JP2011189318A - イオン交換装置の運転方法 - Google Patents
イオン交換装置の運転方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011189318A JP2011189318A JP2010059391A JP2010059391A JP2011189318A JP 2011189318 A JP2011189318 A JP 2011189318A JP 2010059391 A JP2010059391 A JP 2010059391A JP 2010059391 A JP2010059391 A JP 2010059391A JP 2011189318 A JP2011189318 A JP 2011189318A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion exchange
- ion
- water
- order
- water flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 title claims abstract description 105
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 20
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 101
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 claims abstract description 21
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000011017 operating method Methods 0.000 claims description 3
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 abstract description 12
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 12
- 238000010828 elution Methods 0.000 abstract description 6
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 26
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 7
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 7
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 3
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003957 anion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003729 cation exchange resin Substances 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
【課題】新規イオン交換樹脂からの有機物等の溶出による水質低下が防止されるイオン交換装置の運転方法を提供する。
【解決手段】第１ないし第ｎ（ｎは４以上の整数）のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、第１ないし第ｎのイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、この通水再開後の通水順番は、それまで通水順位が末尾から２番目であった第（ｎ−１）のイオン交換器を末尾とし、メンテナンスを施した第１のイオン交換器を末尾から２番目とし、その他のイオン交換器の通水順番はそれまでの順位の小さい順とする。
【選択図】図２
【解決手段】第１ないし第ｎ（ｎは４以上の整数）のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、第１ないし第ｎのイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、この通水再開後の通水順番は、それまで通水順位が末尾から２番目であった第（ｎ−１）のイオン交換器を末尾とし、メンテナンスを施した第１のイオン交換器を末尾から２番目とし、その他のイオン交換器の通水順番はそれまでの順位の小さい順とする。
【選択図】図２
Description
本発明は、イオン交換塔などのイオン交換器を複数個備えたイオン交換装置の運転方法に係り、特に各イオン交換器に直列に通水した後、最先頭側のイオン交換器にメンテナンスを施して通水順位を末尾側にして通水を再開するようにしたイオン交換装置の運転方法に関する。
従来から半導体製造等の分野における洗浄工程に超純水が用いられている。この超純水としては、洗浄トラブルの原因となる微粒子、有機物、無機物を含まないことが要求され、例えば抵抗率：１８．２ＭΩ・ｃｍ以上、φ０．０５μｍの微粒子：１個／ｍＬ以下、生菌：１個／Ｌ以下、ＴＯＣ（Ｔｏｔａｌ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃａｒｂｏｎ）：１μｇ／Ｌ以下、金属：１ｎｇ／Ｌ以下、イオン類：１ｎｇ／Ｌ以下であることが要求水質となっている。
この超純水製造装置のサブシステム内やサブシステム直前には、再生薬剤による汚染を防ぐために非再生式イオン交換装置が設置されている。この非再生式イオン交換装置は、再生を行わないため、メンテナンス（イオン交換樹脂の交換）が必要である。
複数個のイオン交換塔に直列に通水するイオン交換装置の場合、最先頭側（最上流側）のイオン交換塔にメンテナンスを施した後、最末尾に配置し、通水を再開することが行われている（例えば特許文献１）。
この特許文献１では、例えば３個のイオン交換モジュールＡ，Ｂ，ＣにＡ→Ｂ→Ｃの順番で通水し、Ａのイオン交換モジュールが破過（ブレーク）した場合、モジュールＡを新規のモジュールと交換し、Ｂ→Ｃ→（新規のモジュール）の順番に通水して通水再開を行う（特許文献１の図７）。
上記特許文献１のように、新規のモジュールを最末尾に配置して通水を再開する場合、この新規モジュール内のイオン交換樹脂から通水初期時に有機物等が溶出し、超純水の水質が低くなることがある。
本発明は、このような新規イオン交換樹脂からの有機物等の溶出による水質低下が防止されるイオン交換装置の運転方法を提供することを目的とする。
第１発明（請求項１）のイオン交換装置の運転方法は、第１ないし第３のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、第１ないし第３のイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、この通水再開後にあっては、それまで末尾であった第３のイオン交換器、メンテナンスを施した第１のイオン交換器、末尾から２番目であった第２のイオン交換器の順に通水することを特徴とするものである。
第２発明（請求項２）のイオン交換装置の運転方法は、第１ないし第ｎ（ｎは４以上の整数）のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、第１ないし第ｎのイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、この通水再開後の通水順番は、それまで通水順位が末尾から２番目であった第（ｎ−１）のイオン交換器を末尾とし、メンテナンスを施した第１のイオン交換器を末尾から２番目とし、その他のイオン交換器の通水順番はそれまでの順位の小さい順とすることを特徴とするものである。
本発明のイオン交換装置にあっては、メンテナンスを施したイオン交換器を末尾から２番目に配置し、それまで末尾から２番目のイオン交換器を末尾に配置し、その他のイオン交換器についてはそれまでの通水順位の小さい順（ただし、イオン交換器が３個の第１発明の場合は２番目であったものを先頭にする。）とする。そのため、新規のイオン交換樹脂から有機物等が溶出しても、この有機物等は末尾のイオン交換器で捕捉され、イオン交換装置から流出することはない。なお、末尾に配置されることになったイオン交換器は、それまで末尾から２番目に配置されていたものであるから、イオン交換容量は十分に残っていると共に、既に通水済みのものであるので、有機物等が流出しない。従って、通水再開時における水質の立ち上がりが良好である。
また、第２発明にあっては、末尾側の２個のイオン交換器以外については、それまでの通水順位の若い順にイオン交換器が配置されており、イオン交換容量の多いもの程下流側になっているので、残存イオン交換容量を無駄なく利用して効率よく超純水等を生産することができる。
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。
第１図は３個のイオン交換塔Ａ，Ｂ，Ｃに直列に通水するイオン交換装置の通水フロー図である。
第１図の（ａ）では、配管１からの被処理水は、配管１、イオン交換塔Ａ、配管２、イオン交換塔Ｂ、配管３、イオン交換塔Ｃ、配管４の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ａがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ａをメンテナンスし、（ｂ）のように通水する。
（ｂ）では、被処理水は、配管１、１０、１２、イオン交換塔Ｃ、配管２０、イオン交換塔Ａ、配管２、イオン交換塔Ｂ，配管２２の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ｃがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ｃをメンテナンスし、（ｃ）のように通水する。
（ｃ）では、被処理水は、配管１、１０、１１、イオン交換塔Ｂ、配管３、イオン交換塔Ｃ、配管２０、イオン交換塔Ａ、配管２１の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ｂがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ｂをメンテナンスし、（ｄ）のように通水する。この（ｄ）は（ａ）と同じである。
このように、第１図の場合、イオン交換塔Ａ，Ｂ，Ｃへの通水順番は、
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ
（ｂ） Ｃ→Ａ＊→Ｂ
（ｃ） Ｂ→Ｃ＊→Ａ
の３通りを巡回するものとなる。なお、＊はメンテナンス直後のイオン交換塔であることを表している。
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ
（ｂ） Ｃ→Ａ＊→Ｂ
（ｃ） Ｂ→Ｃ＊→Ａ
の３通りを巡回するものとなる。なお、＊はメンテナンス直後のイオン交換塔であることを表している。
即ち、この第１図では、メンテナンス後の通水再開時には、それまで（即ち、直前の通水工程において）末尾に配置されていたイオン交換塔を先頭とし、メンテナンスされたイオン交換塔を２番目とし、末尾から２番目に配置されていたイオン交換塔を末尾とする。このため、新規のイオン交換樹脂を備えたイオン交換塔からの流出水が末尾のイオン交換塔に通水されるようになり、新規のイオン交換樹脂から有機物等が溶出しても末尾のイオン交換塔で捕捉される。また、新たに末尾に配置されたイオン交換等は、既に通水済みのものであり、有機物等は流出しない。従って、通水再開時の水質立ち上りが良好である。
なお、上記の各配管１〜３、１０〜１２、２０〜２２にはそれぞれ上記の流路切り替えを行うためのバルブ（図示略）が設けられている。
第２図は４個のイオン交換塔Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに直列に通水するイオン交換装置の通水フロー図である。
第２図の（ａ）では、配管１からの被処理水は、配管１、イオン交換塔Ａ、配管２、イオン交換塔Ｂ、配管３、イオン交換塔Ｃ、配管４、イオン交換塔Ｄ、配管５の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ａがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ａをメンテナンスし、（ｂ）のように通水する。
（ｂ）では、被処理水は、配管１、１０、１１、イオン交換塔Ｂ、配管７０、７１、イオン交換塔Ｄ、配管５０、５３、イオン交換塔Ａ、配管６０、６１、イオン交換塔Ｃ、配管４０、４１の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ｂがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ｂをメンテナンスし、（ｃ）のように通水する。
（ｃ）では、被処理水は、配管１、１０、１３、イオン交換塔Ｄ、配管５０、５１、イオン交換塔Ｃ、配管４０、４２、イオン交換塔Ｂ、配管７０、７３、イオン交換塔Ａ、配管６０、６３の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ｄがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ｄをメンテナンスし、（ｄ）のように通水する。
（ｄ）では、被処理水は、配管１、１０、１２、イオン交換塔Ｃ、配管４０、４３、イオン交換塔Ａ、配管６０、６２、イオン交換塔Ｄ、配管５０、５２、イオン交換塔Ｂ、配管７０、７２の順に通水される。この通水を継続することによりイオン交換塔Ｃがブレークしたり、ブレーク間近になったときには、イオン交換塔Ｃをメンテナンスし、（ｅ）のように通水する。この（ｅ）は（ａ）と同じである。
このように、第２図の場合、イオン交換塔Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄへの通水順番は、
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ
（ｂ） Ｂ→Ｄ→Ａ＊→Ｃ
（ｃ） Ｄ→Ｃ→Ｂ＊→Ａ
（ｄ） Ｃ→Ａ→Ｄ＊→Ｂ
の４通りであり、これを巡回する。
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ
（ｂ） Ｂ→Ｄ→Ａ＊→Ｃ
（ｃ） Ｄ→Ｃ→Ｂ＊→Ａ
（ｄ） Ｃ→Ａ→Ｄ＊→Ｂ
の４通りであり、これを巡回する。
即ち、第２図では、メンテナンス後の通水再開時には、メンテナンスされたイオン交換塔を末尾から２番目とし、それまで（即ち、直前の通水工程において）末尾から２番目に配置されていたイオン交換塔を末尾とする。その他の２個の順番は、それまでの通水順位の若い順とする。このため、新規のイオン交換樹脂を備えたイオン交換塔からの流出水が末尾のイオン交換塔に通水されるようになり、新規のイオン交換樹脂から有機物等が溶出しても末尾のイオン交換塔で捕捉される。また、新たに末尾に配置されたイオン交換等は、既に通水済みのものであり、有機物等は流出しない。従って、通水再開時の水質立ち上りが良好である。また、メンテナンスされたイオン交換塔よりも上流側における通水順番はそれまでの通水順位の若い順であるので、イオン交換容量の残存量の多いものほど下流側となっており、残存イオン交換容量を無駄なく利用して効率よく超純水等を生産することができる。
なお、上記の各配管１〜３、１０〜１３、４０〜４３、５０〜５３、６０〜６３、７０〜７３にはそれぞれ上記の流路切り替えを行うためのバルブ（図示略）が設けられている。
第２図では４個のイオン交換塔に対し直列に通水しているが、５個以上（通常は３個の以下）のイオン交換塔に直列に通水する場合の通水順番の変更も同様にして、即ち、末尾から２番目のイオン交換塔を末尾とし、メンテナンスしたイオン交換塔を末尾から２番目にし、それ以外については直前の通水工程の通水順位の若い順にするようにして行われる。例えば５個のイオン交換塔Ａ〜Ｅの通水順番の変更は次の通りとなる。
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ
（ｂ） Ｂ→Ｃ→Ｅ→Ａ＊→Ｄ
（ｃ） Ｃ→Ｅ→Ｄ→Ｂ＊→Ａ
（ｄ） Ｅ→Ｄ→Ａ→Ｃ＊→Ｂ
（ｅ） Ｄ→Ａ→Ｂ→Ｅ＊→Ｃ
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ＊→Ｅ（上記（ａ）の通り）
なお、前述の通り、＊は、当該イオン交換塔がメンテナンス直後のものであることを示している。
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ→Ｅ
（ｂ） Ｂ→Ｃ→Ｅ→Ａ＊→Ｄ
（ｃ） Ｃ→Ｅ→Ｄ→Ｂ＊→Ａ
（ｄ） Ｅ→Ｄ→Ａ→Ｃ＊→Ｂ
（ｅ） Ｄ→Ａ→Ｂ→Ｅ＊→Ｃ
（ａ） Ａ→Ｂ→Ｃ→Ｄ＊→Ｅ（上記（ａ）の通り）
なお、前述の通り、＊は、当該イオン交換塔がメンテナンス直後のものであることを示している。
このように、最も負荷がかかる先頭のイオン交換塔をメンテナンス（樹脂交換）した後、このイオン交換塔を末端から一つ手前の位置とし、メンテナンス前に末端から一つ手前で通水していたイオン交換装置を最末端とし、それ以外のイオン交換塔を順次前にシフトさせて通水を行う。これにより、メンテナンス直後のイオン交換樹脂からの初期溶出を最末端のイオン交換装置で除去できる。また、この最末端のイオン交換装置はメンテナンス前に十分に通水されていたことで、初期溶出は十分に落とされている。従って、イオン交換樹脂からの初期溶出も除去でき、高純度の水質を初期から提供することができる。
なお、本発明の効果を実証するために次の実験を行った。
［実験１］
φ４０ｍｍ×Ｈ５００ｍｍのカラムにイオン交換樹脂（Ｄｏｗケミカル製 カチオン：ＥＸ−ＣＧ、アニオン：ＥＸ−ＡＧ。アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂のＶｏｌｕｍｅ比１：１）を充填し、該カラム２個を直列に繋ぎ、第１回目の通水として１週間以上通水（各カラムのＳＶ＝３０）を行った。
φ４０ｍｍ×Ｈ５００ｍｍのカラムにイオン交換樹脂（Ｄｏｗケミカル製 カチオン：ＥＸ−ＣＧ、アニオン：ＥＸ−ＡＧ。アニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂のＶｏｌｕｍｅ比１：１）を充填し、該カラム２個を直列に繋ぎ、第１回目の通水として１週間以上通水（各カラムのＳＶ＝３０）を行った。
その後、前段のカラムについて樹脂交換を行った後、前段に戻し、通水を再開した。そして、通水再開後の後段のカラム出口のＴＯＣをＴＯＣ計（ＡＮＡＴＥＬ Ａ−１０００）で測定した。その結果を第３図に示す。
第３図の通り、後段のカラム流出水は、通水再開直後でもＴＯＣが０．５μｇ／Ｌ程度と低い値であった。これは、メンテナンスした前段カラムから流出した有機物が後段カラムで十分に捕捉されることを示している。
［実験２］
実験１と同様のカラムを２本準備し、直列に接続し、実験１と同様にして第１回目の通水を行った。次いで、後段のカラムについて樹脂交換を行った後、後段に戻し、通水を再開した。通水再開後の立ち上げデータ（後段カラム出口のＴＯＣ濃度）を採取し、第３図に示した。
実験１と同様のカラムを２本準備し、直列に接続し、実験１と同様にして第１回目の通水を行った。次いで、後段のカラムについて樹脂交換を行った後、後段に戻し、通水を再開した。通水再開後の立ち上げデータ（後段カラム出口のＴＯＣ濃度）を採取し、第３図に示した。
第３図の通り、この実験２では、メンテナンスした後段カラムからの有機物の溶出により、通水再開後のＴＯＣ濃度が高い。このＴＯＣ濃度が０．５μｇ／Ｌレベルまで低下するのに約４時間が必要であった。
この実験１，２より、本発明によると通水再開直後の水質が良好であることが十分に認められる。
Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ イオン交換塔
１〜５、１０〜１３、２０〜２２、４０〜４３、５０〜５３、６０〜６３、７０〜７３ 配管
１〜５、１０〜１３、２０〜２２、４０〜４３、５０〜５３、６０〜６３、７０〜７３ 配管
Claims (2)
- 第１ないし第３のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、
第１ないし第３のイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、
この通水再開後にあっては、それまで末尾であった第３のイオン交換器、メンテナンスを施した第１のイオン交換器、末尾から２番目であった第２のイオン交換器の順に通水することを特徴とするイオン交換装置の運転方法。 - 第１ないし第ｎ（ｎは４以上の整数）のイオン交換器を有するイオン交換装置の運転方法であって、
第１ないし第ｎのイオン交換器にこの順に通水した後、第１のイオン交換器にメンテナンスを施し、次いで通水順番を変えて通水を再開するイオン交換装置の運転方法において、
この通水再開後の通水順番は、それまで通水順位が末尾から２番目であった第（ｎ−１）のイオン交換器を末尾とし、メンテナンスを施した第１のイオン交換器を末尾から２番目とし、その他のイオン交換器の通水順番はそれまでの順位の小さい順とすることを特徴とするイオン交換装置の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010059391A JP5526892B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | イオン交換装置の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010059391A JP5526892B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | イオン交換装置の運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2011189318A true JP2011189318A (ja) | 2011-09-29 |
| JP5526892B2 JP5526892B2 (ja) | 2014-06-18 |
Family
ID=44794805
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010059391A Expired - Fee Related JP5526892B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | イオン交換装置の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5526892B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014126544A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 放射性セシウム含有水の吸着塔の交換方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06206069A (ja) * | 1993-01-08 | 1994-07-26 | Asahi Chem Ind Co Ltd | イオンの除去方法 |
| JP2003302389A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Kurita Water Ind Ltd | ホウ酸分析方法及び分析装置と超純水製造方法及び製造装置 |
| JP2005007261A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Renesas Technology Corp | イオン交換方法及びイオン交換システム |
| JP5236835B1 (ja) * | 2012-12-27 | 2013-07-17 | 株式会社神鋼環境ソリューション | 放射性セシウム含有水の吸着塔の交換方法 |
-
2010
- 2010-03-16 JP JP2010059391A patent/JP5526892B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06206069A (ja) * | 1993-01-08 | 1994-07-26 | Asahi Chem Ind Co Ltd | イオンの除去方法 |
| JP2003302389A (ja) * | 2002-04-10 | 2003-10-24 | Kurita Water Ind Ltd | ホウ酸分析方法及び分析装置と超純水製造方法及び製造装置 |
| JP2005007261A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Renesas Technology Corp | イオン交換方法及びイオン交換システム |
| JP5236835B1 (ja) * | 2012-12-27 | 2013-07-17 | 株式会社神鋼環境ソリューション | 放射性セシウム含有水の吸着塔の交換方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014126544A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Kobelco Eco-Solutions Co Ltd | 放射性セシウム含有水の吸着塔の交換方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5526892B2 (ja) | 2014-06-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5081690B2 (ja) | 超純水の製造方法 | |
| CN103827040A (zh) | 用于提供超纯水的方法和系统 | |
| JP2014217830A (ja) | 超純水製造システム及び超純水製造供給システム | |
| Im et al. | Forward osmosis (FO)-reverse osmosis (RO) hybrid process incorporated with hollow fiber FO | |
| JP5526892B2 (ja) | イオン交換装置の運転方法 | |
| JP2011161418A (ja) | 超純水製造システムの洗浄方法 | |
| TW200418729A (en) | Super pure water producing system and a operation method for that | |
| Nazif et al. | Artificial intelligence–based optimization of reverse osmosis systems operation performance | |
| JP2009066525A (ja) | イオン交換樹脂の充填方法及び復水脱塩装置 | |
| JP2017056384A (ja) | 電気脱イオン装置の運転方法 | |
| JP6651382B2 (ja) | 排水処理方法および排水処理装置 | |
| JP6205865B2 (ja) | 純水製造装置の運転管理方法 | |
| WO2013008721A1 (ja) | オゾン水供給装置及びオゾン水供給方法 | |
| JP6387637B2 (ja) | イオン交換装置及びイオン交換処理方法 | |
| JP2000317413A (ja) | 超純水製造システムの洗浄方法 | |
| CN200992500Y (zh) | 实验室级超纯水器 | |
| JP2006061779A (ja) | 排水の処理分別方法および装置 | |
| JP7146568B2 (ja) | 有機溶媒の精製方法及び精製装置 | |
| JP2017148698A (ja) | 超純水製造システムの洗浄方法 | |
| JP6105500B2 (ja) | 硫酸イオンおよびホウ素を含有する排水の処理方法、および処理設備 | |
| JP2023109499A (ja) | イオン交換システムの運転方法 | |
| KR102296540B1 (ko) | 폐 에칭액의 불순물 저감 시스템 | |
| KR101892787B1 (ko) | 스케일링 물질을 부동태화시키기 위한 전기 투석 방법 및 장치 | |
| JP5084279B2 (ja) | イオン交換樹脂の全量取替え方法 | |
| JP2004154713A (ja) | 超純水製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130125 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131023 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131105 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131217 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140318 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140331 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5526892 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |