JP4292421B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドでは、一般的に、インクが充填されたインクカートリッジ等のインク貯留手段からヘッド本体にインクが供給され、ヘッド本体に供給されたインクは圧電素子や発熱素子等の圧力発生手段を駆動させることによりノズルから吐出される。

このようなインクジェット式記録ヘッドでは、インクカートリッジのインク内に存在する気泡、あるいはインクカートリッジを着脱する際にインク内に混入した気泡がヘッド本体に供給されてしまうと、この気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生するという問題がある。このような問題を解決するために、インクカートリッジに挿入される、インク供給針とカートリッジとインクジェット式記録ヘッドとの間のインク流路に、インク内の気泡等を除去するためのフィルタを装着するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。

このようにフィルタを設けることにより、ヘッド本体に気泡が流れ込むのを防止することができるものの、フィルタ部分に溜まった気泡を排出し難いという問題がある。

このため、フィルタよりも上流側のフィルタ室と、フィルタよりも下流側の供給流路とをバイパスするバイパス流路を設け、フィルタ部分に溜まった気泡をバイパス流路を介して排出するようにしたインクジェット式記録装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

しかしながら、特許文献２の構成では、インクもフィルタを通過せずにバイパス流路を流れるため、ゴミ等の異物をフィルタで捕捉することができず、ノズルの目詰まり等が生じてしまうという問題がある。また、大きな異物の場合には、バイパス流路が目詰まりを起こし、バイパス流路が機能しないという問題がある。さらに、特許文献２のバイパス流路は、気泡を排出するためのものであり、フィルタ上に気泡が溜まった状態では、インクの供給不良が発生してしまうと共に、フィルタ上に溜まった気泡を排出する頻度を減少させることはできず、インクの無駄な消費を減少させることができないという問題がある。

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

特開平１１−１０９０４号公報（第２〜３頁、第１図） 特開平９−１４１８９０号公報（第３〜４頁、第２〜４図）

本発明はこのような事情に鑑み、気泡による吐出不良を防止して液体の無駄な消費を減少させた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。

上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射する複数のノズル開口を有するヘッド本体と、液体を貯留する貯留手段と前記ヘッド本体との間に、当該ヘッド本体のノズル群毎に液体を供給する供給流路と、前記供給流路の途中に、当該部分の前記液体供給路の液体の流れる方向に対して直交する方向が面方向となるように配置されたフィルタと、該フィルタを配設する拡幅部としてのフィルタ室とを具備し、前記供給流路の、前記フィルタ室よりも前記液体の流れる方向の上流側に連通すると共に前記フィルタ室よりも前記液体の流れる方向の下流側に連通する副供給路を具備し、前記副供給路の、前記上流側に連通する開口には、該開口の前記供給流路における液体の流れる方向が面方向となるように配置されると共に前記フィルタの面積よりも小さな面積を有するサブフィルタが設けられており、前記サブフィルタの設けられた前記副供給路の開口を開閉自在に設けられて、前記液体流路を流れる前記液体の流速の減少によって前記副供給路の開口を開けると共に、前記液体の流速の増加によって前記副供給路の開口を閉じる開閉手段が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、フィルタ上に気泡が溜まって、液体の供給不良及びヘッド本体による液体の吐出不良が発生する前に、フィルタ上に溜まった気泡を排出しなくても、副供給路を介してヘッド本体に液体を供給することができるため、液体の供給不良及び液体の吐出不良を防止することができる。また、フィルタ上に気泡が溜まった状態でも副供給路を介して液体をヘッド本体に供給することができるため、フィルタ上の気泡を排出する吸引動作を行う頻度を減少させて、液体の無駄な消費を減少させることができる。さらに、副供給路を通過する液体に混入された微小な気泡やゴミなどの異物は、サブフィルタにより捕捉することができ、ヘッド本体に異物が混入するのを防止することができる。
また、サブフィルタ上に溜まる気泡を減少させることができると共に、フィルタ上に気泡が溜まっていない状態では、副供給路にインクを通過させるのを防止することができる。
さらに開閉手段を設けることで、フィルタ上に気泡が溜まっていない状態では、副供給路にインクを通過させるのを防止することができる。

本発明の第２の態様は、前記サブフィルタの面積が、前記供給流路の前記フィルタよりも上流側の断面積の１／３〜１／４であることを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、サブフィルタの面積を規定することで、フィルタ上に気泡が溜まっていない状態では、副供給路にインクを通過させるのを防止することができる。

本発明の第３の態様は、前記開閉手段が、前記サブフィルタを覆う板形状を有すると共に、一端部が前記サブフィルタの設けられた前記副供給路の開口縁部の上流側に固定されて、他端部側が自由端となり且つ前記供給流路の半径方向に突出して設けられた蓋部材であることを特徴とする第１又は２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、複雑な装置が必要なく、供給流路を流れる液体の流速に応じて蓋部材で副供給路の開閉を行わせることができる。

本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかの態様の液体噴射ヘッドと、前記ノズル開口から前記供給流路及び前記副供給路の液体を吸引する吸引手段とを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第４の態様では、液体の噴射不良及び液体の無駄な消費を減少させた液体噴射装置を実現できる。また、吸引手段によって、フィルタ上及びサブフィルタ上の気泡を吸引させて排出させることができ、液体の噴射不良を防止することができる。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。図１に示すように、本実施形態では、インクが貯留された貯留手段１からのインクは、キャリッジ２に搭載されたインクジェット式記録ヘッド３に供給管４を介して供給される。インクジェット式記録ヘッド３は、インクを吐出するノズル開口が設けられたヘッド本体５と、貯留手段１からのインクをヘッド本体５に供給する供給管４が接続されたフィルタユニット６とで構成されている。

このようなインクジェット式記録ヘッド３が搭載されたキャリッジ２は、装置本体７に取り付けられたキャリッジ軸２ａに軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モータ８の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト８ａを介してキャリッジ２に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッド３を搭載したキャリッジ２はキャリッジ軸２ａに沿って移動される。一方、装置本体７にはキャリッジ軸２ａに沿ってプラテン９が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン９に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

このようなインクジェット式記録装置では、キャリッジ２がキャリッジ軸２ａに沿って移動されると共にインクジェット式記録ヘッド３のヘッド本体５によってインクが吐出されて記録シートＳに印刷される。

また、キャリッジ２の移動方向の端部であるプラテン９の側方には吸引手段２００が設けられている。吸引手段２００は、インクジェット式記録ヘッド３のノズルに相対向するように設けられたキャップ２０１と、キャップ２０１に接続された吸引ポンプ２０２とから構成され、所定のタイミングで、ノズルからインクを吸引する所謂クリーニング操作が行われるようになっている。なお、キャップ２０１は、所定時間以上印刷待機しているインクジェット式記録ヘッド３のノズル面をキャッピングしてノズルの乾燥を防止する。

ここで、インクジェット式記録ヘッド３のフィルタユニット６について図２及び図３を参照して説明する。なお、図２及び図３は、フィルタユニットの断面図である。図２に示すように、フィルタユニット６は、貯留手段１に一端が接続された供給管４の他端が接続される第１流路形成部材２１０と、第１流路形成部材２１０に接合された第２流路形成部材２１１と、第２流路形成部材２１１に接合されてヘッド本体５に接続される第３流路形成部材２１２とで構成されている。

この第１流路形成部材２１０、第２流路形成部材２１１及び第３流路形成部材２１２には、貯留手段１（供給管４）からヘッド本体５にインクを供給するための供給路２２０が設けられている。

ここで、第１流路形成部材２１０は、厚さ方向に貫通して供給管４が接続される入力口２２１と、入力口２２１の供給管４が接続される面とは反対側に開口して、一端部が入力口２２１に連通する凹形状を有する入力路２２２とが設けられている。

また、第２流路形成部材２１１は、第１流路形成部材２１０の入力路２２２が開口する面に接合されて、入力路２２２の一方面を封止している。また、第２流路形成部材２１１には、入力路２２２の入力口２２１と連通する端部とは反対側の端部側に連通する厚さ方向に貫通したフィルタ室２２３が設けられている。このフィルタ室２２３は、第２流路形成部材２１１と第３流路形成部材２１２との間でフィルタ２３０を配設するためのものである。フィルタ室２２３は、フィルタ２３０の面積を大きくしてインクが通過する際の抵抗をできるだけ小さくするため、後述する第３流路形成部材２１２に形成された出力路２２４に向かって内径が漸大した拡幅部として設けられている。

さらに、第３流路形成部材２１２は、第２流路形成部材２１１のフィルタ室２２３が開口する面側に接合されている。この第３流路形成部材２１２には、フィルタ室２２３に相対向する領域に一端側が開口する出力路２２４が設けられており、出力路２２４の他端側は、ヘッド本体５に接続されている。

また、フィルタ２３０は、第３流路形成部材２１２と第２流路形成部材２１１との間のフィルタ室２２３に相対向する領域に挟持されている。すなわち、フィルタ２３０のフィルタ面は、入力路２２２及び出力路２２４のインクの流れる方向に対して直交する方向で配置されている。なお、このようなフィルタ２３０は、例えば、金属を細かく編みこむことで複数の微細孔が設けられたものであり、第３流路形成部材２１２に溶着されて固定されている。

そして、本実施形態では、第１流路形成部材２１０、第２流路形成部材２１１及び第３流路形成部材２１２の入力口２２１、入力路２２２、フィルタ室２２３及び出力路２２４が貯留手段１からヘッド本体５にインクを供給する供給路２２０を構成している。すなわち、貯留手段１から供給管４を介して供給されたインクは、入力口２２１、入力路２２２、フィルタ室２２３、フィルタ２３０及び出力路２２４を介してヘッド本体５に供給される。

また、第２流路形成部材２１１には、供給路２２０のフィルタ室２２３よりも上流側、すなわち、入力路２２２に連通すると共に、供給路２２０のフィルタ室２２３よりも下流側、すなわち、出力路２２４に連通する副供給路２４０が設けられている。

この副供給路２４０の入力路２２２に連通する開口には、供給路２２０のインクの流れる方向に直交する方向とは交差する方向が面方向となるように配置されたサブフィルタ２４１が設けられている。本実施形態では、副供給路２４０を入力路２２２に対して垂直に設け、副供給路２４０の開口を第２流路形成部材２１１の入力路２２２を封止する一方面に開口させるようにした。これにより、副供給路２４０の入力路２２２に開口する開口面は、供給路２２０のインクの流れに沿った方向となっている。そして、副供給路２４０の開口に相対向する領域に、開口を覆うサブフィルタ２４１を設けたため、サブフィルタ２４１の面方向は、供給路２２０のインクの流れる方向に沿った方向となるように配置されている。

このような副供給路２４０に設けられたサブフィルタ２４１の面積は、供給路２２０に設けられたフィルタ２３０の面積よりも小さくすることで、供給路２２０のフィルタ２３０を気泡貯蓄用として用い、サブフィルタ２４１をフィルタ２３０上に気泡が貯蓄された際のインク供給用のフィルタとして用いることできる。また、サブフィルタ２４１の面積は、供給路２２０の入力路２２２の断面積の１／３〜１／４程度とするのが好ましい。

なお、このようなサブフィルタ２４１は、例えば、金属を細かく編みこむことで複数の微細孔が設けられたものであり、第２流路形成部材２１１に溶着されて固定されている。

また、副供給路２４０の入力路２２２の開口には、この開口を開閉する開閉手段として蓋部材２５０が設けられている。蓋部材２５０は、サブフィルタ２４１を覆う金属又は樹脂等の板形状を有するものであり、蓋部材２５０の一端部側は、副供給路２４０の入力路２２２の開口縁部の上流側に固定されて、他端部側が自由端となり且つ供給路２２０の半径方向に突出して設けられている。

このような、フィルタユニット６では、図２に示すように、貯留手段１から供給管４を介して供給されたインクが、供給路２２０を介してヘッド本体５に供給される。このとき、蓋部材２５０は、供給路２２０を流れるインクの流速によって押圧され、蓋部材２５０が変形することでサブフィルタ２４１を覆って副供給路２４０の開口を塞ぎ、副供給路２４０にインクが流れるのを防止する。また、このとき、インクに混入した気泡は、フィルタ２３０によってトラップされ、図３に示すように、フィルタ２３０上に気泡２６０が溜まる。そして、フィルタ２３０上にトラップされた気泡２６０が大きくなると、気泡２６０によって供給路２２０を介してインクの供給量が減少し、供給路２２０を通過するインクの流速が減少する。これにより、蓋部材２５０を押圧する圧力が減少して、蓋部材２５０が供給路２２０の中心側に突出するように変形し、副供給路２４０が開口される。そして、供給管４から供給されたインクは、フィルタ室２２３を通過せずに、サブフィルタ２４１及び副供給路２４０を介して供給路２２０のフィルタ室２２３よりも下流側に供給される。

なお、フィルタ２３０上にトラップされた気泡２６０を排出する際は、吸引手段２００による吸引によって、副供給路２４０の蓋部材２５０が閉まり、フィルタ２３０の上下で充分な負圧が発生するため、気泡排出の妨げとはならない。

このように、フィルタ２３０上に気泡２６０が溜まって、インクの供給不良及びヘッド本体５によるインクの吐出不良が発生する前に、フィルタ２３０上に溜まった気泡を排出しなくても、副供給路２４０を介してヘッド本体５にインクを供給することができるため、インクの供給不良及びインクの吐出不良を防止することができる。また、フィルタ２３０上に気泡２６０が溜まった状態でもインクをヘッド本体５に供給することができるため、吸引手段２００による気泡２６０の吸引を行う頻度を減少させて、インクの無駄な消費を減少させることができる。

また、サブフィルタ２４１の面方向を、供給路２２０のインクの流れる方向に沿って配置するようにしたため、図３に示すようにインクがサブフィルタ２４１を通過したとしても、サブフィルタ２４１上には気泡がほとんど溜まることがなく、インク供給不良が発生するのを防止することができ、インク吐出不良が発生するのを防止することができる。

なお、サブフィルタ２４１を副供給路２４０の途中や下流側に設けると、サブフィルタ２４１上にも気泡が溜まり易く、サブフィルタ２４１上に溜まった気泡によってインク供給不良及びインク吐出不良が発生してしまうため、サブフィルタ２４１は、副供給路２４０の入力路２２２への開口に設けるのが好ましい。

また、本実施形態の吸引手段２００による吸引は、供給路２２０内及び副供給路２４０内のインクが吸引されるため、供給路２２０のフィルタ２３０上に溜まった気泡が吸引されると同時に、副供給路２４０のサブフィルタ２４１上に付着した微小な気泡も吸引される。

ここでインクジェット式記録ヘッド３のヘッド本体５の一例について説明する。図４は、ヘッド本体の分解斜視図であり、図５は、ヘッド本体の断面図である。図４及び図５に示すように、ヘッド本体５を構成する流路形成基板１０は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。この流路形成基板１０には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室１２が、幅方向に並設された列が２列形成されている。また、各列の圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０に設けられるリザーバ部３１と連通し、各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成する連通部１３が形成されている。また、連通部１３は、インク供給路１４を介して各圧力発生室１２の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。

また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。すなわち、本実施形態では、１つのヘッド本体５ににノズル開口２１の並設されたノズル列２１Ａが２列設けられている。

一方、流路形成基板１０の開口面とは反対側には、弾性膜５０上に、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜と、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを成膜及びリソグラフィ法により順次積層することで形成された圧電素子３００が形成されている。このような圧電素子３００が形成された流路形成基板１０上には、リザーバ１００の少なくとも一部を構成するリザーバ部３１を有する保護基板３０が接合されている。このリザーバ部３１は、本実施形態では、保護基板３０を厚さ方向に貫通して圧力発生室１２の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されて各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバ１００を構成している。

また、保護基板３０の圧電素子３００に対向する領域には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部３２が設けられている。このような保護基板３０としては、ガラス、セラミック、金属、プラスチック等を挙げることができるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。

さらに、保護基板３０上には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ１１０が設けられている。この駆動ＩＣ１１０の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子３００の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動ＩＣ１１０の各端子には、図４に示すような、フレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ）等の外部配線１１１を介して外部と接続され、外部から外部配線１１１を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。

また、このような保護基板３０上には、コンプライアンス基板４０が接合されている。コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域には、リザーバ１００にインクを供給するためのインク導入口４４が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板４０のリザーバ１００に対向する領域のインク導入口４４以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部４３となっており、リザーバ１００は、可撓部４３により封止されている。この可撓部４３により、リザーバ１００内にコンプライアンスを与えている。

さらに、コンプライアンス基板４０上には、インク導入口４４に連通すると共にフィルタユニット６の供給路２２０に連通して、フィルタユニット６からのインクをインク導入口４４に供給するインク供給連通路９１が設けられたヘッドケース９０が設けられている。このヘッドケース９０には、可撓部４３に対向する領域に凹部９２が形成され、可撓部４３の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース９０には、保護基板３０上に設けられた駆動ＩＣ１１０に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動ＩＣ保持部９３が設けられており、外部配線１１１は、駆動ＩＣ保持部９３を挿通して駆動ＩＣ１１０と接続されている。

このような本実施形態のヘッド本体５は、貯留手段１からのインクを供給管４、フィルタユニット６の供給路２２０及びヘッドケース９０のインク供給連通路９１を介してインク導入口４４から取り込み、リザーバ１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ１１０からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの圧電素子３００に電圧を印加し、弾性膜５０及び圧電素子３００をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。

また、本実施形態のフィルタユニット６には、各ノズル列２１Ａに対して、１つの供給路２２０が設けられており、副供給路２４０も各供給路２２０に対して１つ設けられている。すなわち、本実施形態では、ヘッド本体５にノズル列２１Ａを２つ設けたため、フィルタユニット６には、供給路２２０及び副供給路２４０が２つずつ設けられている。なお、フィルタユニット６の供給路２２０は、複数のノズル開口２１の群ごとに１つ設ければよく、供給路２２０の数は特にこれに限定されるものではない。また、副供給路２４０は、供給路２２０に対して少なくとも１つ設ければよいため、各供給路２２０に対して２つ以上の副供給路２４０を設けるようにしてもよい。

（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、供給路２２０を流れるインクの流速によって副供給路２４０を開閉する開閉手段として蓋部材２５０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、供給路２２０を流れるインクの流速を測定する測定手段と、この測定手段の測定結果に基づいて電磁力や駆動モータによる駆動力等によって副供給路２４０を開閉するバルブ等の弁部材とからなる開閉手段を設けるようにしてもよい。勿論、開閉手段を設けなくても、サブフィルタ２４１のフィルタ面の面方向は、供給路２２０のインクの流れに沿って配置されていると共にサブフィルタ２４１のフィルタ面には流路抵抗があるため、フィルタ２３０上に気泡が溜まっていない通常時には、副供給路２４０をインクがほとんど流れずに、フィルタ２３０に気泡が溜まった場合だけ、副供給路２４０にインクを流すことができる。

また、上述した実施形態１では、サブフィルタ２４１のフィルタ面の面方向を、供給路２２０のインクの流れる方向に沿って配置するようにしたが、サブフィルタ２４１のフィルタ面の面方向が供給路２２０のインクの流れる方向に対して直交する方向に交差する方向であれば、特にこれに限定されるものではない。

さらに、上述した実施形態１では、副供給路の両端を供給流路に連通させて、副供給流路を流れたインクがフィルタの下流側の供給流路に戻るようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、副供給路が供給流路とは独立して、ヘッド本体５のリザーバ１００に連通するようにしてもよい。このようにすることで、動圧を小さくすることができる。

また、上述した実施形態１では、ヘッド本体５の圧電素子３００として、下電極膜、圧電体層及び上電極膜を成膜及びリソグラフィ法により形成された薄膜型のものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子や、電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、発熱素子等の発熱で発生するバブルによってインク滴を吐出させるものなどを用いるようにしてもよい。

また、上述した実施形態１では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

実施形態１に係るインクジェット式記録装置の概略斜視図である。 実施形態１に係るフィルタユニットの断面図である。 実施形態１に係るフィルタユニットの断面図である。 実施形態１に係るヘッド本体の分解斜視図である。 実施形態１に係るヘッド本体の断面図である。

符号の説明

１ 貯留手段、 ２ キャリッジ、 ３ インクジェット式記録ヘッド、 ４ 供給管、 ５ ヘッド本体、 ６ フィルタユニット、 ７ 装置本体、 ８ 駆動モータ、 １０ 流路形成基板、 １２ 圧力発生室、 ２０ ノズルプレート、 ２１ ノズル開口、 ３０ 保護基板、 ３１ リザーバ部、 ４０ コンプライアンス基板、 １００ リザーバ、 １１０ 駆動ＩＣ、 ２２１ 入力口、 ２２２ 入力路、 ２２３ フィルタ室、 ２３０ フィルタ、 ２２４ 出力路、 ２４０ 副供給路、 ２４１ サブフィルタ、 ３００ 圧電素子

Claims (4)

1. 液体を噴射する複数のノズル開口を有するヘッド本体と、液体を貯留する貯留手段と前記ヘッド本体との間に、当該ヘッド本体のノズル群毎に液体を供給する供給流路と、前記供給流路の途中に、当該部分の前記液体供給路の液体の流れる方向に対して直交する方向が面方向となるように配置されたフィルタと、該フィルタを配設する拡幅部としてのフィルタ室とを具備し、
   前記供給流路の、前記フィルタ室よりも前記液体の流れる方向の上流側に連通すると共に前記フィルタ室よりも前記液体の流れる方向の下流側に連通する副供給路を具備し、前記副供給路の、前記上流側に連通する開口には、該開口の前記供給流路における液体の流れる方向が面方向となるように配置されると共に前記フィルタの面積よりも小さな面積を有するサブフィルタが設けられており、
   前記サブフィルタの設けられた前記副供給路の開口を開閉自在に設けられて、前記液体流路を流れる前記液体の流速の減少によって前記副供給路の開口を開けると共に、前記液体の流速の増加によって前記副供給路の開口を閉じる開閉手段が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記サブフィルタの面積が、前記供給流路の前記フィルタよりも上流側の断面積の１／３〜１／４であることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記開閉手段が、前記サブフィルタを覆う板形状を有すると共に、一端部が前記サブフィルタの設けられた前記副供給路の開口縁部の上流側に固定されて、他端部側が自由端となり且つ前記供給流路の半径方向に突出して設けられた蓋部材であることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッドと、前記ノズル開口から前記供給流路及び前記副供給路の液体を吸引する吸引手段とを具備することを特徴とする液体噴射装置。

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