JP2011189312A - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
光照射装置および光照射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011189312A JP2011189312A JP2010059092A JP2010059092A JP2011189312A JP 2011189312 A JP2011189312 A JP 2011189312A JP 2010059092 A JP2010059092 A JP 2010059092A JP 2010059092 A JP2010059092 A JP 2010059092A JP 2011189312 A JP2011189312 A JP 2011189312A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- single wavelength
- adhesive
- light source
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Led Device Packages (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】光照射装置1は、接着シートSを構成する接着剤ADに対して、単波長の第1〜第4のライン光L1〜L4を照射する第1〜第4のLED423A〜423Dと、複数の波長の光を含む第5のライン光L5を照射するブラックライト431とを備え、第1〜第4のライン光L1〜L4のうちの少なくとも一種と、第5のライン光L5とを照射する。
【選択図】図1
Description
また、本発明の光照射装置では、前記発光手段は、互いに異なる単波長の光を発光可能な複数種の前記単波長発光源を備えている、ことが好ましい。
さらに、本発明の光照射装置では、前記制御手段は、前記複数種の単波長発光源のうち使用する単波長発光源を選択可能な単波長選択手段を備えている、ことが好ましい。
すなわち、設計波長の光は、単波長発光源によって重点的に照射し、設計波長から外れた波長の光は、多波長発光源により照射することで、被照射体の反応波長のばらつきにも対応でき、被照射体を効率よく十分に反応させることができる。また、設計波長以外にどの波長で反応が起こるのかが分からない被照射体に対して、単波長発光源を大量に用意しておく必要がなくなり、装置の大型化とコストの高騰化を抑制できる。
さらに、互いに異なる単波長の光を発光可能な複数種の単波長発光源を用いれば、設計波長が異なる被照射体を効率よく反応させることができる。
また、複数種の単波長発光源のうち使用する単波長発光源を選択可能にすれば、設計波長を含む設計波長から少々ずれた領域の波長の光は、単波長発光源によって重点的に照射し、設計波長を含む設計波長から少々ずれた領域以外の波長の光は、多波長発光源により照射することで、被照射体の反応波長のばらつきにも対応でき、被照射体を効率よく十分に反応させることができる上、様々な設計波長の被照射体に対応できる。
特に、単波長発光源としてLED(Light Emitting Diode)を用い、多波長発光源としてブラックライトを用いれば、さらなる省電力化を図ることができる。
図1において、光照射装置1は、ウェハWの一面に貼付された接着シートSに光を照射する装置であり、接着シートSに第1〜第5のライン光L1〜L5を照射する発光手段4と、当該光照射装置1の全体的な動作を所定制御する制御手段7とを備えている。
第1〜第4のLED423A〜423Dから発光される光は、LED保持部421に設けられた図示しない反射板やレンズ等の集光手段によって、それぞれY軸方向に沿うライン光L1〜L4を形成可能に設けられている。そして、保持板41が屈曲形状に設けられていることで、各ライン光L1〜L4は、図1に示すように、接着剤ADを焦点とするY軸方向に沿う線P上に集光するように設けられている。なお、本発明における単波長の光としては、上述のピーク波長を中心にして若干その前後の波長の光を含むものであってもよい。
単波長選択手段6は、第1〜第4のLED423A〜423Dのうち少なくとも一種のLED(以下、選択LEDということもある)を選択して発光させる。
さらに、制御手段7は、例えば図示しない入力手段により接着剤ADの設計波長と、硬化に必要な光の強度(硬化必要強度)が設定入力されると、第1〜第4のLED423A〜423Dから、この設計波長のライン光を発光する選択LEDを単波長選択手段6に選択させる。そして、電力供給手段5を制御して、選択LEDとブラックライト431とのそれぞれに所定量の電力を供給する。
また、制御手段7は、選択LEDとブラックライト431からの設計波長の光を合成した光(合成光)の強度が、硬化必要強度よりも若干大きくなるような電力を供給するように制御可能になっている。
つまり、第1〜第4のLED423A〜423Dとブラックライト431は、定格電力が供給されると、図3、4に示すように、それぞれが単体で硬化必要強度を上回る強度に設定されている。そのような強度の光を合成すると、図5(A)の二点鎖線で示すように、硬化必要強度を遥かに上回る強度になってしまう。そこで、制御手段7は、図5(B)に示すように、選択LEDとブラックライト431との合成光の強度が、硬化必要強度よりも若干大きくなるような電力を、選択LEDとブラックライト431とに供給する。これにより、電力の無駄な消費を抑制することができる。なお、選択LEDに供給する電力と、ブラックライト431に供給する電力とをどのレベルにするかは、任意に決定することができる。
光照射装置1の制御手段7は、接着剤ADの設計波長と硬化必要強度が設定入力されると、テーブル2が発光手段4の下方に位置しない状態で、単波長選択手段6を制御して、設定入力された設計波長と同じ波長の光を照射するLEDを第1〜第4のLED423A〜423Dから選択する。例えば、第1のLED423Aが選択されたとする。
次に、制御手段7は、電力供給手段5を制御して、第1のLED423Aおよびブラックライト431に対して、設計波長の合成光の強度が硬化必要強度よりも若干大きくなるような電力をそれぞれに供給する。合成光の強度は、図示しない照度計等に実際に合成光を照射してその照度を測定することができる。そして、マウント用シートMSを介してリングフレームRFと一体化され、回路面に接着シートSが貼付されたウェハWを吸着保持したテーブル2を矢印Dで示す方向へ移動させることで、接着シートSの全面に第1のライン光L1および第5のライン光L5を照射して、接着剤ADを硬化させる。
このとき、第1のライン光L1で接着剤ADが硬化しない場合は、制御手段7は、再度単波長選択手段6を制御して、他のLEDを第2〜第4のLED423B〜423Dから選択する。この処理は、接着剤ADが硬化するライン光を照射可能なLEDが見つかるまで繰り返し実行される。なお、接着剤ADの硬化、未硬化の判定は、オペレータが行ってもよいし、図示しないシート剥離装置等によってその剥離力を測定するようにしてもよい。本実施形態の場合、単波長の光は第1〜第4のLED423A〜423Dから発光される4種類であるため、4回の処理を行っても接着剤ADが硬化しない場合は、エラー表示をしてオペレータに知らせるようにしてもよい。なお、2回目以降の処理のとき多波長発光である第5のライン光L5を消灯してもよい。
そして、接着剤ADの硬化が終了すると、第1のライン光L1(選択LEDが変更された場合は他のライン光)および第5のライン光L5が照射されたウェハWは、図示しない搬送装置によって別工程に搬送され、ウェハWの回路面から接着シートSが剥離された後、ダイシング等の所定処理が施されることとなる。
すなわち、光照射装置1は、第1〜第4のライン光L1〜L4のうち、接着剤ADの設計波長と同じライン光と、複数の異なる波長の光を含むライン光L5とを同時に発光させることができ、反応波長が設計波長と一致する接着剤ADに対しては、選択されたライン光で硬化させることができ、設計波長と一致しない接着剤ADに対しては、第5のライン光L5で硬化させることができる。したがって、接着剤ADの反応波長がばらついても、接着剤ADを効率よく硬化させることができる。また、第1〜第4のライン光L1〜L4が反応波長に対応していなくても、第5のライン光L5で接着剤ADを硬化させることができ、第1〜第4のライン光L1〜L4と異なる波長のLEDを多数用意する必要がなくなり、装置の大型化とコストの高騰化を抑制できる。
さらに、単波長発光源としては、レーザなど、単波長の光を発光可能ないずれのものを適用してもよい。そして、多波長発光源としては、水銀灯、メタルハライドランプ、ナトリウムランプ、キセノンランプ、ブラックライトランプ、ネオンランプ、有機EL(Electro Luminescence)ランプ、無機ELランプなど、多波長の光を発光可能ないずれのものを適用してもよい。
また、被照射体としては、接着シートSを構成する接着剤AD以外に樹脂、印刷用のインク等、所定の波長の光に反応するものであれば、いかなるものを適用してもよい。
さらに、上記実施形態では、線P上に集光するライン光としたが、ライン光の幅の広さに何ら限定されるものではないし、ライン光でなくてもよい。
4…発光手段
5…電力制御手段
6…単波長選択手段
7…制御手段
423A,423B,423C,423D…第1,第2,第3,第4のLED(単波長発光源)
431…ブラックライト(多波長発光源)
AD…接着剤(被照射体)
Claims (5)
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、
前記被照射体に対向可能に設けられた発光手段を備え、
前記発光手段は、単波長の光を発光可能な単波長発光源と、複数波長の光を発光可能な多波長発光源とを備えていることを特徴とする光照射装置。 - 制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記単波長発光源および前記多波長発光源に供給される電流と電圧との少なくとも一方を制御可能な電力制御手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 前記発光手段は、互いに異なる単波長の光を発光可能な複数種の前記単波長発光源を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光照射装置。
- 前記制御手段は、前記複数種の単波長発光源のうち使用する単波長発光源を選択可能な単波長選択手段を備えていることを特徴とする請求項3に記載の光照射装置。
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、
単波長の光を発光可能な単波長発光源と、複数波長の光を発光可能な多波長発光源とを用い、
前記被照射体に対して、前記単波長発光源からの光と、前記多波長発光源からの光とを同時に照射することを特徴とする光照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010059092A JP5421160B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | 光照射装置および光照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010059092A JP5421160B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | 光照射装置および光照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011189312A true JP2011189312A (ja) | 2011-09-29 |
JP5421160B2 JP5421160B2 (ja) | 2014-02-19 |
Family
ID=44794799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010059092A Active JP5421160B2 (ja) | 2010-03-16 | 2010-03-16 | 光照射装置および光照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5421160B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015060744A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 岩崎電気株式会社 | 照射ユニット |
JP2017112162A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社ディスコ | 紫外線照射方法 |
JP2021146277A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03227333A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Suzuki Motor Corp | 樹脂成形品の表面処理装置 |
JP2006026503A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 微粒子の製造方法、及び製造装置 |
JP2008546162A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | フュージョン ユーブイ システムズ, インコーポレイテッド | 硬化および表面改質のための固体光源 |
-
2010
- 2010-03-16 JP JP2010059092A patent/JP5421160B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03227333A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-08 | Suzuki Motor Corp | 樹脂成形品の表面処理装置 |
JP2006026503A (ja) * | 2004-07-14 | 2006-02-02 | Hamamatsu Photonics Kk | 微粒子の製造方法、及び製造装置 |
JP2008546162A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | フュージョン ユーブイ システムズ, インコーポレイテッド | 硬化および表面改質のための固体光源 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015060744A (ja) * | 2013-09-19 | 2015-03-30 | 岩崎電気株式会社 | 照射ユニット |
JP2017112162A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 株式会社ディスコ | 紫外線照射方法 |
JP2021146277A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5421160B2 (ja) | 2014-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5117709B2 (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 | |
WO2005086150A1 (ja) | 光ディスクの紫外線照射装置及び光ディスクへの紫外線照射方法 | |
JP5421160B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2007026517A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2016066754A (ja) | 光源装置 | |
US8748850B2 (en) | Energy application device and energy application method | |
JP5468835B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2010205860A (ja) | 光照射装置 | |
JP2012145869A (ja) | 露光方法及びその装置 | |
US20140038108A1 (en) | Light Emitting Diode Apparatus for Curing an Emulsion | |
US20150336372A1 (en) | Screen Printing Device and Method | |
JP2013156639A5 (ja) | 光源装置 | |
KR101219323B1 (ko) | 노광 장치 | |
JP2009136796A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP5651354B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP6019730B2 (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射ヘッド | |
US6843967B2 (en) | Curing unit | |
JP2016068052A (ja) | 光源装置 | |
JP5457730B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2021133361A (ja) | 乾燥装置 | |
JP5313778B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2005209865A (ja) | 面発光型紫外線照射装置 | |
JP5382373B2 (ja) | 光照射装置 | |
KR101595564B1 (ko) | Led를 이용한 자외선 경화기 | |
JP2005161002A (ja) | 加温機能付きled光重合器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130111 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130723 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131112 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5421160 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |