材料を成膜及びリソグラフィー法により積層形成した薄膜型、グリーンシートを添付す
る等の方法により形成される圧膜型などの撓み振動型のアクチュエーター装置などを用い
たものが挙げられる。また、圧力発生手段としては、圧力発生室30内に発熱素子を配置
して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口40から液滴を吐出するもの
や、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノ
ズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを用いたものなどが
挙げられる。
このような本実施形態のインクジェット式記録装置Iにおけるインク噴射動作について
説明する。まず、インクの循環中においては、インク貯留手段5から供給されたインクは
、供給幹管61及び供給枝管62を介してヘッド100の流路部材IIIのインク導入口
110からヘッド100に導入される。導入されたインクは、第1インク供給路120を
介して接続路130に供給される。その後、インクは、第1フィルター132により濾過
されてから第2インク供給路160を通過してヘッド本体IIのマニホールド20から圧
力発生室30に導入される。
そして、ポンプPによりマニホールド20内のインクはマニホールド20から第2イン
ク回収路170及び第1インク回収路140を介して回収されると共に、接続路130内
のインクは接続路130から第1インク回収路140を介して回収される。同時に新しい
インクが供給管6を経てヘッド100に導入される。このようにして、インクがヘッド1
00内を循環する。
本実施形態では、上部側ヘッド循環路を有することで、流路部材III内に沈殿したイ
ンク成分の沈降を抑制し、かつ、第1フィルター132及び第2フィルター134に溜ま
った気泡を回収することができると共に、さらに下部側ヘッド循環路を有することでII
内でのインク成分の沈降を抑制できる。これにより本実施形態の液体噴射装置Iにおいて
は、ノズルの目詰まり等が抑制されてインクの噴射特性が向上している。
さらに、本実施形態では、インクの流動により羽根部材201の攪拌羽根203が回転
して、第1ヘッド循環流路内に渦流が形成されることにより、インク成分の沈降を抑制す
ることができる。インクジェット式記録装置Iでは、回収管7の途中にポンプPが設けら
れており、インク貯留手段5からのインクは、ポンプPの圧力により循環している。この
ような構成では、インク貯留手段5からインクが各ヘッド100に届くまでにインクの流
速が低下するが、ヘッド循環流路に渦流形成手段を設けることにより、ヘッド循環流路内
のインクが攪拌されて、ポンプPから離れたヘッド循環流路においてもインク成分の沈降
を抑制することができる。したがって、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド100
では、インク成分の沈降に起因するインクの増粘によるインクの循環不良やフィルター詰
まり等が抑制されて、吐出特性の良好なものとなる。
従来の循環流路では、クリーニングの際にしかインク成分の沈降物を除去することがで
きなかった。特に、フィルターが鉛直方向上向きに設けられている場合、フィルター上に
沈降したインク成分が目詰まりを引き起こし、フィルターの圧力損失が上昇してノズル側
へのインクを供給できない又は吐出特性の低下に影響を及ぼすことが問題となっていた。
なお、ここでいう鉛直方向上向きに設けられるとは、鉛直方向に対して傾斜したもの及び
水平に設けたものを指す。
これに対し、本実施形態では、インクの循環中は、常に攪拌羽根203が回転して、第
1ヘッド循環流路内に渦流が形成されるようになっており、インク成分の沈降が生じにく
くなっている。本実施形態では、フィルター132の上流側に羽根部材201Aが設けら
れているため、特にフィルター132の目詰まりの抑制に効果的である。したがって、フ
ィルターの圧力損失の上昇によるノズル側へのインク供給不良やインク吐出不良などの不
具合が好適に抑制される。同様に、フィルター134の上流側に羽根部材201Bが設け
られていることにより、フィルター134の上流におけるインク成分の沈降を抑制するこ
とにより、フィルター134の目詰まりを抑制することができる。フィルターの上流側に
羽根部材を設けることにより、本実施形態のように、水平に設けられたものだけではなく
、鉛直方向に対して傾斜して設けられたものの場合も同様に、フィルターの目詰まりを抑
制することができる。
また、本実施形態のインクジェット式記録装置Iでは、各ヘッド100は、ベースプレ
ート18に固定されており、インク貯留手段5からの供給管6の長さがそれぞれ異なる。
したがって、インク貯留手段5から遠いヘッド100では、インク貯留手段5から近いヘ
ッド100と比較して、インクの流速が遅くなり、インクが沈降し易い。本実施形態では
、ヘッド100のヘッド循環流路に渦流形成手段を設けることにより、インク貯留手段5
から遠いヘッド100におけるインク成分の沈降を好適に抑制することができる。
上述したように、本実施形態では、ヘッド循環流路に渦流形成手段(羽根部材201)
を設けることで、インク成分の沈降を抑制することができる。これにより、液体成分の沈
降に起因する液体供給不良や液体吐出不良を抑制することができる。したがって、良好な
吐出特性を有するものとすることができる。
(他の実施形態)
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定され
るものではない。例えば、羽根部材201の構成は、上述したものに限定されない。例え
ば、羽根部材は、ヘッド循環流路に固定される固定軸と、固定軸に回転自在に支持される
基体と、基体に固定される複数の攪拌羽根とから構成されるものであってもよい。
また、上述した実施形態では、渦流形成手段として、攪拌羽根203を具備する羽根部
材201を例示したが、渦流形成手段はこれに限定されるものではない。例えば、図4に
示すように、ヘッド循環流路の第1供給路120の壁面の一部に、螺旋状の溝を形成する
ことにより、渦流形成手段としてもよい。インクがヘッド循環流路の壁面に設けられる螺
旋状の溝を通過すると、渦流が形成されて、インク成分の沈降が抑制される。これにより
、上述した実施形態1と同様の効果を得ることができる。
また、上述した実施形態では、渦流形成手段(羽根部材201)をフィルター132の
上流側に設けたが、渦流形成手段を設ける位置は、これに限定されるものではない。渦流
形成手段は、インク成分の沈降を抑制したい部分の上流側に設ければよく、例えば、下部
側ヘッド循環流路に設けてもよい。
また、ヘッド循環流路は、気泡が貯留される気泡貯留部を具備していてもよい。気泡貯
留部としては、ヘッド循環流路の所定位置の上方に設けられる空間が挙げられる。ここで
いうヘッド循環流路の所定位置の上方に設けられるとは、インクジェット式記録ヘッドの
使用時、すなわち、ノズル開口からインクを吐出している際にヘッド循環流路の上方に位
置していることをいう。気泡は浮力により上昇するため、インクジェット式記録ヘッドの
稼動時にヘッド循環流路内で生じる気泡は、ヘッド循環流路の上方に設けられる気泡貯留
部に貯めることができる。インクジェット式記録ヘッドは、ヘッド循環流路及び気泡貯留
部にインクが予め充填された状態で使用され、インクの流れに沿ってヘッド循環流路内を
流動する気泡が気泡貯留部に溜まる。前述したように、気泡貯留はヘッド循環流路の上方
に位置しているので、気泡がヘッド循環流路に戻ることなく気泡貯留部に溜まり続ける。
なお、気泡貯留部に溜まった気泡は定期的に除去されるようになっている。このような気
泡貯留部がヘッド循環流路に設けられている場合は、気泡貯留部の上流側に渦流形成手段
を設けるのが好ましい。渦流形成手段が、渦流を形成することにより、ヘッド循環流路の
壁面に付着した気泡を引き剥がすことができる。すなわち、このような構成からなるイン
クジェット式記録ヘッドでは、インク成分の沈降を抑制することができると共に、ヘッド
循環流路に付着した気泡を攪拌により引き剥がして気泡貯留部へ貯留することができる。
したがって、液体成分の沈降に起因する液体供給不良や液体吐出不良を抑制することがで
きると共に、気泡によるドット抜け等の吐出不良を抑制することができる。
上述した実施形態では、第1フィルター132及び第2フィルター134は、それぞれ
接続路130の底面に設けられているが、これに限定されない。第1フィルター132は
第2インク供給路160内に設けてあればよく、第2フィルター134も第2インク回収
路170内に設けてあればよい。
本実施形態では、流路部材IIIは、第1インク供給路120と、接続路130と、第
1インク回収路140と、第2インク供給路160と、第2インク回収路170とを備え
るものとしたが、これに限定されない。例えば、フィルター132及び134を備えずに
、ヘッド本体IIと供給枝管62との間のインク供給路(液体供給路)、及びヘッド本体
IIと回収枝管72との間のインク回収路(液体回収路)が形成されたものであってもよ
い。
本実施形態では、インク貯留手段5からのインクをヘッド100に供給する供給管6及
びヘッド100からのインクをインク貯留手段5に回収する回収管7を示したが、これら
は管に限定されない。例えば、エッチングなどによりシリコン基板を一部除去して形成し
た流路であってもよい。
なお、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド100を具備するヘッドユニット
1をインクジェット式記録装置Iに設けるようにしたが、インクジェット式記録装置Iに
搭載するヘッドユニット1を2以上としてもよい。また、インクジェット式記録装置Iに
直接インクジェット式記録ヘッド100を搭載するようにしてもよい。
また、上述した例では、インクジェット式記録ヘッド100が固定されて記録シートS
を搬送するだけで印刷を行うライン式のインクジェット式記録装置を例示したが、本発明
は、他のタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。例えば、記録シ
ートSの搬送方向と交差する方向(主走査方向)に移動するキャリッジにインクジェット
式記録ヘッド100を搭載し、インクジェット式記録ヘッド100を主走査方向に移動さ
せながら印刷を行う、いわゆるシリアル型のインクジェット式記録装置にも本発明を適用
することができる。
また、本実施形態では、液体貯留部(インク貯留手段5)が装置本体に固定されたタイ
プのインクジェット式記録装置Iを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インク
カートリッジ等の液体貯留部を各インクジェット式記録ヘッド又はインクジェット式記録
ヘッドユニットに固定するタイプのインクジェット式記録装置にも本発明を適用すること
ができる。
さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド100
を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたもので
ある。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録
ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有
機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材
料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることが
できる。
5 インク貯留手段、 6 供給管、 7 回収管、 10 第1開口、 20 マニ
ホールド、 30 圧力発生室、 40 ノズル開口、 50 第2開口、 61 供給
幹管、 62 供給枝管、 71 回収幹管、 72 回収枝管、 100 インクジェ
ット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 120 第1インク供給路、 130 接続路
、 140 第1インク回収路、 160 第2インク供給路、 170 第2インク回
収路

Claims (8)

  1. 液体を噴射するノズル開口に連通する複数の圧力発生室と、
    該圧力発生室に圧力変化を生じさせて前記ノズル開口から液体を吐出させる圧力発生手
    段と、
    液体を供給する液体供給路及び液体を回収する液体回収路を含み前記圧力発生室に連通
    する循環流路と、
    前記循環流路内に設けられて渦流を形成する渦流形成手段と、
    を具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記渦流形成手段は、前記循環流路内を流れる液体によって回転する羽根部材であるこ
    とを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッド。
  3. 前記渦流手段は、前記循環流路に形成された螺旋状の溝であることを特徴とする請求項
    1に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記循環流路にフィルターを具備し、前記渦流形成手段は、前記フィルターの上流側に
    設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記循環流路に気泡が貯留される気泡貯留部を具備し、前記渦流形成手段は、前記気泡
    貯留部の上流側に設けられることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液体
    噴射ヘッド。
  6. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする
    液体噴射ヘッドユニット。
  7. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体
    噴射装置。
  8. 請求項6に記載のヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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