JP5515982B2

JP5515982B2 - 液体噴射ヘッド、液体噴射ユニット及び液体噴射装置

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Publication number: JP5515982B2
Application number: JP2010084888A
Authority: JP
Inventors: 晴久植澤
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2010-04-01
Filing date: 2010-04-01
Publication date: 2014-06-11
Anticipated expiration: 2030-04-01
Also published as: JP2011213030A

Description

本発明は液体噴射ヘッド、液体噴射ユニット及び液体噴射装置に関する。

従来、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置では、インクタンクをイン
クジェット式記録ヘッドから離間して設け、このインクタンクとインクジェット式記録ヘ
ッド間でインクを循環させる循環式のインクジェット式記録装置が知られている。（例え
ば、特許文献１参照）。

特許文献１に記載されたインクジェット式記録装置では、インクタンクに一つの往路管
及び一つの復路管を設け、これらの往路管及び復路管を分岐させてそれぞれ各記録ヘッド
にインクを供給させている。各記録ヘッドにおいては、フィルターの上流側の循環路及び
フィルターの下流側の循環路が形成されており、これらの二つの循環路を備えることで、
気泡の排出性を高めると共に、液体成分の沈降を抑制している。

特開２００９−２３２８９号公報（図３等参照）

しかしながら、特許文献１に記載されたインクジェット式記録ヘッドでは、下流側の循
環路にインクが導入されにくく、このため、気泡の排出性が低く、また液体成分の沈降を
抑制することができず、さらにインク噴射時に全てのノズルから均一にインクが噴射され
ないという問題がある。なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドを用いた液
体噴射装置だけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドを用いた液体噴射
装置においても同様に存在する。

そこで、本発明の課題は、上記従来技術の問題点を解決することにあり、より均一な噴
射特性である循環経路を有する液体噴射ヘッド、並びに当該液体噴射ヘッドを備えた液体
噴射ユニット及び液体噴射装置を提供しようとするものである。

本発明の液体噴射ヘッドは、液体を噴射する複数のノズル開口と、複数の前記ノズル開
口に当該ノズル開口側で連通し液体が流通する第１流路と、前記第１流路に外部からの液
体を供給する供給路と、前記第１流路から液体を外部に回収する回収路と、前記供給路に
設けられた第１フィルターと、及び前記回収路に設けられた第２フィルターと、前記第１
フィルターよりも上流側の前記供給路と前記第２フィルターよりも下流側の前記回収路と
を接続する第２流路とを備え、前記回収路の前記第１流路と前記第２流路との間のヘッド
側回収路及び前記第２フィルターからなる回収側流路は、前記供給路の前記第１流路と前
記第２流路との間のヘッド側供給路及び前記第１フィルターからなる供給側流路よりも低
い流路抵抗を有することを特徴とする。本発明では、前記回収路の前記第１流路と前記第
２流路との間のヘッド側回収路及び第２フィルターからなる回収側流路は、前記供給路の
前記第１流路と前記第２流路のヘッド側供給路及び第１フィルターからなる供給側流路よ
りも低い流路抵抗を有することで、液体噴射時における回収側流路近辺のノズル開口への
インク供給量を増加させ、これらのノズル開口からの噴射量を十分に保持することができ
る。これにより、液体噴射特性を略均一化することができる。

ここで、前記ヘッド側回収路の断面積が、前記ヘッド側供給路の断面積よりも大きいこ
とか、前記回収路に設けられた第２フィルターの開口の総面積が、前記供給路に設けられ
た第１フィルターの開口の総面積よりも広いことが好ましい。このように構成することで
、回収側流路の流路抵抗を低くすることが可能である。なお、断面積とは、ヘッド側回収
路またはヘッド側供給路において液体の流れる方向に対して垂直な面の断面積をいう。

前記供給側流路は、前記回収側流路及び前記第２流路からなる流路の流路抵抗と略同一
の流路抵抗を有することが好ましい。このように構成することで、より均一化させること
ができる。なお、本発明において略同一とは、同一を含むものである。

本発明の液体噴射ヘッドユニットは、上述したいずれかの液体噴射ヘッドを複数備えた
ことを特徴とする。かかる液体噴射特性の均一な液体噴射ヘッドユニットを備えることで
、本発明の液体噴射ヘッドユニットは、液体噴射装置に搭載した場合に液体噴射特性に優
れる。

本発明の液体噴射装置は、上述したいずれかの液体噴射ヘッドを備えたこと、又は複数
備えたことを特徴とする。かかる液体噴射特性の均一な液体噴射ヘッドを備えることで、
本発明の液体噴射装置は、液体噴射特性に優れている。

液体噴射装置の概略構成を示す斜視図である。液体流路の構成を示す模式図である。ヘッドの断面模式図である。噴射時のヘッドにおけるインクの流れを示す断面模式図である。ヘッドの概略構成を示す分解斜視図である。ヘッドの平面図及び断面図である。

本発明の液体噴射装置について、図１〜図６を用いて説明する。本実施形態のインクジ
ェット式記録装置は、インクジェット式記録装置本体に液体噴射ヘッドを固定し、ノズル
列方向に対して直交する方向に記録用紙等の記録媒体を搬送することで被記録媒体への印
刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置である。図１に示すインクジェ
ット式記録装置ＩＩＩは、ヘッドユニット１と、装置本体２、移動手段の一例である給紙
ローラー３と、制御部４とを備えている。

ヘッドユニット１は、複数の液体噴射ヘッド（以下、ヘッドという）１００からなるヘ
ッド群（なお、図１中では各ヘッド群を４つのヘッド１００により構成するようにしてい
る）が保持されたベースプレート１８に取り付けられたフレーム部材１９を備えており、
このフレーム部材１９を介してヘッドユニット１が装置本体２に固定されている。

また、装置本体２には給紙ローラー３が設けられている。給紙ローラー３は、装置本体
２に給紙された紙等の記録シートＳ（被記録媒体）を第１の方向に搬送し、記録シートＳ
をヘッド１００のインクの吐出面側を通過させる。ここで、第１の方向とは、記録シート
Ｓとヘッド１００との相対的な移動方向をいう。本実施形態では、ヘッドユニット１は装
置本体２に固定されているので、給紙ローラー３により記録シートＳが搬送される。

制御部４は、記録シートＳに印字される画像を表した印刷データに基づいて、給紙ロー
ラー３に信号を送信して記録シートＳの搬送をさせると共に、図示しない配線を介して各
ヘッド１００に駆動信号を送信してインクを吐出させる。

また、装置本体２には、インクが貯留されたインク貯留手段５が設けられている。本実
施形態では、詳しくは後述するが、インク貯留手段５には、インクをインク貯留手段５か
ら各ヘッド１００に供給するための供給管６と、各ヘッド１００からインク貯留手段５へ
インクを回収するための回収管７とが設けられている。即ち、本実施形態においては、イ
ンク貯留手段５には、供給管６と回収管７とが設けられており、インクは、インク貯留手
段５から供給管６を介して各ヘッド１００のインク流路（液体流路）に供給され、ノズル
開口から噴射されなかったインクは回収管７を介してインク貯留手段５に回収される。イ
ンク貯留手段５には、貯留されているインクを加熱するための加熱手段（図示せず）が設
けられている。このように、本実施形態においては、供給管６、回収管７及び各ヘッド１
００のインク流路からなり、インク貯留手段５から加熱されたインクを循環させるインク
循環路が設けられている。

このようなインクジェット式記録装置ＩＩＩでは、給紙ローラー３により第１の方向に
記録シートＳが搬送されると共に、ヘッドユニット１のヘッド１００によってインクが吐
出されて記録シートＳに画像等が印刷される。

以下、図２及び図３を用いてインク循環路について詳細に説明する。図２、図３中、イ
ンクの流れについては矢印で示してある。インク循環路は、上述したように、供給管６、
各ヘッド１００に形成されたインク流路、回収管７により構成される。

供給管６は、インク貯留手段５に接続された一本の供給幹管６１と、供給幹管６１に設
けられ、各ヘッド１００にインクを供給する供給枝管６２とからなる。回収管７は、イン
ク貯留手段５に接続された一本の回収幹管７１と、回収幹管７１に設けられ、各ヘッド１
００からのインクを回収する回収枝管７２とからなる。回収幹管７１とインク貯留手段５
との間にはポンプＰが介設されており、このポンプＰによる負圧により、各ヘッド１００
のインクがヘッド１００から回収管７を経てインク貯留手段５へ回収され、このインクが
再度インク貯留手段５から供給管６を経てヘッド１００に供給されることでインクが循環
する構成となっている。

各ヘッド１００は、図３に示すように、ノズル開口２１及びノズル開口２１に連通する
第１流路であるリザーバー１０１が形成されたヘッド本体Ｉ（詳しくは後述する）と、ヘ
ッド本体Ｉと供給枝管６２との間のインク流路、及びヘッド本体Ｉと回収枝管７２との間
のインク流路が形成された流路部材ＩＩとからなる。流路部材ＩＩは、その上面に設けら
れた開口であるインク導入口１１０と、インク導入口１１０に連通する上部供給路１２０
と、上部供給路１２０の下端部で接続し、上部供給路１２０に連通した接続路（第２流路
）１３０とを備える。

接続路１３０には、接続路１３０内に溜まったインクを排出するための上部回収路１４
０が設けられている。上部回収路１４０は、流路部材ＩＩの上面に設けられたインク排出
口１５０に連通する。インク排出口１５０には、回収枝管７２が接続されている。この上
部供給路１２０、接続路１３０、及び上部回収路１４０により上部側循環路が構成されて
いる。

接続路１３０には、その下面側に上部供給路１２０に対向するように開口である第１フ
ィルター口１３１が設けられており、この第１フィルター口１３１には第１フィルター１
３２が設けられている。また、第１フィルター口１３１には、第１フィルター１３２を介
して第１フィルター口１３１に連通すると共に、ヘッド本体Ｉに接続してヘッド本体Ｉに
インクを供給するヘッド側供給路１６０が設けられている。ヘッド側供給路１６０は、ヘ
ッド本体Ｉの後述するコンプライアンス基板に設けられた第１開口４４を介してヘッド本
体Ｉのリザーバー１０１に連通する。即ち、本実施形態では、接続路１３０とリザーバー
１０１とをヘッド側供給路１６０が接続しており、このヘッド側供給路１６０と第１フィ
ルター１３２とから供給側流路１６１が構成されている。

リザーバー１０１は、ヘッド本体Ｉにおける液体流路の一部を構成する。リザーバー１
０１は、圧力発生室１２、及び各圧力発生室１２に設けられ、インクを吐出するノズル開
口２１に連通している。即ち、リザーバー１０１は、ノズル開口２１に連通する個別流路
としての圧力発生室１２が共通して接続する共通流路である。また、リザーバー１０１を
封止するコンプライアンス基板には第２開口４５が設けられており、流路部材ＩＩには、
この第２開口４５を介してリザーバー１０１に連通するヘッド側回収路１７０が設けられ
ている。ヘッド側回収路１７０は、接続路１３０の下面に設けられた開口である第２フィ
ルター口１３３に第２フィルター１３４を介して連通する。即ち、ヘッド側回収路１７０
は、接続路１３０とリザーバー１０１とを接続しており、このヘッド側回収路１７０と第
２フィルター１３４とから回収側流路１７１が形成される。ヘッド側回収路１７０は、詳
しくは後述するようにそのインクの流れる方向に対して垂直な面の断面積（以下、単に断
面積という）がヘッド側供給路１６０の断面積よりも広くなるように構成されている。ヘ
ッド側供給路１６０、ヘッド本体Ｉにおけるインク流路及びヘッド側回収路１７０から下
部側循環路が構成されている。また、上部供給路１２０及びヘッド側供給路１６０から供
給路が構成され、上部回収路１４０及びヘッド側回収路１７０から回収路が構成されてい
る。

これらの第１フィルター１３２及び第２フィルター１３４は、気泡等によるドット抜け
や、インク中のゴミによるノズル詰まり等の吐出不良を抑制すべく、インク内の気泡やゴ
ミ等を除去するために設けてある。この第１フィルター１３２及び第２フィルター１３４
としては、開口を有するシート状のものであればよく、例えば、金属を細かく編み込むこ
とで複数の微細孔が形成されたシート状のものや、金属板に微細工を形成したものを用い
ることができる。

本実施形態においては、上部側循環路を有することで、流路部材ＩＩの流路内に沈殿し
たインク成分の沈降を抑制し、かつ、第１フィルター１３２及び第２フィルター１３４に
溜まった気泡を回収することができると共に、さらに下部側循環路を有することでヘッド
本体Ｉ内でのインク成分の沈降を抑制できる。これにより本実施形態の液体噴射装置ＩＩ
Ｉにおいては、ノズルの目詰まり等が抑制されてインクの噴射特性が向上している。

このような本実施形態の液体噴射装置ＩＩＩにおけるインク噴射動作について説明する
。まず、循環中においては、インク貯留手段５から供給されたインクは、供給幹管６１及
び供給枝管６２を介してヘッド１００の流路部材ＩＩのインク導入口１１０からヘッド１
００に導入される。導入されたインクは、上部供給路１２０を介して接続路１３０に供給
される。その後、インクは、第１フィルター１３２により濾過されてからヘッド側供給路
１６０を通過してヘッド本体Ｉのリザーバー１０１から圧力発生室１２に導入される。こ
の場合において、本実施形態では、インクが下部側循環路に導入されやすいように、接続
路１３０は、流路抵抗が従来よりも高くなるように断面積をやや小さく設定してある。こ
のように構成されていることで、インク噴射時においてインクが下部側循環路にも流れや
すく十分に供給されて、ヘッド本体Ｉに十分な量のインクを供給できるので、インク成分
の沈殿を抑制できる。なお、接続路１３０の流路抵抗を従来よりも大幅に高くなるように
すれば、例えば、下流側循環路の流路抵抗より高くするように構成すれば、ヘッド側回収
路１７０に供給されるインク量が減ってしまうので、後述するような本実施形態の効果を
奏することができない。

そして、ポンプＰによりリザーバー１０１内のインクはリザーバー１０１からヘッド側
回収路１７０及び上部回収路１４０を介して回収されると共に、接続路１３０内のインク
は接続路１３０から上部回収路１４０を介して回収される。同時に新しいインクが供給管
６を経てヘッド１００に導入される。このようにして、インクがヘッド１００内を循環す
る。

このようにヘッド１００内でインクが循環している場合において、ノズル開口２１から
インクを噴射する場合、インクの流れは図４に示すように変更される。即ち、インク噴射
時には、インクが、ヘッド側回収路１７０からも圧力発生室１２へ導入される。その他の
流路においては、インクの流れに変更はない。

ところで、上述したように接続路１３０の流路抵抗がやや高くなるように構成されてい
ることから、接続路１３０の下流側（上部回収路１４０側）ではインク量が少なくなる場
合もある。これにより、仮に供給側流路と回収側流路との流路抵抗が同一となるように構
成されているとすれば、噴射時において接続路から第２フィルターを介してヘッド側回収
路に導入されるインク量が少なくなることも考えられる。従って、このような場合には、
インク噴射時においてヘッド側供給路側に存在するノズル開口に比べてヘッド側回収路側
に存在するノズル開口から噴射されるインク量が少なくなってしまう。即ち、インク成分
の沈殿を抑制するために接続路の流路抵抗をやや高くするとノズル開口の並設方向におい
てインク噴射量が均一でなくなってしまうという問題がある。

そこで、本実施形態においては、供給側流路１６１よりも回収側流路１７１の方が流路
抵抗が低くなるように、ヘッド側回収路１７０の断面積をヘッド側供給路１６０の断面積
よりも大きく、即ちヘッド側回収路１７０をヘッド側供給路１６０よりも太くしている。
これにより、噴射時に接続路１３０から回収側流路１７１へはインクが流入しやすいため
に、回収側流路１７１側のノズル開口２１であっても十分な量のインクを導入することが
でき、ノズル開口２１から適量を噴射することができる。従って、ノズル開口２１の並設
方向においてインク噴射量が略均一となる。特に、供給側流路１６１と、接続路１３０及
び回収側流路１７１との流路抵抗が略同一となるように構成することで、供給側流路１６
１を通過するインクの量と回収側流路１７１を通過するインクの量とが略均一になり、ノ
ズル開口２１の並設方向においてインク噴射量がより均一化される。

即ち、本実施形態においては、液体成分の沈降を抑制すべく下流側循環路にインクを多
く循環させることができるように接続路１３０の流路抵抗をやや高くしているが、この場
合液体噴射特性が均一とはならないので、さらに回収側流路１７１の流路抵抗を低くして
、液体噴射特性を略均一化しているのである。

このように回収側流路１７１における流路抵抗を低くするには、本実施形態のようにヘ
ッド側回収路１７０の断面積がヘッド側供給路１６０の断面積よりも太くなるように構成
することに限定されない。例えば、第２フィルター１３４の開口の総面積を第１フィルタ
ー１３２の開口の総面積よりも高くすることが挙げられる。このように第２フィルター１
３４の開口率を第１フィルター１３２の開口率よりも高くすることで、回収側流路１７１
の流路抵抗が供給側流路１６１の流路抵抗よりも低くなるので、インク噴射時においてヘ
ッド側回収路１７０側のノズル開口２１からも十分にインクが噴射され、インク噴射特性
が均一化される。また、供給側流路１６１に第１フィルター１３２を複数設けてもよい。

以下、図５及び図６を用いて液体噴射ヘッド本体について説明する。図５は、液体噴射
ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド本体の概略構成を示す分解斜視図であり
、図６は、インクジェット式記録ヘッド本体の平面図及びそのＡ−Ａ′断面図である。

図示するように、流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面に
は例えば二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０に
は、その他方面側から異方性エッチングすることにより、流路形成基板１０には、複数の
隔壁１１によって区画された複数の圧力発生室１２がその幅方向（短手方向）に並設され
ている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向一端部側には、インク供給
路１４と連通路１５とが隔壁１１によって区画されている。また、連通路１５の一端には
、各圧力発生室１２の共通のインク室（液体室）となるリザーバー１０１の一部を構成す
る連通部１３が形成されている。すなわち、流路形成基板１０には、圧力発生室１２、連
通部１３、インク供給路１４及び連通路１５からなる液体流路が設けられている。

インク供給路１４は、圧力発生室１２の長手方向一端部側に連通し且つ圧力発生室１２
より小さい断面積を有する。そして、各連通路１５は、インク供給路１４の圧力発生室１
２とは反対側に連通し、インク供給路１４の幅方向（短手方向）より大きい断面積を有す
る。本実施形態では、連通路１５を圧力発生室１２と同じ断面積で形成した。すなわち、
流路形成基板１０には、圧力発生室１２と、圧力発生室１２の短手方向の断面積より小さ
い断面積を有するインク供給路１４と、このインク供給路１４に連通すると共にインク供
給路１４の短手方向の断面積よりも大きく圧力発生室１２と同等の断面積を有する連通路
１５とが複数の隔壁１１により区画されて設けられている。

また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反
対側の端部近傍に連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱
溶着フィルム等の接着剤層によって固着されている。なお、ノズルプレート２０は、ガラ
スセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように、弾性膜５０が形成
され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）等からなる絶縁体
膜５５が積層形成されている。また、絶縁体膜５５上には、第１電極６０と、圧電体層７
０と、第２電極８０とからなる圧電素子３００が形成されている。ここで、圧電素子３０
０は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧
電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力
発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか
一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じ
る部分を圧電体能動部という。本実施形態では、第１電極６０を圧電素子３００の共通電
極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合
でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室１２毎に圧電体能
動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３０
０の駆動により変位が生じる振動板とを合わせてアクチュエーター装置と称する。なお、
本実施形態では、第１電極６０を複数の圧電素子３００の並設方向に亘って設け、第１電
極６０の圧力発生室１２の長手方向の端部を、圧力発生室１２に相対向する位置となるよ
うに設けた。また、上述した例では、弾性膜５０、絶縁体膜５５及び第１電極６０が振動
板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、弾性膜５０及び絶縁
体膜５５を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。

そして、このような各圧電素子３００の第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ）等から
なるリード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電素子３００
に選択的に電圧が印加されるようになっている。

また、保護基板３０には、連通部１３に対向する領域にリザーバー部３１が設けられて
おり、このリザーバー部３１は、上述したように、流路形成基板１０の連通部１３と連通
されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバー１０１を構成している。また
、保護基板３０の圧電素子保持部３２とリザーバー部３１との間の領域には、保護基板３
０を厚さ方向に貫通する貫通孔３３が設けられ、この貫通孔３３内に第１電極６０の一部
及びリード電極９０の先端部が露出され、これらの先端部に図示しない導電性ワイヤーを
介して圧電素子３００を駆動するための駆動回路が電気的に接続されている。

保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス
、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一
材料、すなわち、表面の結晶面方位が（１１０）面のシリコン単結晶基板を用いた。

保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０
が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、ポ
リフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、この封止膜４１によってリザ
ーバー部３１の一方面が封止されている。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料（例
えば、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等）で形成される。この固定板４２のリザーバー１０１に
対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、リザーバー
１０１の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。

このコンプライアンス基板４０には、第１開口４４及び第２開口４５（図３参照）が設
けられており、上述したように、第１開口４４にはヘッド側供給路１６０（図３参照）が
連通し、第２開口４５にはヘッド側回収路１７０（図３参照）が連通する。これにより、
上述したようにリザーバー１０１にインク貯留手段５（図２参照）からのインクが供給さ
れると共に、気泡排出動作時にはインク貯留手段５にインクを排出するように構成されて
いる。

このような本実施形態のヘッド本体Ｉでは、図示しない外部インク供給手段からインク
を取り込み、上述したインク充填動作によりリザーバー１０１からノズル開口２１に至る
まで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室
１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５
０、絶縁体膜５５、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧
力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。

（他の実施形態）
さらに、本発明の実施形態としては上述した実施形態に限定されるものではない。例え
ば、上述した実施形態では、各ヘッドが固定されたライン式のインクジェット式記録装置
を示したが、いわゆるシリアル式のインクジェット式記録装置に用いることも可能である
。なお、シリアル式のインクジェット式記録装置とは、液体噴射ヘッドを被記録媒体の搬
送方向とは交差する方向に移動させながら印刷を行うものをいう。また、上述した実施形
態では、４つのヘッドを有するものを示したが、この数は限定されず、例えば一つのヘッ
ドを有するものでもよい。

本実施形態では、第１フィルター１３２及び第２フィルター１３４は、それぞれ接続路
１３０の底面に設けられているが、これに限定されない。第１フィルター１３２はヘッド
側供給路１６０内に設けてあればよく、第２フィルター１３４もヘッド側回収路１７０内
に設けてあればよい。

本実施形態では、インク貯留手段５からのインクをヘッド１００に供給する供給管６及
びヘッド１００からのインクをインク貯留手段５に回収する回収管７を示したが、これら
は管に限定されない。例えば、エッチングなどによりシリコン基板を一部除去して形成し
た流路であってもよい。

さらに、上述の実施形態では、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッド１００
を例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたもので
ある。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録
ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有
機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材
料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることが
できる。

５インク貯留手段、６供給管、７回収管、１０流路形成基板、１２
圧力発生室、１３連通部、１４インク供給路、２０ノズルプレート、２１
ノズル開口、４１封止膜、６１供給幹管、６２供給枝管、７１回収幹
管、７２回収枝管、１００インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、
１０１リザーバー、１３０接続路、１３２第１フィルター、１３４第２フ
ィルター、１６０ヘッド側供給路、１７０ヘッド側回収路、３００圧電素子

Claims

液体を噴射する複数のノズル開口と、複数の前記ノズル開口に当該ノズル開口側で連通し液体が流通する第１流路と、
前記第１流路に外部からの液体を供給する供給路と、
前記第１流路から液体を外部に回収する回収路と、
前記供給路に設けられた第１フィルターと、及び前記回収路に設けられた第２フィルターと、
前記第１フィルターよりも上流側の前記供給路と前記第２フィルターよりも下流側の前記回収路とを接続する第２流路とを備え、
前記回収路の前記第１流路と前記第２流路との間のヘッド側回収路及び前記第２フィルターからなる回収側流路は、前記供給路の前記第１流路と前記第２流路との間のヘッド側供給路及び前記第１フィルターからなる供給側流路よりも低い流路抵抗を有するように、前記ヘッド側回収路の断面積を、前記ヘッド側供給路の断面積よりも大きくしたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
液体を噴射する複数のノズル開口と、複数の前記ノズル開口に当該ノズル開口側で連通し液体が流通する第１流路と、
前記第１流路に外部からの液体を供給する供給路と、
前記第１流路から液体を外部に回収する回収路と、
前記供給路に設けられた第１フィルターと、及び前記回収路に設けられた第２フィルターと、
前記第１フィルターよりも上流側の前記供給路と前記第２フィルターよりも下流側の前記回収路とを接続する第２流路とを備え、
前記回収路の前記第１流路と前記第２流路との間のヘッド側回収路及び前記第２フィルターからなる回収側流路は、前記供給路の前記第１流路と前記第２流路との間のヘッド側供給路及び前記第１フィルターからなる供給側流路よりも低い流路抵抗を有するように、前記第２フィルターの開口の総面積を、前記第１フィルターの開口の総面積よりも広くしたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
前記供給側流路は、前記回収側流路及び前記第２流路からなる流路の流路抵抗と略同一の流路抵抗を有することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッド。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを複数備えたことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体噴射ヘッドを複数備えたことを特徴とする液体噴射装置。