JP2011025170A - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光照射装置1は、互いに異なる単波長のライン光Lを形成可能な第1〜第9発光ユニット42A〜42Iを備え、接着シートSの構成に応じて同時に照射するライン光Lの波長を選択可能な構成を有している。この構成により、接着シートSの接着層の反応する波長のライン光Lのみを選択的に照射でき、省電力化を図りつつ接着層を硬化させることができる。
【選択図】図1
Description
また、本発明の光照射装置では、電力供給手段をさらに備え、前記制御手段は、前記電力供給手段から前記異なる単波長のライン光の発光源に供給する電流および電圧のうちの少なくとも一方を制御して、各ライン光の照度を所定照度に設定する、ことが好ましい。
図1(A),(B)において、光照射装置1は、ウェハWの一面に貼付された被照射体としての接着シートSに単波長のライン光あるいは複数波長の光を集光したライン光Lを照射する装置であり、マウント用シートMSを介してリングフレームRFと一体化されたウェハWを保持するテーブル2と、このテーブル2の下方に設けられる移動手段としての単軸ロボット3と、接着シートSにライン光Lを照射する発光手段4と、この発光手段4に電源を供給する電力供給手段5と、単軸ロボット3と電力供給手段5とを制御する発光制御装置6とを備えている。
接着シートSの図示しない接着層の硬化開始剤は、任意の波長の光が照射された際に硬化が始まるように設計されている。
テーブル2は、図示しない吸引口を備えており、マウント用シートMS側からウェハWおよびリングフレームRFを吸着保持可能に構成されている。単軸ロボット3は、そのスライダ31がテーブル2の下面に固定され、このスライダ31を介してテーブル2をX軸方向(図1(A)の左右方向)にスライド移動させるように構成されている。
また、第1〜第9発光ユニット42A〜42Iは、図2(A),(B)にも示すように、長方形箱状のLED保持部43を備えている。このLED保持部43は、長方形箱状の長手方向がY軸方向と略一致し、かつ、一面に設けられた開口部431が下側に位置するように(底面が開口部431となるように)設けられている。また、第1〜第9発光ユニット42A〜42IのLED保持部43の内部には、発光源としての複数の第1,第2,第3,第4,第5,第6,第7,第8,第9LED(Light Emitting Diode)44A,44B,44C,44D,44E,44F,44G,44H,44IがY軸方向に沿って並んで設けられている。また、第1〜第9LED44A〜44Iの開口部431側には、第1LED44A〜第9LED44Iに対向するように集光手段としてのレンズ45が設けられている。このレンズ45は、第1〜第9LED44A〜44Iからの光を集光して、図1(A),(B)に示すように、Y軸方向(テーブル2の移動方向と直交する方向)に延びる各波長のライン光Lを形成する。ここで、第1〜第9発光ユニット42A〜42Iが円弧板状の保持板41で保持されているため、ライン光Lは、接着シートSの照射面上で一つの直線状になるように形成される。例えば、図1(A)に示すように、第1,第5,第8LED44A,44E,44Hからの光(1点鎖線で示す)で構成されるピーク波長が325nm,365nm,395nmのライン光Lは、接着シートS上で一つの直線状に集光される。
入力手段61は、利用者により操作されるキーボードなどを備えており、接着シートSの名称や第1〜第9LED44A〜44Iを選択する入力操作に対する信号を制御手段63へ出力する。
記憶手段62には、接着シートSの接着層の構成に対応する光の波長に関する少なくとも1個の波長選択情報621が記憶されている。この波長選択情報621は、接着シートSの名称に関する名称情報622と、第1〜第9LED44A〜44Iのうちの少なくともいずれか1種類を選択する波長選択条件に関する条件情報623とを備えている。
制御手段63は、波長選択情報621に記録された波長選択条件、または、利用者により設定された波長選択条件に基づいて、電力供給手段5を制御して第1〜第9LED44A〜44Iに電流や電圧を供給することで、ピーク波長が異なるライン光Lを接着シートS上で重なるように形成して、あるいは、1つのピーク波長のライン光を接着シートS上で形成して、接着シートSに照射する。
まず、光照射装置1の制御手段63は、光照射対象の接着シートSが例えば「シートA」である旨の特定情報としての操作信号を入力手段61から取得する(特定情報認識工程)とともに、当該接着シートSが貼付されたウェハWがテーブル2に載置された状態を認識すると、波長選択情報621から「シートA」に対応する条件情報623を取得する。そして、制御手段63は、この条件情報623に基づいて、第1,第5,第8LED44A,44E,44Hを発光させることで、ピーク波長が325nm,365nm,395nmのライン光Lを接着シートS上で重なるように形成するとともに、テーブル2を矢印Dで示す左方向へ移動させる(制御工程)。このような制御により、接着シートSの全面に、ピーク波長が325nm,365nm,395nmのライン光Lを照射して、接着層を硬化させる。
まず、制御手段63は、所定の波長選択条件を特定する旨の操作信号を入力手段61から取得すると、当該波長選択条件に基づいて、第1〜第9LED44A〜44Iのうち照射する必要があるLEDを発光させることでライン光Lを接着シートS上で形成する。そして、テーブル2を移動させてライン光Lを接着シートSに照射することで、接着層を硬化させる。
すなわち、互いに異なる単波長のライン光Lを形成可能な第1〜第9発光ユニット42A〜42Iを用い、接着シートSの構成に応じて同時に照射するライン光Lの波長を選択可能にしている。このため、接着シートSの接着層の反応する波長のライン光Lのみを選択的に照射でき、省電力化を図りつつ接着層を硬化させることができる。
また、接着シートSの移動方向と直交する方向に延びるライン光Lを形成して、接着シートSをライン光Lに対して移動させることで、ライン光Lを接着シートSの全面に照射している。このため、発光手段と接着シートSとを相対移動させないで、照射領域が面状の少なくとも1つの拡散光を接着シートSの全面に対して照射する構成と比べて、照射効率を向上できる。
さらに、複数波長のライン光Lを接着シートS上で一つの直線状に集光しているため、接着シートSを保持するテーブル2の移動距離を最小限に設定でき、光照射装置1の小型化を図ることができる。
また、第1〜第9LED44A〜44Iの光をレンズ45で集光してライン光Lを形成しているため、省電力化や長寿命化を図ることができる。また、接着シートSの照射面と比べて照射領域が小さい第1〜第9LED44A〜44Iを用いても、照射面全面を照射可能なライン光Lを形成できる。
また、現行で単波長以外の波長の光を発光する発光源(以下「多波長発光源」という)を用いて光を照射している装置の場合、その多波長発光源について図4に示すような相対照度分布グラフを作成し、複数のピーク波長の光の照射状態を単波長の光源を用いて擬似的にコピー(再現)することによって、現行の多波長発光源の代替として単波長の発光源を使用できるようになる。
また、第1〜第9LED44A〜44Iとして、赤外線や可視光など波長が上述した値と異なっているものを適用しても良いし、波長がさらに異なるLEDを設けても良い。さらに、発光源としては、キセノンフラッシュなど、単波長の光を発光可能ないずれのものを適用しても良い。そして、被照射体としては、所定の波長の光に反応するものであれば、いかなるものを適用しても良い。
3…単軸ロボット(移動手段)
4…発光手段
5…電力供給手段
41…保持板(集光手段)
42A〜42I…第1〜第9発光ユニット(ライン光形成手段)
44A〜44I…第1〜第9LED(発光源)
61…入力手段
62…記憶手段
63…制御手段
621…波長選択情報
S…接着シート(被照射体)
Claims (4)
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、
互いに異なる単波長の光を発光可能な複数の発光源を有するとともに前記被照射体に対向可能に設けられた発光手段と、
前記発光手段に対向する前記被照射体に対して、前記発光源からの光を照射する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、前記被照射体の構成に応じて、照射する光の波長を選択可能に設けられていることを特徴とする光照射装置。 - 前記被照射体と前記発光手段とを相対移動させる移動手段をさらに備え、
前記発光手段は、前記発光源の光を集光して、互いに異なる単波長のライン光を前記被照射体上で形成可能なライン光形成手段と、異なる波長のライン光を一つの直線状に集光する集光手段とをさらに備え、
前記ライン光形成手段は、前記発光手段と前記被照射体との相対移動方向を横切る方向に延びるように前記ライン光を形成することを特徴とする請求項1に記載の光照射装置。 - 電力供給手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記電力供給手段から前記異なる単波長のライン光の発光源に供給する電流および電圧のうちの少なくとも一方を制御して、各ライン光の照度を所定照度に設定することを特徴とする請求項2に記載の光照射装置。 - 光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、
互いに異なる単波長の光を発光可能な複数の発光源を有するとともに前記被照射体に対向可能に設けられた発光手段と、
前記発光手段に対向する所定の前記被照射体に対して照射する光の波長に関する波長選択情報を記憶する記憶手段と、
前記被照射体を特定する特定情報を設定入力可能な入力手段と、を用い、
前記入力手段で設定入力された特定情報を認識し、
前記特定情報で特定される前記被照射体に照射する光の波長を前記波長選択情報に基づいて認識し、この認識した波長の光を同時に照射することを特徴とする光照射方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014154642A (ja) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 紫外線照射装置 |
KR20160001417A (ko) * | 2014-06-27 | 2016-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치용 경화 장비 및 이를 이용한 접착물질의 경화 방법 |
KR20180109679A (ko) * | 2017-03-28 | 2018-10-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 자외선 조사 수단의 선택 방법 |
KR20190032540A (ko) | 2016-08-30 | 2019-03-27 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 식품의 유지 장치 |
JP2020194839A (ja) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | 株式会社ディスコ | 紫外線照射装置 |
JP2021146277A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58177957U (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-28 | 日本電信電話株式会社 | 発光ダイオ−ドによる多色発光ライン状光源 |
JPS5997736U (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-02 | 九州日立マクセル株式会社 | Uv樹脂用紫外線照射装置 |
JPS59216629A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-06 | Nec Corp | 光気相成長法 |
JPS60220139A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-02 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 光による反応誘起方法 |
JPH01218631A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Iwasaki Electric Co Ltd | 多波長選択紫外線照射装置 |
JP2003222594A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-08-08 | Byk Gardner Gmbh | 測定面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法 |
JP2005334782A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 微粒子の製造方法、及び製造装置 |
JP2007090343A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-12 | Summit Business Products Inc | 紫外線発光ダイオード装置 |
WO2008058335A1 (en) * | 2006-11-15 | 2008-05-22 | Depth Analysis Pty Ltd | Systems and methods for managing the production of a free-viewpoint video-based animation |
JP2008141038A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Lintec Corp | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
JP2008546162A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | フュージョン ユーブイ システムズ, インコーポレイテッド | 硬化および表面改質のための固体光源 |
JP2009136796A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Citizen Electronics Co Ltd | 紫外線照射装置 |
JP2009539646A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | プレスコ テクノロジー インコーポレーテッド | 波長特異的な熱放射及び処理を行う方法及びシステム |
-
2009
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Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58177957U (ja) * | 1982-05-24 | 1983-11-28 | 日本電信電話株式会社 | 発光ダイオ−ドによる多色発光ライン状光源 |
JPS5997736U (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-02 | 九州日立マクセル株式会社 | Uv樹脂用紫外線照射装置 |
JPS59216629A (ja) * | 1983-05-24 | 1984-12-06 | Nec Corp | 光気相成長法 |
JPS60220139A (ja) * | 1984-04-13 | 1985-11-02 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 光による反応誘起方法 |
JPH01218631A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-08-31 | Iwasaki Electric Co Ltd | 多波長選択紫外線照射装置 |
JP2003222594A (ja) * | 2001-10-09 | 2003-08-08 | Byk Gardner Gmbh | 測定面を照明するための装置、ならびに物体の視覚的特性を特定するための装置および方法 |
JP2005334782A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Hamamatsu Photonics Kk | 微粒子の製造方法、及び製造装置 |
JP2008546162A (ja) * | 2005-06-07 | 2008-12-18 | フュージョン ユーブイ システムズ, インコーポレイテッド | 硬化および表面改質のための固体光源 |
JP2007090343A (ja) * | 2005-09-20 | 2007-04-12 | Summit Business Products Inc | 紫外線発光ダイオード装置 |
JP2009539646A (ja) * | 2006-06-07 | 2009-11-19 | プレスコ テクノロジー インコーポレーテッド | 波長特異的な熱放射及び処理を行う方法及びシステム |
WO2008058335A1 (en) * | 2006-11-15 | 2008-05-22 | Depth Analysis Pty Ltd | Systems and methods for managing the production of a free-viewpoint video-based animation |
JP2008141038A (ja) * | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Lintec Corp | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
JP2009136796A (ja) * | 2007-12-07 | 2009-06-25 | Citizen Electronics Co Ltd | 紫外線照射装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014154642A (ja) * | 2013-02-06 | 2014-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 紫外線照射装置 |
KR20160001417A (ko) * | 2014-06-27 | 2016-01-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치용 경화 장비 및 이를 이용한 접착물질의 경화 방법 |
KR102247826B1 (ko) * | 2014-06-27 | 2021-05-03 | 엘지디스플레이 주식회사 | 표시장치용 경화 장비 및 이를 이용한 접착물질의 경화 방법 |
KR20190032540A (ko) | 2016-08-30 | 2019-03-27 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 식품의 유지 장치 |
KR20180109679A (ko) * | 2017-03-28 | 2018-10-08 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 자외선 조사 수단의 선택 방법 |
KR102069965B1 (ko) | 2017-03-28 | 2020-01-23 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법 및 자외선 조사 수단의 선택 방법 |
JP2020194839A (ja) * | 2019-05-27 | 2020-12-03 | 株式会社ディスコ | 紫外線照射装置 |
JP2021146277A (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-27 | 東芝ライテック株式会社 | 紫外線照射装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5468835B2 (ja) | 2014-04-09 |
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