JP2021146277A - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】汎用性の向上を図ることができる紫外線照射装置を提供することである。【解決手段】実施形態に係る紫外線照射装置は、第１の方向に延びる第１の基板と；前記第１の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長を有する紫外線を照射可能な複数の第１の発光素子と；前記第１の方向に延びる第２の基板と；前記第２の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長とは異なる第２のピーク波長を有する紫外線を、前記第１の発光素子と同時に照射可能な複数の第２の発光素子と；を具備している。【選択図】図１

Description

本発明の実施形態は、紫外線照射装置に関する。

紫外線硬化樹脂の硬化、表面改質、殺菌などのために、紫外線を照射する紫外線照射装置がある。紫外線を発生させる光源としては、水銀アークランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプなどの放電ランプが用いられている。近年においては、省エネルギー化や長寿命化などの観点から、放電ランプに代えて、紫外線発光ダイオード（Ultraviolet Light Emitting Diode）が用いられるようになってきている。

ところが、紫外線発光ダイオードから照射される紫外線は、放電ランプから照射される紫外線に比べて、ナローバンド（狭波長域）となる。そのため、例えば、紫外線照射の対象物の材料が変わったり、成分が変動したりすると適切な処理が行えなくなる場合がある。
そこで、汎用性の向上を図ることができる紫外線照射装置の開発が望まれていた。

特開２０１１−２５１７０号公報

本発明が解決しようとする課題は、汎用性の向上を図ることができる紫外線照射装置を提供することである。

実施形態に係る紫外線照射装置は、第１の方向に延びる第１の基板と；前記第１の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長を有する紫外線を照射可能な複数の第１の発光素子と；前記第１の方向に延びる第２の基板と；前記第２の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長とは異なる第２のピーク波長を有する紫外線を、前記第１の発光素子と同時に照射可能な複数の第２の発光素子と；を具備している。

本発明の実施形態によれば、汎用性の向上を図ることができる紫外線照射装置を提供することができる。

本実施形態に係る紫外線照射装置を例示するための模式側面図である。 第１の光源および第２の光源を例示するための模式斜視図である。 図１におけるＡ部の模式拡大図である。 図３における紫外線照射装置のＢ−Ｂ線方向の模式断面図である。

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。

紫外線照射の対象物１００は、例えば、紫外線硬化樹脂を含むものとすることができる。対象物１００は、例えば、紫外線硬化樹脂を含むインキ、接着剤、塗料などとすることができる。ただし、対象物１００の材料や、紫外線照射装置１の用途は例示をしたものに限定されるわけではない。対象物１００は、例えば、紫外線により硬化が生じたり、紫外線により表面の改質が行われたり、紫外線により表面の殺菌が行われたりするものなどであってもよい。

図１は、本実施形態に係る紫外線照射装置１を例示するための模式側面図である。
図２は、第１の光源２および第２の光源３を例示するための模式斜視図である。
図３は、図１におけるＡ部の模式拡大図である。
図４は、図３における紫外線照射装置１のＢ−Ｂ線方向の模式断面図である。
図１および図２に示すように、紫外線照射装置１には、第１の光源２、第２の光源３、レンズユニット４、およびベース５を設けることができる。

図１および図２に示すように、第１の光源２は、基板２１が延びる方向（第１の方向）と交差する方向において、ベース５の中央領域に設けることができる。第１の光源２は、少なくとも１つ設けることができる。例えば、紫外線照射装置１の中心軸１ａ上に第１の光源２を１つ設けることができる。例えば、図１に示すように、中心軸１ａの両側に第１の光源２を１つずつ設けることができる。例えば、中心軸１ａ上に第１の光源２を１つ設け、中心軸１ａの両側に第１の光源２を１つずつ設けることができる。複数の第１の光源２が設けられる場合には、基板２１が延びる方向と交差する方向に、複数の第１の光源２を並べて設けることができる。

図２に示すように、第１の光源２は、基板２１（第１の基板）、および複数の発光素子２２（第１の発光素子）を有することができる。
基板２１は、板状を呈し、一方の方向に延びた形状を有している。基板２１の平面形状は、長方形とすることができる。基板２１は、例えば、ネジなどの締結部材を用いてベース５の面５１に取り付けることができる。なお、ベース５の端面に凹部を設け、凹部の内部に基板２１を設けることもできる。この様な場合には、凹部の底面が面５１となる。

基板２１の一方の面には、配線パターンを設けることができる。配線パターンには、複数の発光素子２２を実装することができる。複数の発光素子２２は、配線パターンにより直列接続することができる。配線パターンには、一対の接続端子２１ａを設けることができる。一対の接続端子２１ａは、配線を介して、紫外線照射装置１の外部に設けられた点灯回路などと電気的に接続される。

また、配線パターンを覆う保護膜を設けることができる。また、白色の保護膜（例えば、白レジスト）や、酸化チタンなど光散乱粒子が混合された保護膜などとすることで反射膜の機能を有する保護膜とすることもできる。

基板２１の材料は、紫外線に対する耐性を有し、熱伝導率が高いものとすることが好ましい。基板２１の材料は、例えば、酸化アルミニウムなどのセラミックスとすることができる。基板２１は、金属板の表面を無機材料で覆ったもの（メタルコア基板）とすることもできる。基板２１の材料がセラミックスなどであったり、基板２１がメタルコア基板であったりすれば、紫外線に対する耐性と高い放熱性を得ることができる。

複数の発光素子２２は、基板２１の面に設けることができる。複数の発光素子２２は、基板２１が延びる方向に並べて設けることができる。なお、図２に例示をした第１の光源２においては、複数の発光素子２２が一列に並べられているが、複数の発光素子２２が複数列に並べられていてもよい。複数の発光素子２２のピッチ寸法（発光素子２２同士の間隔）は、一定であってもよいし、異なっていてもよい。

複数の発光素子２２のピッチ寸法が一定であれば、照射ムラが生じるのを抑制することができる。
一方、紫外線照射装置１の用途などによっては、複数の発光素子２２のピッチ寸法が異なる様にした方が好ましい場合もある。例えば、第１の光源２の中央領域から照射する紫外線の光束を周縁領域から照射する紫外線の光束よりも多くした方が好ましい場合がある。また、これとは逆に、第１の光源２の周縁領域から照射する紫外線の光束を中央領域から照射する紫外線の光束よりも多くした方が好ましい場合がある。この様な場合には、照射する紫外線の光束を多くする領域に設けられる発光素子２２の数を多くし、発光素子２２のピッチ寸法を短くすることができる。

発光素子２２は、紫外線を照射可能な素子であれば特に限定はない。発光素子２２は、例えば、紫外線を照射可能な発光ダイオードやレーザダイオードなどとすることができる。なお、本明細書における「紫外線」は、ピーク波長が４５０ｎｍ以下の光とすることができる。

この場合、発光素子２２は、発光素子３２よりも短い波長の紫外線を照射するものとすることができる。例えば、発光素子２２は、ピーク波長（第１のピーク波長）が３００ｎｍ以上、３３０ｎｍ以下の紫外線を照射することができる。

また、発光素子２２は、例えば、ＰＬＣＣ（Plastic Leaded Chip Carrier）型などの表面実装型の発光素子とすることができる。なお、発光素子２２は、例えば、砲弾型などのリード線を有する発光素子とすることもできる。図２に例示をした発光素子２２は、表面実装型の発光素子である。

また、発光素子２２は、ＣＯＢ（Chip On Board）により実装されるものとすることもできる。ＣＯＢにより実装される発光素子２２とする場合には、チップ状の発光素子２２と、発光素子２２と配線パターンとを電気的に接続する配線と、発光素子２２と配線を囲む枠状の部材と、枠状の部材の内部に設けられた封止部などを基板２１の上に設けることができる。この場合、枠状の部材は、封止部の形成範囲を規定する機能と、リフレクタの機能とを有することができる。なお、枠状の部材を設けずに封止部のみを設けることもできる。封止部のみを設ける場合には、ドーム状の封止部が基板２１の上に設けられる。封止部は、例えば、シリコーン樹脂などから形成することができる。

図１および図２に示すように、第２の光源３は、基板２１が延びる方向と交差する方向において、ベース５の中央領域よりも外側の領域に設けることができる。第２の光源３は、基板２１が延びる方向と交差する方向において、第１の光源２と並べて設けることができる。第２の光源３は、少なくとも１つ設けることができる。例えば、第２の光源３は、第１の光源２の片側に１つ設けることもできるし、複数設けることもできる。例えば、第２の光源３は、第１の光源２の両側に１つずつ設けることもできるし、複数設けることもできる。

第２の光源３は、基板３１（第２の基板）、および複数の発光素子３２（第２の発光素子）を有することができる。
本実施の形態に係る紫外線照射装置１においては、第２の光源３（発光素子３２）は、第１の光源２（発光素子２２）が照射する紫外線のピーク波長とは異なるピーク波長を有する紫外線を、第１の光源２（発光素子２２）と同時に照射する。

基板３１は、板状を呈し、一方の方向に延びた形状を有している。基板３１の平面形状は、長方形とすることができる。基板３１は、例えば、ネジなどの締結部材を用いてベース５の面５１に取り付けることができる。なお、ベース５の端面に凹部を設け、凹部の内部に基板３１を設けることもできる。この様な場合には、凹部の底面が面５１となる。例えば、基板３１は、基板２１と平行に設けることができる。

基板３１の一方の面には、配線パターンを設けることができる。配線パターンには、複数の発光素子３２を実装することができる。複数の発光素子３２は、配線パターンにより直列接続することができる。配線パターンには、一対の接続端子３１ａを設けることができる。一対の接続端子３１ａは、配線を介して、紫外線照射装置１の外部に設けられた点灯回路などと電気的に接続される。

また、配線パターンを覆う保護膜を設けることができる。また、白色の保護膜（例えば、白レジスト）や、酸化チタンなど光散乱粒子が混合された保護膜などとすることで反射膜の機能を有する保護膜とすることもできる。

基板３１の材料は、紫外線に対する耐性を有し、熱伝導率が高いものとすることが好ましい。基板３１の材料は、例えば、酸化アルミニウムなどのセラミックスとすることができる。基板３１は、金属板の表面を無機材料で覆ったもの（メタルコア基板）とすることもできる。基板３１の材料がセラミックスなどであったり、基板３１がメタルコア基板であったりすれば、紫外線に対する耐性と高い放熱性を得ることができる。

複数の発光素子３２は、基板３１の面に設けることができる。複数の発光素子３２は、基板３１が延びる方向に並べて設けることができる。なお、図２に例示をした第２の光源３においては、複数の発光素子３２が一列に並べられているが、複数の発光素子３２が複数列に並べられていてもよい。複数の発光素子３２のピッチ寸法（発光素子３２同士の間隔）は、一定であってもよいし、異なっていてもよい。

複数の発光素子３２のピッチ寸法が一定であれば、照射ムラが生じるのを抑制することができる。
一方、紫外線照射装置１の用途などによっては、複数の発光素子３２のピッチ寸法が異なる様にした方が好ましい場合もある。例えば、第２の光源３の中央領域から照射する紫外線の光束を周縁領域から照射する紫外線の光束よりも多くした方が好ましい場合がある。また、これとは逆に、第２の光源３の周縁領域から照射する紫外線の光束を中央領域から照射する紫外線の光束よりも多くした方が好ましい場合がある。この様な場合には、照射する紫外線の光束を多くする領域に設けられる発光素子３２の数を多くし、発光素子３２のピッチ寸法を短くすることができる。

発光素子３２は、紫外線を照射可能な素子であれば特に限定はない。発光素子３２は、例えば、紫外線を照射可能な発光ダイオードやレーザダイオードなどとすることができる。例えば、発光素子３２は、ピーク波長（第２のピーク波長）が３５０ｎｍ以上、４１０ｎｍ以下の紫外線を照射するものとすることができる。

また、発光素子３２は、例えば、ＰＬＣＣ型などの表面実装型の発光素子とすることができる。なお、発光素子３２は、例えば、砲弾型などのリード線を有する発光素子とすることもできる。図２に例示をした発光素子３２は、表面実装型の発光素子である。

また、発光素子３２は、ＣＯＢにより実装されるものとすることもできる。ＣＯＢにより実装される発光素子３２とする場合には、チップ状の発光素子３２と、発光素子３２と配線パターンとを電気的に接続する配線と、発光素子３２と配線を囲む枠状の部材と、枠状の部材の内部に設けられた封止部などを基板３１の上に設けることができる。この場合、枠状の部材は、封止部の形成範囲を規定する機能と、リフレクタの機能とを有することができる。なお、枠状の部材を設けずに封止部のみを設けることもできる。封止部のみを設ける場合には、ドーム状の封止部が基板３１の上に設けられる。封止部は、例えば、シリコーン樹脂などから形成することができる。

ここで、照射する紫外線のピーク波長によっては、発光素子の発光効率が低くなる場合がある。一般的に、照射する紫外線のピーク波長が短くなるほど発光素子の発光効率が低くなる。そのため、照射する紫外線のピーク波長が短い発光素子２２の数を、発光素子３２の数よりも多くする場合がある。

一方、一般的に、照射する紫外線のピーク波長が短くなるほど発光素子の価格が高くなる。そのため、紫外線照射装置１の用途などによっては、照射する紫外線のピーク波長が短い発光素子２２の数を、発光素子３２の数よりも少なくする場合がある。

また、照射する紫外線のピーク波長が異なると、発光素子の発熱量が異なるものとなる場合がある。

そのため、基板３１の形状、寸法、材料、および配線パターンは、基板２１の形状、寸法、材料、および配線パターンと異なるものとしてもよい。

なお、基板３１の形状、寸法、材料、および配線パターンが、基板２１の形状、寸法、材料、および配線パターンと同じであれば、生産性の向上や製造コストの低減を図ることができる。そのため、生産性の向上や製造コストの低減などの観点からは、発光素子２２、３２の数や、配置（例えば、ピッチ寸法など）などと、基板２１、３１の形状、寸法、材料、および配線パターンとが、同じであることが好ましい。

ここで、紫外線照射装置１の用途や対象物１００の材料などによっては、紫外線のスペクトルを変更した方が好ましい場合がある。例えば、紫外線硬化樹脂の硬化を行う場合、硬化時間を短くするためには、発光素子から照射される紫外線のスペクトルと、紫外線硬化樹脂の吸収スペクトル域とが一致するか、重なっていることが好ましい。例えば、表面の改質を行う場合、発光素子から照射される紫外線のスペクトルと、改質を行う材料の吸収スペクトル域とが一致するか、重なっていることが好ましい。

本実施の形態に係る紫外線照射装置１には、照射される紫外線のスペクトルが異なる第１の光源２（発光素子２２）と第２の光源３（発光素子３２）が設けられているので、対象物１００の材料が変わったり、成分比が変動したりしても適切な処理を行うことができる。

すなわち、本実施の形態に係る紫外線照射装置１とすれば、汎用性の向上を図ることができる。
なお、第１の光源２と第２の光源３が設けられる場合を例示したが、これらとは照射される紫外線のスペクトルが異なる光源をさらに設けることもできる。この様にすれば、汎用性のさらなる向上を図ることができる。

レンズユニット４は、ベース５の、第１の光源２および第２の光源３が設けられる側に設けることができる。
レンズユニット４は、保持部４１、およびレンズ４２を有することができる。

保持部４１は、板状を呈し、一対設けることができる。一対の保持部４１は、基板２１が延びる方向において、ベース５の面５１の外側に設けることができる。一対の保持部４１は、基板２１が延びる方向において対峙している。一対の保持部４１は、例えば、ネジなどの締結部材を用いてベース５に取り付けることができる。一対の保持部４１は、例えば、アルミニウムなどの金属から形成することができる。

レンズ４２は、一対の保持部４１同士の間に設けることができる。基板２１が延びる方向におけるレンズ４２の端部は、保持部４１に固定することができる。レンズ４２は、第１の光源２および第２の光源３に対して１つずつ設けることができる。レンズ４２は、第１の光源２および第２の光源３から照射された紫外線を照射位置に集光させる。

レンズ４２は、例えば、基板２１が延びる方向に延びるシリンドリカルレンズとすることができる。なお、レンズ４２が、第１の光源２および第２の光源３に対して１つずつ設けられる場合を例示したが、複数のレンズ４２が一体化されていてもよい。また、レンズ４２の形状は、紫外線照射装置１の用途などに応じて適宜変更することができる。例えば、図１に例示をしたレンズ４２は、凹凸レンズ（メニスカスレンズ）であるが、平凸レンズや両凸レンズなどであってもよい。
すなわち、基板２１が延びる方向に延び、複数の発光素子２２から照射された紫外線が入射可能な第１のレンズと、基板２１が延びる方向に延び、複数の発光素子３２から照射された紫外線が入射可能な第２のレンズと、を設けることができる。

また、レンズ４２は、フライアレイレンズとすることもできる。レンズ４２がフライアレイレンズの場合には、第１の光源２に設けられた複数の発光素子２２ごと、および第２の光源３に設けられた複数の発光素子３２ごとにレンズを設けることができる。

レンズ４２の材料は、紫外線を透過させることができ、且つ、紫外線に対する耐性を有するものであればよい。レンズ４２の材料は、例えば、石英ガラス、シリコーン樹脂、アクリル樹脂などとすることができる。

ベース５は、第１の光源２および第２の光源３を保持する機能と、第１の光源２（発光素子２２）および第２の光源３（発光素子３２）を冷却する機能を有することができる。 ベース５は、ブロック状を呈し、熱伝導率の高い金属から形成することができる。ベース５は、例えば、アルミニウムなどの金属から形成することができる。

図３および図４に示すように、ベース５の内部には、水などの冷媒を流す流路５２を設けることができる。流路５２は、例えば、第１の光源２ごと、および第２の光源３ごとに設けることができる。この場合、第１の光源２の光軸の延長線上に、対応する流路５２の中心を設けることができる。第２の光源３の光軸の延長線上に、対応する流路５２の中心を設けることができる。この様にすれば、発光素子２２、３２と流路５２との間の距離を短くすることができるので、発光素子２２、３２を冷却するのが容易となる。

また、流路５２は、複数の発光素子２２、３２の列と同じ方向に延びる形状を有することができる。この様にすれば、複数の発光素子２２、３２に冷却むらが生じるのを抑制することができる。

流路５２と隣接する流路５２とは、ベース５の内部において接続することもできるし、図１、図３、および図４に示すように、配管継ぎ手５３ａと配管を介して接続することもできる。また、流路５２には、冷媒を供給するための配管継ぎ手５３ｂと、供給された冷媒を排出するための配管継ぎ手５３ｃを接続することができる。
また、ベース５には放熱フィンなどを設けることもできる。

ベース５は、基板２１、３１が設けられる面５１を複数有している。図１に示すように、基板２１が延びる方向からベース５を見た場合に、複数の面５１の中心は、設置円６の円周上に設けることができる。設置円６は、第１の光源２（発光素子２２）の光軸と、第２の光源３（発光素子３２）の光軸とが交わる点を中心とした仮想円とすることができる。より具体的には、設置円６は、発光素子２２の照射面の中心と紫外線の照射位置１００ａとを結ぶ線分と、発光素子３２の照射面の中心と紫外線の照射位置１００ａとを結ぶ線分と、が交わる点を中心とした仮想円とすることができる。

例えば、設置円６の半径は、１００ｍｍ程度とすることができる。なお、設置円６の半径は、紫外線照射装置１の用途、大きさ、発光素子２２、３２から照射される紫外線の光束などに応じて適宜変更することができる。

また、前述した光軸同士の間の角度（前述した線分同士の間の角度）を設置角度θｐとした場合、設置角度θｐが同じとなるようにすることもできるし、異なる様にすることもできる。図１に例示をした紫外線照射装置１の場合には、設置角度θｐを同じにしている。

対象物１００の面１００ｂに対して垂直な方向から、紫外線が入射すれば、対象物１００の面１００ｂにおいて反射される紫外線を少なくすることができる。この場合、設置角度θｐをなるべく小さくすれば、紫外線照射装置１の中心軸１ａと、最も外側に設けられた第２の光源３の光軸との間の角度θ１を小さくすることができる。そのため、最も外側に設けられた第２の光源３から照射された紫外線が対象物１００の面１００ｂにおいて反射されるのを抑制することができる。
例えば、設置角度θｐを２４°程度、角度θ１を６０°程度とすることができる。なお、設置角度θｐおよび角度θ１は、第１の光源２および第２の光源３の大きさ、数などに応じて適宜変更することができる。

また、紫外線照射装置１の中心軸１ａと、光源の光軸との間の角度が小さくなるほど、照射された紫外線が対象物１００の面１００ｂにおいて反射されにくくなる。前述したように、紫外線照射装置１の用途や対象物１００の材料などによっては、好ましい紫外線のスペクトルがある。そのため、好ましいスペクトルを有する紫外線を照射する光源を中心軸１ａ上、または、中心軸１ａの近傍に設けることが好ましい。

例えば、紫外線硬化樹脂には、モノマー、オリゴマー（プレポリマー）、光重合開始剤、および添加剤が含まれている。紫外線が、紫外線硬化樹脂に照射されると、光重合開始剤がイオンを発生し、そのイオンがモノマーやオリゴマーと重合する（結合して鎖状や網状になる）。この様な反応は光重合反応と呼ばれ、光重合反応により紫外線硬化樹脂が硬化する。

一般的に、光重合開始剤の反応感度は、照射される紫外線の波長が短くなるほど高くなる。そのため、例えば、紫外線硬化樹脂の硬化を行う場合には、図１および図２に例示をした様に、発光素子３２よりも短い波長の紫外線を照射する発光素子２２が設けられた第１の光源２を、中心軸１ａ上、または、中心軸１ａの近傍に設けることが好ましい。

例えば、図１に示すように、基板２１が延びる方向から見た場合に、発光素子２２から照射された紫外線と、発光素子３２から照射された紫外線と、が対象物１００の面１００ｂで重なるようにすることができる。対象物１００の面１００ｂに垂直であって、紫外線が重なる位置（照射位置１００ａ）を通る線分と、発光素子２２の光軸と、の間の角度は、紫外線が重なる位置を通る線分と、発光素子３２の光軸と、の間の角度よりも小さくすることができる。

この様にすれば、紫外線硬化樹脂の硬化時間の短縮を図ることができ、ひいては生産性の向上、製造コストの低減などを図ることができる。

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。

１ 紫外線照射装置、１ａ 中心軸、２ 第１の光源、３ 第２の光源、４ レンズユニット、５ ベース、２１ 基板、２２ 発光素子、３１ 基板、３２ 発光素子、１００ 対象物、１００ａ 照射位置、１００ｂ 面

Claims (4)

1. 第１の方向に延びる第１の基板と；
   前記第１の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長を有する紫外線を照射可能な複数の第１の発光素子と；
   前記第１の方向に延びる第２の基板と；
   前記第２の基板の面に、前記第１の方向に並べて設けられ、第１のピーク波長とは異なる第２のピーク波長を有する紫外線を、前記第１の発光素子と同時に照射可能な複数の第２の発光素子と；
   を具備した紫外線照射装置。
2. 前記第１のピーク波長は、３００ｎｍ以上、３３０ｎｍ以下であり、
   前記第２のピーク波長は、３５０ｎｍ以上、４１０ｎｍ以下であり、
   前記第１の方向から見た場合に、前記第１の発光素子から照射された紫外線と、前記第２の発光素子から照射された紫外線と、が対象物の面で重なり、
   前記対象物の面に垂直であって、前記紫外線が重なる位置を通る線分と、前記第１の発光素子の光軸と、の間の角度は、前記紫外線が重なる位置を通る線分と、前記第２の発光素子の光軸と、の間の角度よりも小さい請求項１記載の紫外線照射装置。
3. 前記第１の方向に延び、前記複数の第１の発光素子から照射された紫外線が入射可能な第１のレンズと；
   前記第１の方向に延び、前記複数の第２の発光素子から照射された紫外線が入射可能な第２のレンズと；
   をさらに具備した請求項１または２に記載の紫外線照射装置。
4. 前記第１の基板と、前記第２の基板と、が設けられ、冷媒が流通可能な流路を有するベースをさらに具備した請求項１〜３のいずれか１つに記載の紫外線照射装置。

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