JP2016198989A - 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置及び液体カートリッジ及び画像形成装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッドサイズを大型化することなくかつ小滴高周波数駆動を実現し易い液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズル孔１を有するノズル板２と、ノズル孔１に対応した複数の圧力室３及び流体抵抗流路４となる開口を有する下側流路板８と、複数の圧力室３のみを有する上側流路板６と、圧力室３内の液体を加熱して対流させる加熱対流手段５を有する液滴吐出ヘッド。【選択図】図４

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドに関する。

液滴吐出ヘッドにおいて、圧電素子に選択的な電気信号が入力されると振動板が変形して選択された圧力室で圧力が発生し、この圧力によりインクがノズルからインク液滴として吐出する。この液滴吐出ヘッドでは、近年、高画質化、高速化、小型化が要求されてきており、高画質化を図るためにはノズル密度の高集積化、ノズル数の増加が必要である。また、高解像度の画像形成のためには２ピコリットル以下の小さな液滴を吐出する必要があり、このために個別液室は非常に微細な構成でかつ高い精度を要求される。

上述のように微細な個別液室を用いて液滴吐出ヘッドを構成するため、個別液室内にわずかな異物や気泡が存在するとインクの曲がりや不吐出等の吐出不良が発生する。また、インクがノズル面で乾燥したり局所的に粘度が増加したりすると、ノズル面に形成されるメニスカスが不均一になったり破壊されたりして、インクの曲がりや不吐出等の吐出不良が発生する。また、ノズル数が増加するほど異物や気泡等の影響によりノズル詰まりが生じ易くなりインクの不吐出等が発生するため、液滴吐出ヘッドとしての信頼性が低下することとなると共に、液滴吐出ヘッドが大型化するという問題点もある。

さらに近年では、白色等の沈降し易いインク粒子を有する特色インクや、液晶基板製造に用いられるスペーザビーズを含有させた塗布液等のような沈降し易い機能性微粒子を有する液体等を液滴吐出ヘッドで吐出したいという要望が高まっている。白色インクは、一般的に比重が高い金属粒子を用いているためにインク粒子が沈降し易い。信頼性の向上や上述のような特殊な液体を液滴吐出ヘッドで扱う方法として、液滴吐出ヘッドの圧力室内における異物の体積防止やインクの乾燥防止を図る技術が複数提案されている（例えば「特許文献１」、「特許文献２」、「特許文献３」参照）。

上述した技術は、何れも圧力室内のインクを循環させるものであり、インクを循環供給させるために圧力室を挟んで対向する位置に供給流路及び供給共通液室と循環用の循環流路及び循環共通液室を設ける必要がある。このように供給共通液室と循環供給液室とを対向して配置すると、ヘッドサイズが大きくなってしまうという問題点がある。また、供給流路と循環流路との液室構造を有するため、必然的にイナータンス及びコンプライアンスとして循環側の成分を加味する必要が生じて吐出液滴の微細化が困難となる。さらに、液滴吐出ヘッドの高速及び高周波数駆動に重要となる、液滴吐出ヘッドの固有振動周波数（ヘルムホルツ）が大きくなってしまうという問題点がある。

本発明は上述の問題点を解決し、ヘッドサイズを大型化することなくかつ小滴高周波数駆動を実現し易い液滴吐出ヘッドの提供を目的とする。すなわち、供給側と循環側という二つの供給流路を持たず個別液室構造を実現しつつ圧力室内のインクを循環させてインク粒子、異物の体積防止、局所的なインクの増粘を防止でき、吐出特性及び信頼性が良好な液滴吐出ヘッドの提供を目的とする。

本発明は、複数のノズル孔を有するノズル板と、前記ノズル孔に対応した複数の圧力室及び流体抵抗流路となる開口を有する下側流路板と、複数の前記圧力室のみを有する上側流路板と、前記圧力室内の液体を加熱して対流させる加熱対流手段を有することを特徴とする。

本発明によれば、非画像形成時である待機動作時において加熱対流手段を加熱することにより、自然対流を発生させてインクの沈降し易いインク粒子成分や異物成分を分散させることができ、インクの分散状態を維持することができる。また、ノズル孔からの局所的なインクの増粘についても自然対流によってインクを均一化することができ、メニスカスの発生や破壊を防止して吐出に必要な安定したメニスカスを確保することができる。

本発明の第１の実施形態に用いられる圧電アクチュエータを有する液滴吐出ヘッドの主要部における概略斜視図である。 本発明の第１の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの各構成部品をノズル孔側の側面より見た平面図である。 本発明の第１の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの各構成部品を圧電素子側より見た平面図である。 本発明の第１の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドを図１におけるＡ−Ａ線にて断面した模式図である。 本発明の第２の実施形態に用いられる圧電アクチュエータを有する液滴吐出ヘッドの主要部における概略斜視図である。 本発明の第２の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの各構成部品をノズル孔側の側面より見た平面図である。 本発明の第２の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドの各構成部品を圧電素子側より見た平面図である。 本発明の第２の実施形態に用いられる液滴吐出ヘッドを図５におけるＢ−Ｂ線にて断面した模式図である。 本発明の第３の実施形態に用いられるインクカートリッジを説明する概略図である。 本発明の第４の実施形態を適用したインクジェット記録装置を説明する正面図である。 本発明の第４の実施形態を適用したインクジェット記録装置を説明する平面図である。 本発明の第４の実施形態に適用可能なキャリッジを説明する概略図である。

図１は、本発明の第１の実施形態に用いられる圧電アクチュエータを有する液滴吐出ヘッドの主要部における斜視図を示している。また、図２はノズル孔側の側面より液滴吐出ヘッドの各構成部品を見た平面図を、図３は圧電素子側より液滴吐出ヘッドの各構成部品を見た平面図をそれぞれ示している。

図において符号２は、ノズル孔１、後述する各圧力室３に対向した複数の加熱対流手段としてのヒータ５を列状に形成したノズル板である。ノズル孔１の開口形状の加工精度は、液滴吐出ヘッドのインク吐出特性に大きな影響を及ぼす。複数のノズル孔１において、ノズル孔精度のばらつきを低く抑えるために半導体製造プロセスを用い、シリコンの異方性エッチング加工でノズル孔１が作成される。ノズル板２は、シリコン基板上にウエハプロセスによって個別電極と共通電極と発熱体（熱エネルギ作用部）とを形成することによりヒータ（発熱体部）５が構成されている。一方、シリコン基板上には、インク等の液体を噴射させるためのノズル孔１が、同様にウエハプロセスによって形成される。

図４に示すように、ノズル板２と上側流路板６と下側流路板８と振動板１４とを接合することにより圧力室３が形成される。圧力室３の底面部にはヒータ５が配設され、圧力室３の端部にはノズル孔１が形成される。上側流路板６には下側流体抵抗流路４が設けられ、下側流路板８には圧力室３、インク供給連通路７、及び振動板１４の可動領域であるダンパ室２３が設けられる。下側流体抵抗流路４は圧力室３へのインク流入量を制御し、インク供給連通路７は後述する共通液室としての共通インク室１６と圧力室３、下側流体抵抗流路４とを連結する。圧力室３，３’と下側流体抵抗流路４の開口形状の加工精度は、液滴吐出ヘッドのインク吐出特性に大きな影響を及ぼすため、上側流路板６及び下側流路板８は精密プレス法で形成される。上側流路板６及び下側流路板８の、２層の液室板で構成することにより、下側流路板８に形成するダンパ室２３を貫通孔として形成することができ、またプレス加工のみで圧力室３、流体抵抗流路４、ダンパ室２３を形成することができる。

振動板１４は、圧電アクチュエータ２１の変位を効率よく圧力室３に伝えるためのダイアフラム部１１、共通インク室１６から下側流体抵抗流路４に流入するインク供給口１２、共通インク室１６内の圧力変動を吸収するダンパダイアフラム部１３を有している。ダイアフラム部１１、インク供給口１２も圧力室３に対向するように配置されている。インク液滴を吐出させる圧力は、ノズル孔１からインク液滴を吐出する圧力として伝播する成分と共通インク室１６に戻る圧力成分とがあり、共通インク室１６に伝播した圧力成分は共通インク室１６内で反響して圧力室３に再び伝播する。このため、後続して吐出するインクに圧力として干渉し、後続のインク吐出速度が大きく変動して着弾位置に悪影響を及ぼす。特に、駆動周波数を高くして駆動ノズル数が大きくなると共通インク室１６に残った圧力波は大きくなり、減衰しないために与える影響が大きくなる。いわゆる、流体的要因のクロストークである。このような流体的要因のクロストークを抑えるために、共通インク室１６には圧力変動を吸収するダンパダイアフラム部１３が設けられる。ダンパダイアフラム部１３が変形することにより、共通インク室１６に伝播した圧力を吸収する。

フレーム１８は、共通インク室１６及びアクチュエータ挿入開口部１５、図示しないインクタンクからインクを共通インク室１６まで導くインク導入通路１７を有している。フレーム１８は、ステンレス材の切削加工や樹脂のモールド成形等によって形成される。圧電アクチュエータ２１は、圧電素子１９，固定部材２０を有しており、固定部材２０はステンレス材やセラミック材等の剛性の高い部材によって構成される。圧電アクチュエータ２１の個別電極パターン及び共通電極パターンには、図４に示すＦＰＣ２２を介して電気信号が入力され、圧電素子１９に変位を生じさせる。このようにして圧電素子１９に生じた変位を、振動板１４を介して圧力室３の内部の圧力を変化させることにより、インク液滴を吐出させて画像を形成する。

図４は、図１に示した液滴吐出ヘッドをノズル配列方向と直交する方向であるＡ−Ａ線にて断面した模式図であり、一つの個別流路チャンネルにおける流路構造を示している。この構成では、ダイアフラム部１１に固着された圧電素子１９が駆動されて変形することにより、圧力室３，３’に変形を与えて液滴を吐出する。一つの個別流路チャンネルの流路構造は、ノズル孔１が１０〜４０μｍ、圧力室３，３’の幅が２０〜３００μｍ、厚さが２０〜３００μｍと、流れ方向に対する液室断面は非常に微小な構造である。このため、インク中に微細な気泡や異物が発生すると、ノズルを形成しているメニスカスが壊れて曲がりや吐出異常が発生する。さらには、近年、白色等の沈降し易いインク粒子を有する特色インクや液晶基板構造に用いられるスペーザビーズを含有させた塗布液等のような沈降し易い機能性微粒子を有する液体等を液滴吐出ヘッドで吐出したいという要望が高まっている。白色インクは、一般的に比重が高い金属粒子を用いているためにインク粒子が沈降し易い。また、ノズル孔１が大気に開放しているため、ノズル孔１を有する面からインクが蒸発して局所的なインクの増粘が発生し、メニスカス非対称性や破壊が発生して吐出異常が発生する。特に、インク中に含まれる沈降し易い異物やインク粒子成分については、吐出異常を発生させ易く問題となる。

本発明の第１の実施形態では、ノズル板２の圧力室３と接する面にインクを加熱するためのヒータ５を有している。この構成により、非画像形成時である待機動作時においてヒータ５を加熱することにより、自然対流を発生させてインクの沈降し易いインク粒子成分や異物成分を分散させることができ、インクの分散状態を維持することができる。また、ノズル孔１からの局所的なインクの増粘についても自然対流によってインクを均一化することができ、メニスカスの発生や破壊を防止して吐出に必要な安定したメニスカスを確保することができる。

上述したヒータ５の機能により、吐出安定性が良好な液滴吐出ヘッドを構成することができ、また沈降したインク粒子や異物や増粘したインク等を強制的にノズル面から排除することなくメニスカスを保持することができ、インク消費量を低減することができる。さらには、従来の一般的な個別液室循環構造のような共通液室を個別液室に対して対向して配置する必要がないため、ヘッドサイズの小型化が可能であると共に、小滴高周波数駆動に適した液滴吐出ヘッドを構成することができる。

図５は、本発明の第２の実施形態を適用した、圧電アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド主要部の構造斜視図を、図６はノズル孔側の側面より各構成部品を見た平面図を、図７は圧電素子側より各構成部品を見た平面図である。図８は、図５に示した液滴吐出ヘッドをノズル列配列方向と直交した方向であるＢ−Ｂ線にて断面した模式図であり、一つの個別流路チャンネルにおける流路構造を示している。

この第２の実施形態では、下側流路板８と振動板１４との間に、圧力室３，３’及び上側流体抵抗流路９を有する第３流路板１０を有する点、共通インク室１６の上面に冷却素子であるペルチェ素子３０を有する点において第１の実施形態と相違している。

第３流路板１０に設けられている上側流体抵抗流路９により、第１の実施形態で発生させた自然対流が上側流体抵抗流路９を介してインク供給口１２及びインク供給連通路７まで戻り、循環するような流れが発生する。このため、白色等の沈降し易いインクや粒子を有する流体に関して高い分散状態を維持することができると共に乾燥防止性を維持することができ、信頼性が高い液滴吐出ヘッドを提供することができる。また上述の構成では、上側流体抵抗流路９と下側流体抵抗流路４とにおいて、下側流体抵抗流路４の流体抵抗を上側流体抵抗流路９の流体抵抗に比して小さくしており、具体的には下側流体抵抗／上側流体抵抗比を１／１０以下としている。

この構成とすることにより、インク吐出中にインク供給を制御する流体抵抗成分は下側流体抵抗流路４が支配的となり、上側流体抵抗流路９はほとんど影響しなくなる。自然対流における循環に関しては、温度による密度差が発生したことによる対流（流れ）が発生するために構造的な流体抵抗の要因は影響せず、圧力室３、上側流体抵抗流路９、インク供給連通路７、下側流体抵抗流路４、圧力室３と循環させることができる。これにより、個別液室特性への影響を極力小さくすることができ、かつ循環可能な構成とすることができるので、小滴高周波数駆動が可能な液滴吐出ヘッドを構成することができる。

また、共通インク室１６にペルチェ素子３０を有しているので、共通インク室１６からインク供給口１２を冷却させることができ、圧力室３、上側流体抵抗流路９、インク供給連通路７、下側流体抵抗流路４、圧力室３の自然対流循環を促進させることができる。また、共通液室側を冷却させることが個別液滴循環を促進する構造とすることができ、さらに共通液室と個別液室との配置が水平方向にずれているので、水平方向対流を測定することができる。

次に本発明の第３の実施形態として、上述した液滴吐出ヘッドを一体化した液体カートリッジを説明する。図９に示す液体カートリッジとしてのインクカートリッジ２４は、ノズル孔１等を有する液滴吐出ヘッド２５と、液滴吐出ヘッド２５にインクを供給するインクタンク２６とを一体化したものである。このようなインクタンク２６と液滴吐出ヘッド２５とを一体的に有するインクカートリッジ２４では、アクチュエータ部を高精度化、高密度化及び高信頼化することで歩留まりや信頼性を向上することができる。これにより、インクカートリッジ２４の低コスト化も実現することができる。

次に本発明の第４の実施形態として、上述した液滴吐出ヘッド２５を搭載した画像形成装置としてのインクジェット記録装置を図１０ないし図１２に基づいて説明する。
画像形成装置としてのインクジェット記録装置９０はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板に掛け渡したガイド部材である主ガイドロッド２３１及び従ガイドロッド２３２によってキャリッジ２３３を主走査方向に摺動自在に保持している。キャリッジ２３３は、図示しない主走査モータによって駆動され、タイミングベルトを介して矢印で示すキャリッジ主走査方向に移動走査される。キャリッジ２３３には、イエロ（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色インクを吐出するための液滴吐出ヘッド２５と、液滴吐出ヘッド２５に駆動信号を与える電気回路基板とが設けられている。さらにキャリッジ２３３には、液滴吐出ヘッド２５に供給するインクを収容したタンク２３５が一体化された記録ヘッド２３４が、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する方向に配列し、液滴吐出方向を下方に向けた状態で装着されている。

キャリッジ２３３は、図１２に示すように、その両端部の一部がノズル面２７に接しており、キャリッジ２３３は発熱体３１によって加熱される。この構成により、記録ヘッド２３４の内部にヒータ５を有していない場合であっても、対流を発生させて沈降性の高い液体においても高い拡散性を維持することが可能となる。

記録ヘッド２３４は、それぞれ二つのノズル列を有する記録ヘッド２３４ａ，２３４ｂを一つのベース部材に取り付けて構成したものである。記録ヘッド２３４ａの一方の２列のノズル列はブラックのインクを、他方の２列のノズル列はシアンのインクをそれぞれ吐出し、記録ヘッド２３４ｂの一方の２列のノズル列はマゼンタのインクを、他方の２列のノズル列はイエロのインクをそれぞれ吐出する。なお、本形態では２ヘッド構成で４色のインクを吐出する構成としているが、１ヘッド当たり４ノズル列配置であるので、１ヘッド構成で４色のインクを吐出させることも可能である。また、記録ヘッド２３４のタンク２３５には、各色の供給チューブ２３６を介して供給ユニット２２４によって各インクカートリッジ２１０から各色のインクが補充供給される。

一方、給紙トレイ２０２の用紙積載部２４１上に積載した用紙２４２を給紙するための給紙部が設けられている。給紙部は、用紙積載部２４１から用紙２４２を１枚ずつ分離給送する給紙コロ２４３と、給紙コロ２４３に対向配置され高摩擦抵抗部材により形成された分離パッド２４４とを有しており、分離パッド２４４は給紙コロ２４３に対して付勢されている。そして給紙部は、給送された用紙２４２を記録ヘッド２３４の下方に送り込むために用紙２４２を案内するガイド部材２４５と、カウンタローラ２４６と、搬送ガイド部材２４７と、先端加圧コロ２４９を有する押さえ部材２４８とを備えている。さらに給紙部は、給送された用紙２４２を静電吸着して記録ヘッド２３４に対向する位置で搬送するための、搬送手段である搬送ベルト２５１を備えている。

搬送ベルト２５１は無端状ベルトであり、搬送ローラ２５２とテンションローラ２５３との間に掛け渡されており、副走査方向であるベルト搬送方向に走行駆動される。そして、搬送ベルト２５１の表面を帯電させるための帯電ローラ２５６が設けられており、帯電ローラ２５６は搬送ベルト２５１の表層に接触し、搬送ベルト２５１の走行移動に従動して回転するように構成されている。搬送ベルト２５１は、図示しない副走査モータによってタイミングベルトを介して搬送ローラ２５２が回転駆動されることにより、ベルト搬送方向に走行駆動される。

記録ヘッド２３４で記録された用紙２４２を排紙するための排紙部として、搬送ベルト２５１から用紙２４２を分離する分離爪２６１と、排紙ローラ２６２及び排紙コロ２６３と、排紙ローラ２６２の下方に設けられた排紙トレイ２０３とを備えている。また、装置本体の背面部には、両面ユニット２７１が設けられている。両面ユニット２７１は、搬送ベルト２５１の逆方向回転で戻される用紙２４２を取り込んで反転させ、再度カウンタローラ２４６と搬送ベルト２５１との間に給送する。また、両面ユニット２７１の上面は手差しトレイ２７２とされている。

キャリッジ２３３の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド２３４のノズルの状態を維持して回復させるための回復手段を含む、記録ヘッド２３４の維持回復機構２８１が配設されている。維持回復機構２８１には、記録ヘッド２３４の各ノズル面をキャッピングするためのキャップ部材２８２ａ，２８２ｂと、ノズル面をワイピングするワイパブレード２８３とが設けられている。また維持回復機構２８１には、増粘したインクを排出するために記録に寄与しないインクを吐出させる、空吐出を行う際にインクを受ける空吐出受け２８４等が設けられている。

さらにキャリッジ２３３の走査方向他方側の非印字領域には、記録中等に増粘したインクを排出するために記録に寄与しないインクを吐出させる、空吐出を行う際にインクを受ける空吐出受け２８８が配設されている。空吐出受け２８８には、記録ヘッド２３４のノズル配列方向に沿った開口部２８９等が設けられている。本発明の液滴吐出ヘッドを用いることにより、上述したようなインクの増粘に伴う空吐出の回数を低減させることができる。そのため、インク消費量の少ない液滴吐出装置を構成することができる。

上述のインクジェット記録装置９０では、給紙トレイ２０２から用紙２４２が１枚ずつ分離給送され、ほぼ鉛直上方に給紙された用紙２４２はガイド部材２４５で案内される。そして用紙２４２は、搬送ベルト２５１とカウンタローラ２４６との間に挟まれて搬送され、さらに先端を先端加圧コロ２４９で搬送ベルト２５１に押し付けられ、搬送方向をほぼ９０°転換される。

このとき、帯電ローラ２５６に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返す交番電圧が印加され、搬送ベルト２５１が交番する帯電電圧パターン、すなわち周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスとが所定の幅で帯状に交互に帯電される。このようにプラスとマイナスとの交互に帯電した搬送ベルト２５１上に用紙２４２が搬送されると、用紙２４２が搬送ベルト２５１に吸着され、搬送ベルト２５１の走行移動によって用紙２４２が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ２３３を移動させつつ画像信号に応じて記録ヘッド２３４を駆動することにより、停止している用紙２４２にインク液滴を吐出して１行分を記録し、用紙２４２を所定量搬送した後に次の行の記録を行う。記録終了後または用紙２４２の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して用紙２４２を排紙トレイ２０３上に排出する。このようにこの画像形成装置９０では、本発明に係る液滴吐出ヘッドを記録ヘッドとして備えているので信頼性が向上する。

上述したインクジェット記録装置９０では、本発明の液滴吐出ヘッド２５を搭載しているので、安定したインク吐出特性を得ることができ、画像品質を向上させることができる。上述の説明では液滴吐出ヘッド２５としてインクを吐出するものを示したが、本発明が適用可能な液滴はインクには限られず、例えばパターニング用の液体レジストを吐出する装置に液滴吐出ヘッド２５を適用してもよい。さらには遺伝子分析試料を吐出する装置に液滴吐出ヘッド２５を適用してもよい。また、本発明が適用可能な画像形成装置はプリンタには限られず、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これ等の複合機にも本発明は適用可能である。

１ ノズル孔
２ ノズル板
３ 圧力室
４ 下側流体抵抗流路
５ 加熱対流手段（ヒータ）
６ 上側流路板
７ インク供給連通路
８ 下側流路板
９ 上側流体抵抗流路
１２ インク供給口
１６ 共通液室（共通インク室）
２４ 液体カートリッジ（インクカートリッジ）
２５ 液滴吐出ヘッド
３０ 冷却素子（ペルチェ素子）
３１ 発熱体
９０ 画像形成装置（インクジェット記録装置）
２３３ キャリッジ

特許第４４８０８９６号公報 特許第３２９８２８５号公報 特許第３７７４９０２号公報

Claims (10)

1. 複数のノズル孔を有するノズル板と、
   前記ノズル孔に対応した複数の圧力室及び流体抵抗流路となる開口を有する下側流路板と、
   複数の前記圧力室のみを有する上側流路板と、
   前記圧力室内の液体を加熱して対流させる加熱対流手段を有する液滴吐出ヘッド。
2. 請求項１記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記加熱対流手段は前記ノズル板の前記圧力室と対向する面にそれぞれ設けられた発熱体であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
3. 請求項２記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記流体抵抗流路を２つと、前記流体抵抗流路に連通する供給口と、前記各供給口を連通する供給口連通路と、前記圧力室及び前記流体抵抗流路に液体を供給する共通液室とを有し、前記各流体抵抗流路は鉛直方向に並んで形成されると共に、前記圧力室及び前記供給口連通路において互いに連通していることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
4. 請求項３記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記各流体抵抗流路は下側の流体抵抗流路が上側の流体抵抗流路よりも流体抵抗が小さいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
5. 請求項４記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記共通液室は冷却素子を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
6. 請求項５記載の液滴吐出ヘッドにおいて、
   前記冷却素子はペルチェ素子であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
7. ノズル板に形成された複数のノズル孔から液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの前記ノズル板が固定されるキャリッジを有し、前記ノズル板に接する前記キャリッジを発熱体により加熱し、間接的に前記ノズル板を加熱することを特徴とする液体吐出装置。
8. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに記録液を供給するインクタンクとを一体化した液体カートリッジであって、前記液滴吐出ヘッドとして請求項１ないし６の何れか一つに記載のものが用いられることを特徴とする液体カートリッジ。
9. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置であって、前記液滴吐出ヘッドとして請求項１ないし６の何れか一つに記載のものが用いられることを特徴とする画像形成装置。
10. 液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載した画像形成装置において、
    請求項８記載の液体カートリッジを有することを特徴とする画像形成装置。

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