JP2011190126A - 窒化物結晶の製造方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】融液27を収容し、過飽和状態に保持することによって、窒化物結晶14を成長させる育成容器2;融液6を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第一の窒素溶解容器1;融液28を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第二の窒素溶解容器3;育成容器2と第一の窒素溶解容器1とを連結し、育成容器内の融液と第一の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第一の連結部4;および育成容器2と第二の窒素溶解容器3とを連結し、育成容器内の融液と第二の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第二の連結部5を使用する。結晶育成時に、育成容器、第一の窒素溶解容器、第二の窒素溶解容器、第一の連結部および第二の連結部を動かす。
【選択図】 図1
Description
融液を収容し、過飽和状態に保持することによって、窒化物結晶を成長させる育成容器;
融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第一の窒素溶解容器;
融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第二の窒素溶解容器;
育成容器と第一の窒素溶解容器とを連結し、育成容器内の融液と第一の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第一の連結部;
育成容器と第二の窒素溶解容器とを連結し、育成容器内の融液と第二の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第二の連結部;および
育成容器、第一の窒素溶解容器、第二の窒素溶解容器、第一の連結部および第二の連結部を動かす駆動手段を備えていることを特徴とする。
融液を収容し、過飽和状態に保持することによって、窒化物結晶を成長させる育成容器;
融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第一の窒素溶解容器;
融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、融液中に窒素を溶解させる第二の窒素溶解容器;
育成容器と第一の窒素溶解容器とを連結し、育成容器内の融液と第一の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第一の連結部;および
育成容器と第二の窒素溶解容器とを連結し、育成容器内の融液と第二の窒素溶解容器内の融液とを連通させる第二の連結部を使用し、窒化物単結晶の育成時に育成容器、第一の窒素溶解容器、第二の窒素溶解容器、第一の連結部および第二の連結部を動かすことを特徴とする。
揺動の途中では、図3に示すように、各容器が水平となる時点がある。この時点では、容器1と容器3とが同じ高さにある。
また、上記の実施形態では連結部がパイプ状であるが、容器間での融液の流通が可能な形態であれば、特に限定されず、例えばプレート状であってもよい。この場合には、プレート状の連結部の中にプレート状の流通孔を形成することができるし、あるいは、プレート状の連結部の中に複数の流通孔を形成することもできる。
融液を生成するためのフラックスは特に限定されないが、アルカリ金属およびアルカリ土類金属からなる群より選ばれた一種以上の金属またはその合金が好ましい。この金属としては、例えば、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、ベリリウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウム、バリウムが例示でき、リチウム、ナトリウム、カルシウムが特に好ましく、ナトリウムが最も好ましい。
具体的には、予め、窒素溶解容器1、3内に、それぞれ、金属ナトリウム400gと、金属ガリウム500gを充填した。育成容器2には、φ2インチの種基板(サファイア基板上にGaN薄膜を3ミクロン成膜したもの)4枚を容器底に配置し、金属ナトリウム400gと、金属ガリウム500gをその上に配置した。これは、育成容器中の融液の高さが約1.5cmとなる量である。
Claims (10)
- フラックスおよびIII族元素原料を含む融液を窒素含有雰囲気下で加熱および加圧することによって窒化物結晶を育成する装置であって、
前記融液を収容し、過飽和状態に保持することによって、窒化物結晶を成長させる育成容器;
前記融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、前記融液中に窒素を溶解させる第一の窒素溶解容器;
前記融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、前記融液中に窒素を溶解させる第二の窒素溶解容器;
前記育成容器と前記第一の窒素溶解容器とを連結し、前記育成容器内の前記融液と前記第一の窒素溶解容器内の前記融液とを連通させる第一の連結部;
前記育成容器と前記第二の窒素溶解容器とを連結し、前記育成容器内の前記融液と前記第二の窒素溶解容器内の前記融液とを連通させる第二の連結部;および
前記育成容器、前記第一の窒素溶解容器、前記第二の窒素溶解容器、前記第一の連結部および前記第二の連結部を動かす駆動手段
を備えていることを特徴とする、窒化物結晶の育成装置。 - 前記育成容器、前記第一の窒素溶解容器、前記第二の窒素溶解容器、前記第一の連結部および前記第二の連結部を揺動させることを特徴とする、請求項1記載の装置。
- 前記第一の窒素溶解容器内の前記融液および前記第二の窒素溶解容器内の前記融液の温度が、前記育成容器中の前記融液の温度よりも高いことを特徴とする、請求項1または2記載の装置。
- 前記第一の窒素溶解容器内に前記原料を供給する原料供給手段を備えていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- 前記第二の窒素溶解容器内に前記原料を供給する原料供給手段を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の装置。
- フラックスおよびIII族元素原料を含む融液を窒素含有雰囲気下で加熱および加圧することによって窒化物結晶を育成する方法であって、
前記融液を収容し、過飽和状態に保持することによって、窒化物結晶を成長させる育成容器;
前記融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、前記融液中に窒素を溶解させる第一の窒素溶解容器;
前記融液を加熱して未飽和状態で保持することによって、前記融液中に窒素を溶解させる第二の窒素溶解容器;
前記育成容器と前記第一の窒素溶解容器とを連結し、前記育成容器内の前記融液と前記第一の窒素溶解容器内の前記融液とを連通させる第一の連結部;および
前記育成容器と前記第二の窒素溶解容器とを連結し、前記育成容器内の前記融液と前記第二の窒素溶解容器内の前記融液とを連通させる第二の連結部
を使用し、前記窒化物単結晶の育成時に前記育成容器、前記第一の窒素溶解容器、前記第二の窒素溶解容器、前記第一の連結部および前記第二の連結部を動かすことを特徴とする、窒化物結晶の育成方法。 - 前記育成容器、前記第一の窒素溶解容器、前記第二の窒素溶解容器、前記第一の連結部および前記第二の連結部を揺動させることを特徴とする、請求項6記載の方法。
- 前記第一の窒素溶解容器内の前記融液および前記第二の窒素溶解容器内の前記融液の温度が、前記育成容器中の前記融液の温度よりも高いことを特徴とする、請求項6または7記載の方法。
- 前記第一の窒素溶解容器内に原料供給手段から前記原料を供給することを特徴とする、請求項6〜8のいずれか一つの請求項に記載の方法。
- 前記第二の窒素溶解容器内に原料供給手段から前記原料を供給することを特徴とする、請求項6〜9のいずれか一つの請求項に記載の方法。
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
CN107523876A (zh) * | 2016-06-16 | 2017-12-29 | 国立大学法人大阪大学 | 结晶生长装置以及结晶制造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11292679A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 結晶成長方法 |
WO2004083498A1 (ja) * | 2003-03-17 | 2004-09-30 | Osaka Industrial Promotion Organization | Iii族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる装置 |
WO2005095681A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Iii族元素窒化物結晶の製造方法、それに用いる製造装置、およびそれらにより得られた半導体素子 |
WO2007122867A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | 窒化物単結晶の製造方法および装置 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11292679A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-26 | Hitachi Cable Ltd | 結晶成長方法 |
WO2004083498A1 (ja) * | 2003-03-17 | 2004-09-30 | Osaka Industrial Promotion Organization | Iii族元素窒化物単結晶の製造方法およびそれに用いる装置 |
WO2005095681A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Iii族元素窒化物結晶の製造方法、それに用いる製造装置、およびそれらにより得られた半導体素子 |
WO2007122867A1 (ja) * | 2006-03-24 | 2007-11-01 | Ngk Insulators, Ltd. | 窒化物単結晶の製造方法および装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107523876A (zh) * | 2016-06-16 | 2017-12-29 | 国立大学法人大阪大学 | 结晶生长装置以及结晶制造方法 |
CN107523876B (zh) * | 2016-06-16 | 2020-11-20 | 国立大学法人大阪大学 | 结晶生长装置以及结晶制造方法 |
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